JP2557455B2 - 光合分波器 - Google Patents
光合分波器Info
- Publication number
- JP2557455B2 JP2557455B2 JP5637188A JP5637188A JP2557455B2 JP 2557455 B2 JP2557455 B2 JP 2557455B2 JP 5637188 A JP5637188 A JP 5637188A JP 5637188 A JP5637188 A JP 5637188A JP 2557455 B2 JP2557455 B2 JP 2557455B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- demultiplexer
- optical multiplexer
- width
- directional
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、製造工程中に生ずる導波路幅変動に対する
阻止域および通過域の中心波長のずれが少なく、かつ大
きな阻止域減衰量を有る方向性結合形光合分波器に関す
るものである。
阻止域および通過域の中心波長のずれが少なく、かつ大
きな阻止域減衰量を有る方向性結合形光合分波器に関す
るものである。
〈従来の技術〉 方向性結合形光合分波器の基本構成を第８図に示す。
第８図において、１は第１の導波路、２は第２の導波
路、３は間隔を設けた平行導波路からなる結合部、４は
第１の導波路１と第２の導波路２との間隔を広げ結合部
３以外での光結合を生じさせないために設けた展開部、
５−１および５−２はそれぞれ第１の導波路１の入射端
および出射端、６−１および６−２はそれぞれ第２の導
波路２の入射端および出射端である。第１の導波路１と
第２の導波路２の導波路パラメータは、ほぼ等しくして
ある。結合部３の長さＬを、波長λ1の完全結合長の2N
倍（Ｎは自然数）で、かつ、波長λ2の完全結合長の2N
＋１倍とすると、第１の導波路１の入射端５−１から入
射された波長λ1、λ2の２つの光はそれぞれ第１の導波
路１の出射端５−２と第２の導波路２の出射端６−２か
ら出射するので、第８図の構成は方向性結合形光合分波
器として動作する。
路、３は間隔を設けた平行導波路からなる結合部、４は
第１の導波路１と第２の導波路２との間隔を広げ結合部
３以外での光結合を生じさせないために設けた展開部、
５−１および５−２はそれぞれ第１の導波路１の入射端
および出射端、６−１および６−２はそれぞれ第２の導
波路２の入射端および出射端である。第１の導波路１と
第２の導波路２の導波路パラメータは、ほぼ等しくして
ある。結合部３の長さＬを、波長λ1の完全結合長の2N
倍（Ｎは自然数）で、かつ、波長λ2の完全結合長の2N
＋１倍とすると、第１の導波路１の入射端５−１から入
射された波長λ1、λ2の２つの光はそれぞれ第１の導波
路１の出射端５−２と第２の導波路２の出射端６−２か
ら出射するので、第８図の構成は方向性結合形光合分波
器として動作する。
方向性結合形光合分波器は、高い減衰量が得られる阻
止域が狭帯域であるため、従来第９図のように導波路構
造パラメータが同じ方向性結合形光合分波器20を２段に
縦続接続して阻止域を拡大する方法が取られてきた。
止域が狭帯域であるため、従来第９図のように導波路構
造パラメータが同じ方向性結合形光合分波器20を２段に
縦続接続して阻止域を拡大する方法が取られてきた。
しかし、方向性結合形光合分波器には、実際の素子製
造工程において結合部の導波路幅Ｗと導波路間隔Ｓの変
動が生じた場合に、製造された光合分波器の特性が設計
通りにならないという素子感度の高さに問題があった。
即ち、導波路のエッチング加工中に導波路幅Ｗが設定値
から変動した場合に、光の強度分布状態が変化してしま
い、製造がされた方向性結合形光合分波器の阻止域およ
び通過域の中心波長が著しくずれてしまうという問題が
あった。
造工程において結合部の導波路幅Ｗと導波路間隔Ｓの変
動が生じた場合に、製造された光合分波器の特性が設計
通りにならないという素子感度の高さに問題があった。
即ち、導波路のエッチング加工中に導波路幅Ｗが設定値
から変動した場合に、光の強度分布状態が変化してしま
い、製造がされた方向性結合形光合分波器の阻止域およ
び通過域の中心波長が著しくずれてしまうという問題が
あった。
この問題を解決するために、従来は一つの手法とし
て、阻止特性の再現性を向上するため導波路の加工精度
を著しく高めることが検討されてきた。また、別の手法
としては、加工後の導波路構造パラメータを測定して最
適な上側クラッド層の屈折率を選択するという調整法も
行われている。しかし、この方法は、素子を個別に調整
する必要性があるという問題がある。
て、阻止特性の再現性を向上するため導波路の加工精度
を著しく高めることが検討されてきた。また、別の手法
としては、加工後の導波路構造パラメータを測定して最
適な上側クラッド層の屈折率を選択するという調整法も
行われている。しかし、この方法は、素子を個別に調整
する必要性があるという問題がある。
〈発明が解決しようとする課題〉 本発明の目的は、製造工程中に生ずる導波路幅変動に
対する阻止域および通過域の中心波長のずれを解消して
素子の加工精度を緩和でき、また素子の個別調整を不要
にでき、かつ大きな阻止域減衰量を有する方向性結合形
光合分波器を提供することである。
対する阻止域および通過域の中心波長のずれを解消して
素子の加工精度を緩和でき、また素子の個別調整を不要
にでき、かつ大きな阻止域減衰量を有する方向性結合形
光合分波器を提供することである。
〈課題を解決するための手段〉 本発明による光合分波器は、２波長の光に対して光合
分波器として動作し、かつ結合部の導波路中心間隔を一
定にした場合に導波路幅変動に対して素子感度が最小と
なる導波路幅の最適値に対して広狭いずれか一方の導波
路幅で構成される第１の方向性結合器の出射端に、広狭
いずれか他方の導波路幅で構成される２つの第２の方向
性結合器をそれぞれ縦続接続した構成を有することを特
徴とする。
分波器として動作し、かつ結合部の導波路中心間隔を一
定にした場合に導波路幅変動に対して素子感度が最小と
なる導波路幅の最適値に対して広狭いずれか一方の導波
路幅で構成される第１の方向性結合器の出射端に、広狭
いずれか他方の導波路幅で構成される２つの第２の方向
性結合器をそれぞれ縦続接続した構成を有することを特
徴とする。
また、本発明による他の光合分波器は、上記の第１の
方向性結合器と第２の方向性結合器を、少なくとも導波
路幅不連続点が生じないように導波路構造パラメータが
変化している導波路構造パラメータ整合領域を介して縦
続接続した構成を有することを特徴とする。
方向性結合器と第２の方向性結合器を、少なくとも導波
路幅不連続点が生じないように導波路構造パラメータが
変化している導波路構造パラメータ整合領域を介して縦
続接続した構成を有することを特徴とする。
〈作用〉 上記構成において、第１の方向性結合形光合分波器と
第２の方向性結合形光合分波器とは、導波路幅変動に対
して素子感度即ち中心波長ずれが最小となる導波路幅の
最適値に対し、実寸法あるいは等価的寸法いずれにして
も導波路幅が広狭逆にずれているから、導波路幅の変動
に対する阻止域および通過域の中心波長のずれの方向が
互いに逆である特性を有する異なった導波路構造パラメ
ータを有する。そのため、第1,第２の方向性結合形光合
分波器は導波路幅変動に対する中心波長のずれを互いに
相殺することになり、中心波長のずれを抑制する。
第２の方向性結合形光合分波器とは、導波路幅変動に対
して素子感度即ち中心波長ずれが最小となる導波路幅の
最適値に対し、実寸法あるいは等価的寸法いずれにして
も導波路幅が広狭逆にずれているから、導波路幅の変動
に対する阻止域および通過域の中心波長のずれの方向が
互いに逆である特性を有する異なった導波路構造パラメ
ータを有する。そのため、第1,第２の方向性結合形光合
分波器は導波路幅変動に対する中心波長のずれを互いに
相殺することになり、中心波長のずれを抑制する。
第２図を参照して、原理を説明する。第２図は、±0.
1μｍの導波路幅変動における中心波長のずれを設定導
波路幅Ｗに対して表したグラフを示す。一般に方向性結
合形光合分波器の製造工程において、結合部での２本の
導波路の中心間隔は常に一定であり、導波路幅変動は２
本の導波路に対して同様に生じる。一例として、導波路
コアの屈折率n1を1.53、クラッドの屈折率n2を1.46、導
波路厚Ｄを1.2μｍ、合分波波長を1.3μm/1.55μｍとし
た。導波路幅変動ΔＷが±0.1μｍの場合、導波路幅1.2
μｍ付近で素子感度即ち中心波長のずれが最小となり、
これが導波路幅の最適値に対応する。また、導波路幅変
動ΔＷが＋0.1μｍの場合、設定導波路幅Ｗが１μｍ付
近では中心波長が長波側にずれ、1.4μｍ付近では短波
側にずれる。また、導波路幅変動ΔＷが−0.1μｍの場
合は、逆の特性を示す。
1μｍの導波路幅変動における中心波長のずれを設定導
波路幅Ｗに対して表したグラフを示す。一般に方向性結
合形光合分波器の製造工程において、結合部での２本の
導波路の中心間隔は常に一定であり、導波路幅変動は２
本の導波路に対して同様に生じる。一例として、導波路
コアの屈折率n1を1.53、クラッドの屈折率n2を1.46、導
波路厚Ｄを1.2μｍ、合分波波長を1.3μm/1.55μｍとし
た。導波路幅変動ΔＷが±0.1μｍの場合、導波路幅1.2
μｍ付近で素子感度即ち中心波長のずれが最小となり、
これが導波路幅の最適値に対応する。また、導波路幅変
動ΔＷが＋0.1μｍの場合、設定導波路幅Ｗが１μｍ付
近では中心波長が長波側にずれ、1.4μｍ付近では短波
側にずれる。また、導波路幅変動ΔＷが−0.1μｍの場
合は、逆の特性を示す。
したがって、例えば合分波波長が1.3μm/1.55μｍで
は、設定導波路幅Ｗが１μｍと1.4μｍの２種の方向性
結合形光合分波器を縦続接続すれば、導波路幅変動ΔＷ
に対する中心波長のずれを互いに相殺することになり、
中心波長のずれを抑制することが可能となる。
は、設定導波路幅Ｗが１μｍと1.4μｍの２種の方向性
結合形光合分波器を縦続接続すれば、導波路幅変動ΔＷ
に対する中心波長のずれを互いに相殺することになり、
中心波長のずれを抑制することが可能となる。
一方、第１の方向性結合形光合分波器と第２の方向性
結合形光合分波器間の導波路構造パラメータ整合領域
は、導波路幅の不連続点での伝播光の反射による損失を
防止する。
結合形光合分波器間の導波路構造パラメータ整合領域
は、導波路幅の不連続点での伝播光の反射による損失を
防止する。
〈実施例〉 以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
第１図は、本発明の光合分波器の一実施例を説明する
図であって、７は基板、８は第１の方向性結合形光合分
波器、９は第２の方向性結合形光合分波器、10は展開部
を兼ねた導波路構造パラメータ整合領域、11は入射端、
12−１は波長λ1の光の出射端、12−２は波長λ2の光の
出射端である。波長λ1として1.3μｍ、波長λ2として
1.55μｍを設定した。
図であって、７は基板、８は第１の方向性結合形光合分
波器、９は第２の方向性結合形光合分波器、10は展開部
を兼ねた導波路構造パラメータ整合領域、11は入射端、
12−１は波長λ1の光の出射端、12−２は波長λ2の光の
出射端である。波長λ1として1.3μｍ、波長λ2として
1.55μｍを設定した。
基板７にはSiウエハを用い、Siウエハ表面に熱酸化法
により４μｍのSiO2膜を形成した。このSiO2膜上にスパ
ッタ法により7059ガラス膜を1.2μｍ形成した後、フォ
トリソグラフィ技術と反応性イオンエッチング技術を用
いて導波路のパターニングを行い、最後に４μｍのSiO2
膜をスパッタ法で形成し方向性結合形光合分波器8,9,9
を製作した。第１の方向性結合形光合分波器８は、導波
路幅を最適値1.2μｍに対して広い1.4μｍと設定し、導
波路間隔を1.22μｍ、結合部長を475.8μｍと設定し
た。第２の方向性結合形光合分波器9,9は、導波路幅を
最適値1.2μｍに対して狭い１μｍと設定し、導波路間
隔を1.57μｍ、結合部長437.1μｍと設定した。また、
導波路構造パラメータ整合領域10は、導波路幅の不連続
点での伝播光の反射による損失を防止するために導波路
幅を1.4μｍから１μｍへと徐々に狭くしている。入射
端11から入射された1.3μｍと1.55μｍの光は、方向性
結合形光合分波器でそれぞれ分波され、1.3μｍの光は1
2−１の出射端から、1.55μｍの光は12−２の出射端か
ら出射される。
により４μｍのSiO2膜を形成した。このSiO2膜上にスパ
ッタ法により7059ガラス膜を1.2μｍ形成した後、フォ
トリソグラフィ技術と反応性イオンエッチング技術を用
いて導波路のパターニングを行い、最後に４μｍのSiO2
膜をスパッタ法で形成し方向性結合形光合分波器8,9,9
を製作した。第１の方向性結合形光合分波器８は、導波
路幅を最適値1.2μｍに対して広い1.4μｍと設定し、導
波路間隔を1.22μｍ、結合部長を475.8μｍと設定し
た。第２の方向性結合形光合分波器9,9は、導波路幅を
最適値1.2μｍに対して狭い１μｍと設定し、導波路間
隔を1.57μｍ、結合部長437.1μｍと設定した。また、
導波路構造パラメータ整合領域10は、導波路幅の不連続
点での伝播光の反射による損失を防止するために導波路
幅を1.4μｍから１μｍへと徐々に狭くしている。入射
端11から入射された1.3μｍと1.55μｍの光は、方向性
結合形光合分波器でそれぞれ分波され、1.3μｍの光は1
2−１の出射端から、1.55μｍの光は12−２の出射端か
ら出射される。
第３図は、導波路幅が設定値通りに製作された場合の
光合分波器の波長選択特性である。縦軸は光合分波器の
挿入損失、横軸は波長を示しており、実線は1.3μｍ帯
の特性、点線は1.55μｍ帯の特性である。総合特性にお
ける1.3μｍ帯の通過域（損失≦0.5dB）と阻止域（損失
≧25dB）の帯域幅はともに73nmである。総合特性は、dB
表示のため、Ｗ＝1.4μｍの第１の方向性結合形光合分
波器８の特性と、Ｗ＝1.0μｍの第２の方向性を結合形
光合分波器９の特性との和として求まる。
光合分波器の波長選択特性である。縦軸は光合分波器の
挿入損失、横軸は波長を示しており、実線は1.3μｍ帯
の特性、点線は1.55μｍ帯の特性である。総合特性にお
ける1.3μｍ帯の通過域（損失≦0.5dB）と阻止域（損失
≧25dB）の帯域幅はともに73nmである。総合特性は、dB
表示のため、Ｗ＝1.4μｍの第１の方向性結合形光合分
波器８の特性と、Ｗ＝1.0μｍの第２の方向性を結合形
光合分波器９の特性との和として求まる。
第４図は、導波路幅が設定値から＋0.1μｍ変動した
場合の波長選択特性である。第１の方向性結合形光合分
器８と第２の方向性結合形光合分波器９とが波長選択特
性のずれを互いに解消し、総合特性において1.3μｍ帯
の中心波長のずれは−4nmに抑えられている。
場合の波長選択特性である。第１の方向性結合形光合分
器８と第２の方向性結合形光合分波器９とが波長選択特
性のずれを互いに解消し、総合特性において1.3μｍ帯
の中心波長のずれは−4nmに抑えられている。
第５図は、導波路幅が設定値から−0.1μｍ変動した
場合の波長選択特性であり、この場合も総合特性におい
て1.3μｍ帯の中心波長のずれは−4nmに抑えられてい
る。
場合の波長選択特性であり、この場合も総合特性におい
て1.3μｍ帯の中心波長のずれは−4nmに抑えられてい
る。
更に、本発明の光合分波器は、第１の方向性結合器と
第２の方向性結合器のクラッド層の屈折率を変えること
により等価的に導波路幅を異ならせる方法を用いても実
現可能である。
第２の方向性結合器のクラッド層の屈折率を変えること
により等価的に導波路幅を異ならせる方法を用いても実
現可能である。
また、第１の方向性結合形光合分波器８の導波路幅を
1.0μｍなど最適値に対して狭くし、第２の方向性結合
形光合分波器９の導波路幅を1.4μｍなど最適値よりも
広くしても良い。
1.0μｍなど最適値に対して狭くし、第２の方向性結合
形光合分波器９の導波路幅を1.4μｍなど最適値よりも
広くしても良い。
また、接続段数を３段以上に多段化することにより、
導波路幅変動の許容範囲を拡大することも可能である。
更に、第１と第２の方向性結合形光合分波器8,9を１つ
づつ用いて縦続接続し、１つの光を選択しても良い。
導波路幅変動の許容範囲を拡大することも可能である。
更に、第１と第２の方向性結合形光合分波器8,9を１つ
づつ用いて縦続接続し、１つの光を選択しても良い。
ここで、導波路幅の変動に対して素子感度が最小とな
る導波路幅の最適値を求める方法の一例を説明する。
る導波路幅の最適値を求める方法の一例を説明する。
この方法は、設計段階において、まず導波路幅Ｗと導
波路間隔Ｓとの間に特定の関係を満足するように定めた
場合に、良好な波長特性を満足する構造パラメータを決
定し得るという知見に基づいてなされた、設計手法であ
る。
波路間隔Ｓとの間に特定の関係を満足するように定めた
場合に、良好な波長特性を満足する構造パラメータを決
定し得るという知見に基づいてなされた、設計手法であ
る。
まず、光合分波器として動作する方向性結合器の構造
パラメータ（導波路コアの屈折率n1，クラッドの屈折率
n2，導波路幅W,導波路厚D,導波路間隔S,結合部長Ｌ）の
値を、特定２波長に対して合分波が起こるように計算よ
り求め、得られた前記構造パラメータの組を、横軸に前
記導波路間隔Ｓをとり縦軸に前記結合部長Ｌをとったグ
ラフ上で、前記導波路幅Ｗ及び前記導波路コアの屈折率
n1をグラフにおけるパラメータとして表し、設計チャー
トを作成する。第６図にクラッドの屈折率n2＝1.46、導
波路厚Ｄ＝１μｍの場合の設計チャートを示す。次にこ
の設計チャート上で、結合部長Ｌの導波路間隔Ｓに対す
る変化がほぼ零になり、かつ導波路幅Ｗの変動と導波路
間隔Ｓの変動が符号が反対で絶対値が等しくなる点、即
ち、 dL/dS≒０ dW/dS≒−１ を満足する点Ａが示す構造パラメータで方向性結合形光
合分波器を製造する。このときの導波路幅が素子感度を
最小とする最適値である。
パラメータ（導波路コアの屈折率n1，クラッドの屈折率
n2，導波路幅W,導波路厚D,導波路間隔S,結合部長Ｌ）の
値を、特定２波長に対して合分波が起こるように計算よ
り求め、得られた前記構造パラメータの組を、横軸に前
記導波路間隔Ｓをとり縦軸に前記結合部長Ｌをとったグ
ラフ上で、前記導波路幅Ｗ及び前記導波路コアの屈折率
n1をグラフにおけるパラメータとして表し、設計チャー
トを作成する。第６図にクラッドの屈折率n2＝1.46、導
波路厚Ｄ＝１μｍの場合の設計チャートを示す。次にこ
の設計チャート上で、結合部長Ｌの導波路間隔Ｓに対す
る変化がほぼ零になり、かつ導波路幅Ｗの変動と導波路
間隔Ｓの変動が符号が反対で絶対値が等しくなる点、即
ち、 dL/dS≒０ dW/dS≒−１ を満足する点Ａが示す構造パラメータで方向性結合形光
合分波器を製造する。このときの導波路幅が素子感度を
最小とする最適値である。
第７図に（中心波長の偏差）／（導波路幅の偏差）と
−（導波路幅の変化）／（導波路間隔の変化）の関係を
示す。n1を1.53、n2を1.46、Ｄを１μｍ、中心波長を1.
3μｍとした。一般に、基板上に導波路を加工する場
合、導波路が変化すれば導波路間隔も変化する。この
時、導波路幅と導波路間隔の変化量は、符号が反対で絶
対値が同じである。つまり、−（導波路幅の変化）／
（導波路間隔の変化）はほぼ１であり、しかも、そのと
きの（中心波長の偏差）／（導波路幅の偏差）が最も０
に近くなっている。
−（導波路幅の変化）／（導波路間隔の変化）の関係を
示す。n1を1.53、n2を1.46、Ｄを１μｍ、中心波長を1.
3μｍとした。一般に、基板上に導波路を加工する場
合、導波路が変化すれば導波路間隔も変化する。この
時、導波路幅と導波路間隔の変化量は、符号が反対で絶
対値が同じである。つまり、−（導波路幅の変化）／
（導波路間隔の変化）はほぼ１であり、しかも、そのと
きの（中心波長の偏差）／（導波路幅の偏差）が最も０
に近くなっている。
〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の光合分波器は、製造工
程中に生じる導波路幅変動による波長選択特性への影響
を抑制することが可能である。従って、エッチングなど
の加工精度を上げることなく、また製作後に素子特性の
調整も必要なく、広帯域な阻止域と所望の波長選択特性
を有する光合分波器を再現性良く製造することができ
る。
程中に生じる導波路幅変動による波長選択特性への影響
を抑制することが可能である。従って、エッチングなど
の加工精度を上げることなく、また製作後に素子特性の
調整も必要なく、広帯域な阻止域と所望の波長選択特性
を有する光合分波器を再現性良く製造することができ
る。
第１図は本発明の光合分波器の一実施例を示す図、第２
図は±0.1μｍの導波路幅変動における中心波長のずれ
を設定導波路幅に対して表したグラフ、第３図は導波路
幅が設定値通りに製作された場合の本光合分波器の波長
選択特性を示す図、第４図は導波路幅が設定値から＋0.
1μｍ変動した場合の波長選択特性を示す図、第５図は
導波路幅が設定値から−0.1μｍ変動した場合の波長選
択特性を示す図、第６図は最適導波路幅の設計チャート
の一例を示す図、第７図は導波路幅変動と波長ずれの関
係を示す図、第８図は方向性結合形光合分波器の基本構
成を示す図、第９図は従来の方向性結合形光合分波器の
構成例を示す図である。 図面中、 １は第１の導波路、２は第２の導波路、３は結合部、４
は展開部、５−１は第１の導波路１の入射端、５−２は
第１の導波路１の出射端、６−１は第２の導波路２の入
射端、６−２は第２の導波路２の出射端、７は基板、８
は第１の方向性結合形光合分波器、９は第２の方向性結
合形光合分波器、10は展開部を兼ねた導波路構造パラメ
ータ整合領域、11は入射端、12−１は波長λ1の光の出
射端、12−２は波長λ2の光の出射端である。
図は±0.1μｍの導波路幅変動における中心波長のずれ
を設定導波路幅に対して表したグラフ、第３図は導波路
幅が設定値通りに製作された場合の本光合分波器の波長
選択特性を示す図、第４図は導波路幅が設定値から＋0.
1μｍ変動した場合の波長選択特性を示す図、第５図は
導波路幅が設定値から−0.1μｍ変動した場合の波長選
択特性を示す図、第６図は最適導波路幅の設計チャート
の一例を示す図、第７図は導波路幅変動と波長ずれの関
係を示す図、第８図は方向性結合形光合分波器の基本構
成を示す図、第９図は従来の方向性結合形光合分波器の
構成例を示す図である。 図面中、 １は第１の導波路、２は第２の導波路、３は結合部、４
は展開部、５−１は第１の導波路１の入射端、５−２は
第１の導波路１の出射端、６−１は第２の導波路２の入
射端、６−２は第２の導波路２の出射端、７は基板、８
は第１の方向性結合形光合分波器、９は第２の方向性結
合形光合分波器、10は展開部を兼ねた導波路構造パラメ
ータ整合領域、11は入射端、12−１は波長λ1の光の出
射端、12−２は波長λ2の光の出射端である。
Claims (2)
- 【請求項１】２波長の光に対して光合分波器として動作
し、かつ結合部の導波路中心間隔を一定にした場合に導
波路幅変動に対して素子感度が最小となる導波路幅の最
適値に対して広狭いずれか一方の導波路幅で構成される
第１の方向性結合器の出射端に、広狭いずれか他方の導
波路幅で構成される２つの第２の方向性結合器をそれぞ
れ縦続接続した構成を有することを特徴とする方向性結
合形光合分波器。 - 【請求項２】上記の第１の方向性結合器と第２の方向性
結合器を、少なくとも導波路幅不連続点が生じないよう
に導波路構造パラメータが変化している導波路構造パラ
メータ整合領域を介して縦続接続した構成を有すること
を特徴とする第１請求項記載の方向性結合形光合分波
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5637188A JP2557455B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 光合分波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5637188A JP2557455B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 光合分波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01231006A JPH01231006A (ja) | 1989-09-14 |
| JP2557455B2 true JP2557455B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=13025397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5637188A Expired - Lifetime JP2557455B2 (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 | 光合分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2557455B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01259306A (ja) * | 1988-04-11 | 1989-10-17 | Hitachi Ltd | 導波路型光波長フイルタ及び光合分波器 |
| JP2778236B2 (ja) * | 1990-09-25 | 1998-07-23 | 日立電線株式会社 | 導波路型光合分波器及びそれを用いた光伝送用モジュール |
| JP5045416B2 (ja) * | 2007-12-17 | 2012-10-10 | 富士通株式会社 | 光導波路素子およびそれを用いた光学装置 |
| JP5333031B2 (ja) * | 2009-08-11 | 2013-11-06 | 日本電気株式会社 | 光分岐素子およびその製造方法 |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP5637188A patent/JP2557455B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01231006A (ja) | 1989-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3022181B2 (ja) | 導波路型光合分波器 | |
| AU696531B2 (en) | Monolithic optical waveguide filters based on fourier expansion | |
| JP4398275B2 (ja) | 光制御素子 | |
| JP3349950B2 (ja) | 波長分波回路 | |
| US5091986A (en) | Optical divider for multimode optical fiber systems | |
| EP0880036A2 (en) | Method for altering the temperature dependence of optical waveguide devices | |
| JP2614365B2 (ja) | 偏波無依存導波型光デバイス | |
| US5940555A (en) | Optical multiplexer/demultiplexer | |
| US20020181870A1 (en) | Optical waveguide interferometer | |
| CN110161629B (zh) | 一种基于微环阵列的集成可调光延时线及其制备方法 | |
| US5838853A (en) | Optical waveguide | |
| JPH06324225A (ja) | 複数の干渉段を持つ光学フィルタ | |
| US6731828B2 (en) | Waveguide-type optical signal processing circuit | |
| WO2001013150A9 (fr) | Selecteur de mode de diffraction de guides d'ondes en reseau | |
| US20020154861A1 (en) | Arrayed waveguide grating optical multiplexer/demultiplexer | |
| JP2557455B2 (ja) | 光合分波器 | |
| JP2538099B2 (ja) | 導波型光スタ―カプラ | |
| EP1128193A1 (en) | Array waveguide diffraction grating | |
| JPH09218317A (ja) | テーパ導波路およびそれを用いた光導波路素子 | |
| EP1430342B1 (en) | Passband flattening in an arrayed waveguide grating | |
| JP2000121852A (ja) | 導波路グレーティング型分散補償素子 | |
| JPH0763934A (ja) | 光導波回路 | |
| JP3247819B2 (ja) | アレイ格子型光合分波器 | |
| JPS63254404A (ja) | 光合分波器 | |
| JP2967428B2 (ja) | 波長無依存スターカップラ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070905 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080905 Year of fee payment: 12 |