JP2561510Y2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JP2561510Y2 JP2561510Y2 JP8197U JP8197U JP2561510Y2 JP 2561510 Y2 JP2561510 Y2 JP 2561510Y2 JP 8197 U JP8197 U JP 8197U JP 8197 U JP8197 U JP 8197U JP 2561510 Y2 JP2561510 Y2 JP 2561510Y2
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- Japan
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- gas
- gas pressure
- pressure
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- laser
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Description
【０００１】
【考案の属する技術分野】本考案は、ガスを容器内に封
じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガ
スレーザ装置に関するものである。
じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガ
スレーザ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のガスレーザ装置、例えば、エキシ
マレーザ装置では、ハロゲンガスを含む混合ガスを密閉
容器内に大気圧よりかなり高い圧力（約２ｋｇ／ｃｍ2
ｃｄｓ）で封入し、これを励起して発振を行う。このと
き、ハロゲンガスは人体に対して有害であるため、この
取扱いは慎重に行わなければならず、容器に漏れがない
かしっかり確認しなければならない。ところが製造当初
は漏れのない装置でもＯリング等のシール部材の劣化や
継手のゆるみ等で長い時間のあいだにガス漏れが生じる
ことがある。
マレーザ装置では、ハロゲンガスを含む混合ガスを密閉
容器内に大気圧よりかなり高い圧力（約２ｋｇ／ｃｍ2
ｃｄｓ）で封入し、これを励起して発振を行う。このと
き、ハロゲンガスは人体に対して有害であるため、この
取扱いは慎重に行わなければならず、容器に漏れがない
かしっかり確認しなければならない。ところが製造当初
は漏れのない装置でもＯリング等のシール部材の劣化や
継手のゆるみ等で長い時間のあいだにガス漏れが生じる
ことがある。
【０００３】従来このガス漏れの検知にはＨｅリークデ
テクタ、ハロゲンセンサを使用したり匂いをかぐかして
いる。
テクタ、ハロゲンセンサを使用したり匂いをかぐかして
いる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】しかしなから、Ｈｅリ
ークデテクタは操作が面倒であり、工場等に備付けられ
た装置に対して日常点検を行うのには不向きである。ま
たハロゲンセンサは感度が悪く、感知した頃には空気中
のハロゲンガスの濃度がかなり高いレベルに達してお
り、信頼性が低い。また、匂いに関しては、感度は良い
が、作業者が常にレーザ装置についていなければならな
いので、産業用としてはものにならない。
ークデテクタは操作が面倒であり、工場等に備付けられ
た装置に対して日常点検を行うのには不向きである。ま
たハロゲンセンサは感度が悪く、感知した頃には空気中
のハロゲンガスの濃度がかなり高いレベルに達してお
り、信頼性が低い。また、匂いに関しては、感度は良い
が、作業者が常にレーザ装置についていなければならな
いので、産業用としてはものにならない。
【０００５】本考案は上記のことにかんがみなされたも
ので、簡単な手段によりガス漏れを検知及び警告を発す
ることができ、レーザの発振出力低下の防止と、ガスが
人体及び他の機材に及ぼす悪影響をなくすことができる
と共に、容器内のガス圧値が異常域に近付いているか否
か等、ガス圧の変動状況まで把握でき、また、検知され
る各ガス圧を基準温度に換算された正確な値として得る
ことができるようにしたガスレーザ装置を提供すること
を目的とするものである。
ので、簡単な手段によりガス漏れを検知及び警告を発す
ることができ、レーザの発振出力低下の防止と、ガスが
人体及び他の機材に及ぼす悪影響をなくすことができる
と共に、容器内のガス圧値が異常域に近付いているか否
か等、ガス圧の変動状況まで把握でき、また、検知され
る各ガス圧を基準温度に換算された正確な値として得る
ことができるようにしたガスレーザ装置を提供すること
を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本考案に係るガスレーザ装置は、ガスを容器内に封
じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガ
スレーザ装置において、ガス圧モニタ手段にてモニタし
た容器内のガス圧力をレーザ用コントローラのガス圧記
憶用外部メモリに退避し、このガス圧記憶用外部メモリ
に退避したガス圧とその後にモニタした容器内の圧力と
を順次比較することによってガス漏れを検知するガス漏
れ検知装置を備え、このガス漏れ検知装置が、ガスレー
ザ装置の電源を切る前のガス圧力をガス圧記憶用外部メ
モリへ退避し、つぎに電源を入れたときのガス圧力と比
較してガス漏れを検知できるガス漏れ検知装置である構
成となっている。
に、本考案に係るガスレーザ装置は、ガスを容器内に封
じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガ
スレーザ装置において、ガス圧モニタ手段にてモニタし
た容器内のガス圧力をレーザ用コントローラのガス圧記
憶用外部メモリに退避し、このガス圧記憶用外部メモリ
に退避したガス圧とその後にモニタした容器内の圧力と
を順次比較することによってガス漏れを検知するガス漏
れ検知装置を備え、このガス漏れ検知装置が、ガスレー
ザ装置の電源を切る前のガス圧力をガス圧記憶用外部メ
モリへ退避し、つぎに電源を入れたときのガス圧力と比
較してガス漏れを検知できるガス漏れ検知装置である構
成となっている。
【０００７】また、上記ガスレーザ装置において、ガス
圧力を測定するときに、これと同時にガス温度を測定
し、常に基準温度におけるガス圧として換算し、記憶し
た値と、現在の値とを比較するようにした構成にした。
圧力を測定するときに、これと同時にガス温度を測定
し、常に基準温度におけるガス圧として換算し、記憶し
た値と、現在の値とを比較するようにした構成にした。
【０００８】
【作 用】先にモニタされたガスレーザ装置の容器内
のガス圧値と、後に検出される容器内のガス圧値との比
較が順次続けられ、その比較結果により容器内のガス漏
れが検出される。そしてこのときの比較は電源を入れる
たびに行われ、長時間のレーザ休止状態の前後の圧力を
比較して、このレーザ休止状態での容器内のガス漏れが
検出される。そして上記ガス漏れのチェックが基準温度
のガス圧に換算されてなされる。
のガス圧値と、後に検出される容器内のガス圧値との比
較が順次続けられ、その比較結果により容器内のガス漏
れが検出される。そしてこのときの比較は電源を入れる
たびに行われ、長時間のレーザ休止状態の前後の圧力を
比較して、このレーザ休止状態での容器内のガス漏れが
検出される。そして上記ガス漏れのチェックが基準温度
のガス圧に換算されてなされる。
【０００９】
【実 施 例】本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。図中１は容器、２はガスボンベ、３は排気ポンプ、
４はこれらを接続するパイプに介装するバルブである。
５は容器１に接続した圧力センサ、６は圧力センサ用コ
ントローラ、７はレーザ用コントローラである。上記圧
力センサ５は容器１内の圧力を常時モニターし、長時間
のレーザ休止長時間の前後の圧力をこの圧力センサ用コ
ントローラ６で比較することによって容器１のガス漏れ
をチェックできるようになっている。８は上記レーザ用
コントローラ７に接続したガス圧記憶用外部メモリであ
る。
る。図中１は容器、２はガスボンベ、３は排気ポンプ、
４はこれらを接続するパイプに介装するバルブである。
５は容器１に接続した圧力センサ、６は圧力センサ用コ
ントローラ、７はレーザ用コントローラである。上記圧
力センサ５は容器１内の圧力を常時モニターし、長時間
のレーザ休止長時間の前後の圧力をこの圧力センサ用コ
ントローラ６で比較することによって容器１のガス漏れ
をチェックできるようになっている。８は上記レーザ用
コントローラ７に接続したガス圧記憶用外部メモリであ
る。
【００１０】この構成での作用は第２図に示すようにな
る。第２図において、漏れチェックの開始は、例えば、
レーザ用コントローラ７からボタンを押すことによって
行うこともできる。この場合、その途中でレーザ発振を
行うことになればフッ素の減少などによって圧力が低下
してしまうため正確なチェックができないので、レーザ
用コントローラ７がチェックの前後でレーザになにが起
こったかを正確に把握する必要がある。このことから、
レーザ発振の終了を漏れチェックの開始とすることがで
きる。そしてこのとき、レーザ装置の電源を切る前の圧
力をガス圧記憶用外部メモリ８へ退避し、このガス圧と
電源を入れたときのモニター値と比較することで漏れチ
ェックができる。この場合の作用は第３図に示すように
なる。なを、ガス圧記憶用外部メモリ８へガス圧力を退
避することにより、レーザ用コントローラ７の電源を切
ってもガス圧が記憶されている。このとき、上記ガス圧
記憶用外部メモリ８に退避されたガス圧とその後のモニ
ター値との比較は電源を入れるたびに順次行われる。
る。第２図において、漏れチェックの開始は、例えば、
レーザ用コントローラ７からボタンを押すことによって
行うこともできる。この場合、その途中でレーザ発振を
行うことになればフッ素の減少などによって圧力が低下
してしまうため正確なチェックができないので、レーザ
用コントローラ７がチェックの前後でレーザになにが起
こったかを正確に把握する必要がある。このことから、
レーザ発振の終了を漏れチェックの開始とすることがで
きる。そしてこのとき、レーザ装置の電源を切る前の圧
力をガス圧記憶用外部メモリ８へ退避し、このガス圧と
電源を入れたときのモニター値と比較することで漏れチ
ェックができる。この場合の作用は第３図に示すように
なる。なを、ガス圧記憶用外部メモリ８へガス圧力を退
避することにより、レーザ用コントローラ７の電源を切
ってもガス圧が記憶されている。このとき、上記ガス圧
記憶用外部メモリ８に退避されたガス圧とその後のモニ
ター値との比較は電源を入れるたびに順次行われる。
【００１１】また、ガスの圧力はその絶対圧力に比例す
るため、例えば、ガス圧記憶用外部メモリ８への記憶時
のガス温度が現在のガス温度よりも高かったならば、ガ
ス圧は下がってしまう。そのために漏れてもいないのに
ガスもれ警報を出すこともある。また、その逆に漏れて
いるのに温度上昇によってそれを検出できないこともあ
る。
るため、例えば、ガス圧記憶用外部メモリ８への記憶時
のガス温度が現在のガス温度よりも高かったならば、ガ
ス圧は下がってしまう。そのために漏れてもいないのに
ガスもれ警報を出すこともある。また、その逆に漏れて
いるのに温度上昇によってそれを検出できないこともあ
る。
【００１２】そのために、ガスの圧力を測定すると同時
にそのガスの温度を測定し、ある基準温度（例えば０
度）における圧力に換算し、この換算値を比較して漏れ
の検知を行うことが考えられる。この場合の作用は第４
図に示すようになる。
にそのガスの温度を測定し、ある基準温度（例えば０
度）における圧力に換算し、この換算値を比較して漏れ
の検知を行うことが考えられる。この場合の作用は第４
図に示すようになる。
【００１３】
【考案の効果】本考案によれば、簡単な手段によりガス
装置の容器内でガス漏れを検知できて、レーザの発振出
力低下の防止と、ガスが人体及び他の機材に及ぼす悪影
響をなくすことができると共に、容器内の経時的なガス
圧変動を電源を入れるたびに逐次追跡でき、ガス圧値が
異常域に近付いているか否か等、ガス圧の変動状況まで
把握できる。
装置の容器内でガス漏れを検知できて、レーザの発振出
力低下の防止と、ガスが人体及び他の機材に及ぼす悪影
響をなくすことができると共に、容器内の経時的なガス
圧変動を電源を入れるたびに逐次追跡でき、ガス圧値が
異常域に近付いているか否か等、ガス圧の変動状況まで
把握できる。
【００１４】また、本考案によれば、上記のようにして
検知される各ガス圧は基準温度に換算された正確な値と
して得ることができる。
検知される各ガス圧は基準温度に換算された正確な値と
して得ることができる。
【図１】本考案の実施例を示す構成説明図である。
【図２】作用を示すフローチャートである。
【図３】作用を示すフローチャートである。
【図４】作用を示すフローチャートである。
１…容器、２…ボンベ、３…排気ポンプ、４…バルブ、
５…圧力センサ、６…圧力センサ用コントローラ、７…
レーザー用コントローラ、８…ガス圧記憶用外部メモ
リ。
５…圧力センサ、６…圧力センサ用コントローラ、７…
レーザー用コントローラ、８…ガス圧記憶用外部メモ
リ。
Claims (2)
- 【請求項１】 ガスを容器内に封じこめ、この容器内で
レーザ発振を起こさせる形式のガスレーザ装置におい
て、ガス圧モニタ手段にてモニタした容器内のガス圧力
をレーザ用コントローラのガス圧記憶用外部メモリに退
避し、このガス圧記憶用外部メモリに退避したガス圧と
その後にモニタした容器内の圧力とを順次比較すること
によってガス漏れを検知するガス漏れ検知装置を備え、
このガス漏れ検知装置が、ガスレーザ装置の電源を切る
前のガス圧力をガス圧記憶用外部メモリへ退避し、つぎ
に電源を入れたときのガス圧力と比較してガス漏れを検
知できるガス漏れ検知装置であることを特徴とするガス
レーザ装置。 - 【請求項２】 ガス圧力を測定するときに、これと同時
にガス温度を測定し、常に基準温度におけるガス圧とし
て換算し、記憶した値と、現在の値とを比較するように
したことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8197U JP2561510Y2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8197U JP2561510Y2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09405U JPH09405U (ja) | 1997-07-15 |
| JP2561510Y2 true JP2561510Y2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=11464211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8197U Expired - Lifetime JP2561510Y2 (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561510Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014003158A1 (de) | 2013-03-05 | 2014-09-11 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit Abschätzung der hermetischen Abdichtung einer Lasergas- kammer |
| US11239625B2 (en) | 2016-05-09 | 2022-02-01 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus including gas supply device and exhausting device |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5829311B1 (ja) | 2014-06-18 | 2015-12-09 | ファナック株式会社 | ガス容器の密閉性を推定可能なガスレーザ発振器 |
| DE102015223020A1 (de) * | 2015-11-23 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Leckageüberwachung eines Brennstoffzellensystems |
| WO2017158694A1 (ja) | 2016-03-14 | 2017-09-21 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及び極端紫外光生成システム |
-
1997
- 1997-01-13 JP JP8197U patent/JP2561510Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102014003158A1 (de) | 2013-03-05 | 2014-09-11 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit Abschätzung der hermetischen Abdichtung einer Lasergas- kammer |
| US11239625B2 (en) | 2016-05-09 | 2022-02-01 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus including gas supply device and exhausting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09405U (ja) | 1997-07-15 |
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