JP2555963B2 - 樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置 - Google Patents

樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置

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JP2555963B2 JP5310235A JP31023593A JP2555963B2 JP 2555963 B2 JP2555963 B2 JP 2555963B2 JP 5310235 A JP5310235 A JP 5310235A JP 31023593 A JP31023593 A JP 31023593A JP 2555963 B2 JP2555963 B2 JP 2555963B2
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    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/38Cutting-off equipment for sprues or ingates
    • B29C45/382Cutting-off equipment for sprues or ingates disposed outside the mould

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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレームに搭載
された半導体素子を樹脂封止することによって得られる
成形品からゲート部を分離するために用いられる樹脂封
止半導体装置用ゲート分離装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、リードフレームに搭載された複数
の半導体素子をそれぞれ樹脂封止して得られた成形品か
らゲート部を分離するためのゲート分離装置としては、
図7および図8に示したようなものがある。
【0003】図7は、従来のゲート分離装置の概略正面
図であり、図8は、図7に示したゲート分離装置の概略
側面図である。図7および図8に示すように従来のゲー
ト分離装置は、成形品120のメインランナー123が
載置される凸部101aが一体的に形成されたランナー
受け板101と、ランナー受け板101の凸部101a
の上方に設けられ、凸部101aとの間でメインランナ
ー123を挟み込むことにより成形品120を保持する
ランナー押え用板110と、保持された成形品120の
リードフレーム122を上方から押えつけるゲートブレ
ーク用板115とを有する。また、ゲートブレーク用板
115の下面はテーパ状に形成されており、ゲートブレ
ーク用板115を下降させることにより、ゲートブレー
ク用板115はリードフレーム122を図7における左
側から右側へ順に押えつける構造になっている(例え
ば、特開平2−194539号公報)。
【0004】上記構成に基づき、まず、ランナー受け板
101の凸部101aに成形品120のメインランナー
123を載置しランナー押え用板110を下降させて成
形品120をメインランナー123において保持する。
その後、ゲートブレーク用板115を下降させると、ゲ
ートブレーク用板115によりリードフレーム122が
押し下げられ、メインランナー123とパッケージ部1
25とを接続するサブランナー124のパッケージ部1
25への樹脂注入口であるゲート部126からパッケー
部125およびリードフレーム122が分離される。
このとき、ゲートブレーク用板115はリードフレーム
122を左側から順に押し下げるので左側のゲート部1
26から順に分離される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来のゲート分離装置は、メインランナーを保持した状
態で単にリードフレームを押し下げるものであるので、
特に、封止樹脂として離型性の悪い高密着性の樹脂を使
用した場合には、リードフレームとゲート部とが離れ難
くなるため、リードフレームを押し下げることによって
リードフレームのサブランナーと固着している部分が変
形し、ゲート部の一部がリードフレームに残ってしまう
という問題点があった。
【0006】これを解決するためには、リードフレーム
もメインランナーと同様に上下方向から挟んでリードフ
レームを保持し、この状態で、リードフレームをゲート
部が設けられている面と反対側に移動させることが考え
られる。しかしこの場合でも、封止後のリードフレーム
は樹脂の収縮による変形があるため、リードフレームを
片当りのないように確実に保持しないと、結局はリード
フレームが変形したりゲート部の一部がリードフレーム
に残ってしまう。
【0007】そこで本発明は、封止樹脂として高密着性
の樹脂を使用した場合でも、ゲート部とリードフレーム
との分離を確実に行なうことのできる樹脂封止半導体装
置用ゲート分離装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置は、リー
ドフレームに搭載された複数の半導体素子をそれぞれラ
ンナー部を介して樹脂封止して得られた成形品の前記ラ
ンナー部を上下から挟み込むために互いに対向配置され
た一対の部材からなり、そのうち前記リードフレーム側
から前記ランナー部を挟み込む部材が任意の向きに傾き
自在に支持されたランナー部保持手段と、前記ランナー
部保持手段に前記ランナー部を挟み込まれて支持された
前記成形品のリードフレームの外周部上下から挟み込
むために、互いに対向して前記ランナー保持手段の各部
材に、それぞれ前記支持された成形品のリードフレーム
の前記ランナー部側の縁と一致する軸を中心に回動自在
に設けられた一対の部材からなるリードフレーム保持手
段と、前記リードフレーム保持手段を前記リードフレー
ムの前記ランナー部が形成されている面側と反対方向に
回動させる回動手段とを有することを特徴とする。
【0009】また、前記ランナー保持部材の、前記任意
の向きに傾き自在に支持された部材は、球状部材と、前
記球状部材が回転自在に嵌合される凹部が形成された受
け部材とを有する自在継手によって支持されているもの
であってもよい。
【0010】さらに、前記ランナー保持手段の、前記任
意の向きに傾き自在に支持された部材は、複数の付勢手
段により、外力が加わらないときには一定の状態に維持
されるように付勢されているものや、前記成形品はラン
ナー部を間において配置された2枚のリードフレームを
有するもので、それに対応してリードフレーム保持部材
および回動手段をそれぞれ2つずつ有するものであって
もよい。
【0011】
【作用】上記のとおり構成された本発明では、リードフ
レームに搭載された複数の半導体素子をそれぞれランナ
ー部を介して樹脂封止して得られた成形品は、ランナー
部がランナー部保持手段によって挟まれ、リードフレー
ムがリードフレーム保持手段によって挟まれて保持され
る。このとき、ランナー部保持手段を構成する2つの部
材のうち、リードフレーム側からランナー部を挟む部材
は任意の向きに傾き自在に設けられており、しかもリー
ドフレーム保持手段を構成する2つの部材はそれぞれラ
ンナー部保持手段の各部材に設けられているので、リー
ドフレームは、その外周部をリードフレーム保持手段に
よりほぼ均等な押圧力で挟み込まれる。この状態でリー
ドフレーム保持手段を、リードフレームのランナー部側
の縁と一致する軸を中心に、リードフレームのランナー
が形成されている面側と反対方向に回動させれば、リー
ドフレームとゲート部との分離角度が大きくとれるた
め、リードフレームをたわませずにリードフレームとゲ
ート部とが分離される。これにより、封止樹脂として高
密着性の樹脂を使用した場合でもリードフレームは変形
せず、またゲート部の一部がリードフレームに残る度合
が極めて低くなる。
【0012】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0013】図1は、本発明の樹脂封止半導体装置用ゲ
ート分離装置の一実施例の正面図であり、図2は、図1
に示した樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置の側面図
である。
【0014】図1および図2において、ランナー受け板
1の上面には、半導体素子をそれぞれ樹脂封止して得ら
れた成形品20が載置される一対の下板3が、それぞれ
下板支持ピン2により互いの上面が対面可能な方向(図
2中の矢印方向)に回動自在に軸支されている。成形品
20はマルチプランジャー方式で成形されたものであ
り、図3に示すように、それぞれ複数個ずつの半導体素
子21が搭載された2つのリードフレーム22を有し、
各リードフレーム22間の樹脂溜め部である複数のカル
23からそれぞれランナー24を介して、半導体素子2
1を封止するパッケージ部25が形成されている。そし
て、ランナー24の先端である樹脂注入口がゲート部2
6となっている。このような成形品20を、ランナー2
4がリードフレーム22の下面となる向きで載置するた
め、各下板3には、それぞれリードフレーム22がはめ
込まれる凹部と、キャビティ部25の逃げ溝と、ランナ
ー24の逃げ溝とが形成されている。また、各下板3の
回動中心すなわち支持ピン2の中心軸は、成形品20が
各下板3に載置された状態で各リードフレーム22のラ
ンナー24側の縁であるP−P’線と一致する
【0015】各下板3の下方には、それぞれ回動手段と
しての突き上げシリンダ4がそのロッドを上向きにして
配置されており、各突き上げシリンダ4のロッドを突出
させてそれぞれ下板3を突き上げることで、各下板3が
所定の角度だけ回動される。各突き上げシリンダ4のロ
ッドの先端部には、下板3の突き上げをスムーズにする
ために突き上げローラ5が回転自在に軸支されている。
【0016】一方、ランナー受け板1の上方には、下降
シリンダ7がそのロッドを下向きにして配置されてい
る。下降シリンダ7のロッドの先端部には継手板6が固
定され、さらに継手板6の下方に、例えば図4に示すよ
うに球状部材15とそれが回転自在に嵌合される凹部が
形成された受け部材16とを有する自在継手14を介し
てランナー押え用板10が支持されている。継手板6と
ランナー押え用板10との間には、複数の圧縮コイルば
ね8が設けられている。これら各圧縮コイルばね8のば
ね力により継手板6とランナー押え用板10との相対的
な位置関係が規制されるが、ランナー押え用板10は、
外力が加わることによって各圧縮コイルばね8のばね力
に抗して自在継手14を中心に任意の向きに傾き可能と
なっている。
【0017】ランナー押え用板10は、成形品20が各
下板3に載置された状態において、ランナー受け板1と
ともに各カル23および各ランナー24の一部をリード
フレーム側22から挟み込むために図示下方に延びるラ
ンナー押え部10bと、ランナー押え部10bの上部か
ら図2における左右方向に延びる水平部10aとが一体
的に形成された側方視T字形状の部材である。ランナー
押え部10bの下端部には、それぞれ各下板3に対向配
置され、下面にパッケージ部25の逃げ溝が形成された
2つの上板9が、上板支持ピン11により各下板3と同
様の方向に回動自在に軸支されている。各上板9は、そ
れぞれランナー押え用板10を下降させることにより下
板3との間で成形品20のリードフレーム22を挟み込
むためのもので、リードフレーム22を挟み込んだ状態
では各上板支持ピン11の中心軸と各下板支持ピン2
中心軸とは互いに同軸上に位置する。また、上板9には
ッケー図部25の逃げ溝が形成されているだけなの
で、上板9と下板3とで成形品20を挟み込んだときに
は、リードフレーム22の外周部が保持される。各上板
9の上面には、それぞれ各水平部10aに形成された長
穴10cに遊嵌された吊りボルト12が固定されてお
り、これら吊りボルト12により各上板9がそれぞれ下
板3と平行になる位置よりも下方に回動しないようにな
っている。また、各水平部10aと各上板9との間にお
いて、各吊りボルト12にはそれぞれリターンばね13
が外嵌され、これにより各上板9は常時下向きに付勢さ
れている。以上の説明から明らかなように、ランナー受
け板1とランナー押え用板10とでランナー保持手段が
構成され、また、下板3と上板9とでリードフレーム保
持手段が構成される。
【0018】次に、本実施例のゲート分離装置の動作に
ついて説明する。まず、各下板3の凹部にそれぞれラン
ナー24を下方に向けた状態でリードフレーム22がは
め込まれるように成形品20を載置する。次に、下降シ
リンダのロッドを突出させて各上板9を下降させ、各
上板9と各下板3とで成形品20のリードフレーム22
を挟み込む。このとき、各上板9は、自在継手6により
任意の角度に傾き自在に設けられたランナー押え用板1
0に支持されているので、封止後のパッケージ部25の
収縮によりリードフレーム22に変形が生じていたり、
各上板9の下面とそれに対向する下板3の上面とが互い
に平行でなくても、各上板9の下面は下板3の上面に倣
うように各下板3に押圧され、各リードフレーム22
外周部は片当りすることなくほぼ均等な押圧力で保持さ
れる。また、これと同時に各カル23および各ランナー
24の一部もランナー押え用板10のランナー押え部1
0bにより押えつけられた状態となる。
【0019】その後、各突き上げシリンダ4のロッドを
突出させると、図5に示すように各下板3がそれぞれ各
上板9に押し付けられたままの状態で、各下板3および
各上板9はそれぞれ下板支持ピン2および上板支持ピン
11(図2参照)の中心軸を支点に上向きに回動する。
これにより図6に示すようにキャビティ部25およびリ
ードフレーム22がランナー24に対して持ち上がり、
キャビティ部25およびリードフレーム22からランナ
ー24がゲート部26において分離される。ここで、下
板3および上板9の回動中心を、リードフレーム22の
ランナー24側の縁と一致させているので、ランナー2
4を分離させるときの角度すなわち分離角度をθとする
と、下板3および上板9の回動の際にこの分離角度θを
大きくとることができ、分離時にリードフレーム22に
加わる応力が少なくなる。しかも、上述したようにリー
ドフレーム22はその外周部が片当りすることなくほぼ
均等な押圧力で保持されており、結果的に、リードフレ
ーム22がたわまずにゲート部26から分離され、封止
樹脂として離型性の悪い高密着性の樹脂を用いてもリー
ドフレーム22は変形せず、またゲート部26の一部が
リードフレーム22に残る度合が極めて低くなる。さら
に、リードフレーム22を保持する保持力はリードフレ
ーム22の外周部にほぼ均等に分散され、リードフレー
ム22を保持することによるリードフレーム22の変形
や、リードフレーム22の押し痕の発生が防止される。
【0020】本実施例では、マルチプランジャー方式で
成型された成形品20を用いた例を示したが、本発明が
適用できる成形品はそれに限らず、図8に示したものの
ようなメインランナーの片側のみにリードフレームを有
するものであってもよい。この場合には、リード保持手
段、リードフレーム保持手段および回動手段はそれぞれ
1組ずつあればよい。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ランナー
保持手段の2つの部材のうちリードフレーム側からラン
ナー部を挟み込む部材を任意の方向に傾き自在に設け、
このランナー保持手段に、リードフレーム保持手段を
動自在に設けることで、ランナー部を保持した状態で
ードフレームの外周部を片当りすることなくほぼ均等な
押圧力で挟み込み、リードフレーム保持手段を回動させ
てゲート部とリードフレームとを分離することができ
る。しかも、リードフレーム保持手段はリードフレーム
のランナー部側の縁と一致する軸を中心に回動されるの
で、ゲート部とリードフレームとの分離角度を大きくと
ることができる。従って、リードフレーム保持手段を
動させた際のリードフレームのたわみは発生しなくな
、封止樹脂として高密着性の樹脂を用いてもゲート部
の一部がリードフレームに残る度合を極めて低くするこ
とができるし、リードフレームの変形も防止することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置
の一実施例の正面図である。
【図2】図1に示した樹脂封止半導体装置用ゲート分離
装置の側面図である。
【図3】図1に示した成形品の平面図である。
【図4】図1に示した自在継手の断面図である。
【図5】図1に示した樹脂封止半導体装置用ゲート分離
装置でゲート分離を行なっている状態を示す側面図であ
る。
【図6】図5に示した状態における成形品の側面図であ
る。
【図7】従来のゲート分離装置の概略正面図である。
【図8】図7に示したゲート分離装置の概略側面図であ
る。
【符号の説明】
1 ランナー受け板 2 下板 3 下板支持ピン 4 突き上げシリンダ 5 突き上げローラ 6 継手板 7 下降シリンダ 8 圧縮コイルばね 9 上板 10 ランナー押え用板 10a 水平部 10b ランナー押え部 10c 長穴 11 上板支持ピン 12 吊りボルト 13 リターンばね 14 自在継手 20 成形品 21 半導体素子 22 リードフレーム 23 カル 24 ランナー 25 パッケージ部 26 ゲート部

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームに搭載された複数の半導
    体素子をそれぞれランナー部を介して樹脂封止して得ら
    れた成形品の前記ランナー部を上下から挟み込むために
    互いに対向配置された一対の部材からなり、そのうち前
    記リードフレーム側から前記ランナー部を挟み込む部材
    が任意の向きに傾き自在に支持されたランナー部保持手
    段と、 前記ランナー部保持手段に前記ランナー部を挟み込まれ
    て支持された前記成形品のリードフレームの外周部
    下から挟み込むために、互いに対向して前記ランナー保
    持手段の各部材に、それぞれ前記支持された成形品のリ
    ードフレームの前記ランナー部側の縁と一致する軸を中
    に回動自在に設けられた一対の部材からなるリードフ
    レーム保持手段と、 前記リードフレーム保持手段を前記リードフレームの前
    記ランナー部が形成されている面側と反対方向に回動さ
    せる回動手段とを有することを特徴とする、樹脂封止半
    導体装置用ゲート分離装置。
  2. 【請求項2】 前記ランナー保持部材の、前記任意の向
    きに傾き自在に支持された部材は、球状部材と、前記球
    状部材が回転自在に嵌合される凹部が形成された受け部
    材とを有する自在継手によって支持されている、請求項
    1に記載の樹脂封止半導体装置用ゲート分離装置。
  3. 【請求項3】 前記ランナー保持手段の、前記任意の向
    きに傾き自在に支持された部材は、複数の付勢手段によ
    り、外力が加わらないときには一定の状態に維持される
    ように付勢されている、請求項1または2に記載の樹脂
    封止半導体装置用ゲート分離装置。
  4. 【請求項4】 前記成形品はランナー部を間において配
    置された2枚のリードフレームを有するもので、それに
    対応してリードフレーム保持部材および回動手段をそれ
    ぞれ2つずつ有する、請求項1、2または3に記載の樹
    脂封止半導体装置用ゲート分離装置。
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