JP2567988Y2 - 液体材料ガス化供給装置 - Google Patents
液体材料ガス化供給装置Info
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- JP2567988Y2 JP2567988Y2 JP1990067353U JP6735390U JP2567988Y2 JP 2567988 Y2 JP2567988 Y2 JP 2567988Y2 JP 1990067353 U JP1990067353 U JP 1990067353U JP 6735390 U JP6735390 U JP 6735390U JP 2567988 Y2 JP2567988 Y2 JP 2567988Y2
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- Japan
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- pressure
- liquid material
- bubbler tank
- carrier gas
- tank
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造装置の液体材料ガス化供給装置に
関し、特に蒸気圧が非常に低く、かつ反応性の高い液体
材料のガス化供給装置に関する。
関し、特に蒸気圧が非常に低く、かつ反応性の高い液体
材料のガス化供給装置に関する。
従来の液体材料ガス化供給装置は第２図に示すよう
に、液体材料を充填するバブラータンク９と、液体材料
を一定温度に保つ恒温槽10と、キャリアガスの流量を制
御するマスフローコントローラ１と、流量制御されたキ
ャリアガスの流れ方向を制御する自動弁2,3,4とを有し
ている。
に、液体材料を充填するバブラータンク９と、液体材料
を一定温度に保つ恒温槽10と、キャリアガスの流量を制
御するマスフローコントローラ１と、流量制御されたキ
ャリアガスの流れ方向を制御する自動弁2,3,4とを有し
ている。
次に、動作について説明する。まず、液体材料を充填
したバブラータンク９を手動弁6,7を介して接続し、恒
温槽10に装着し、一定温度に調温しながら手動弁6,7を
開く。次に半導体製造装置内をパージするため、マスフ
ローコントローラ１により流量制御されたキャリアガス
は、第２の自動弁３を開けて反応炉へ供給される（尚、
自動弁の白ぬきは通常開，黒ぬりは通常閉の動作をする
弁とする。）。次に、反応炉側で成長準備ができると、
第２の自動弁３は閉じられ、第１の自動弁2,第３の自動
弁４の順に開けられ、キャリアガスは第１の自動弁２を
経てバブラータンク９内に導入され、液体材料はバブリ
ングされることにより、その蒸気圧とキャリアガスのキ
ャリングによりガス化され、第３の自動弁４を経て反応
炉に供給される。
したバブラータンク９を手動弁6,7を介して接続し、恒
温槽10に装着し、一定温度に調温しながら手動弁6,7を
開く。次に半導体製造装置内をパージするため、マスフ
ローコントローラ１により流量制御されたキャリアガス
は、第２の自動弁３を開けて反応炉へ供給される（尚、
自動弁の白ぬきは通常開，黒ぬりは通常閉の動作をする
弁とする。）。次に、反応炉側で成長準備ができると、
第２の自動弁３は閉じられ、第１の自動弁2,第３の自動
弁４の順に開けられ、キャリアガスは第１の自動弁２を
経てバブラータンク９内に導入され、液体材料はバブリ
ングされることにより、その蒸気圧とキャリアガスのキ
ャリングによりガス化され、第３の自動弁４を経て反応
炉に供給される。
この従来の液体材料ガス化供給装置では、高反応性の
液体材料、特にアルミニウム，鉄，ニッケル，クロム等
々と強く反応する三塩化ヒ素，オキシ塩化リン等々の液
体材料は、鋼製のバブラータンク９が使用できず、石英
製のバブラータンク９の使用が強いられ、時として、キ
ャリアガスの高圧での供給、自動弁の誤操作などにより
石英製のバブラータンク９が破壊するという問題があっ
た。また、バブラータンク９の形状が円柱状であったた
め、液体材料の飽和蒸気圧がバブリング条件により不均
一になるという問題があった。
液体材料、特にアルミニウム，鉄，ニッケル，クロム等
々と強く反応する三塩化ヒ素，オキシ塩化リン等々の液
体材料は、鋼製のバブラータンク９が使用できず、石英
製のバブラータンク９の使用が強いられ、時として、キ
ャリアガスの高圧での供給、自動弁の誤操作などにより
石英製のバブラータンク９が破壊するという問題があっ
た。また、バブラータンク９の形状が円柱状であったた
め、液体材料の飽和蒸気圧がバブリング条件により不均
一になるという問題があった。
本考案の目的はバブラータンクの破損を防止して液体
材料を安全にガス化し供給することにより、従来の問題
点を解消した液体材料ガス化供給装置を提供することに
ある。
材料を安全にガス化し供給することにより、従来の問題
点を解消した液体材料ガス化供給装置を提供することに
ある。
前記目的を達成するため、本考案に係る液体材料ガス
化供給装置においては、バブラータンクと、マスフロー
コントローラと、エアバルブと、緊急排気弁と、圧力セ
ンサとを有し、液体材料をキャリアガスによりガス化さ
せ半導体製造装置に供給する液体材料ガス化供給装置で
あって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガス
を導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導
体製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させる
ものであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリ
アガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に
供給する系路と、半導体製造装置に直接供給する系路と
に選択的に切替えて供給させるものであり、 緊急排気弁は、バブラータンクの二次側に設けられ、
バブラータンク内の異常圧力を解放させるものであり、 圧力センサは、バブラータンクの一次側の圧力を監視
させ、設定値以上の場合に、エアバルブにバブラータン
クへのキャリアガスの供給停止指令を発し、かつ緊急排
気弁に圧力解放指令を発するものである。
化供給装置においては、バブラータンクと、マスフロー
コントローラと、エアバルブと、緊急排気弁と、圧力セ
ンサとを有し、液体材料をキャリアガスによりガス化さ
せ半導体製造装置に供給する液体材料ガス化供給装置で
あって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガス
を導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導
体製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させる
ものであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリ
アガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に
供給する系路と、半導体製造装置に直接供給する系路と
に選択的に切替えて供給させるものであり、 緊急排気弁は、バブラータンクの二次側に設けられ、
バブラータンク内の異常圧力を解放させるものであり、 圧力センサは、バブラータンクの一次側の圧力を監視
させ、設定値以上の場合に、エアバルブにバブラータン
クへのキャリアガスの供給停止指令を発し、かつ緊急排
気弁に圧力解放指令を発するものである。
また、本考案に係る液体材料ガス化供給装置において
は、バブラータンクと、マスフローコントローラと、エ
アバルブと、流量可変バルブと、圧力変換器と、圧力コ
ントローラとを有し、液体材料をキャリアガスによりガ
ス化させ半導体製造装置に供給する液体材料ガス化供給
装置であって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガス
を導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導
体製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させる
ものであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリ
アガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に
供給する系路と、半導体製造装置に直接供給する系路と
に選択的に切替えて供給させるものであり、 流量可変バルブは、エアバルブとバブラータンクとの
間でキャリアガス流量を調整してバブラータンク内圧を
コントロールさせるものであり、 圧力変換器は、バブラータンクの一次側の圧力をモニ
タリングさせるものであり、 圧力コントローラは、圧力変換器からの信号を入力と
して流量可変バルブをコントロールさせるものである。
は、バブラータンクと、マスフローコントローラと、エ
アバルブと、流量可変バルブと、圧力変換器と、圧力コ
ントローラとを有し、液体材料をキャリアガスによりガ
ス化させ半導体製造装置に供給する液体材料ガス化供給
装置であって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガス
を導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導
体製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させる
ものであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリ
アガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に
供給する系路と、半導体製造装置に直接供給する系路と
に選択的に切替えて供給させるものであり、 流量可変バルブは、エアバルブとバブラータンクとの
間でキャリアガス流量を調整してバブラータンク内圧を
コントロールさせるものであり、 圧力変換器は、バブラータンクの一次側の圧力をモニ
タリングさせるものであり、 圧力コントローラは、圧力変換器からの信号を入力と
して流量可変バルブをコントロールさせるものである。
また、本考案において、前記バブラータンクは、飽和
蒸気圧が加わるタンク上部及びキャリアガスの圧力が加
わる底部を球形としたものである 〔作用〕 本考案の液体材料ガス化供給装置は、キャリアガスを
バブラータンク９に供給する１次側の圧力を監視し、設
定値以上になったときに、バブラータンク内圧を低下さ
せてバブラータンクの破損を防止するものである。
蒸気圧が加わるタンク上部及びキャリアガスの圧力が加
わる底部を球形としたものである 〔作用〕 本考案の液体材料ガス化供給装置は、キャリアガスを
バブラータンク９に供給する１次側の圧力を監視し、設
定値以上になったときに、バブラータンク内圧を低下さ
せてバブラータンクの破損を防止するものである。
また、バブラータンク９の形状は飽和蒸気圧が形成さ
れるバブラータンクの上部及びキャリアガスの圧力が加
わる底部が球形とし、耐圧力性を向上させるものであ
る。
れるバブラータンクの上部及びキャリアガスの圧力が加
わる底部が球形とし、耐圧力性を向上させるものであ
る。
次に本考案について図面を参照して説明する。
（実施例１） 第１図は本考案の実施例１を示す液体材料のガス配管
系統図である。
系統図である。
図において、反応性が高く高純度が要求される液体材
料８は耐圧性及び蒸気圧の均一性を考慮した石英製の長
球型バブラータンク９に充填され、最適の蒸気圧を得ら
れるように液体材料を一定温度に保つ恒温槽10内に設置
される。また、バブラータンク９の形状は、飽和蒸気圧
が形成されるバブラータンクの上部及びキャリアガスの
圧力が加わる底部が球形になっている。ここに、第1,第
2,第３の自動弁2,3,4はマスフローコントローラ１から
のキャリアガスを、バブラータンク９を経由して半導体
製造装置（実施例では反応炉）に供給する系路と、半導
体製造装置に直接供給する系路とに選択的に切替えて供
給するエアバルブを構成する。液体材料８はキャリアガ
スをマスフローコントローラ１により流量制御され、第
１の自動弁２及び第１の手動弁６を経てバブラータンク
９中の液体材料８中をバブリングし、飽和蒸気圧のガス
化とし、反応炉に導入される。また、第１の自動弁２と
第３の自動弁４との間に第２の自動弁３が設けられ、第
３の自動弁４に第４の自動弁５及び第２の手動弁７が接
続されている。ここに、第４の自動弁５は緊急排気弁を
構成する。このとき、バブラータンク９に供給されるキ
ャリアガスの圧力を監視する圧力センサ11を設け、キャ
リアガスの供給圧が高く、バブラータンク９破損の恐れ
がある場合には、圧力センサ11が動作し、第４の自動弁
５が開き、バブラータンク９内の過剰圧力を解放し、第
１の自動弁２及び第３の自動弁４を閉じバブラータンク
９内へのキャリアガスの供給を停止させる。これによ
り、反応性が高い液体材料の漏洩等を防止し、かつ安全
にガス化供給できる効果がある。
料８は耐圧性及び蒸気圧の均一性を考慮した石英製の長
球型バブラータンク９に充填され、最適の蒸気圧を得ら
れるように液体材料を一定温度に保つ恒温槽10内に設置
される。また、バブラータンク９の形状は、飽和蒸気圧
が形成されるバブラータンクの上部及びキャリアガスの
圧力が加わる底部が球形になっている。ここに、第1,第
2,第３の自動弁2,3,4はマスフローコントローラ１から
のキャリアガスを、バブラータンク９を経由して半導体
製造装置（実施例では反応炉）に供給する系路と、半導
体製造装置に直接供給する系路とに選択的に切替えて供
給するエアバルブを構成する。液体材料８はキャリアガ
スをマスフローコントローラ１により流量制御され、第
１の自動弁２及び第１の手動弁６を経てバブラータンク
９中の液体材料８中をバブリングし、飽和蒸気圧のガス
化とし、反応炉に導入される。また、第１の自動弁２と
第３の自動弁４との間に第２の自動弁３が設けられ、第
３の自動弁４に第４の自動弁５及び第２の手動弁７が接
続されている。ここに、第４の自動弁５は緊急排気弁を
構成する。このとき、バブラータンク９に供給されるキ
ャリアガスの圧力を監視する圧力センサ11を設け、キャ
リアガスの供給圧が高く、バブラータンク９破損の恐れ
がある場合には、圧力センサ11が動作し、第４の自動弁
５が開き、バブラータンク９内の過剰圧力を解放し、第
１の自動弁２及び第３の自動弁４を閉じバブラータンク
９内へのキャリアガスの供給を停止させる。これによ
り、反応性が高い液体材料の漏洩等を防止し、かつ安全
にガス化供給できる効果がある。
（実施例２） 第３図は本考案の実施例２を示す液体材料のガス化供
給配管系統図である。本実施例では、特にバブラータン
ク９に供給するキャリアガスをマスフローコントローラ
１で流量を制御し、かつバブラータンク９の１次圧の供
給圧力を圧力変換器12でモニタリングし、圧力コントロ
ーラ13は圧力変換器12の出力に基づいて所定圧力コント
ロールで流量可変バルブ14を微調整して流量を変化させ
てバブラータンク９内への供給圧力をコントロールし、
バブラータンク９内でのバブリング状態を常に一定に保
ち、反応炉には液体材料が一定濃度のガス化した状態で
供給される効果がある。
給配管系統図である。本実施例では、特にバブラータン
ク９に供給するキャリアガスをマスフローコントローラ
１で流量を制御し、かつバブラータンク９の１次圧の供
給圧力を圧力変換器12でモニタリングし、圧力コントロ
ーラ13は圧力変換器12の出力に基づいて所定圧力コント
ロールで流量可変バルブ14を微調整して流量を変化させ
てバブラータンク９内への供給圧力をコントロールし、
バブラータンク９内でのバブリング状態を常に一定に保
ち、反応炉には液体材料が一定濃度のガス化した状態で
供給される効果がある。
以上説明したように本考案は、液体材料をバブリング
するキャリアガスのバブリングタンク１次圧を監視し、
バブラータンク内圧をコントロールすることにより、高
い反応性の液体材料を充填したバブラータンクの破損を
防止し、液体材料を安全にガス化し、供給できるという
効果を有する。さらに、バブラータンクの上部，底部を
球形とすることにより、耐圧力性を向上できるという効
果を有する。
するキャリアガスのバブリングタンク１次圧を監視し、
バブラータンク内圧をコントロールすることにより、高
い反応性の液体材料を充填したバブラータンクの破損を
防止し、液体材料を安全にガス化し、供給できるという
効果を有する。さらに、バブラータンクの上部，底部を
球形とすることにより、耐圧力性を向上できるという効
果を有する。
第１図は本考案の実施例１を示す液体材料ガス化供給の
配管系統図、第２図は従来の配管系統図、第３図は実施
例２を示す配管系統図である。 １……マスフローコントローラ、２……第１の自動弁 ３……第２の自動弁、４……第３の自動弁 ５……第４の自動弁（緊急排気弁） ６……第１の手動弁、７……第２の手動弁 ８……液体材料、９……バブラータンク 10……恒温槽、11……圧力センサ 12……圧力変換器、13……圧力コントローラ 14……流量可変バルブ
配管系統図、第２図は従来の配管系統図、第３図は実施
例２を示す配管系統図である。 １……マスフローコントローラ、２……第１の自動弁 ３……第２の自動弁、４……第３の自動弁 ５……第４の自動弁（緊急排気弁） ６……第１の手動弁、７……第２の手動弁 ８……液体材料、９……バブラータンク 10……恒温槽、11……圧力センサ 12……圧力変換器、13……圧力コントローラ 14……流量可変バルブ
Claims (3)
- 【請求項１】バブラータンクと、マスフローコントロー
ラと、エアバルブと、緊急排気弁と、圧力センサとを有
し、液体材料をキャリアガスによりガス化させ半導体製
造装置に供給する液体材料ガス化装置であって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガスを
導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導体
製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させるも
のであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリア
ガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に供
給する系路と、半導体装置に直接供給する系路とに選択
的に切替えて供給させるものであり、 緊急排気弁は、バブラータンクの二次側に設けられ、バ
ブラータンク内の異常圧力を解放させるものであり、 圧力センサは、バブラータンクの一次側の圧力を監視さ
せ、設定値以上の場合に、エアバルブにバブラータンク
へのキャリアガスの供給停止指令を発し、かつ緊急排気
弁に圧力解放指令を発するものであることを特徴とする
液体材料ガス化供給装置。 - 【請求項２】バブラータンクと、マスフローコントロー
ラと、エアバルブと、流量可変バルブと、圧力変換器
と、圧力コントローラとを有し、液体材料をキャリアガ
スによりガス化させ半導体製造装置に供給する液体材料
ガス化装置であって、 バブラータンクは、充填した液体材料にキャリアガスを
導入して液体材料をガス化させるものであり、 マスフローコントローラは、バブラータンク及び半導体
製造装置に供給するキャリアガスの流量を制御させるも
のであり、 エアバルブは、マスフローコントローラからのキャリア
ガスを、バブラータンクを経由して半導体製造装置に供
給する系路と、半導体装置に直接供給する系路とに選択
的に切替えて供給させるものであり、 流量可変バルブは、エアバルブとバブラータンクとの間
でキャリアガス流量を調整してバブラータンク内圧をコ
ントロールさせるものであり、 圧力変換器は、バブラータンクの一次側の圧力をモニタ
リングさせるものであり、 圧力コントローラは、圧力変換器からの信号を入力とし
て流量可変バルブをコントロールさせるものであること
を特徴とする液体材料ガス化供給装置。 - 【請求項３】前記バブラータンクは、飽和蒸気圧が加わ
るタンク上部及びキャリアガスの圧力が加わる底部を球
形としたものであることを特徴とする請求項第（１）
項、第（２）項記載の液体材料ガス化供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067353U JP2567988Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 液体材料ガス化供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990067353U JP2567988Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 液体材料ガス化供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0426527U JPH0426527U (ja) | 1992-03-03 |
| JP2567988Y2 true JP2567988Y2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=31600852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990067353U Expired - Lifetime JP2567988Y2 (ja) | 1990-06-26 | 1990-06-26 | 液体材料ガス化供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567988Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003220326A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-08-05 | Nippon Soda Co Ltd | 物質投入管理方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3175862D1 (en) * | 1980-05-20 | 1987-02-26 | Schumacher Co J C | Chemical vapor delivery system and method for controlling the flow of vapor in a chemical vapor delivery system |
| JPS63182816A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 気相成長法による半導体製造装置 |
-
1990
- 1990-06-26 JP JP1990067353U patent/JP2567988Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003220326A (ja) * | 2002-01-29 | 2003-08-05 | Nippon Soda Co Ltd | 物質投入管理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426527U (ja) | 1992-03-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |