JP2535657Y2 - 露光装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、液晶セルの基板など、
特に曲面形状の基板に電極のパタニングを形成する際に
使用される露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光源よりフォトマスクを通してフ
ォトレジストの塗布されている基板面に光を照射してそ
の表面にフォトレジストの光硬化パターンを形成させる
ための露光装置がある。この露光ではフォトレジストの
全面に均一な露光をおこなわないと光硬化が充分に進行
しない部分が残り、現像、エッチングにより形成される
電極パターンは隣接する電極間の絶縁が不十分となりシ
ョートを起こしたりする。特に緻密なパターンを形成す
る場合は、基板面に均一な光量を照射するようにしない
とフォトマスクのパターンがフォトレジスト上に再現で
きないという不具合が発生する。

【０００３】通常露光装置は、図２に示すように集光カ
バー４２と、集光カバー４２の中心に配置された光源４
１と、光源４１の光を基板４３の露光面に対して垂直光
線とするレンズ４４とを備えたランプハウス４０とから
なりランプハウス４０を上下の昇降させる昇降機５１を
もつ。基板の支持部は基板４３の露光面の上面側に配置
されるパターンマスク支持台４９と、基板４３を固定支
持し、基板４３を裏面から吸引して固定する吸着用管４
６の複数の開口が表面に設けられた定盤４５と定盤４５
を支持する支持台４７とから構成されている。なお、昇
降機５１は支持台４７に係止され、吸着用管４６は真空
ポンプ４８に接続されている。この露光装置で平面状の
基板には均一な光量が全面に照射できる。

【０００４】実開平１−１６０８２８号公報には、ウエ
ハ基板の場合に均一な露光をするために、基板表面と平
行な方向に走査する走査機構を設け、この走査機構によ
り直線状の光線をフォトレジストの塗布面の基板上を走
査させて基板に均一な露光をおこなう露光装置が開示さ
れている。しかし、基板が曲面状となると、平面状のも
のと異なり図３に示すように光線は基板５０端部への照
射は直角方向とならずフォトレジスト面に一定の光量を
照射することができなくなる。また上記の露光装置で光
源を走査させても直線状の光線が基板面上を移動するの
みで、曲面状の端部では基板面に対して直角方向から光
線が走査機構により直線的に照射できない。

【０００５】このように従来の装置での曲面基板５０に
対する露光方法では、照射光の単位面積当たりの照射量
が基板の中心から遠ざかる程少なくなることは避けられ
ない。そして照射量が不足すると、フォトレジストの現
像をおこない、エッチングしても周辺部では所定の電極
パターンが形成されておらず、端部の電極は隣接する電
極間の充分な絶縁ができずショートが起きるという不具
合が発生する。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】本考案は、上記の事情
に鑑みてなされたもので、曲面形状の基板を形状に応じ
て基板全面に一定量の光量を照射できる露光装置とする
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本考案の露光装置は、曲
面形状の露光表面をもつ基板が保持される支持部と、駆
動源により回転駆動される駆動部材と、複数の従動部材
と、該駆動部材と該従動部材を連結する連結部材と、該
連結部材の該露光表面に対向する表面に保持された光源
とよりなる露光部とからなり、該駆動部材の駆動により
該光源が該露光表面と一定距離を維持しつつ該露光表面
に沿って移動するように構成されたことを特徴とする。

【０００８】この露光装置は支持部と露光部とから構成
され、フォトマスクを通してフォトレジストの塗布され
た基板面に光線を照射して、フォトリソ法により曲面形
状の基板表面に所定の電極用のパターンを形成する装置
である。この露光装置の支持部は、基板を支持固定し光
源との距離を一定に保つように支持する。たとえば、真
空吸引管の開口を表面に複数配置した定盤で基板を固定
し、この定盤を保持する支持台とからなる。この支持台
は基板の装着および脱着が可能なように上下または左右
に移動可能とすることが好ましい。

【０００９】この露光装置の露光部分は、駆動部材と、
従動部材と、連結部材と、光源とから構成されている。
駆動部材は、たとえば、駆動源のモータで駆動部材の駆
動ローラーが回転させる。従動部材は、たとえば、搬送
ローラーで基板の曲面形状に応じてその要所に複数配置
され連結部材に係止された光源が基板と一定の距離を保
持して移動できるように支持する。連結部材は、たとえ
ば、ベルトで駆動部材および従動部材により基板面上を
一定の距離を保って移動可能のように配備されている。
光源はこの連結部材に係止され、連結部材の移動に応じ
て基板面上を基板に対して直角方向から光線を照射す
る。光源は、たとえば、紫外線で棒状で集光カバーで一
定の光線となるよう保持することが好ましい。

【００１０】この光源は連結部材が駆動部材により駆動
されることで、基板との間を一定の距離をもって基板全
面を一定の速度で移動させることができる。したがっ
て、光源の移動により端部から端部まで基板面全体にわ
たって照射することができる。また、基板面への照射光
量は光源の強さ、基板との間の距離、走査速度を調節す
ることにより容易に変更することができる。従動部材
は、その位置および数を適宜変更して配置することによ
り、基板の形状に相応させて光源を基板上に一定の距離
をもって移動させることが容易にできる。

【００１１】光線が常に直角方向から照射されて一定の
速度で基板上を移動させることにより、基板全面に均一
に一定光量の光が照射ができる。このため端部でも一定
の光量が確保でき均一なパターンをフォトレジスト上に
露光することができる。

【００１２】

【作用】この露光装置は、曲面形状の露光表面をもつ基
板が支持部で保持され、駆動源により回転駆動される駆
動部材と、複数の従動部材と、駆動部材と従動部材を連
結する連結部材と、連結部材の露光表面に対向する表面
に保持された光源とからなる。この複数の従動部材は、
連結部材が光源を係止して基板の露光表面と一定の間隔
を保持して移動できる位置に配置される。これにより駆
動源で回転駆動される駆動部材で、連結部材を従動部材
を介して基板面上を曲面形状に沿って移動する。それと
同時に連結部材に設けられた光源が露光表面と一定距離
を維持しつつ露光表面に対し常に直角方向の光線を照射
しながら一定の速度で移動することができる。

【００１３】したがって、基板の露光面全体に均一な光
量の照射ができ、所望のパターンを曲面形状であっても
フォトレジスト上に形成することができ、露光むらの発
生が防止できる。従動部材は、その位置および数を調整
して配置することにより基板の曲面形状に応じて光源を
一定の距離を保持して移動させることができる。

【００１４】

【実施例】以下、実施例により具体的に説明する。図１
にこの露光装置の概略説明図を示す。この露光装置は露
光部１と支持部２とから構成され、フォトマスクを通し
てフォトレジストの塗布された基板面に光線を照射し
て、フォトリソ法により曲面形状の基板表面に所定の電
極用のパターンを形成する装置である。

【００１５】露光部１は駆動源のモータ４と、モータ４
の回転でチェーンベルト５を介して駆動ローラー６を回
転する駆動部材３と、基板１１の曲面形状に相当する形
状に連結部材のベルト８を保持移動させる複数の搬送用
のローラー７からなる従動部材と、駆動ローター６と搬
送用のローラー７とにより回転移動する従動部材のベル
ト８と、ベルト８に保持される紫外線光源９とからな
る。このベルト８にはリミットスイッチ１９用の押し棒
２０が２ヵ所設けられ、駆動部のモータ４のスイッチと
なるリミットスイッチ１９が押し棒２０と接触してベル
ト８を一定距離移動させるような位置に配置されてい
る。

【００１６】支持部２は、基板１１を固定する定盤１２
と、定盤１２を一定の位置に昇降させる昇降機１４と、
この昇降機１４を動かすギヤ１５とモータ１６とからな
る。この支持部２で基板１１と紫外線光源９との距離を
一定に保し、基板１１の装着・脱着を昇降機１４を利用
しておこなう。定盤１２には基板１１を真空吸引により
吸着させる吸引管１３の開口が複数配置され、吸引管１
３は真空ポンプ１８に接続されている。さらに定盤１２
の下には照射光線の反射防止用のカバー２１が設けら
れ、反射光の基板への影響を排除する。

【００１７】この露光装置の作動は、基板１１を定盤１
２に載置し真空ポンプ１８を駆動させて基板１１を吸引
管１３で真空吸着させて固定させた後、昇降機１４をモ
ータ１６を駆動させてギア１５を介して紫外線光源９と
の距離が５ｍｍ以内となるまで上昇させる。次に駆動部
のモータ４の電源を入れベルト８を左方向に移動させて
紫外線光源９を左方の端部に走行させる。次にリミット
スイッチ押し棒２０ｂがリミットスイッチ１９を押すこ
とによりモーター４が逆回転し紫外線光源９は右方向に
移動を始めると同時に紫外線光源９の電源が入って点灯
して照射を開始する。紫外線光源９が基板１１の右端ま
で移動してくるとリミットスイッチ押し棒２０ａがリミ
ット１９に接触してモータ４は停止し紫外線光源９は消
灯される。このようにして基板１１への露光は終わる。

【００１８】この装置によれば紫外線光源９が基板１１
に沿って一定の距離を保持して移動し、かつどの部位に
おいても紫外線が基板１１に対して垂直方向から照射で
きる。このため基板１１の形状が曲面状であっても基板
全面にわたって均一なパタンの形成が可能となる。な
お、光源の移動速度はフォトレジストの種類、膜厚、光
源の出力により決定される。また、基板の形状が変わっ
た場合は、搬送ローラの配置を組み換えることにより対
応させることができる。

【００１９】

【考案の効果】この露光装置では光源が基板の曲面形状
に沿って走査することができるので、曲面基板の全面に
わたって均一な光線の照射が可能となる。そのため照射
後、現像、エッチング処理して得られる電極パターン
は、ショートや断線のない良好な電極パターンが形成で
きる。

【００２０】また、従動部材の位置を適宜変更すること
により基板と光源との間の距離を一定に保つことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 実施例の露光装置の概略説明図である。

【図２】 従来の露光装置の概略説明図である。

【図３】 従来の露光装置に曲面基板を配置した場合の
要部説明図である。

【符号の説明】

１ 露光部、 ２ 支持部、 ３ 駆動部材、４ モー
タ、 ５ チェーンベルト、 ６ 駆動ローラー、７
ローラー、 ８ ベルト、 ９ 紫外線光源、 １０
集光カバー、１１ 基板、 １２ 定盤、 １３ 吸引
管、 １４ 昇降機、１５ ギア、 １６ モータ、
１８ 真空ポンプ、１９ リミットスイッチ、 ２０
リミットスイッチ押し棒、２１ 反射防止用カバー、

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 曲面形状の露光表面をもつ基板が保持さ
   れる支持部と、駆動源により回転駆動される駆動部材
   と、複数の従動部材と、該駆動部材と該従動部材を連結
   する連結部材と、該連結部材の該露光表面に対向する表
   面に保持された光源とよりなる露光部とからなり、該駆
   動部材の駆動により該光源が該露光表面と一定距離を維
   持しつつ該露光表面に沿って移動するように構成された
   ことを特徴とする露光装置。