JP2539015B2

JP2539015B2 - ペレットボンディング方法およびその装置

Info

Publication number: JP2539015B2
Application number: JP63290249A
Authority: JP
Inventors: 隆史岡部; 誠有賀; 俊英植松; 和田　　隆; 和男豊田
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Priority date: 1988-11-18
Filing date: 1988-11-18
Publication date: 1996-10-02
Anticipated expiration: 2011-10-02
Also published as: JPH02137339A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、半導体組立工程におけるペレットボンディ
ング方法およびその装置に係り、とくにペレットボンデ
ィングのさいの製品の信頼性向上と、段取り時間の短縮
に好適なペレットボンディング方法およびその装置に関
する。

［従来の技術］従来のペレットボンディング装置においては、ウエハ
の位置検出に関しては、たとえば特開昭60−245139号公
報に記載されているようにペレットピックアップ毎に検
出を行うものが提案されている。

また不良ペレットの検出に関しては、たとえば特開昭
61−129839号公報に記載されているように、インクマー
クの検出エリアを設けて検出を行う方法が提案されてい
る。

また、フレームの位置検出に関しては、ペレットボン
ディング前に行うものが実施されている。

さらにペースト塗布検査に関しては、作業者が調整
し、フレームフィーダ上方に設置されたカメラの画像を
モニタする方法が実施されている。

［発明が解決しようとする課題］上記従来技術にあっては、ウエハの位置検出を、ペレ
ットピックアップ毎に行っているため、検出するのに多
くの時間を要していた。

また、不良ペレットの検出は、インクマーク検出エリ
アを作業者を設定しているため、段取りに多くの時間を
要し、かつ１回の認識で１個のペレットのみ検出してい
るため、検出に多くの時間を要し、とくに不良ペレット
が続くとボンディングまでに多くの時間を要するという
問題があった。

上記の事情に鑑み、本発明の目的は、ペレットの検出
時間が短縮できるようにしたペレットボンディング方法
およびその装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］上記の目的を達成するため、本発明において、ウエハ
からピックアップされた良品ペレットをフレームにボン
ディングするペレットボンディング方法において、撮像
装置によりウエハを撮像し、該撮像装置が撮像した画像
内に複数個のペレットが含まれる場合に画像処理手段は
次にピックアップされる検査対象ペレットだけでなく、
その次以降のペレットも同時に検査し、良品ペレットを
ピックアップしてフレームにボンディングするようにし
たものである。

また、ウエハからピックアップされた良品ペレットを
フレームにボンディングするペレットボンディング方法
において、撮像装置によりウエハを撮像し、該撮像装置
が撮像した画像内にウエハエッジが１個あるいは複数個
検出された場合に画像処理手段はその段には良品ペレッ
トがないと判断して次の段にスキップして検査を実行
し、次の段以降の良品ペレットをピックアップしてフレ
ームにボンディングするようにしたものである。

また、ウエハを撮像する撮像装置と、該撮像装置より
入力された画像から検出対象のペレットを画像処理した
インクマークの検出エリアを入力することなく不良ペレ
ットを検出する画像処理手段とを備え、上記画像処理手
段は、検査対象のペレットと同時に次以降に検査対象と
なるペレットも検出するように構成したものである。

［作用］本発明においては、ウエハからピックアップされた良
品ペレットをフレームにボンディングするペレットボン
ディング方法において、撮像装置によりウエハを撮像
し、該撮像装置が撮像した画像内に複数個のペレットが
含まれる場合に画像処理手段は次にピックアップされる
検査対象ペレットだけでなく、その次以降のペレットも
同時に検査し、良品ペレットをピックアップしてフレー
ムにボンディングするようにしたので、段取時間を短縮
することができる。

また、ウエハからピックアップされた良品ペレットを
フレームにボンディングするペレットボンディング方法
において、撮像装置によりウエハを撮像し、該撮像装置
が撮像した画像内にウエハエッジが１個あるいは複数個
検出された場合に画像処理手段はその段には良品ペレッ
トがないと判断して次の段にスキップして検査を実行
し、次の段以降の良品ペレットをピックアップして、フ
レームにボンディングするようにしたので、検出時間を
短縮することができる。

［実施例］以下、本発明の一実施例を示す図面について説明す
る。

第１図は本発明の一実施例であるペレットボンディン
グ装置を示すシステム構成図である。

第１図において、１は認識手段、２は駆動制御手段、
３はウエハ、４はウエハセット部、５はカメラ選択手段
にしてウエハ３の画像を入力するウエハ用TVカメラ5a
と、ペレット全体の画像を入力できる倍率にて形成され
たペレット用TVカメラ5bと、フレームタブの画像を入力
するタブ用TVカメラ5cとを認識手段１からの指令によっ
て選択する。６は照明制御手段にして、ウエハセット部
４の上方に固定された一方の光学系7aに設置された明視
野照明6aおよびリング照明6bと、ボンディング位置の上
方に固定された他方の光学系7bに設置された明視野照明
6cおよびリング照明6dとを認識手段１からの指令によっ
て制御する。８はモータ駆動制御手段にして、ウエハセ
ット部４をXY方向に移動して位置決めするＸテーブル用
モータ8aおよびＹテーブル用モータ8bと、ペースト塗布
ノズル12および第２ボンディングヘッド13をXY方向に移
動して位置決めするＸテーブル用モータ8cおよびＹテー
ブル用モータ8dとを駆動制御手段２からの出力信号によ
って駆動させる。９は第１ボンディングヘッドにしてペ
レット17をピックアップする。10は中間位置決めポケッ
トにして、ピックアップされたペレット17を機械的に精
密に位置決めする。11はフレームフィーダにして、ブロ
ック14を介挿するように保持しその上面に搭載されたフ
レーム15を所定位置まで移動して位置決めする。該ブロ
ック14は照明光を全反射するため鏡面に形成されてい
る。

つぎに動作を第２図に示す動作シーケンス図により説
明する。

動作はペレットボンディングの駆動制御手段２の認識
手段１との協調によって行われる。

まずウエハ３がウエハローダ（図示せず）によってウ
エハセット部４に供給されると、認識手段１は、一方の
光学系7aの明視野照明6aおよびリング照明6bを照明制御
手段６を介してあらかじめ選定された最適値に制御し、
カメラ選択手段５を介してウエハ用TVカメラ5aによりウ
エハ３の画像を入力し、該入力された画像からウエハ３
の位置を検出する。該ウエハ３の位置検出は、ウエハ３
の供給時のみ行う。また駆動制御手段２は、認識手段１
よりの検出情報に基いてモータ駆動制御手段８を介して
Ｘテーブル用モータ8aおよびＹテーブル用モータ8bを駆
動し、ウエハセット部４を介してウエハ３をピックアッ
プ位置に移動する。

しかるのち、ウエハ３がピックアップ位置に位置決め
されると、認識手段１は明視野照明6aおよびリング照明
6bを最適値に制御しペレット全体の画像をペレット用TV
カメラ5bから入力してペレット17の良否判定を行う。そ
の結果良品と判定されたペレット17のみ第１ボンディン
グヘッド９を用いてピックアップし、中間位置決めポケ
ット10で精密位置決めされる。

一方フレーム15がフレームフィーダ11によりブロック
14上のボンディング位置に位置決めされると、認識手段
１は他方の光学系7aの明視野照明6cおよびリング照明6d
を最適値に制御するとともにタブ用TVカメラ5cによりタ
ブ16の画像を入力し、該入力された画像からタブ16の位
置を検出してタブ16の位置情報を駆動制御手段２に入力
する。駆動制御手段２は認識手段１からのダブ16の位置
情報に基いてモータ駆動制御手段８を介してＸテーブル
用モータ8cおよびＹテーブル用モータ8dを駆動してペー
スト塗布ノズル12の位置を位置決めする。

しかるのち、ペースト塗布ノズル12からタブ16上にペ
ーストを塗布する。

一方タブ用TVカメラ5cにてタブ16の画像を撮像して認
識手段１に入力し、認識手段１にてペーストの塗布量お
よび塗布位置などを検査する。

ついで認識手段１で、タブ16のペースト塗布量および
塗布位置を検査した結果は、駆動制御手段２にフィード
バックし、ペースト塗布ノズル12からのペーストの吐出
量の調整および塗布位置の補正などに用いられる。

また検査した結果、不良と判定された場合には、作業
者に警告を発する。

ついで、中間位置決めポケット10に位置決めされたペ
レットを第２ボンディングヘッド13で吸着し、タブ位置
情報に基いてＸテーブル用モータ8cおよびＹテーブル用
モータ8dを駆動してペレットをタブ16上にボンディング
する。

ボンディングが終了すると、タブ16上にペレットの有
無，位置ずれ，欠けおよびペースト付着などの不良判定
を行う。該判定検査もペースト検査と同様、タブ用TVカ
メラ5cでフレームタブ16上を撮像し、その画像を認識手
段１に入力して該認識手段１で良否を検査する。その結
果、不良と判定した場合には、作業者に警告を発する。

またペレットの位置ずれの場合には、駆動制御手段２
に信号を入力してペレットの位置を補正する。

このようにして、タブ16上にペレットが付着すると、
駆動制御手段２からの出力信号によりモータ駆動制御手
段８を介してＸテーブル用モータ8aおよびＹテーブル用
モータ8bが駆動し、ウエハセット部４が移動してピック
アップ位置につぎのペレットをセットする。

しかるのち、ウエハ３上に良品のペレットがなくなる
と、ウエハローダによりつぎのウエハ３をウエハセット
部４に供給して再び上記動作を行う。

なお、本実施例のように、ペーストの塗布と、ペレッ
トボンディングとを同一位置で行う場合には、１台のTV
カメラで１度位置検出すればよいが、ペーストの塗布と
ペレットボンディングとを離れた別のステーションで行
う場合には、TVカメラを各ステーション毎にその上方に
設置し、各ステーションでペーストの塗布とペレットボ
ンディングを行う前にそれぞれフレーム15の位置を検出
するようにすれば本実施例と同一効果が得られる。

つぎに認識手段１における上記に説明した個々の認識
項目について具体的に説明する。

まず、フレーム15の位置検出であるが、フレーム15
は、第３図に示すような形で中央のタブ16にペレットが
接着される。フレーム位置検出に使用される第２光学系
7bは、ペースト塗布検査、ペレットボンディング検査に
も使用されるため、既に説明したように１視野でタブ16
全体が入力できる倍率をしている。

フレーム15の位置を高精度に検出するためには、タブ
16の外形を画像として正確に入力する必要があるので、
照明が問題となる。

明視野照明6cおよびリング照明6dなど、上方から照明
を用いた場合には、第４図（ａ）（ｂ）に示すように、
タブ16面では光の正反射成分が強いので明るくなるのに
対して背景は光が乱反射して暗く見えるが、フレーム15
はエッジが丸いため、実際の外形を正確に表わすことが
できない。正確な外形を表わすには、第５図（ａ）
（ｂ）に示すように、フレーム15の裏側から照明するい
わゆる透過照明によるシルエット像が最適であるが、実
際にはフレームフィーダ10の下方から照明することが困
難である。

そこで、本実施例においては、ブロック14を鏡面とし
て第６図（ａ）（ｂ）に示すように照明光を全反射さ
せ、擬似的に透過光を得るようになっている。

つぎに検出手順について第７図により説明する。

検出は、タブ16が矩形であるので、これを利用して、
まずタブ16の４直線を検出し、その重心位置を計算する
ことにより精度を上げている。

タブ16の画像を入力し、第７図（ａ）に示すように、
２値画像を得てこの２値画像からタブ16の概略位置を検
出する。

すなわち、第７図（ｂ）に示すように、２値画像をXY
両方向に走査し、0/1の連続した画像列の長さを求め、
あらかじめ入力しておいたタブ16の寸法と比較してタブ
16に該当する画素列を探す。XY両方向の画素列の中点が
タブ16の概略位置（仮重心）である。

ついで、求めた仮重心と、ティーチングで決定した走
査位置（重心からの相対距離）とからタブ16外形のエッ
ジを検出する走査位置（８個所）を第７図（ｃ）に示す
ように決定する。

しかるのち８個所の走査位置でエッジ検出処理を行
い、求めた座標から矩形を形成する４直線を算出し、さ
らに第７図（ｄ）に示すようにタブ16の正確な位置を求
める。

なお、エッジ検出処理に先がけてこれに必要なデータ
をあらかじめティーチングしておくが、この作業は、初
めて生産する品種についてのみ行い、データをフロッピ
ディスクなどに格納しておくことにより、次回以降は行
う必要がない。

またティーチングでは、照明レベルの入力，タブ寸法
の入力,2値化しきい値の決定、エッジ検出走査位置の決
定などを行うが、これらはすべて手作業で入力してもよ
いし、自動決定することも可能である。たとえば、２値
化しきい値は、第８図（ａ）に示すように、第７図
（ａ）のタブ画像の明るさヒストグラムをとると、明る
い背景と暗いタブ16との２つの山に分かれるので、その
中間値（谷）とするなどの方法がある。

エッジ探索走査位置については、必ず直線となる位置
を選ばなければならない。しかるにタブ16には、第８図
（ｂ）に示すようにタブ吊りリードと呼ばれる部分があ
り、そのタブ吊りリードの本数および位置が品種によっ
て異なる。そこで第８図（ｂ）に示すように、小さいウ
ィンドウを設け、０領域と１領域とが半分に分かれる部
分８個所を探索し、その場所を走査位置としてタブ16の
重心位置との相対距離を計算し、記憶する。

上記の方法などを用いることによってティーチングの
自動化が可能である。

つぎにウエハ位置検出について第９図により説明す
る。

第９図（ａ）に示すように、ウエハ３は引っかき傷を
付けて複数のペレットに割るいわゆるダイシングをされ
た状態でウエハセット部４にセットされる。ウエハ３の
位置および角度は、第９図（ｂ）に示すように拡大した
画像からダイシングライン18の交点を検出する。この検
出処理は、ウエハ３上の２〜４個所で行い計算して求め
る。

この場合、ウエハ用TVカメラ5aは、ダイシングライン
18が３画素以上になるような拡大倍率に設定する。

また交点検出処理は、ウエハ３のできるだけ遠い点２
〜４個所で行うことによってウエハ３の正確な位置を検
出することができるので、該位置検出処理は、ウエハ３
をセットしたのち、１度だけ行えばよく、ペレットピッ
クアップの度毎に行う必要がない。

ついで、ダイシングライン18の交点検出手順を第10図
により説明する。

ウエハ３をセットしたのち、ウエハ用TVカメラ5aより
ウエハ３上の画像を入力し、第10図に示す手順により直
接検出処理を行って画像内のダイシングライン18状態を
調べる。このとき、直交する２本のダイシングライン18
が検出されればその交点位置、直線の傾きを計算する。

また直線が２本検出できなかった場合には、検出情報
に基いてXY両方向テーブル8a,8bを駆動しウエハ３を移
動させて交点を探す。

この処理をウエハ３上の２〜４個所で行い、その結果
に基いてウエハ３の位置および傾き算出する。

つぎに第11図に示す直線検出方法を第12図に示す垂直
直線を対象にして説明する。

既に説明した方法により入力した第９図（ｂ）に示す
ような２値化直線をＸ方向に走査してダイシングライン
18の幅に相当する０パターンを探す。（第11図（１））見つからない場合には、走査位置をＹ方向に数画素移
動して再び走査する。同様のパターンが数画素連続して
検出されれば、直線の一部（線分）とみなす。（第11図
（２））検出できない場合は、第11図（１）を継続する。一定
ピッチ，一定幅内で線分を探して線分がｎ個以上見つか
れば、対象直線と判定する。（第11図（３））見つからなければ、さらに第11図（１）を継続する。

対象直線が検出されれば、検出した複数線分より最小
二乗法を用いて直線方程を算出し、さらに水平直線が見
つかれば交点を計算する。

入力のさいの明視野照明6aおよびリング照明6bの強度
および２値化しきい値は、ティーチングのさいにペレッ
ト17と、ダンシングライン18がはっきり区別できる値を
あらかじめ設定し記憶しておき、ウエハ３の位置検出の
ときに使用する。

つぎに不良ペレットの検出について第13図により説明
する。

不良ペレットとは、第13図に示すように、ウエハ３の
エッジ20にあるために欠けているものおよびペレット選
別工程で不良と判定され、インクマーク19をつけられた
ものなどである。

上記のような不良ペレットを検出するための画像は、
検査対象ペレット22が視野内に収まっていなければなら
ない。そのため、ウエハ３の位置検出の場合よりも低い
倍率で入力する。入力のさいの明視野照明6aおよびリン
グ照明6bの強度をティーチングのさいにインクマーク1
9、ウエハエッジ20と、ペレット17がはっきり区別でき
る値を記憶しておき、検出時に照明制御部６で制御す
る。２値化しきい値も同様である。

該インクマーク19の検出手法としては、２値画像をセ
グメンテーション（領域分割）処理し、インクマーク19
に相当する面積の０領域が検査対象ペレット22内に存在
するか否かを調べるか、あるいは検査対象ペレット22内
を走査してインクマーク19に相当する長さをもつ０領域
が存在するか否かを調べるなどの方法がある。

検査対象ペレット22の位置は、あらかじめ求めてある
ウエハ３の位置に基いて計算により求める。

したがって、ティーチングのときにインクマーク19の
検出エリアを設定する必要はない。

ウエハエッジ20の検出は、検査対象ペレット22の４コ
ーナにウエハエッジ検出エリア21を設け、領域内の０カ
ウント数あるいは領域内の０比率（０カウント／総面
積）によってある一定値を越えた場合、不良ペレットと
判定する。

なお不良ペレットを検出するさい、第14図に示すよう
に、画像内にペレット17が複数個含まれる場合には、つ
ぎにピックアップされる検査対象ペレット22だけでな
く、そのつぎ以降のペレットも同時に検査する。これに
より、ピックアップの度毎に画像入力，検査処理を行う
必要がなくなって高速化をはかることができる。たとえ
ば第14図の場合、検査対象ペレット22は不良であるが、
つぎの右隣りの２個のペレットは良品である。

したがってピックアップのさいにウエハ３をペレット
１個分送り良品ペレットを取り、つぎのピックアップ時
には、不良ペレットの検出を行わず、良品ペレットをピ
ックアップすればよい。

また第15図に示すように、ウエハエッジが一定方向に
存在するペレットが１個あるいは複数個検出された場合
には、その段には良品ペレットがないと判断し、つぎの
段にスキップする。これによりさらにタクトタイムを短
縮することができる。

つぎにタブ16にペーストが塗布されたのち行うペース
ト塗布検査について説明する。

この場合タブ用TVカメラ5cからの入力画像は第16図に
示すようにペースト23とタブ16とをはっきり区別される
ように明視野照明6cおよびリング照明6dをティーチング
のときにあらかじめ設定し、設定された値を記憶してお
く。

また２値化しきい値も同様にティーチングのときにあ
らかじめ設定するが、この場合には、既に説明したヒス
トグラフを用いたしきい値決定方法をタブ16の内側で適
用すれば、自動設定が可能である。

さらにヒストグラムの山と谷の差が大きくなるように
明視野照明6cおよびリング照明6dを自動設定することも
可能である。

ペースト塗布検査の手順について説明する。

タブ画像をタブ用TVカメラ5cから入力し、２値化して
第17図に示すような２値化画像を得る。このとき、タブ
16の位置は既に検出してあるので、その情報に基いてペ
ースト検出エリア24を設け、その内部をセグメンテーシ
ョンし、ペースト23に相当する面積の０領域をすべて検
出するか、あるいは、ペースト検出エリア24内を走査
し、ペースト23に相当する０領域を検出する。

ついで第18図に示すように全ペーストあるいは４コー
ナに存在するペーストなど数個のペーストの重心を検出
し、これらの値に基いてペースト全体の重心（ノズル中
心）を計算する。

しかるのち、上記計算された値とあらかじめ求めてあ
るタブ重心の値とを比較し、そのずれが一定値以上とな
る場合には、位置ずれ不良と判定する。

またペースト重心を複数個で検出すれば、ペースト全
体のXY両方向の角度ずれも検査可能である。

ついで個々のペースト23についてその面積によって塗
布なし、塗布不良、塗布過多などの判定を行う。

またペースト23の外形を正確に抽出し、円と比較する
ことによりその真円度の判定を行うことができる。

さらに第19図に示すように、ペースト23の面積が一定
方向に増加，減少している場合には、ペースト塗布ノズ
ル12が第20図に示すように、傾いていると判断すること
ができる。

上記のような検査をペースト塗布直後に行うことによ
り、不良の早期発見と不良率低減を実現することができ
る。

つぎにペレット17がタブ16にボンディングされたのち
に行うペレットボンディング検査について説明する。

この場合も、タブ用TVカメラ5cからの入力画像が第21
図に示すようにタブ16とペレット17とをはっきり区別で
きるように明視野照明6cおよびリング照明6dの強度およ
び２値化しきい値をあらかじめ設定しておく。

ついでペレットボンディング検査手法について説明す
る。

まず、検査済のタブ位置情報に基いて第22図に示すよ
うに、ペレット検出エリア27を設ける。その内部でセグ
メンテーション処理あるいは走査を行ってペレット17の
領域を検出する。

しかるのち、検出したペレット17の領域の輪郭をトラ
ッキングし、トラッキング点列の座標データあるいは輪
郭を多角形近似して多角形の頂点列（線分化点列25）デ
ータを得る。

このデータをペレットの外形を構成する４辺（４直
線）のグループに分割する。グルーピングには、ハフ変
換を用いる。線分の傾きを計算し、90゜毎に分けるなど
の方法がある。分割された４グループについて、個々に
最小二乗法などを用いて直線を決定する。

ついで第23図に示すように、４直線の４個の交点を計
算し、さらにペレット重心を求める。該ペレット重心を
タブ重心と比較し、また交点から傾きを計算してペレッ
トのずれを判定する。

しかるのち、ペレット17の輪郭のトラッキング点列ま
たは線分化点列の中で、ペレット17の４辺上にないもの
について第24図に示すように、ペレット17の４辺のうち
相隣れる２辺上の複数のトラッキング点または線分化点
からＸ方向,Y方向に垂線を下したとき、図示の２個の垂
線のように、その長さh₁,h₂を求めてその短い方h₂が欠
け26の限界値を越えた場合、その部分に欠け26あるいは
ペースト付着などの不良が存在すると判定する。

而して、これらの検査もペーストボンディング直後に
行うため、不良の早期発見によるドカ不良防止をはかる
ことができる。

上記のペースト塗布検査，ボンディング検査は、品種
交換時に行うことによってペーストの状態およびペレッ
トの状態の自動チェックとして用いることにより、作業
者による位置調整を省略することができ、段取り時間の
大幅な短縮をはかることができる。

したがって、本実施例によればフレーム位置、ウエハ
位置の高精度検出、ペースト塗布、ペレットボンディン
グの高精度化および高信頼度化の変化、不良ペレット検
出の高速化、および品種交換時の各工程の段取り時間の
短縮をはかることができる。

なお、上記実施例においては、TVカメラ５を３台、明
視野照明6a,6cおよびリング照明6b,6dを２組設置してい
るが、これに限定されるものでなく、共用可能に構成す
ることによって随時数を変更することができる。

［発明の効果］以上述べたように、本発明によれば、不良ペレット検
出は、インクマーク検出エリアをティーチング時に設定
しなくてもよいため、段取り時間短縮の効果がある。ま
た、１回の認識で数個のペレットの不良判定を行い、ま
た、エッジ検出時には次段にスキップする方式を採用す
ることにより、ペレットの検出時間を短縮することがで
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるペレットボンディング
装置を示すシステム構成斜視図、第２図は動作シーケン
ス図、第３図は本発明が適用するフレームの一例を示す
斜視図、第４図（ａ）第５図（ａ）第６図（ａ）はタブ
を照明するさいの光の状態を示す説明図、第４図（ｂ）
第５図（ｂ）第６図（ｂ）は２値画像図、第７図はフレ
ーム位置検出工程図、第８図はティーチング自動化手法
図にしてその（ａ）はタブ画像の明るさヒストグラム
図、その（ｂ）はタブの輪郭に設置したウィンドウの明
るさ領域を示す説明図、その（ｃ）はウィンドウの拡大
説明図、第９図（ａ）は本発明が適用するウエハを示す
斜視図、第９図（ｂ）は第９図（ａ）に示すペレットお
よびダイシングラインの拡大図、第10図はウエハ位置検
出動作シーケンス図、第11図はダイシングラインの検出
動作シーケンス図、第12図はダイシングライン拡大断面
図、第13図乃至第15図は不良ペレット検出動作説明用ペ
レット画像図、第16図乃至第19図はペースト塗布検査動
作説明用タブ画像図、第20図はペースト塗布時の状態の
一例を示す説明図、第21図はペレットボンディング後の
タブの画像図、第22図および第23図はボンディング検査
動作手順を示す説明図、第24図は欠けの検査方法を説明
するための説明図である。１……認識手段、２……駆動制御手段、３……ウエハ、
４……ウエハセット部、５……カメラ選択手段、６……
照明制御手段、７……光学系、８……モータ駆動制御手
段、９……第１ボンディングヘッド、10……中間位置決
めポケット、11……フレームフィーダ、12……ペースト
塗布ノズル、13……第２ボンディングヘッド、14……ブ
ロック、15……フレーム、16……タブ、17……ペレッ
ト。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者植松俊英東京都小平市上水本町1450番地株式会社日立製作所武蔵工場内 (72)発明者和田隆東京都小平市上水本町1450番地株式会社日立製作所武蔵工場内 (72)発明者豊田和男東京都青梅市藤橋３丁目３番地２日立東京エレクトロニクス株式会社内 (56)参考文献特開昭62−23125（ＪＰ，Ａ) 実開昭59−128735（ＪＰ，Ｕ) 実開昭57−115242（ＪＰ，Ｕ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエハからピックアップされた良品ペレッ
トをフレームにボンディングするペレットボンディング
方法において、撮像装置によりウエハを撮像し、該撮像
装置が撮像した画像内に複数個のペレットが含まれる場
合に画像処理手段は次にピックアップされる検査対象ペ
レットだけでなく、その次以降のペレットも同時に検査
し、良品ペレットをピックアップしてフレームにボンデ
ィングすることを特徴とするペレットボンディング方
法。
【請求項２】ウエハからピックアップされた良品ペレッ
トをフレームにボンディングするペレットボンディング
方法において、撮像装置によりウエハを撮像し、該撮像
装置が撮像した画像内にウエハエッジが１個あるいは複
数個検出された場合に画像処理手段はその段には良品ペ
レットがないと判断して次の段にスキップして検査を実
行し、次の段以降の良品ペレットをピックアップしてフ
レームにボンディングすることを特徴とするペレットボ
ンディング方法。
【請求項３】ウエハを撮像する撮像装置と、該撮像装置
より入力された画像から検査対象のペレットを画像処理
しインクマークの検出エリアを入力することなく不良ペ
レットを検出する画像処理手段とを備え、上記画像処理
手段は、検査対象のペレットと同時に次以降に検査対象
となるペレットも検出するように構成されたことを特徴
とするペレットボンディング装置。
【請求項４】上記画像処理手段は、ウエハエッジを検出
したとき、次の段のペレットを検出するように構成され
たことを特徴とする請求項３記載のペレットボンディン
グ装置。