JP2546326Y2 - 電子線装置 - Google Patents
電子線装置Info
- Publication number
- JP2546326Y2 JP2546326Y2 JP1990406223U JP40622390U JP2546326Y2 JP 2546326 Y2 JP2546326 Y2 JP 2546326Y2 JP 1990406223 U JP1990406223 U JP 1990406223U JP 40622390 U JP40622390 U JP 40622390U JP 2546326 Y2 JP2546326 Y2 JP 2546326Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conditioning
- electron beam
- electron
- electron gun
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本考案は電子銃のコンディショ
ニングの際、電子光学的素子に繋がる回路素子の破損を
防止するようにした電子線装置に関する。
ニングの際、電子光学的素子に繋がる回路素子の破損を
防止するようにした電子線装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 例えば、電界放出型の電子銃において
は通常の運転を開始する前に、通常の稼動電圧よりも例
えば５０％程高い電圧を印加して故意に放電を発生させ
て電子銃内の耐電圧を向上させるコンディショニングが
行われる。
は通常の運転を開始する前に、通常の稼動電圧よりも例
えば５０％程高い電圧を印加して故意に放電を発生させ
て電子銃内の耐電圧を向上させるコンディショニングが
行われる。
【０００３】以下にコンディショニングについて説明す
る。
る。
【０００４】図２において、１は電界放出の行われるエ
ミッタ、２は例えばエミッタ先端を中心に形成された半
球状の第１アノードでその中央部に開口２ａが設けら、
又、高電圧電源３から電界放出に必要な高電圧が印加さ
れている。４はエミッタ１から放出される電子を加速，
集束させるための高電圧電源である。
ミッタ、２は例えばエミッタ先端を中心に形成された半
球状の第１アノードでその中央部に開口２ａが設けら、
又、高電圧電源３から電界放出に必要な高電圧が印加さ
れている。４はエミッタ１から放出される電子を加速，
集束させるための高電圧電源である。
【０００５】この様な構成の電子銃において、コンディ
ショニングを行なう場合には、電源３の出力を零とし、
次に電源４の出力を通常の稼動電圧よりも高い電圧に印
加して、電極２，５間に放電を生じさせる。
ショニングを行なう場合には、電源３の出力を零とし、
次に電源４の出力を通常の稼動電圧よりも高い電圧に印
加して、電極２，５間に放電を生じさせる。
【０００６】さて、この様な電子銃は、例えば電子顕微
鏡等の電子線装置に応用されるが、該電子線装置では、
該電子銃の下方で電子線通路上に集束系電子レンズや偏
向系電子レンズ等の電子光学的素子が設置されている。
図３は、その様な電子光学的素子の１つである電子線の
軸合わせを行なう軸合わせコイルに電流を供給する軸合
わせコイル電流設定装置の概略図を示したものである。
図において、６は軸合わせコイル電流設定部、７はレジ
スタ、８はＤＡ変換器、９はアンプ、１０は軸合わせコ
イル、１１は比較回路である。軸合わせコイル１０に所
望の電流を送るには、先ず、軸合わせコイル電流設定部
６で所望の電流値に対応したデジタル値を設定する。こ
のデジタル信号はレジスタ７に一時的に記憶され、ＤＡ
変換器８に送られる。ＤＡ変換器８でアナログ信号に変
換された電流値はアンプ９を介して軸合わせコイル１０
に送られる。この際、比較回路１１は、予め記憶されて
いる軸合わせコイル１０に流れる理想的電流と実際に軸
合わせコイル１０に流れる電流とを比較し、その差をア
ンプ９にフィードバックするので、常に、所望とする軸
合わせコイル電流が軸合わせコイル１０に流れる。
鏡等の電子線装置に応用されるが、該電子線装置では、
該電子銃の下方で電子線通路上に集束系電子レンズや偏
向系電子レンズ等の電子光学的素子が設置されている。
図３は、その様な電子光学的素子の１つである電子線の
軸合わせを行なう軸合わせコイルに電流を供給する軸合
わせコイル電流設定装置の概略図を示したものである。
図において、６は軸合わせコイル電流設定部、７はレジ
スタ、８はＤＡ変換器、９はアンプ、１０は軸合わせコ
イル、１１は比較回路である。軸合わせコイル１０に所
望の電流を送るには、先ず、軸合わせコイル電流設定部
６で所望の電流値に対応したデジタル値を設定する。こ
のデジタル信号はレジスタ７に一時的に記憶され、ＤＡ
変換器８に送られる。ＤＡ変換器８でアナログ信号に変
換された電流値はアンプ９を介して軸合わせコイル１０
に送られる。この際、比較回路１１は、予め記憶されて
いる軸合わせコイル１０に流れる理想的電流と実際に軸
合わせコイル１０に流れる電流とを比較し、その差をア
ンプ９にフィードバックするので、常に、所望とする軸
合わせコイル電流が軸合わせコイル１０に流れる。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】 ところで、この様な
軸合わせコイル１０は前記電子銃の直ぐ下に配置してい
るので、前記電極２，５間に放電が生じた際、該放電に
よるノイズを受けやすい。そして、該ノイズに基づく信
号はアンプ９に到達し、該アンプ９が破損する事があ
る。
軸合わせコイル１０は前記電子銃の直ぐ下に配置してい
るので、前記電極２，５間に放電が生じた際、該放電に
よるノイズを受けやすい。そして、該ノイズに基づく信
号はアンプ９に到達し、該アンプ９が破損する事があ
る。
【０００８】本考案はこの様な問題を解決する事を目的
としたものである。
としたものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】 その為に本考案は、電
子銃のコンディショニングに連動して電子光学的素子の
入出力側の電気的接続を断つ手段を備えた。
子銃のコンディショニングに連動して電子光学的素子の
入出力側の電気的接続を断つ手段を備えた。
【００１０】
【実施例】 図１は本考案の一実施例として示した電子
顕微鏡の如き電子線装置の概略図である。図中前記図２
及び図３と同一番号を付したものは同一構成要素であ
る。図において、１２はコンディショニング設定部、１
３はコンディショニング切換回路、１４，１５は切換回
路である。尚、図１では電子顕微鏡の構成要素の内、極
く僅かな要素しか示していないが、実際には他の電子光
学的素子や試料等、沢山の構成要素が設けられている。
顕微鏡の如き電子線装置の概略図である。図中前記図２
及び図３と同一番号を付したものは同一構成要素であ
る。図において、１２はコンディショニング設定部、１
３はコンディショニング切換回路、１４，１５は切換回
路である。尚、図１では電子顕微鏡の構成要素の内、極
く僅かな要素しか示していないが、実際には他の電子光
学的素子や試料等、沢山の構成要素が設けられている。
【００１１】この様な装置において、コンディショニン
グ切換回路１３を例えばＯＮ状態にすると、該コンディ
ショニング切換回路１３からコンディショニング設定部
１２にコンディショニング信号が送られる。該信号を受
けたコンディショニング設定部１２は、電源３の出力を
零、電源４の出力を通常の稼動電圧よりも高い電圧に印
加する電圧信号を夫々の電源３，４に送る。これによ
り、電極２，５間に放電が生じ、コンディショニングが
行われる。
グ切換回路１３を例えばＯＮ状態にすると、該コンディ
ショニング切換回路１３からコンディショニング設定部
１２にコンディショニング信号が送られる。該信号を受
けたコンディショニング設定部１２は、電源３の出力を
零、電源４の出力を通常の稼動電圧よりも高い電圧に印
加する電圧信号を夫々の電源３，４に送る。これによ
り、電極２，５間に放電が生じ、コンディショニングが
行われる。
【００１２】又、同時に、コンディショニング切換回路
１３から切換回路１４，１５に前記コンディショニング
信号に同期して切換信号が送られ、今までＯＮ状態にな
っていた該夫々の回路１４，１５はＯＦＦ状態になる。
この結果、電極２，５間に放電が生じ、該放電によるノ
イズを軸合わせコイル１０が受けても、該ノイズに基づ
く信号はアンプ９へは到達しない。
１３から切換回路１４，１５に前記コンディショニング
信号に同期して切換信号が送られ、今までＯＮ状態にな
っていた該夫々の回路１４，１５はＯＦＦ状態になる。
この結果、電極２，５間に放電が生じ、該放電によるノ
イズを軸合わせコイル１０が受けても、該ノイズに基づ
く信号はアンプ９へは到達しない。
【００１３】又、前記コンディショニング切換回路１３
をＯＦＦ状態にすると、該コンディショニング切換回路
１３から前記コンディショニング設定部１２にコンディ
ショニング終了信号が送られる。同時に、前記コンディ
ショニング切換回路１３から切換回路１４，１５に該コ
ンディショニング終了信号に同期して切換信号が送ら
れ、該夫々の回路１４，１５はＯＮ状態になる。
をＯＦＦ状態にすると、該コンディショニング切換回路
１３から前記コンディショニング設定部１２にコンディ
ショニング終了信号が送られる。同時に、前記コンディ
ショニング切換回路１３から切換回路１４，１５に該コ
ンディショニング終了信号に同期して切換信号が送ら
れ、該夫々の回路１４，１５はＯＮ状態になる。
【００１４】
【考案の効果】 本考案によれば、電子銃のコンディシ
ョニングに連動して電子光学的素子の入出力側の電気的
接続が自動的に断たれるので、電子銃で起きる放電によ
るノイズを電子光学的素子が受けても、該電子光学的素
子を作動させる回路が破損することはない。
ョニングに連動して電子光学的素子の入出力側の電気的
接続が自動的に断たれるので、電子銃で起きる放電によ
るノイズを電子光学的素子が受けても、該電子光学的素
子を作動させる回路が破損することはない。
【図１】 本考案の一実施例として示した電子線装置の
概略図である。
概略図である。
【図２】 コンディショニングを説明するために示した
ものである。
ものである。
【図３】 軸合わせコイル電流設定装置の概略図を示し
たものである。
たものである。
１…エミッタ、２…第１アノード、２ａ…開口、３，４
…高電圧電源、５…第２アノード、６…軸合わせコイル
電流設定部、７…レジスタ、８…ＤＡ変換器、９…アン
プ、１０…軸合わせコイル、１１…比較回路、１２…コ
ンディショニング設定部、１３…コンディショニング切
換回路、１４，１５…切換回路
…高電圧電源、５…第２アノード、６…軸合わせコイル
電流設定部、７…レジスタ、８…ＤＡ変換器、９…アン
プ、１０…軸合わせコイル、１１…比較回路、１２…コ
ンディショニング設定部、１３…コンディショニング切
換回路、１４，１５…切換回路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子銃、該電子銃から射出される電子線
の通路上に配置された電子光学的素子を有する電子線装
置において、前記電子銃のコンディショニングに連動し
て前記電子光学的素子の入出力側の電気的接続を断つ手
段を備えたことを特徴とする電子線装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990406223U JP2546326Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990406223U JP2546326Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子線装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631059U JPH0631059U (ja) | 1994-04-22 |
| JP2546326Y2 true JP2546326Y2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=18515833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990406223U Expired - Lifetime JP2546326Y2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 電子線装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2546326Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4685115B2 (ja) * | 2007-02-20 | 2011-05-18 | 株式会社アドバンテスト | 電子ビーム露光方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5479554A (en) * | 1977-12-07 | 1979-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | Reproductive spot knocking method for cathode-ray tube |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP1990406223U patent/JP2546326Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631059U (ja) | 1994-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970422 |