JP2534177B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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- JP2534177B2 JP2534177B2 JP4010005A JP1000592A JP2534177B2 JP 2534177 B2 JP2534177 B2 JP 2534177B2 JP 4010005 A JP4010005 A JP 4010005A JP 1000592 A JP1000592 A JP 1000592A JP 2534177 B2 JP2534177 B2 JP 2534177B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光を用いて２つの物体
間隔の変位を高速かつ高精度に測定する光学式変位測定
装置に関する。
間隔の変位を高速かつ高精度に測定する光学式変位測定
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光を用いて２つの物体間隔の変位
を測定する光学式変位測定装置は、検出器内部に光源を
有し、光源から出力した光ビームを測定対象物に照射
し、この光ビームの輝点を観測することによって、測定
対象物の変位を測定するものであった。
を測定する光学式変位測定装置は、検出器内部に光源を
有し、光源から出力した光ビームを測定対象物に照射
し、この光ビームの輝点を観測することによって、測定
対象物の変位を測定するものであった。
【０００３】また、従来の他の光学式変位測定装置は、
測定対象物側に光源を固定し、この光源からの光を２台
の検出器により観測することによって測定対象物の変位
を測定するものであった。
測定対象物側に光源を固定し、この光源からの光を２台
の検出器により観測することによって測定対象物の変位
を測定するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の光学式変位
測定装置では、例えば、前者の方式によると、検出器と
光ビームを照射する対象物の間に、塵埃、水滴等の光を
散乱させる物体が浮遊していると、光ビームは散乱、減
衰し、光ビーム照射軸上の散乱光による測定誤差や、減
衰による測定不能等の問題が生じていた。
測定装置では、例えば、前者の方式によると、検出器と
光ビームを照射する対象物の間に、塵埃、水滴等の光を
散乱させる物体が浮遊していると、光ビームは散乱、減
衰し、光ビーム照射軸上の散乱光による測定誤差や、減
衰による測定不能等の問題が生じていた。
【０００５】また、後者の方式によると、２台の検出器
の位置関係が任意であるため、変位を算出するための演
算処理が複雑となり、測定した変位の出力をリアルタイ
ムで高速に得ることができないうえ、光源と検出器との
間は有線接続され、各々が独立した構成となっていない
ため、光源の数や測定対象物と検出器間の物理的配置等
に制約があるという不都合が生じていた。
の位置関係が任意であるため、変位を算出するための演
算処理が複雑となり、測定した変位の出力をリアルタイ
ムで高速に得ることができないうえ、光源と検出器との
間は有線接続され、各々が独立した構成となっていない
ため、光源の数や測定対象物と検出器間の物理的配置等
に制約があるという不都合が生じていた。
【０００６】従って、本発明は、上記の問題点を解消
し、塵埃や水滴等の存在するような雰囲気中であって
も、光の散乱や減衰の影響を受けることなく、光源を設
置した測定対象物（観測点）の変位を高速かつ高精度に
測定することができ、また、異なる観測点を物理的な位
置の制約なしに、無限に配することができる光学式変位
測定装置を提供することを目的とする。
し、塵埃や水滴等の存在するような雰囲気中であって
も、光の散乱や減衰の影響を受けることなく、光源を設
置した測定対象物（観測点）の変位を高速かつ高精度に
測定することができ、また、異なる観測点を物理的な位
置の制約なしに、無限に配することができる光学式変位
測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、一方の物体に光源を設置し、他方の物
体に前記光源からの光を観測する検出器を設置し、前記
光源からの光を前記検出器により観測し、２つの物体間
隔の変位を測定する光学式変位測定装置において、 前記
光源は、前記光を所定の周波数で強度変調する発振回路
を備え、前記検出器は、前記光源と無接続、別体で、正
面受光軸が前記物体間隔の変位測定軸と同一である受光
軸を有し、前記光源の前記変位測定軸と直交する方向に
長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の位置
ずれ情報を抽出する位置検出部と、前記受光軸と異なる
方向に設定された受光軸を有し、前記変位測定軸方向に
長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の変位
情報を抽出する変位検出部とが、所定の位置関係で固定
して設定された２つの検出部と、前記２つの検出部の光
学系の収差および結像倍率変化に起因する検出出力の非
直線性を補正する手段と、前記変位検出部の出力を前記
位置検出部の出力で補正することにより、前記変位情報
の前記変位測定軸方向の位置ずれを補正する手段とを有
する補正回路とを備え、 さらに、前記位置検出部および
前記変位検出部は、前記光源からの所定の周波数からな
る前記光を弁別して取り込む弁別回路を備えることを特
徴とする。
めに、本発明は、一方の物体に光源を設置し、他方の物
体に前記光源からの光を観測する検出器を設置し、前記
光源からの光を前記検出器により観測し、２つの物体間
隔の変位を測定する光学式変位測定装置において、 前記
光源は、前記光を所定の周波数で強度変調する発振回路
を備え、前記検出器は、前記光源と無接続、別体で、正
面受光軸が前記物体間隔の変位測定軸と同一である受光
軸を有し、前記光源の前記変位測定軸と直交する方向に
長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の位置
ずれ情報を抽出する位置検出部と、前記受光軸と異なる
方向に設定された受光軸を有し、前記変位測定軸方向に
長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の変位
情報を抽出する変位検出部とが、所定の位置関係で固定
して設定された２つの検出部と、前記２つの検出部の光
学系の収差および結像倍率変化に起因する検出出力の非
直線性を補正する手段と、前記変位検出部の出力を前記
位置検出部の出力で補正することにより、前記変位情報
の前記変位測定軸方向の位置ずれを補正する手段とを有
する補正回路とを備え、 さらに、前記位置検出部および
前記変位検出部は、前記光源からの所定の周波数からな
る前記光を弁別して取り込む弁別回路を備えることを特
徴とする。
【０００８】
【作用】本発明に係る光学式変位測定装置では、光を用
いて２つの物体間隔の変位を測定する光学式変位測定装
置において、一方の物体に観測点となる光源を設置し、
他方の物体に、前記光源とは無接続、別体で、予め特定
の位置関係に固定され、前記光源からの光を各々異なる
受光軸で観測する２つの検出部と、前記検出部出力を補
正する補正回路からなる検出器を備え、発振回路によっ
て所定の周波数に強度変調された前記光源からの光を前
記検出器により観測し、弁別回路で弁別された所定の光
に基づき２つの物体間隔の変位を測定する。
いて２つの物体間隔の変位を測定する光学式変位測定装
置において、一方の物体に観測点となる光源を設置し、
他方の物体に、前記光源とは無接続、別体で、予め特定
の位置関係に固定され、前記光源からの光を各々異なる
受光軸で観測する２つの検出部と、前記検出部出力を補
正する補正回路からなる検出器を備え、発振回路によっ
て所定の周波数に強度変調された前記光源からの光を前
記検出器により観測し、弁別回路で弁別された所定の光
に基づき２つの物体間隔の変位を測定する。
【０００９】従って、光源からの拡散光は、異なる受光
軸で光源を観測する２つの検出部で検出され、この検出
部の配置は、予め固定された特定の位置関係にあるか
ら、光源の位置を示す２つの位置情報から、拡散光の光
軸、すなわち、光源と２つの検出部の２角挟辺が決ま
り、光源の位置が特定される。前記２つの位置情報は、
補正回路で光学系の収差および結像倍率変化に起因する
非直線性が補正され、一方の検出部の受光軸に直交する
方向に対する物体の変動による位置ずれが補正されるこ
とにより、他方の検出部からの出力に基づき物体間隔の
変位を高精度に測定する。しかも、前記光源からの光は
弁別回路によって特定されているため、外乱光の影響を
受けることなく変位測定が行われる。
軸で光源を観測する２つの検出部で検出され、この検出
部の配置は、予め固定された特定の位置関係にあるか
ら、光源の位置を示す２つの位置情報から、拡散光の光
軸、すなわち、光源と２つの検出部の２角挟辺が決ま
り、光源の位置が特定される。前記２つの位置情報は、
補正回路で光学系の収差および結像倍率変化に起因する
非直線性が補正され、一方の検出部の受光軸に直交する
方向に対する物体の変動による位置ずれが補正されるこ
とにより、他方の検出部からの出力に基づき物体間隔の
変位を高精度に測定する。しかも、前記光源からの光は
弁別回路によって特定されているため、外乱光の影響を
受けることなく変位測定が行われる。
【００１０】また、 光源と検出器は完全に別体なの
で、設置、使用方法に関する制約がなく、自由度が向上
する、 予め補正がなされているので、変位検出が高
速に行える、 観測点自体が発光するので、光の減衰
が少なく、光が散乱する雰囲気中でも、誤差となる不要
な散乱光を発生しない等の利点を有する。
で、設置、使用方法に関する制約がなく、自由度が向上
する、 予め補正がなされているので、変位検出が高
速に行える、 観測点自体が発光するので、光の減衰
が少なく、光が散乱する雰囲気中でも、誤差となる不要
な散乱光を発生しない等の利点を有する。
【００１１】
【実施例】本発明に係る光学式変位測定装置について実
施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
施例を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明
する。
【００１２】図１は、本発明に係る光学式変位測定装置
の一実施例を示す図である。図１において、一方の物体
には観測点となる光源２００が、他方の物体には光源２
００からの光を検出する検出器１００が設けられてい
る。本実施例において、光源２００は、広い指向性を有
する拡散光を発生する点光源である。
の一実施例を示す図である。図１において、一方の物体
には観測点となる光源２００が、他方の物体には光源２
００からの光を検出する検出器１００が設けられてい
る。本実施例において、光源２００は、広い指向性を有
する拡散光を発生する点光源である。
【００１３】光源２００は発振回路２０２によって駆動
される発光素子２０１を用いて、強度変調された拡散光
を発生するように構成されている。
される発光素子２０１を用いて、強度変調された拡散光
を発生するように構成されている。
【００１４】検出器１００は、正面受光軸が変位測定軸
と同一である位置検出部１１０、正面受光軸が前記変位
測定軸と異なる変位検出部１２０、補正回路１３０から
構成される。光源２００からの前記正面受光軸を光軸と
する拡散光１１１は集光レンズ１１２で集光され、位置
検出素子１１３上に像を結ぶ。位置検出素子１１３から
は、受光点の位置に応じた出力が得られ、この出力か
ら、発振回路２０２により強度変調された所定の周波数
成分の信号が弁別回路１１５によって弁別される。演算
回路１１４は、弁別された前記信号から観測点である光
源２００の前記変位測定軸と直交する方向の位置情報を
抽出する。
と同一である位置検出部１１０、正面受光軸が前記変位
測定軸と異なる変位検出部１２０、補正回路１３０から
構成される。光源２００からの前記正面受光軸を光軸と
する拡散光１１１は集光レンズ１１２で集光され、位置
検出素子１１３上に像を結ぶ。位置検出素子１１３から
は、受光点の位置に応じた出力が得られ、この出力か
ら、発振回路２０２により強度変調された所定の周波数
成分の信号が弁別回路１１５によって弁別される。演算
回路１１４は、弁別された前記信号から観測点である光
源２００の前記変位測定軸と直交する方向の位置情報を
抽出する。
【００１５】同様にして、光源２００からの拡散光１２
１は集光レンズ１２２で集光され、位置検出素子１２３
上に像を結ぶ。位置検出素子１２３からは、受光点の位
置に応じた出力が得られ、この出力から弁別回路１２５
により所定の周波数成分の信号が弁別され、その信号か
ら演算回路１２４は、観測点である光源２００の前記変
位測定軸方向の位置情報を抽出する。
１は集光レンズ１２２で集光され、位置検出素子１２３
上に像を結ぶ。位置検出素子１２３からは、受光点の位
置に応じた出力が得られ、この出力から弁別回路１２５
により所定の周波数成分の信号が弁別され、その信号か
ら演算回路１２４は、観測点である光源２００の前記変
位測定軸方向の位置情報を抽出する。
【００１６】ここで、位置検出素子１１３と１２３の配
置は、予め固定された特定の位置関係にあるから、光源
２００の位置情報として、演算回路１１４と１２４が出
力する２つの位置情報から、拡散光１１１と１２１の光
軸、すなわち、光源２００と検出部１１０、１２０の２
角挟辺が決まり、光源２００の位置が特定される。この
位置検出素子としては、ＰＳＤ、ＰＣＤ、ＣＣＤ等の光
電素子が使用できる。
置は、予め固定された特定の位置関係にあるから、光源
２００の位置情報として、演算回路１１４と１２４が出
力する２つの位置情報から、拡散光１１１と１２１の光
軸、すなわち、光源２００と検出部１１０、１２０の２
角挟辺が決まり、光源２００の位置が特定される。この
位置検出素子としては、ＰＳＤ、ＰＣＤ、ＣＣＤ等の光
電素子が使用できる。
【００１７】次に、補正回路１３０において、演算回路
１１４と１２４から出力される２つの位置情報のレンズ
収差および結像倍率変化に起因する非直線性を補正し、
変位検出部１２０の出力を位置検出部１１０の出力で位
置ずれ補正することにより、観測点である光源２００の
変位測定軸方向の変位出力が得られる。なお、位置検出
部１１０の出力の非直線性補正結果は、位置検出部１１
０の光軸に直交する方向である横方向変位情報として単
独で利用することも可能である。
１１４と１２４から出力される２つの位置情報のレンズ
収差および結像倍率変化に起因する非直線性を補正し、
変位検出部１２０の出力を位置検出部１１０の出力で位
置ずれ補正することにより、観測点である光源２００の
変位測定軸方向の変位出力が得られる。なお、位置検出
部１１０の出力の非直線性補正結果は、位置検出部１１
０の光軸に直交する方向である横方向変位情報として単
独で利用することも可能である。
【００１８】本実施例に係る光学式変位測定装置は、基
本的には以上のように構成されるものであり、次に、そ
の動作について詳細に説明する。先ず、図２Ａに示す光
点観測により光源２００の変位測定軸方向に直交する方
向の位置検出を行う原理について説明する。
本的には以上のように構成されるものであり、次に、そ
の動作について詳細に説明する。先ず、図２Ａに示す光
点観測により光源２００の変位測定軸方向に直交する方
向の位置検出を行う原理について説明する。
【００１９】図２Ａにおいて、光点Ｏから拡散した光の
一部である拡散光１１１は、集光レンズ１１２により集
光され、位置検出素子１１３上に結像し、光点Ｏの像
Ｏ′を形成する。この時、光点Ｏが＋ａから−ａと位置
変化する場合、この位置変化に伴って光点Ｏの像は、＋
ａ′から−ａ′へと変化する。
一部である拡散光１１１は、集光レンズ１１２により集
光され、位置検出素子１１３上に結像し、光点Ｏの像
Ｏ′を形成する。この時、光点Ｏが＋ａから−ａと位置
変化する場合、この位置変化に伴って光点Ｏの像は、＋
ａ′から−ａ′へと変化する。
【００２０】このようにして、光点Ｏの位置変化は、位
置検出素子１１３上の光点の像Ｏ′の位置変化に置換さ
れ、この位置変化から位置検出部１１０の光軸に直交す
る方向の位置情報が得られることになる。位置検出素子
１１３の一例である光電素子ＰＳＤは、入射した光を光
電変換し、光の入射位置に応じた比で、その両端の電極
Ａ、Ｂから出力が得られる素子であり、電極Ａ、Ｂから
の出力を（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）なる式で演算すること
で、位置検出素子１１３上の入射位置を得ることができ
る。
置検出素子１１３上の光点の像Ｏ′の位置変化に置換さ
れ、この位置変化から位置検出部１１０の光軸に直交す
る方向の位置情報が得られることになる。位置検出素子
１１３の一例である光電素子ＰＳＤは、入射した光を光
電変換し、光の入射位置に応じた比で、その両端の電極
Ａ、Ｂから出力が得られる素子であり、電極Ａ、Ｂから
の出力を（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）なる式で演算すること
で、位置検出素子１１３上の入射位置を得ることができ
る。
【００２１】一方、光点Ｏの図２Ａに示す位置変化に伴
って、変位検出部１２０を構成する位置検出素子１２３
上の光点Ｏの像も移動する。この移動は、前記光点Ｏの
変位測定軸方向の変位によらないものである。そこで、
位置検出素子１１３の出力を位置ずれの補正信号として
補正回路１３０に供給する。
って、変位検出部１２０を構成する位置検出素子１２３
上の光点Ｏの像も移動する。この移動は、前記光点Ｏの
変位測定軸方向の変位によらないものである。そこで、
位置検出素子１１３の出力を位置ずれの補正信号として
補正回路１３０に供給する。
【００２２】次に、光点Ｏの変位測定軸方向の変位は、
図２Ｂに示すように、位置検出素子１２３上の光点Ｏの
像の＋ｂ′から−ｂ′への変位として検出される。この
場合、光点Ｏの図２Ｂに示す方向の変位に図２Ａに示す
方向の変位が含まれている場合には、補正回路１３０に
おいて、位置検出素子１１３により検出された位置ずれ
の補正信号により、前記位置検出素子１２３の出力が補
正される。この結果、変位測定軸方向の光点Ｏの変位が
高精度に求まることになる。
図２Ｂに示すように、位置検出素子１２３上の光点Ｏの
像の＋ｂ′から−ｂ′への変位として検出される。この
場合、光点Ｏの図２Ｂに示す方向の変位に図２Ａに示す
方向の変位が含まれている場合には、補正回路１３０に
おいて、位置検出素子１１３により検出された位置ずれ
の補正信号により、前記位置検出素子１２３の出力が補
正される。この結果、変位測定軸方向の光点Ｏの変位が
高精度に求まることになる。
【００２３】なお、本実施例における検出器１００は、
位置検出部１１０および変位検出部１２０の内部におい
て、位置検出素子１１３、１２３の出力から、弁別回路
１１５、１２５によって、前記強度変調の周波数成分の
みを弁別するように構成されている。従って、この構成
により、光源２００の周辺に存在する外乱光の除去を図
ることができる。
位置検出部１１０および変位検出部１２０の内部におい
て、位置検出素子１１３、１２３の出力から、弁別回路
１１５、１２５によって、前記強度変調の周波数成分の
みを弁別するように構成されている。従って、この構成
により、光源２００の周辺に存在する外乱光の除去を図
ることができる。
【００２４】弁別回路１１５、１２５としては、帯域通
過ろ波器や、位相自動追従式同期検波回路等を用いて前
記周波数成分の弁別を行うように構成することが可能で
ある。
過ろ波器や、位相自動追従式同期検波回路等を用いて前
記周波数成分の弁別を行うように構成することが可能で
ある。
【００２５】
【発明の効果】本発明に係る光学式変位測定装置によれ
ば、以下の効果が得られる。
ば、以下の効果が得られる。
【００２６】すなわち、本発明に係る光学式変位測定装
置は、光を用いて２つの物体間隔の変位を測定する光学
式変位測定装置であって、一方の物体に観測点となる光
源を設置し、他方の物体に、前記光源とは無接続、別体
で、予め特定の位置関係に固定され、前記光源からの光
を各々異なる受光軸で観測する２つの検出部と、前記検
出部出力を補正する補正回路からなる検出器を備え、前
記光源からの光を前記検出器により観測し、２つの物体
間隔の変位を測定するものである。
置は、光を用いて２つの物体間隔の変位を測定する光学
式変位測定装置であって、一方の物体に観測点となる光
源を設置し、他方の物体に、前記光源とは無接続、別体
で、予め特定の位置関係に固定され、前記光源からの光
を各々異なる受光軸で観測する２つの検出部と、前記検
出部出力を補正する補正回路からなる検出器を備え、前
記光源からの光を前記検出器により観測し、２つの物体
間隔の変位を測定するものである。
【００２７】この場合、正面受光軸が変位測定軸と同一
である一方の検出部の出力に基づき、他方の検出部の出
力を補正することにより、前記変位測定軸と直交する方
向に対する測定対象物の位置ずれを補正することができ
る。
である一方の検出部の出力に基づき、他方の検出部の出
力を補正することにより、前記変位測定軸と直交する方
向に対する測定対象物の位置ずれを補正することができ
る。
【００２８】従って、塵埃や水滴等の存在するような雰
囲気中であっても、光の散乱や減衰の影響を受けること
なく、光源を設置した測定対象物（観測点）の変位を高
速かつ高精度に測定することができ、また、異なる観測
点を物理的な位置の制約なしに、無限に配することがで
きる。
囲気中であっても、光の散乱や減衰の影響を受けること
なく、光源を設置した測定対象物（観測点）の変位を高
速かつ高精度に測定することができ、また、異なる観測
点を物理的な位置の制約なしに、無限に配することがで
きる。
【００２９】さらに、本発明では、光源からの光を所定
の周波数で強度変調して検出器に供給し、それを弁別回
路を用いて弁別するように構成しているため、外乱光に
よる観測点の誤検出がなく、安定した変位測定を行うこ
とができる。
の周波数で強度変調して検出器に供給し、それを弁別回
路を用いて弁別するように構成しているため、外乱光に
よる観測点の誤検出がなく、安定した変位測定を行うこ
とができる。
【図１】本発明に係る光学式変位測定装置の一実施例を
示す図である。
示す図である。
【図２】図２Ａおよび図２Ｂは、光点観測により位置検
出を行う原理を示す図である。
出を行う原理を示す図である。
１００…検出器 ２００…光源 １１０…位置検出部 １２０…変位検出部 １３０…補正回路 １１１、１２１…拡散光 １１２、１２２…集光レンズ １１３、１２３…位置検出素子 １１４、１２４…演算回路１１５、１２５…弁別回路
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−136364（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−20410（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−120212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−3609（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−127604（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−135705（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−147009（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−118860（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−187207（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−85454（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−28510（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−128220（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−40954（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】一方の物体に光源を設置し、他方の物体に
前記光源からの光を観測する検出器を設置し、前記光源
からの光を前記検出器により観測し、２つの物体間隔の
変位を測定する光学式変位測定装置において、 前記光源は、前記光を所定の周波数で強度変調する発振
回路を備え、 前記検出器は、前記光源と無接続、別体で、 正面受光軸が前記物体間隔の変位測定軸と同一である受
光軸を有し、前記光源の前記変位測定軸と直交する方向
に長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の位
置ずれ情報を抽出する位置検出部と、前記受光軸と異な
る方向に設定された受光軸を有し、前記変位測定軸方向
に長尺な検出域を有し、その方向に対する前記光源の変
位情報を抽出する変位検出部とが、所定の位置関係で固
定して設定された２つの検出部と、 前記２つの検出部の光学系の収差および結像倍率変化に
起因する検出出力の非直線性を補正する手段と、前記変
位検出部の出力を前記位置検出部の出力で補正すること
により、前記変位情報の前記変位測定軸方向の位置ずれ
を補正する手段とを有する補正回路とを備え、 さらに、前記位置検出部および前記変位検出部は、前記
光源からの所定の周波数からなる前記光を弁別して取り
込む弁別回路を備える ことを特徴とする光学式変位測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010005A JP2534177B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 光学式変位測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4010005A JP2534177B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05196463A JPH05196463A (ja) | 1993-08-06 |
| JP2534177B2 true JP2534177B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=11738298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4010005A Expired - Lifetime JP2534177B2 (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2534177B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54136364A (en) * | 1978-04-14 | 1979-10-23 | Sony Corp | Distance measuring apparatus |
| JPS623609A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-09 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 測距装置 |
| JPS62127604A (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-09 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | 光学式位置検出装置 |
| JPS63120212A (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-24 | Shimadzu Corp | 自動車の追突防止装置 |
| JPS6420410A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-24 | Kaiyo Kagaku Gijutsu Center | Self-position detecting device for unmanned diving machine |
| JP2858819B2 (ja) * | 1989-10-21 | 1999-02-17 | 松下電工株式会社 | 光走査型変位センサ |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP4010005A patent/JP2534177B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05196463A (ja) | 1993-08-06 |
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