JPH09405U

JPH09405U - ガスレーザ装置

Info

Publication number: JPH09405U
Application number: JP8197U
Authority: JP
Inventors: 清伯松野; 芳穂天田
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1997-01-13
Filing date: 1997-01-13
Publication date: 1997-07-15
Anticipated expiration: 2004-05-02
Also published as: JP2561510Y2

Abstract

(57)【要約】【課題】容器内の経時的なガス圧変動を電源を入れる
たびに逐次追跡でき、ガス圧の変動状況を把握できるよ
うにする。【解決手段】ガスを容器内に封じこめ、この容器内で
レーザ発振を起こさせる形式のガスレーザ装置におい
て、ガス圧モニタ手段にてモニタした容器内のガス圧力
をレーザ用コントローラのガス圧記憶用外部メモリに退
避し、このガス圧記憶用外部メモリに退避したガス圧と
その後にモニタした容器内の圧力とを順次比較すること
によってガス漏れを検知するガス漏れ検知装置を備え、
このガス漏れ検知装置が、ガスレーザ装置の電源を切る
前のガス圧力をガス圧記憶用外部メモリへ退避し、つぎ
に電源を入れたときのガス圧力と比較してガス漏れを検
知できるガス漏れ検知装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、ガスを容器内に封じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガスレーザ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のガスレーザ装置、例えば、エキシマレーザ装置では、ハロゲンガスを含む混合ガスを密閉容器内に大気圧よりかなり高い圧力（約２ｋｇ／ｃｍ²ｃｄｓ）で封入し、これを励起して発振を行う。このとき、ハロゲンガスは人体に対して有害であるため、この取扱いは慎重に行わなければならず、容器に漏れがないかしっかり確認しなければならない。ところが製造当初は漏れのない装置でもＯリング等のシール部材の劣化や継手のゆるみ等で長い時間のあいだにガス漏れが生じることがある。

【０００３】従来このガス漏れの検知にはＨｅリークデテクタ、ハロゲンセンサを使用したり匂いをかぐかしている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしなから、Ｈｅリークデテクタは操作が面倒であり、工場等に備付けられた装置に対して日常点検を行うのには不向きである。またハロゲンセンサは感度が悪く、感知した頃には空気中のハロゲンガスの濃度がかなり高いレベルに達しており、信頼性が低い。また、匂いに関しては、感度は良いが、作業者が常にレーザ装置についていなければならないので、産業用としてはものにならない。

【０００５】本考案は上記のことにかんがみなされたもので、簡単な手段によりガス漏れを検知及び警告を発することができ、レーザの発振出力低下の防止と、ガスが人体及び他の機材に及ぼす悪影響をなくすことができると共に、容器内のガス圧値が異常域に近付いているか否か等、ガス圧の変動状況まで把握でき、また、検知される各ガス圧を基準温度に換算された正確な値として得ることができるようにしたガスレーザ装置を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案に係るガスレーザ装置は、ガスを容器内に封じこめ、この容器内でレーザ発振を起こさせる形式のガスレーザ装置において、ガス圧モニタ手段にてモニタした容器内のガス圧力をレーザ用コントローラのガス圧記憶用外部メモリに退避し、このガス圧記憶用外部メモリに退避したガス圧とその後にモニタした容器内の圧力とを順次比較することによってガス漏れを検知するガス漏れ検知装置を備え、このガス漏れ検知装置が、ガスレーザ装置の電源を切る前のガス圧力をガス圧記憶用外部メモリへ退避し、つぎに電源を入れたときのガス圧力と比較してガス漏れを検知できるガス漏れ検知装置である構成となっている。

【０００７】また、上記ガスレーザ装置において、ガス圧力を測定するときに、これと同時にガス温度を測定し、常に基準温度におけるガス圧として換算し、記憶した値と、現在の値とを比較するようにした構成にした。

【０００８】

【作用】

先にモニタされたガスレーザ装置の容器内のガス圧値と、後に検出される容器内のガス圧値との比較が順次続けられ、その比較結果により容器内のガス漏れが検出される。そしてこのときの比較は電源を入れるたびに行われ、長時間のレーザ休止状態の前後の圧力を比較して、このレーザ休止状態での容器内のガス漏れが検出される。そして上記ガス漏れのチェックが基準温度のガス圧に換算されてなされる。

【０００９】

【実施例】

本考案の実施例を図面に基づいて説明する。図中１は容器、２はガスボンベ、３は排気ポンプ、４はこれらを接続するパイプに介装するバルブである。５は容器１に接続した圧力センサ、６は圧力センサ用コントローラ、７はレーザ用コントローラである。上記圧力センサ５は容器１内の圧力を常時モニターし、長時間のレーザ休止長時間の前後の圧力をこの圧力センサ用コントローラ６で比較することによって容器１のガス漏れをチェックできるようになっている。８は上記レーザ用コントローラ７に接続したガス圧記憶用外部メモリである。

【００１０】この構成での作用は第２図に示すようになる。第２図において、漏れチェックの開始は、例えば、レーザ用コントローラ７からボタンを押すことによって行うこともできる。この場合、その途中でレーザ発振を行うことになればフッ素の減少などによって圧力が低下してしまうため正確なチェックができないので、レーザ用コントローラ７がチェックの前後でレーザになにが起こったかを正確に把握する必要がある。このことから、レーザ発振の終了を漏れチェックの開始とすることができる。そしてこのとき、レーザ装置の電源を切る前の圧力をガス圧記憶用外部メモリ８へ退避し、このガス圧と電源を入れたときのモニター値と比較することで漏れチェックができる。この場合の作用は第３図に示すようになる。なを、ガス圧記憶用外部メモリ８へガス圧力を退避することにより、レーザ用コントローラ７の電源を切ってもガス圧が記憶されている。このとき、上記ガス圧記憶用外部メモリ８に退避されたガス圧とその後のモニター値との比較は電源を入れるたびに順次行われる。

【００１１】また、ガスの圧力はその絶対圧力に比例するため、例えば、ガス圧記憶用外部メモリ８への記憶時のガス温度が現在のガス温度よりも高かったならば、ガス圧は下がってしまう。そのために漏れてもいないのにガスもれ警報を出すこともある。また、その逆に漏れているのに温度上昇によってそれを検出できないこともある。

【００１２】そのために、ガスの圧力を測定すると同時にそのガスの温度を測定し、ある基準温度（例えば０度）における圧力に換算し、この換算値を比較して漏れの検知を行うことが考えられる。この場合の作用は第４図に示すようになる。

【００１３】

【考案の効果】

本考案によれば、簡単な手段によりガス装置の容器内でガス漏れを検知できて、レーザの発振出力低下の防止と、ガスが人体及び他の機材に及ぼす悪影響をなくすことができると共に、容器内の経時的なガス圧変動を電源を入れるたびに逐次追跡でき、ガス圧値が異常域に近付いているか否か等、ガス圧の変動状況まで把握できる。

【００１４】また、本考案によれば、上記のようにして検知される各ガス圧は基準温度に換算された正確な値として得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す構成説明図である。

【図２】作用を示すフローチャートである。

【図３】作用を示すフローチャートである。

【図４】作用を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１…容器、２…ボンベ、３…排気ポンプ、４…バルブ、
５…圧力センサ、６…圧力センサ用コントローラ、７…
レーザー用コントローラ、８…ガス圧記憶用外部メモ
リ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ガスを容器内に封じこめ、この容器内で
レーザ発振を起こさせる形式のガスレーザ装置におい
て、ガス圧モニタ手段にてモニタした容器内のガス圧力
をレーザ用コントローラのガス圧記憶用外部メモリに退
避し、このガス圧記憶用外部メモリに退避したガス圧と
その後にモニタした容器内の圧力とを順次比較すること
によってガス漏れを検知するガス漏れ検知装置を備え、
このガス漏れ検知装置が、ガスレーザ装置の電源を切る
前のガス圧力をガス圧記憶用外部メモリへ退避し、つぎ
に電源を入れたときのガス圧力と比較してガス漏れを検
知できるガス漏れ検知装置であることを特徴とするガス
レーザ装置。
【請求項２】ガス圧力を測定するときに、これと同時
にガス温度を測定し、常に基準温度におけるガス圧とし
て換算し、記憶した値と、現在の値とを比較するように
したことを特徴とする請求項１記載のガスレーザ装置。