JP2570440B2 - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
- Publication number
- JP2570440B2 JP2570440B2 JP1301237A JP30123789A JP2570440B2 JP 2570440 B2 JP2570440 B2 JP 2570440B2 JP 1301237 A JP1301237 A JP 1301237A JP 30123789 A JP30123789 A JP 30123789A JP 2570440 B2 JP2570440 B2 JP 2570440B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- sensitivity
- sensitive layer
- tin oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
サに係り、特にガス感度が高くその安定性に優れるガス
センサに関する。
気中で300〜500℃の温度に加熱されると粒子表面に大気
中の酸素が活性化吸着して高抵抗化しているが、可燃性
ガスが接触すると吸着酸素と可燃性ガスとが反応して吸
着酸素が除去され抵抗値が減少する。このような性質を
利用して、酸化スズを用いたガスセンサはLPガス，都市
ガス等のガス漏れ警報器に広く用いられている。
度を高めるために、酸化スズ等のｎ型金属酸化物半導体
に白金，パラジウム等の貴金属を担持して感ガス層とし
て用いる。
燃性ガスに対する感度は高いものの、感度が経時的に変
化するという問題があった。
属を担持させるセンサ構成に改良を加えることにより、
可燃性ガスに対する感度が高いうえその安定性にも優れ
るガスセサを提供することにある。
体からなり、 被覆層は酸化スズ半導体に貴金属を２〜10重量％担持
したものであるとすることにより達成される。
の酸化燃焼が若干おこる感ガス層の触媒活性劣化ととも
にこの酸化燃焼が減少し、感ガス層内部の実効的な可燃
性ガス濃度が経時的に増大するものと推定される。被覆
層は触媒濃度が高いので酸化燃焼の変化ないと推定され
る。
図はこの発明の実施例に係るガスセンサを示す模式断面
図である。アルミナ基板３の一方の主面の上に電極11,1
2、酸化スズからなる感ガス層２、被覆層４、リード線5
1,52がまた他の主面にヒータ６とリード線71,72が設け
られる。感ガス層２は次のようにして形成される。すな
わち、平均粒径２μｍの酸化スズ粉末に水とシリカゾル
を加えペースト状としたのち第１図に示すアルミナ基板
３上に設けた電極11,12上に厚さ約50μｍとなるように
感ガス層２を塗布し、750℃で30分加熱してアルミナ基
板３上に焼き付けた。次いで前記と同様の酸化スズ粉末
に塩化白金酸を白金として２〜10重量％となるように含
浸し、600℃で２時間加熱して白金を分解させた。この
白金の担持された酸化スズ粉末に水とシリカゾルを加え
ペースト状としたのち第１図の感ガス層２を被覆するよ
うに約50μｍの厚さに被覆層４を塗布した。これを常温
で乾燥後730℃で30分加熱して被覆層４を形成した。な
お触媒としてパラジウム等を用いることもできる。比較
のために被覆層４を設けないセンサを比較センサＡと
し、同じく被覆層４を有しないが感ガス層２には白金を
0.1〜１重量％担持したセンサを比較センサＢとした。
を示す線図である。センサをヒータ６を用いて所定温度
に保ち、0.2％イソブタンガス中のセンサ抵抗をRg、セ
ンサの初期抵抗をRgoとし、Rgoを基準とするRgの比即ち
Rg/Rgoの値につき経時変化を調べた。特性線21,22はそ
れぞれ本発明の実施例に係るガスセンサ，比較センサＡ
の特性，特性線23は比較センサＢの特性である。感ガス
層に触媒を含むと可燃性ガス中のセンサ抵抗が経時変化
することがわかる。
ンサと比較センサA,Bの通電時間依存性を示す線図であ
る。ガス感度はRa/Rgで定義される。Raは空気中におけ
るセンサ抵抗,Rgは前述の如く0.2％イソブタンガス中の
センサ抵抗である。Raは各センサにつき経時変化はない
ので、ガス感度（Ra/Rg）はRgの経時変化によって左右
される。特性線31は本発明の実施例に係るガスセンサの
特性である。感度は10以上で大きく、経時変化もない。
ガス感度は５以上あればよいとされている。これに対し
比較センサＢは特性線33に示すようにガス感度は高い
が、経時変化が大きい。感ガス層に触媒を有しない比較
センサＡは特性線32に示すようにガス感度が小さい。し
かしガス感度の経時変化はない。
く、その安定性にも優れるものであるが、あわせて、エ
チルアルコール等の妨害ガスの影響も受けないという特
長がある。これは触媒を担持した酸化スズである被覆層
４において、妨害ガスが燃焼除去されるためである。イ
ソブタン等の可燃性ガスは被覆層４において広い温度範
囲にわたって燃焼することがない。このようにしてガス
感度が高い上にその経時変化がなく、さらにエチルアル
コールの妨害も受けることのない優れたガスセンサが得
られる。
体からなり、 被覆層は酸化スズ半導体に貴金属を２〜10重量％担持
したものであるので、感ガス層内部での可燃性ガスの燃
焼の問題がなくなりガス感度と安定性に優れるガスセン
サが得られる。
図、第２図はこの発明の実施例に係るガスセンサにつき
可燃性ガス中のセンサ抵抗の通電時間依存性を比較セン
サA,Bの特性と対比して示す線図、第３図はこの発明の
実施例に係るガスセンサにつきそのガス感度の通電時間
依存性を比較センサA,Bの特性と対比して示す線図であ
る。 2:感ガス層、4:被覆層。
Claims (1)
- 【請求項１】基板の上に感ガス層と被覆層とを有し、感
ガス層は貴金属等の触媒を担持しない酸化スズ半導体か
らなり、 被覆層は酸化スズ半導体に貴金属を２〜10重量％担持し
たものであることを特徴とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1301237A JP2570440B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1301237A JP2570440B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03162656A JPH03162656A (ja) | 1991-07-12 |
| JP2570440B2 true JP2570440B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=17894434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1301237A Expired - Lifetime JP2570440B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2570440B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1077687C (zh) * | 1996-08-07 | 2002-01-09 | Lg电子株式会社 | 烃气传感器及其制造方法和利用烃气传感器检测烃的方法 |
| KR100551225B1 (ko) * | 2002-05-10 | 2006-02-09 | 전자부품연구원 | 반도체식 가스 센서용 촉매-도핑된 산화주석 분말의 제조방법 |
| KR101706538B1 (ko) * | 2014-07-14 | 2017-02-15 | 송재훈 | 유해물질 누출 감지 시스템 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02263145A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-25 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体式ガスセンサ |
| JPH0390848A (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-16 | Fuji Electric Co Ltd | ガスセンサ |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1301237A patent/JP2570440B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03162656A (ja) | 1991-07-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2829416B2 (ja) | 感ガス素子 | |
| JP2570440B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH07128268A (ja) | 水素ガスセンサ | |
| JP3271635B2 (ja) | 厚膜ガスセンサおよびその製造方法 | |
| JPS6036017B2 (ja) | 還元性ガス検知素子の製造方法 | |
| JPH0390848A (ja) | ガスセンサ | |
| JP2980290B2 (ja) | ガス検出方法及びそれに用いるガスセンサ | |
| JPH0252247A (ja) | ガスセンサ | |
| JP3191523B2 (ja) | 厚膜ガスセンサ | |
| JP3191544B2 (ja) | 厚膜型ガスセンサ | |
| JPH08226909A (ja) | 接触燃焼式一酸化炭素ガスセンサ | |
| JPH04269650A (ja) | 酸化物半導体ガスセンサ | |
| JPH0221256A (ja) | ガスセンサ | |
| JPH04344450A (ja) | ガスセンサ | |
| JPS6410774B2 (ja) | ||
| JPH053897B2 (ja) | ||
| JPH0743331A (ja) | 厚膜ガスセンサ | |
| JP2573323B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH0382945A (ja) | 半導体式ガスセンサ | |
| JPH0455747A (ja) | ガスセンサ | |
| JP2513274B2 (ja) | ガスセンサ | |
| JPH02208549A (ja) | ガスセンサ | |
| JPH0682112B2 (ja) | 半導体式ガスセンサー | |
| JPH02263145A (ja) | 半導体式ガスセンサ | |
| JPH01145561A (ja) | ガスセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 12 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024 Year of fee payment: 12 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 13 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024 Year of fee payment: 13 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024 Year of fee payment: 14 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101024 Year of fee payment: 14 |