JP2564676B2 - 電子光学用組成物 - Google Patents

電子光学用組成物

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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、特殊な組成の電気光学用組成物に関する。
更に、詳しくは、電気光学効果を有する材料の新規な組
成物に関する。
[従来の技術] 典型的な圧電材料であるPLZT系セラミックス(鉛の一
部をランタンで置換したPZT組成物(Pb1-XLaX)(ZrYTi
Z1-x/4O3)においては、緻密に焼成することにより、
透明な電気光学材料となることがよく知られており、L
a,Zr,Tiの組成割合を制御することにより一次の電気光
学係数及び二次の電気光学係数の大きな材料が得られ、
その大きな電気光学効果を利用し、ディスプレイ、光メ
モリ、光シャッタ等への応用がなされている[G.H.haer
ting and C.E.Land,J.Amer.Ceram.Soc.,54,1(1971)参
照]。然し乍ら、PLZT系セラミックスは、靭性が小さ
く、壊れ易いという欠点がある。
また、PLZT系セラミックスでは、 (Pb1-XLaX)(ZrYTiZ1-x/4O3と記述される組成にお
いて、X/Y/Zの割合が、9/65/35のとき、後記の電気光学
定数Rは、 9.12×10-16(m2/V2)であり、 10/65/35のときは、 R=1.07×10-16(m2/V2)であり、 X、Y、Zが11/65/35のときは、 R=0.60×10-16(m2/V2)である。
一方、PMN(マグネシウムニオブ酸鉛)系セラミック
スは、電歪により変位を発生させ、これを利用するアク
チュエータとして、よく使用されている。そして、靭性
が大きく、壊れ難い点が注目される[K.Uchino,S.Nomur
a,L.E.Cross,R.E.Newnham and S.J.Jang;J.Mater.Sci.,
16,569(1981)を参照]。
[発明が解決しようとする問題点] 本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものである。
即ち、PLZTは機械的特性が低く、電気光学素子として駆
動されるときにも、PLZT自体が電歪性を有するので、電
界を印加すると、弾性的変形をおこし、スイッチングな
どの信号電圧を繰り返し印加すると、素子の変形が繰り
返されることになり、素子が疲労して破壊するという問
題があった。従って、本発明では、より高い耐久性、破
壊靭性を有する電気光学用材料を提供することを目的と
する。また、従来の電気光学セラミックス材料は、緻密
化するのに、ホットプレス、HIP処理などの手法により
緻密化し、透明なセラミックスを得る必要があった。こ
の方法を改良利用し、より大きな二次電気光学効果を有
する所望の電気光学材料が得られることを明らかにしよ
うとする。
そこで、本発明者らは、従来のPLZTの材料に見られる
ような欠点を改良し、即ち、破壊靭性が高く、且つPLZT
と同等の二次光学係数を有する電気光学用組成物(PMN
−PT系)を提供することを目的とする。即ち、本発明
は、靭性の元来大きな電歪材料であるPMN(マグネシウ
ムニオブ酸鉛)系セラミックスを透明化して得られた、
電気光学効果を有する新規な組成物を提供することを目
的とする。更に、本発明は、従来の方法に比べ、より作
成容易で安価な製造方法で製造できるセラミックス材料
を提供することを目的とする。
本明細書において、電気光学効果とは、電圧を印加す
ると複屈折が変化する現象であり、 複屈折△nは、 △n=−(1/2)n3RE2 ……(1) (但し、Eは印加電界であり、nは試料の屈折率であ
る)、この複屈折の変化と印加電界の関係式において、
定数Rを二次電気光学定数と称する。
電気光学素子材料としては、Rは大きいほど、低い電
界で複屈折を大きく変化させることができ、低い電圧で
光の変調を行なうことができるため、利用価値が大き
い。電気光学用組成物は、この電気光学効果を有する材
料であり、定数Rが大きいものが好適である。
[問題点を解決するための手段] ここに、本発明の要旨とするものは、一般式:(1−
x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−xPbTiO3 (0.05≦x≦0.40)で表わされる組成範囲で電気光学用
透光性磁器組成物である。
本発明に利用するPMN(マグネシウムニオブ酸鉛)系
組成物は、代表的強誘電体であり、大きな電歪効果を有
する材料であるので、本発明者らは、そのPMN(マグネ
シウムニオブ酸鉛)系の相状態図及び物性を詳しく研究
した。
PMN(マグネシウムニオブ酸鉛)系セラミックスはよ
く知られているように、大きな電歪効果を有する材料で
あり、アクチュエータ材料として開発された、特徴的
に、大きな靭性を有する材料である。
このPMN材料を透明化するために、チタン酸鉛(PTと
称する)との固溶体を研究して、その適切な組成範囲を
定めたものである。
本発明の新規な電気光学用組成物は、一般式:(1−
x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−xPbTiO3 (0.05≦x≦0.40)で表わされる組成範囲であり、マグ
ネシウムニオブ酸鉛と、チタン酸鉛の固溶体である。
従って、出発物質としては、各々の構成元素の酸化
物、炭酸塩、硫酸塩などの無機酸塩、水酸化物、アルコ
キシド化合物、有機金属化合物や複合酸化物原料が用い
られる。本発明の電気光学用組成物の構成成分は、粉体
原料を適宜混合した後、普通焼成し、粉砕して仮焼粉末
とし、電気光学用焼結体の原料粉とする。次に、このよ
うにして、得られた仮焼原料粉末を本焼成して、本発明
の電気光学焼結体とすることができる。
本焼成の一つの方法として、得られた仮焼粉末原料を
ホットプレス処理することにより、所望のセラミックス
が製造される。そのためのホットプレス処理温度、印加
圧力などは、使用原料の組成、粒径などによって適宜選
択、決定できる。或いは、湿式法等で作製された微粉原
料を使用する場合には、ホットプレスを用いない常圧焼
成でも、透明性セラミックスを得ることができる。
この本焼成処理のために、マグネシア製のサヤ匣鉢に
入れて、鉛の蒸発損失を考慮しながら、雰囲気制御し
て、焼成を行なうことができる。
従って、本発明の組成物は、電気光学用透明セラミッ
クスとして、種々の電気光学デバイスへの応用に、特に
好適である。
次に、本発明の電気光学用組成物とそれにより得られ
る特性を測定した結果について説明するが、本発明は、
次の実施例に限定されるものではない。
[実施例] 出発原料は、組成物を構成する材料として、MgCO3、P
bO、TiO2、Nb2O3の各粉末を使用した。先ず、MgCO3、Ti
O2、Nb2O3の各粉末を秤量し、1000℃で仮焼した後、秤
量したPbO粉末と混合した。このようにして、 (1−x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3−xPbTiO3の式におい
て、xが、0、0.05、0.1、0.2、0.3、0.4及び0.5にな
るようにし、混合した。得られた混合粉末を乾燥した
後、850℃で10時間仮焼した後、湿式ボールミル粉砕
し、乾燥した後、更に、900℃で10時間焼成する2段階
仮焼法で仮焼した。
仮焼した原料粉末を、620kgf/cm2の圧力でコールドプ
レスで予備成形し、更に、1200℃で2時間、プレス圧20
0kgf/cm2で、酸素雰囲気中でホットプレス処理を行なっ
た。
次に、得られた試料をX線回折法により、観察する
と、xが0.05、0.1、0.2及び0.4の試料で、その結晶相
は、擬立方晶を有することが分かった。
結晶相が擬立方晶になり、光学的に等方的になること
により、光の透過率は増加する。
次に、以上のようにして得た試料の透過率を測定した
ところ、x=0からx=0.4までの組成で、試料は5%
以上の光透過率を示し、x=0.1付近で光透過率25%と
なり、最も大きいことが分かった。
x=0.1で厚み0.52mmの試料を光学研磨して、透光性
を観察した結果を第1図に示す。
次に、以上の範囲の組成の試料について電気光学定数
を、次の測定方法で測定した。即ち、電気光学定数の測
定は、互いに直交した偏光板の間に、電極を形成した試
料を設置し、電界を印加した電気光学材料に直線偏光を
入射させたとき、2枚の偏光板に挾まれた試料を通して
透過してくる透過光量を、印加した電界を変化させなが
ら、測定することにより、求める。その測定装置の概略
を第2図に示す。
即ち、光源として、He−Neレーザ1を用いて、互いに
偏光方向が90度を成すように(直交させるように)クロ
スニコルに配置した偏光板2、4の間に入れた本発明の
電気光学用組成物による試料3の互いに平行な両電極9
の間に、電界の方向が2枚の偏光板の偏光方向に互いに
45゜を成すように、電圧をかけると、偏光板2から入射
した偏光光は、電極間に電圧を印加することにより試料
に生じた複屈折により、透過光のリターデーションが増
加するため、クロスニコルに置かれた偏光板4を出射す
る透過光の透過光強度が変化する。その透過光強度を光
検出器5で検出し、光強度に対応した検知器の出力電圧
をメーター7で読み取り、コンピュータ8に入力する。
一方、試料3に電源6からリード10により、印加される
印加電圧もコンピュータ8に入力し、各々を計測し、第
3図のような印加電圧と透過光量を示すグラフを得るこ
とができる。
本発明による試料を作成し、以上のような測定装置に
より、印加電圧とそれによる透過光量を測定した。この
ときの試料寸法は、電極間距離1.77mm、光路長0.44mmで
ある。
第3図のグラフは、縦軸に光量を取り、横軸に印加電
圧を取り、上記のように、コンピュータ8で測定、記録
したものである。
第3図に示される透過光量Iは、次のように表わされ
る。
I=I0sin2(Γπ/λ) ……(2) ここで、I0は入射光量であり、λは波長であり、Γは
リターデーションである。
(2)式において、リターデーションΓが増大して、
第1番目の極大値を与えるのは Γ・π/λ=π/2 ……(3) の場合であり Γ=λ/2 ……(4) である。
一方、Γ(リターデーション)は試料の電界印加によ
る入射偏光の位相の遅れにあたり、前記のように、光路
方向の試料厚さlと複屈折△nの積で表わされる。
即ち、Γ=△n・l ……(5) (4)、(5)式より △n=λ/2l ……(6) 一方、二次電気光学効果では、複屈折△nは、印加電
界Eとの間に、(1)式の △n=−(1/2)n3RE2 ……(1) の関係がある。
従って、2次電気光学係数Rは、 R=−λ/ln3E2 ……(7) と表わされ、測定光の波長λ、試料の厚さ(光路長)
l、屈折率n、印加電界Eにより与えられる。
第3図のグラフから(7)式により求めた電気光学定
数Rは、R=6.7×10-16(m2/V2)となった。同様に、
x=0.05の組成物では、R=5.2×10-16(m2/V2)であ
り、x=0.2では、R=10×10-16(m2/V2)となって、P
LZT系に匹敵する値が得られた。
次に、上記の試料結晶について、靭性強度を測定し
た。靭性強度の測定方法は、[微小圧子圧入破壊法(新
原晧一、セラミックス,20,12(1985)参照)]によ
り、マイクロビッカース硬度計を用いて、ビッカース圧
痕の対角線の延長上に発生する4個のクラックから靭性
を評価する。
第1表は、以上のようにして測定した透過率、電気光
学定数、靭性KIC値を、各組成の試料に対して、各々示
し、同時に、比較のために、従来の電気光学用組成物PL
ZTについても測定した結果を示す。
本発明の電気光学用組成物について、0.05≦x≦0.40
において、5%以上の光透過率を示し、x=0.1付近で
光透過率25%となり、最も大きく、充分に実用になるこ
とが分かる。x=0.4を越えると結晶系が、擬立方晶系
から正方晶系になるため、光の透過率が5%以下に減少
するため、実用が困難になる点が多くなる。
電気光学定数については、x=0.05〜0.2の組成の範
囲の組成物で、2次光学定数が、PLZT並み、若しくはそ
れ以上であり、更に、破壊靭性強度についても、本発明
による組成X=0.05〜0.2の組成物のKICは、PLZTのKIC
の1.7〜2倍もの高い値を示している。
即ち、PLZT系の材料で、破壊靭性を示すKICは、1.0×
106MN/m3/2であるのに対し、本発明によるPMN−PT系組
成物では、KICは、PLZTのKICの2倍以上を示している。
このように、PMNにPTを、5mol%〜40mol%(即ちx=
0.05〜0.4)固溶させることにより、PLZTに比べ、破壊
靭性が高く、同等の電気光学特性を有する透光性のある
組成物を得ることができた。
[発明の効果] 本発明の電気光学用組成物は、次のような顕著な技術
的な効果が得られるものである。
第1に、以上の説明で明らかなように、PLZTの電気光
学効果に匹敵する特性を有し、且つ、靭性の高く、透明
性のある、電気光学効果を有する新規なセラミックス材
料を提供できる。
第2に、このために、高い周波数の信号電圧で駆動し
ても、破損し難い、即ち耐久性の高い電気光学素子を提
供する。
第3に、従って、高周波での信号処理にも使用可能
で、性能が大幅に向上し、より安価な電気光学素子材料
を提供する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の新規な電気光学用材料の研磨板の透
過状態にあるときの結晶構造を示す写真である。 第2図は、電気光学効果を測定するための測定装置の概
念図である。 第3図は、本発明の電気光学用材料について、それに対
する印加電圧と光量を測定した結果をグラフに表わした
ものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 疋田 和康 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三菱鉱業セメント株式会社セラミックス 研究所内 (72)発明者 尾野 幹也 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三菱鉱業セメント株式会社セラミックス 研究所内 (56)参考文献 特開 昭55−51758(JP,A) 特開 昭55−121959(JP,A) 特開 昭55−60069(JP,A) 特開 昭55−121958(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式:(1−x)Pb(Mg1/3Nb2/3)O3
    xPbTiO3(0.05≦x≦0.40) で表わされる組成範囲の電気光学用透光性磁器組成物。
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