JP2530243B2 - ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 - Google Patents
ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/30—Imagewise removal using liquid means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、被製版ロールを水平に両端チャックして所
定回転数で回転し、該被製版ロールの一端より他端に向
って、現像ユニットを移動して感光膜の露光部分の硬化
反応を促進させる加熱処理とアルカリ現像処理と水洗処
理と乾燥処理を順に行うユニット移動式現像方法及びユ
ニット移動式現像装置に関する。
定回転数で回転し、該被製版ロールの一端より他端に向
って、現像ユニットを移動して感光膜の露光部分の硬化
反応を促進させる加熱処理とアルカリ現像処理と水洗処
理と乾燥処理を順に行うユニット移動式現像方法及びユ
ニット移動式現像装置に関する。
[従来の技術] 従来において、この種のユニット移動式現像方法及び
ユニット移動式現像装置は、全く存在しない。従来の現
像処理及び現像処理の前後の処理は、感光膜の露光部分
の硬化反応を促進させるため被製版ロールを露光後約30
分の放置することが行われた後、シャワー式アルカリ現
像装置によりアルカリ現像が行われ、続いてシャワー式
水洗装置により水洗が行われ、引続き人手によりロール
表面の付着洗浄水の手拭き処理が行われていた。
ユニット移動式現像装置は、全く存在しない。従来の現
像処理及び現像処理の前後の処理は、感光膜の露光部分
の硬化反応を促進させるため被製版ロールを露光後約30
分の放置することが行われた後、シャワー式アルカリ現
像装置によりアルカリ現像が行われ、続いてシャワー式
水洗装置により水洗が行われ、引続き人手によりロール
表面の付着洗浄水の手拭き処理が行われていた。
[発明が解決しようとする課題] しかるに、従来の現像処理及び現像処理の前後の処理
は、装置ラインに占めるスペースが大きいこと、装置の
数が多い分だけ製作コストが高く付くこと、シャワー式
アルカリ現像処理ではフレンジが約10ミクロンと大きい
こと、複数の被製版ロールを各装置に振分けて処理する
場合に各装置における処理時間の管理が難しいこと、被
製版ロールを所定処理(例えばアルカリ現像処理)を終
えて次の処理(例えば水洗処理)を行うに際して次の処
理装置(水洗装置)が他の被製版ロールを処理中である
ときに待機させたときに現像の不安定化が生じること、
人手を必要とすることなどの不具合があった。
は、装置ラインに占めるスペースが大きいこと、装置の
数が多い分だけ製作コストが高く付くこと、シャワー式
アルカリ現像処理ではフレンジが約10ミクロンと大きい
こと、複数の被製版ロールを各装置に振分けて処理する
場合に各装置における処理時間の管理が難しいこと、被
製版ロールを所定処理(例えばアルカリ現像処理)を終
えて次の処理(例えば水洗処理)を行うに際して次の処
理装置(水洗装置)が他の被製版ロールを処理中である
ときに待機させたときに現像の不安定化が生じること、
人手を必要とすることなどの不具合があった。
本願発明は、上述した点に鑑み案出したもので、現像
と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できてマ
ルチ処理後は直ちにエッチング処理に入ることができ、
また細毛を摺動接触させてアルカリ現像液が感光膜に効
果的に浸透するように擦込み塗布できてフレンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さくする
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを主たる目的としている。
と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できてマ
ルチ処理後は直ちにエッチング処理に入ることができ、
また細毛を摺動接触させてアルカリ現像液が感光膜に効
果的に浸透するように擦込み塗布できてフレンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さくする
ことができるユニット移動式現像方法及び該ユニット移
動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置を提
供することを主たる目的としている。
本願発明は、現像前の加熱と、現像と、現像後の水
洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できて、従来の露光後の
硬化反応の待時間を必要としないで直ちにマルチ処理に
入ることができるユニット移動式現像方法及び該ユニッ
ト移動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置
を提供することを副次的な目的としている。
洗、水洗後の乾燥をマルチ処置できて、従来の露光後の
硬化反応の待時間を必要としないで直ちにマルチ処理に
入ることができるユニット移動式現像方法及び該ユニッ
ト移動式現像方法を実施し得るユニット移動式現像装置
を提供することを副次的な目的としている。
[課題を解決するための手段] 本願第一発明によれば、上記課題を解決するための手
段として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が
露光された被製版ロールを水平に両端チャックして回転
し、該被製版ロールの下側一端より他端に向って、植毛
ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手段とス
ポンジロール接触バキューム式乾燥手段を処理順に備え
た現像ユニットを移送するユニット移動式現像方法であ
って、 前記植毛ロール接触式現像手段の柔軟な細毛が植設さ
れてなる第一植毛ロールをアルカリ現像液に浸しつつ前
記被製版ロールと反対方向に接触回転させてアルカリ現
像を行うとともに、該アルカリ現像の後を追うように、
前記植毛ロール接触式水洗手段の柔軟な細毛が植設され
てなる第二植毛ロールを洗浄水に浸しつつ前記被製版ロ
ールと反対方向に接触回転させて付着アルカリ現像液及
び付着溶解状レジストの洗い流しを行い、さらに、該水
洗浄の後を追うように、前記スポンジロール接触バキュ
ーム式水分除去手段のスポンジロールを前記被製版ロー
ルに接触させて連回り回転させつつ該スポンジロール内
方よりバキュームを行って付着洗浄水の吸引除去を行う
ことを特徴とするユニット移動式現像方法を提供するも
のである。
段として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が
露光された被製版ロールを水平に両端チャックして回転
し、該被製版ロールの下側一端より他端に向って、植毛
ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手段とス
ポンジロール接触バキューム式乾燥手段を処理順に備え
た現像ユニットを移送するユニット移動式現像方法であ
って、 前記植毛ロール接触式現像手段の柔軟な細毛が植設さ
れてなる第一植毛ロールをアルカリ現像液に浸しつつ前
記被製版ロールと反対方向に接触回転させてアルカリ現
像を行うとともに、該アルカリ現像の後を追うように、
前記植毛ロール接触式水洗手段の柔軟な細毛が植設され
てなる第二植毛ロールを洗浄水に浸しつつ前記被製版ロ
ールと反対方向に接触回転させて付着アルカリ現像液及
び付着溶解状レジストの洗い流しを行い、さらに、該水
洗浄の後を追うように、前記スポンジロール接触バキュ
ーム式水分除去手段のスポンジロールを前記被製版ロー
ルに接触させて連回り回転させつつ該スポンジロール内
方よりバキュームを行って付着洗浄水の吸引除去を行う
ことを特徴とするユニット移動式現像方法を提供するも
のである。
また本願第二発明によれば、上記の課題を解決する手
段として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が
露光された被製版ロールを水平に両端チャックして回転
するロールチャック手段と、該ロールチャック手段の所
要下方の一側から他側までの間を水平移動と昇降動を所
定の順序で行う二次元テーブルを有する二次元テーブル
装置と、該二次元テーブル上に設けられた植毛ロール接
触式現像手段と植設ロール接触式水洗手段とスポンジロ
ール接触バキューム式水分除去手段をロール軸に沿った
処理方向前側より順に配列された現像ユニットからな
り、 前記植毛ロール接触式現像手段は、柔軟な細毛が植設
されてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニタンク内の
アルカリ現像液に浸漬されるように有し、前記植毛ロー
ル接触式水洗手段は、柔軟な細毛が植設されてなる第二
植毛ロールを有し、該第二植毛ロールに装置外部からフ
レキシブルホースを通して洗浄水を撒水するように成っ
ており、前記スポンジロール接触バキューム式水分除去
手段は、多孔管の外側に環状のスポンジが固定されてな
るスポンジロールをフリー回転可能に有し、該スポンジ
ロールの内側を負圧にする負圧発生手段が該スポンジロ
ールに接触されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径
に応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水
平移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロー
ルが前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され
該被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布し
てアルカリ現像を行うように成っており、前記植毛ロー
ル接触式水洗手段は、前記第二植毛ロールが前記被製版
ロールの回転と反対方向に回転駆動され該被製版ロール
の現像処理済部分の付着アルカリ現像液及び付着溶解状
レジストの洗い落しを行うように成っており、前記スポ
ンジロール接触バキューム式水分除去手段は、前記スポ
ンジロールが前記被製版ロールと接触して連れ回り回転
し該被製版ロールの前記被水洗部分の付着洗浄水の吸引
除去を行うように成っていることを特徴とするユニット
移動式現像装置を提供するものである。
段として、 ロール面に感光膜コーティングされた後所望の情報が
露光された被製版ロールを水平に両端チャックして回転
するロールチャック手段と、該ロールチャック手段の所
要下方の一側から他側までの間を水平移動と昇降動を所
定の順序で行う二次元テーブルを有する二次元テーブル
装置と、該二次元テーブル上に設けられた植毛ロール接
触式現像手段と植設ロール接触式水洗手段とスポンジロ
ール接触バキューム式水分除去手段をロール軸に沿った
処理方向前側より順に配列された現像ユニットからな
り、 前記植毛ロール接触式現像手段は、柔軟な細毛が植設
されてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニタンク内の
アルカリ現像液に浸漬されるように有し、前記植毛ロー
ル接触式水洗手段は、柔軟な細毛が植設されてなる第二
植毛ロールを有し、該第二植毛ロールに装置外部からフ
レキシブルホースを通して洗浄水を撒水するように成っ
ており、前記スポンジロール接触バキューム式水分除去
手段は、多孔管の外側に環状のスポンジが固定されてな
るスポンジロールをフリー回転可能に有し、該スポンジ
ロールの内側を負圧にする負圧発生手段が該スポンジロ
ールに接触されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径
に応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水
平移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロー
ルが前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され
該被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布し
てアルカリ現像を行うように成っており、前記植毛ロー
ル接触式水洗手段は、前記第二植毛ロールが前記被製版
ロールの回転と反対方向に回転駆動され該被製版ロール
の現像処理済部分の付着アルカリ現像液及び付着溶解状
レジストの洗い落しを行うように成っており、前記スポ
ンジロール接触バキューム式水分除去手段は、前記スポ
ンジロールが前記被製版ロールと接触して連れ回り回転
し該被製版ロールの前記被水洗部分の付着洗浄水の吸引
除去を行うように成っていることを特徴とするユニット
移動式現像装置を提供するものである。
[作用] 本願第二発明のユニット移動式現像装置について作用
を説明する。
を説明する。
先ず、ロール面に感光膜コーティングされた後所望の
情報が露光された被製版ロールを固定側回転チャックと
可動側回転チャックとで水平に両端チャックする。
情報が露光された被製版ロールを固定側回転チャックと
可動側回転チャックとで水平に両端チャックする。
次に、チャック回転用モーターを駆動して被製版ロー
ルを回転し、また、第一植毛ロールと第二植毛ロールを
被製版ロールの回転と反対方向に低速回転し、第二植毛
ロールに撒水ノズルから洗浄水を噴射し、現像液貯溜ミ
ニタンク内にアルカリ現像液を貯溜し、スポンジロール
の内側を負圧にする。
ルを回転し、また、第一植毛ロールと第二植毛ロールを
被製版ロールの回転と反対方向に低速回転し、第二植毛
ロールに撒水ノズルから洗浄水を噴射し、現像液貯溜ミ
ニタンク内にアルカリ現像液を貯溜し、スポンジロール
の内側を負圧にする。
続いて、二次元テーブルが所定高さに上昇して停止し
た後、被製版ロールの他端に向って移動していき、この
ため、加熱手段が右へ移動していくとともに、該加熱の
後を追うように、第一植毛ロールがアルカリ現像液に浸
されつつ被製版ロールの左端に接触回転してアリカリ現
像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛
ロールが洗浄水に浸されつつ被製版ロールに接触回転し
て付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗い流
しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、スポン
ジロールが被製版ロールに接触して連回り回転しつつ該
スポンジロール内方よりバキュームが行われ付着洗浄水
の吸引除去を行う。
た後、被製版ロールの他端に向って移動していき、この
ため、加熱手段が右へ移動していくとともに、該加熱の
後を追うように、第一植毛ロールがアルカリ現像液に浸
されつつ被製版ロールの左端に接触回転してアリカリ現
像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛
ロールが洗浄水に浸されつつ被製版ロールに接触回転し
て付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの洗い流
しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、スポン
ジロールが被製版ロールに接触して連回り回転しつつ該
スポンジロール内方よりバキュームが行われ付着洗浄水
の吸引除去を行う。
そうして、スポンジロールが被製版ロールの他端に至
ると、二次元テーブルが水平移動を停止して下降し、下
降位置で元位置へ水平移動して復帰する。現像を終了し
た被製版ロールは、チャック解除して次工程のエッチン
グ装置へ搬送する。
ると、二次元テーブルが水平移動を停止して下降し、下
降位置で元位置へ水平移動して復帰する。現像を終了し
た被製版ロールは、チャック解除して次工程のエッチン
グ装置へ搬送する。
被製版ロールのマルチ処理について詳述すると、被製
版ロールは所要低速回転し、第一植毛ロールと第二植毛
ロールは、被製版ロールに対し、接触圧を極小に抑えら
れかつ反対方向に所要低速回転し、スポンジロールは、
被製版ロールに対し所要の接触圧にして連回り回転す
る。そして、第一植毛ロールと第二植毛ロールとスポン
ジロールを被製版ロールのロール軸方向に低速移動させ
るので、被製版ロールに対する現像と水洗と乾燥が処理
方向に順に並んでマルチ処理される。現像は被製版ロー
ルに対してスキャン方式で処理するので、被製版ロール
は全長にわたり均一に現像される。
版ロールは所要低速回転し、第一植毛ロールと第二植毛
ロールは、被製版ロールに対し、接触圧を極小に抑えら
れかつ反対方向に所要低速回転し、スポンジロールは、
被製版ロールに対し所要の接触圧にして連回り回転す
る。そして、第一植毛ロールと第二植毛ロールとスポン
ジロールを被製版ロールのロール軸方向に低速移動させ
るので、被製版ロールに対する現像と水洗と乾燥が処理
方向に順に並んでマルチ処理される。現像は被製版ロー
ルに対してスキャン方式で処理するので、被製版ロール
は全長にわたり均一に現像される。
第一植毛ロールの細毛は、被製版ロールの感光膜に対
し、接触圧を極小に抑えられて同じ部分に何回も摺動接
触し少しずつ移動していきつつアルカリ現像液を塗布す
る。アルカリ現像液は、感光膜の光硬化反応を起さない
軟質部分へ選択的に浸透していき、該軟質部分が膨潤し
て溶解が始まりロール表面からの解離が行われると、レ
ジスト画像が形成される。細毛は、レジスト画像が形成
される過程で、十分に柔かく膨潤したレジストカスを取
除く作用を果し、新たに露出する該軟質部分へのアルカ
リ現像液を一層効果的な擦込み塗布を行う。細毛を摺動
接触させてアルカリ現像液を擦込み塗布する効果とし
て、フリンジを2〜3ミクロンと小さく抑えることがで
きる。
し、接触圧を極小に抑えられて同じ部分に何回も摺動接
触し少しずつ移動していきつつアルカリ現像液を塗布す
る。アルカリ現像液は、感光膜の光硬化反応を起さない
軟質部分へ選択的に浸透していき、該軟質部分が膨潤し
て溶解が始まりロール表面からの解離が行われると、レ
ジスト画像が形成される。細毛は、レジスト画像が形成
される過程で、十分に柔かく膨潤したレジストカスを取
除く作用を果し、新たに露出する該軟質部分へのアルカ
リ現像液を一層効果的な擦込み塗布を行う。細毛を摺動
接触させてアルカリ現像液を擦込み塗布する効果とし
て、フリンジを2〜3ミクロンと小さく抑えることがで
きる。
第二植毛ロールの細毛は、被製版ロールの感光膜に対
し、現像処理によって作られたレジスト画像に摺動接触
しつつ遅滞なく水洗を行い、付着アルカリ現像液及び付
着溶解状レジストを洗い落すことになり、付着アルカリ
現像液の放置によるレジスト画像の膨潤化が回避され
る。
し、現像処理によって作られたレジスト画像に摺動接触
しつつ遅滞なく水洗を行い、付着アルカリ現像液及び付
着溶解状レジストを洗い落すことになり、付着アルカリ
現像液の放置によるレジスト画像の膨潤化が回避され
る。
スポンジロールは、被製版ロールに所定圧で接触して
連れ回り回転して、レジスト画像に対して滑らないよう
に接触して、スポンジロールの内部のバキュームによっ
て付着洗浄水の付着洗浄水の吸引除去を行うことにな
る。
連れ回り回転して、レジスト画像に対して滑らないよう
に接触して、スポンジロールの内部のバキュームによっ
て付着洗浄水の付着洗浄水の吸引除去を行うことにな
る。
[実施例] 第1図ないし第3図は、本願第二発明のユニット移動
式現像装置に係る第一実施例である。なお、該ユニット
移動式現像装置は、本願第一発明のユニット移動式現像
方法を使用した一実施例でもある。
式現像装置に係る第一実施例である。なお、該ユニット
移動式現像装置は、本願第一発明のユニット移動式現像
方法を使用した一実施例でもある。
先ず、本実施例装置の構成を説明する。
本実施例装置は、フレームFの上部にロールチャック
手段Aを備え、下部を二次元テーブル装置Bを備え、該
二次元テーブル装置Bの二次元テーブル7上に現像ユニ
ットCを備えてなる。
手段Aを備え、下部を二次元テーブル装置Bを備え、該
二次元テーブル装置Bの二次元テーブル7上に現像ユニ
ットCを備えてなる。
ロールチャック手段Aは、固定側回転チャック1と可
動側回転チャック2とを一軸線上に互いに対向するよう
に備え、可動側回転チャック2が可動軸受ブロック3に
枢支され、該可動軸受ブロック3に可動側回転チャック
2を回転するチャック回転用モーター4が取付けられ、
可動軸受ブロック3がチャック用水平ガイド5に係合案
内されかつフレームFに固定されたエアシリンダー6に
よって移動されるように設けられてなる。
動側回転チャック2とを一軸線上に互いに対向するよう
に備え、可動側回転チャック2が可動軸受ブロック3に
枢支され、該可動軸受ブロック3に可動側回転チャック
2を回転するチャック回転用モーター4が取付けられ、
可動軸受ブロック3がチャック用水平ガイド5に係合案
内されかつフレームFに固定されたエアシリンダー6に
よって移動されるように設けられてなる。
従って、ロールチャック手段Aは、チャック間に被製
版ロールRを水平に位置させ、該被製版ロールRの一端
を固定側回転チャック1に嵌合させてからエアシリンダ
ー6を伸張作動すると可動軸受ブロック3をチャック方
向に移動し、可動側回転チャック2が被製版ロールRの
他端に嵌合して両端チャックでき、チャック回転用モー
ター4を駆動すると、被製版ロールRを所定回転数で回
転し得る。
版ロールRを水平に位置させ、該被製版ロールRの一端
を固定側回転チャック1に嵌合させてからエアシリンダ
ー6を伸張作動すると可動軸受ブロック3をチャック方
向に移動し、可動側回転チャック2が被製版ロールRの
他端に嵌合して両端チャックでき、チャック回転用モー
ター4を駆動すると、被製版ロールRを所定回転数で回
転し得る。
二次元テーブル装置Bは、被製版ロールRの長さに応
じて所要寸法水平移動し得るとともに、被製版ロールR
の径に応じて所要寸法昇降動し得る二次元テーブル7を
有していれば、適宜の構造に構成されていても良い。図
示の二次元テーブル7は、テーブル水平移動用モーター
8の駆動により移動自在な一次元テーブル9の上に、テ
ーブル昇降用モーター10の駆動により昇降自在に設けら
れている。従って、二次元テーブル7は、一次元テーブ
ル9と一体に水平移動し得るとともに、該一次元テーブ
ル9に対して昇降動し得る。
じて所要寸法水平移動し得るとともに、被製版ロールR
の径に応じて所要寸法昇降動し得る二次元テーブル7を
有していれば、適宜の構造に構成されていても良い。図
示の二次元テーブル7は、テーブル水平移動用モーター
8の駆動により移動自在な一次元テーブル9の上に、テ
ーブル昇降用モーター10の駆動により昇降自在に設けら
れている。従って、二次元テーブル7は、一次元テーブ
ル9と一体に水平移動し得るとともに、該一次元テーブ
ル9に対して昇降動し得る。
一次元テーブル9は、フレームFに両端を軸支され横
ねじ軸11に螺合挿通されているとともに、フレームFに
両端を固定されテーブル用水平ガイド12に摺動可能に挿
通されていて、横ねじ軸11と直結されたテーブル水平移
動用モーター8を正転すると図面右方向へ水平移動し、
またテーブル水平移動用モーター8を反転すると図面左
方向へ水平移動する。
ねじ軸11に螺合挿通されているとともに、フレームFに
両端を固定されテーブル用水平ガイド12に摺動可能に挿
通されていて、横ねじ軸11と直結されたテーブル水平移
動用モーター8を正転すると図面右方向へ水平移動し、
またテーブル水平移動用モーター8を反転すると図面左
方向へ水平移動する。
二次元テーブル7は、四本の縦ねじ軸13,13,・・の各
上端を軸支し、各縦ねじ軸13,13,・・が一次元テーブル
9に螺合挿通されて一次元テーブル9に支持される一
方、テーブル昇降用モーター10を載置しており、テーブ
ル昇降用モーター10と四本の縦ねじ軸13,13にチェーン
捲掛装置14が捲掛けされてなり、テーブル昇降用モータ
ー10を正転すると上昇し、テーブル昇降用モーター10を
反転すると下降する。
上端を軸支し、各縦ねじ軸13,13,・・が一次元テーブル
9に螺合挿通されて一次元テーブル9に支持される一
方、テーブル昇降用モーター10を載置しており、テーブ
ル昇降用モーター10と四本の縦ねじ軸13,13にチェーン
捲掛装置14が捲掛けされてなり、テーブル昇降用モータ
ー10を正転すると上昇し、テーブル昇降用モーター10を
反転すると下降する。
二次元テーブル7上に設けられる現像ユニットCは、
加熱手段15と、植毛ロール接触式現像手段16と、植毛ロ
ール接触式水洗手段17と、スポンジロール接触バキュー
ム式水分除去手段18からなり、これらの手段は、加熱→
現像→水洗→水分除去の処理順序となるようにロール軸
に沿った処理方向前側より順に配列されている。
加熱手段15と、植毛ロール接触式現像手段16と、植毛ロ
ール接触式水洗手段17と、スポンジロール接触バキュー
ム式水分除去手段18からなり、これらの手段は、加熱→
現像→水洗→水分除去の処理順序となるようにロール軸
に沿った処理方向前側より順に配列されている。
加熱手段15は遠赤外線ヒーターが採用されているが、
電熱ヒーターや熱風ヒータ採用されても良い。
電熱ヒーターや熱風ヒータ採用されても良い。
植毛ロール接触式現像手段16は、現像液貯溜ミニタン
ク16aと、該現像液貯溜ミニタンク16a内に収容された第
一植毛ロール16bと、第一植毛ロール16bを被製版ロール
Rの回転と反対方向に低速回転する植毛ロール駆動モー
ター16cを有し、現像液貯溜ミニタンク16aに所定量の現
像液が溜まるように、装置外に設置される図示しない現
像液貯溜タンク内のアルカリ現像液が図示しない定量給
送ポンプの駆動によってフレキシブルパイプ16dを通し
て微少流量が供給される一方、現像液貯溜ミニタンク16
aから略同量の微少流量が垂れ流されることにより、現
像液貯溜ミニタンク16a内に所定量の現像液が溜まるよ
うに維持される。第一植毛ロール16bは、感光膜に傷を
付けないソフトタッチとなるように、軟質かつ膜が柔か
い細毛が高密集状態に植設されてなり、例えば、30〜40
ミクロンの太さで8〜10mmの長さのナイロン製の細毛が
20〜30本束ねられて被植設布に1〜2mmピッチ間隔に植
設されたものが採用される。第一植毛ロール16bは、ベ
ースロールに植毛布を一巻きして固定したものが更新の
面から好ましい。
ク16aと、該現像液貯溜ミニタンク16a内に収容された第
一植毛ロール16bと、第一植毛ロール16bを被製版ロール
Rの回転と反対方向に低速回転する植毛ロール駆動モー
ター16cを有し、現像液貯溜ミニタンク16aに所定量の現
像液が溜まるように、装置外に設置される図示しない現
像液貯溜タンク内のアルカリ現像液が図示しない定量給
送ポンプの駆動によってフレキシブルパイプ16dを通し
て微少流量が供給される一方、現像液貯溜ミニタンク16
aから略同量の微少流量が垂れ流されることにより、現
像液貯溜ミニタンク16a内に所定量の現像液が溜まるよ
うに維持される。第一植毛ロール16bは、感光膜に傷を
付けないソフトタッチとなるように、軟質かつ膜が柔か
い細毛が高密集状態に植設されてなり、例えば、30〜40
ミクロンの太さで8〜10mmの長さのナイロン製の細毛が
20〜30本束ねられて被植設布に1〜2mmピッチ間隔に植
設されたものが採用される。第一植毛ロール16bは、ベ
ースロールに植毛布を一巻きして固定したものが更新の
面から好ましい。
植毛ロール接触式水洗手段17は、第一植毛ロール16b
と同一に構成される第二植毛ロール17aを有するととも
に、第二植毛ロール17aの下部に向って洗浄水を噴射し
得る撒水ノズル17bを有し、さらに第二植毛ロール17aと
撒水ノズル17bを囲って水飛散防止ミニタンク17cを有
し、前記植毛ロール駆動モーター16cが共用されて第二
植毛ロール17aが被製版ロールRの回転と反対方向に低
速回転する。撒水ノズル17bは、フレキシブルパイプ17d
を介して外部の水道源と連通接続されている。飛散防止
ミニタンク17a内の水は溜まらないように垂れ流され
る。
と同一に構成される第二植毛ロール17aを有するととも
に、第二植毛ロール17aの下部に向って洗浄水を噴射し
得る撒水ノズル17bを有し、さらに第二植毛ロール17aと
撒水ノズル17bを囲って水飛散防止ミニタンク17cを有
し、前記植毛ロール駆動モーター16cが共用されて第二
植毛ロール17aが被製版ロールRの回転と反対方向に低
速回転する。撒水ノズル17bは、フレキシブルパイプ17d
を介して外部の水道源と連通接続されている。飛散防止
ミニタンク17a内の水は溜まらないように垂れ流され
る。
スポンジロール接触バキューム式水分除去手段18は、
適宜の多孔管18a′に環状のスポンジ18a″が被嵌固定さ
れてなるスポンジロール18aをボックス形のハウジング1
8bによりフリー回転可能に両端支持し、多孔管18a′の
内側を負圧にする負圧発生手段として、多孔管18a′の
一端より内部に吸引パイプ18cが差込まれ、該吸引パイ
プ18cと外部に設置されるブロアー18dの吸引口とが大口
径のフレキシブルパイプ18eを介して連通接続されてお
り、ブロアー18dの吸引口には、フレキシブルパイプ18e
内を通ってくる水を分離し得る水分離管18fが設けられ
ている。
適宜の多孔管18a′に環状のスポンジ18a″が被嵌固定さ
れてなるスポンジロール18aをボックス形のハウジング1
8bによりフリー回転可能に両端支持し、多孔管18a′の
内側を負圧にする負圧発生手段として、多孔管18a′の
一端より内部に吸引パイプ18cが差込まれ、該吸引パイ
プ18cと外部に設置されるブロアー18dの吸引口とが大口
径のフレキシブルパイプ18eを介して連通接続されてお
り、ブロアー18dの吸引口には、フレキシブルパイプ18e
内を通ってくる水を分離し得る水分離管18fが設けられ
ている。
加熱手段15の近傍に付設される第一近接スイッチS1
は、被製版ロールRの下面を検知し、この検知信号は、
二次元テーブル7の上昇停止信号として利用される。
は、被製版ロールRの下面を検知し、この検知信号は、
二次元テーブル7の上昇停止信号として利用される。
そうして、二次元テーブル7が上昇停止されると、第
一植毛ロール16bと第二植毛ロール17aが、被製版ロール
の感光膜に対して接触圧を極小に抑えられるとともに、
スポンジロール18aが被製版ロールの感光膜に対して連
回り回転し得る所要接触圧に抑えられる。スポンジロー
ル18aの近傍に付設される第二近接スイッチS2は、被製
版ロールRの右端を検知し、この検知信号は、一次元テ
ーブル9の右方向の水平移動停止信号として利用され
る。
一植毛ロール16bと第二植毛ロール17aが、被製版ロール
の感光膜に対して接触圧を極小に抑えられるとともに、
スポンジロール18aが被製版ロールの感光膜に対して連
回り回転し得る所要接触圧に抑えられる。スポンジロー
ル18aの近傍に付設される第二近接スイッチS2は、被製
版ロールRの右端を検知し、この検知信号は、一次元テ
ーブル9の右方向の水平移動停止信号として利用され
る。
次に、上記構成の本実施例装置の作用を説明する。
先ず、ロール面に感光膜コーティングされた後所望の
情報が露光された被製版ロールRの下面両端を適宜のハ
ンドリング装置で支承して固定側回転チャック1と可動
側回転チャック2の間に水平に位置させ、エアシリンダ
ー6を伸張作動して被製版ロールRを両端チャックす
る。
情報が露光された被製版ロールRの下面両端を適宜のハ
ンドリング装置で支承して固定側回転チャック1と可動
側回転チャック2の間に水平に位置させ、エアシリンダ
ー6を伸張作動して被製版ロールRを両端チャックす
る。
次に、第1図に示すように、二次元テーブル7が現像
処理の開始時に左位置にあり、加熱手段15は固定側回転
チャック1と可動側回転チャック2とでチャックされる
被製版ロールRの左端の下方に位置される状態で、図示
しない現像開始スイッチをオンする。
処理の開始時に左位置にあり、加熱手段15は固定側回転
チャック1と可動側回転チャック2とでチャックされる
被製版ロールRの左端の下方に位置される状態で、図示
しない現像開始スイッチをオンする。
すると、チャック回転用モーター4が駆動して被製版
ロールRを矢印Xの方向に所定回転数で回転し、また、
植毛ロール駆動モーター16cが駆動して第一植毛ロール1
6bと第二植毛ロール17aを被製版ロールRの回転と反対
の矢印Yの方向に低速回転し、さらに第二植毛ロール17
aの下部に向って撒水ノズル17bから洗浄水を噴射され、
現像液貯溜ミニタンク16a内に微少流量が供給され所定
量が貯溜され、ブロアー18dのモーターが駆動されスポ
ンジロール18aの多孔管18a′の内側が負圧になる。
ロールRを矢印Xの方向に所定回転数で回転し、また、
植毛ロール駆動モーター16cが駆動して第一植毛ロール1
6bと第二植毛ロール17aを被製版ロールRの回転と反対
の矢印Yの方向に低速回転し、さらに第二植毛ロール17
aの下部に向って撒水ノズル17bから洗浄水を噴射され、
現像液貯溜ミニタンク16a内に微少流量が供給され所定
量が貯溜され、ブロアー18dのモーターが駆動されスポ
ンジロール18aの多孔管18a′の内側が負圧になる。
続いて、テーブル昇降用モーター10が正転駆動され二
次元テーブル7が上昇し、加熱手段15が被製版ロールR
の一端下側に近接すると、二次元テーブル7が上昇停止
し、第一近接スイッチS1が被製版ロールRの下面を検知
すると、テーブル昇降用モーター10が駆動停止して二次
元テーブル7が上昇停止し、加熱手段15が低速回転する
被製版ロールRを加熱して、被製版ロールRの露光後の
硬化反応を促進させる。
次元テーブル7が上昇し、加熱手段15が被製版ロールR
の一端下側に近接すると、二次元テーブル7が上昇停止
し、第一近接スイッチS1が被製版ロールRの下面を検知
すると、テーブル昇降用モーター10が駆動停止して二次
元テーブル7が上昇停止し、加熱手段15が低速回転する
被製版ロールRを加熱して、被製版ロールRの露光後の
硬化反応を促進させる。
テーブル昇降用モーター10が駆動停止すると、テーブ
ル水平移動用モーター8が正転駆動されて、一次元テー
ブル9を図面右方向へ遅速移動していく。このため、加
熱手段15が右へ移動していくとともに、該加熱の後を追
うように、第一植毛ロール16bがアルカリ現像液に浸さ
れつつ被製版ロールRの左端に接触回転してアリカリ現
像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛
ロール17aが洗浄水に浸されつつ被製版ロールRに接触
回転して付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの
洗い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、
スポンジロール18aが被製版ロールRに接触して連回り
回転しつつ該スポンジロール内方よりバキュームが行わ
れ付着洗浄水の吸引除去を行う。
ル水平移動用モーター8が正転駆動されて、一次元テー
ブル9を図面右方向へ遅速移動していく。このため、加
熱手段15が右へ移動していくとともに、該加熱の後を追
うように、第一植毛ロール16bがアルカリ現像液に浸さ
れつつ被製版ロールRの左端に接触回転してアリカリ現
像を行い、該アルカリ現像の後を追うように、第二植毛
ロール17aが洗浄水に浸されつつ被製版ロールRに接触
回転して付着アルカリ現像液及び付着溶解状レジストの
洗い流しを行い、さらに、該水洗浄の後を追うように、
スポンジロール18aが被製版ロールRに接触して連回り
回転しつつ該スポンジロール内方よりバキュームが行わ
れ付着洗浄水の吸引除去を行う。
そうして、第二近接スイッチS2が被製版ロールRの右
端を検知すると、テーブル水平移動用モーター8が駆動
停止してテーブル昇降用モーター10が反転駆動して二次
元テーブル7が下降し、二次元テーブル7が下降位置に
くると、テーブル昇降用モーター10が反転駆動を停止
し、テーブル水平移動用モーター8が反転駆動して二次
元テーブル7を元位置へ水平移動する。また、チャック
回転用モーター4が駆動停止する。
端を検知すると、テーブル水平移動用モーター8が駆動
停止してテーブル昇降用モーター10が反転駆動して二次
元テーブル7が下降し、二次元テーブル7が下降位置に
くると、テーブル昇降用モーター10が反転駆動を停止
し、テーブル水平移動用モーター8が反転駆動して二次
元テーブル7を元位置へ水平移動する。また、チャック
回転用モーター4が駆動停止する。
被製版ロールRの下面両端を適宜のハンドリング装置
で支承してエアシリンダー6を縮小作動してチャック解
除し、被製版ロールRを次工程のエッチング装置へ搬送
する。
で支承してエアシリンダー6を縮小作動してチャック解
除し、被製版ロールRを次工程のエッチング装置へ搬送
する。
第4図は、本発明のユニット移動式現像装置に係る第
二実施例である。
二実施例である。
本実施例装置については、第一実施例装置と異なる部
分について説明する。
分について説明する。
チャック回転用モーター4は、固定側回転チャック1
を回転するようになっている。
を回転するようになっている。
可動側回転チャック2は、リニアガイド19によって案
内されかつねじ軸20に螺合された可動軸受ブロック3に
フリー回転可能に軸支され、ねじ軸20に直結された可動
軸受ブロック移動用モーター21によって移動される。リ
ニアガイド19とねじ軸可動軸受20とブロック移動用モー
ター21は、横桁フレームF′に設けられている。一次元
テーブル8の移動エリアの下側にドレン皿22が設けられ
ていて、現像液のドレン23と、洗浄液のドレン24と、ス
ポンジロールのドレン25を受けていて図示しない排水処
理に接続されている。二次元テーブル7は、該二次元テ
ーブル7より垂下され一次元テーブル8に摺動可能に挿
通係合された昇降ガイド26と、一次元テーブル8より設
けられ二次元テーブル7に螺合挿通された縦ねじ軸28に
よって、一次元テーブル8上に支持され、縦ねじ軸29と
直結され二次元テーブル7より設けられたテーブル昇降
用モーター10により昇降される。
内されかつねじ軸20に螺合された可動軸受ブロック3に
フリー回転可能に軸支され、ねじ軸20に直結された可動
軸受ブロック移動用モーター21によって移動される。リ
ニアガイド19とねじ軸可動軸受20とブロック移動用モー
ター21は、横桁フレームF′に設けられている。一次元
テーブル8の移動エリアの下側にドレン皿22が設けられ
ていて、現像液のドレン23と、洗浄液のドレン24と、ス
ポンジロールのドレン25を受けていて図示しない排水処
理に接続されている。二次元テーブル7は、該二次元テ
ーブル7より垂下され一次元テーブル8に摺動可能に挿
通係合された昇降ガイド26と、一次元テーブル8より設
けられ二次元テーブル7に螺合挿通された縦ねじ軸28に
よって、一次元テーブル8上に支持され、縦ねじ軸29と
直結され二次元テーブル7より設けられたテーブル昇降
用モーター10により昇降される。
本実施例装置の作動は、第一実施例装置と同一であ
る。
る。
[発明の効果] 以上説明してきたように、本発明のユニット移動式現
像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 現像と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置で
き、装置ラインに占めるスペースが従来に比して小さく
でき、装置の数が1つとなるので製作コストが大幅に低
減できる一方、高機能となり、処理時間の管理が容易と
なり、マルチ処理後は直ちにエッチング処理に入ること
ができる。
像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 現像と、現像後の水洗、水洗後の乾燥をマルチ処置で
き、装置ラインに占めるスペースが従来に比して小さく
でき、装置の数が1つとなるので製作コストが大幅に低
減できる一方、高機能となり、処理時間の管理が容易と
なり、マルチ処理後は直ちにエッチング処理に入ること
ができる。
第一植毛ロールがレジスト画像が形成される過程で十
分に柔かく膨潤したレジストカスを取除く作用を果し、
新たに露出する該軟質部分へのアルカリ現像液を一層効
果的な擦込み塗布を行い、細毛を摺動接触させてアルカ
リ現像液を擦込み塗布する効果として、フリンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さく抑え
ることができた。
分に柔かく膨潤したレジストカスを取除く作用を果し、
新たに露出する該軟質部分へのアルカリ現像液を一層効
果的な擦込み塗布を行い、細毛を摺動接触させてアルカ
リ現像液を擦込み塗布する効果として、フリンジを従来
の約10ミクロンに対して約2〜3ミクロンと小さく抑え
ることができた。
さらに、現像前の加熱と、現像と、現像後の水洗、水
洗後の乾燥をマルチ処置できる実施態様のユニット移動
式現像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 従来の露光後の硬化反応の待時間を必要としないで直
ちにマルチ処理に入ることができる。
洗後の乾燥をマルチ処置できる実施態様のユニット移動
式現像方法及びユニット移動式現像装置によれば、 従来の露光後の硬化反応の待時間を必要としないで直
ちにマルチ処理に入ることができる。
第1図ないし第3図は本発明の第一実施例に係るユニッ
ト移動式現像装置に係り、第1図は処理開始前の縦断正
面図であり、第2図は処理中の縦断正面図であり、第3
図は処理終了時の縦断正面図である。 第4図は本発明の第二実施例に係るユニット移動式現像
装置の処理中の縦断正面図である。 A……ロールチャック手段、 B……二次元テーブル装置、 C……現像ユニット、 7……二次元テーブル、 15……加熱手段、 16……植毛ロール接触式現像手段、 16a……現像液貯溜ミニタンク、 16b……第一植毛ロール、 17……植毛ロール接触式水洗手段、 17a……第二植毛ロール、 17d……フレキシブルパイプ、 18……スポンジロール接触バキューム式水分除去手段、 18a……スポンジロール、 18d……ブロアー(負圧発生手段)、
ト移動式現像装置に係り、第1図は処理開始前の縦断正
面図であり、第2図は処理中の縦断正面図であり、第3
図は処理終了時の縦断正面図である。 第4図は本発明の第二実施例に係るユニット移動式現像
装置の処理中の縦断正面図である。 A……ロールチャック手段、 B……二次元テーブル装置、 C……現像ユニット、 7……二次元テーブル、 15……加熱手段、 16……植毛ロール接触式現像手段、 16a……現像液貯溜ミニタンク、 16b……第一植毛ロール、 17……植毛ロール接触式水洗手段、 17a……第二植毛ロール、 17d……フレキシブルパイプ、 18……スポンジロール接触バキューム式水分除去手段、 18a……スポンジロール、 18d……ブロアー(負圧発生手段)、
Claims (4)
- 【請求項1】ロール面に感光膜コーティングされた後所
望の情報が露光された被製版ロールを水平に両端チャッ
クして回転し、該被製版ロールの下側一端より他端に向
って、植毛ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水
洗手段とスポンジロール接触バキューム式乾燥手段を処
理順に備えた現像ユニットを移送するユニット移動式現
像方法であって、 前記植毛ロール接触式現像手段として柔軟な細毛が植設
されてなる第一植毛ロールをアルカリ現像液に浸しつつ
前記被製版ロールと反対方向に接触回転させてアルカリ
現像を行うとともに、該アルカリ現像の後を追うよう
に、前記植毛ロール接触式水洗手段として柔軟な細毛が
植設されてなる第二植毛ロールを洗浄水に浸しつつ前記
被製版ロールと反対方向に接触回転させて付着アルカリ
現像液及び付着溶解状レジストの洗い流しを行い、さら
に、該水洗浄の後を追うように、前記スポンジロール接
触バキューム式水分除去手段としてスポンジロールを前
記製版ロールに接触させて連回り回転させつつ該スポン
ジロール内方よりバキュームを行って付着洗浄水の吸引
除去を行うことを特徴とするユニット移動式現像方法。 - 【請求項2】前記現像ユニットは、前記植毛ロール接触
式現像手段の処理方向前側に前記被製版ロールに近接し
得る適宜の加熱手段を備えて、前記アルカリ現像に先立
って前記感光膜の露光後の硬化反応を促進し得る温度に
加熱する,ことを特徴とする請求項(1)に記載のユニ
ット移動式現像方法。 - 【請求項3】ロール面に感光膜コーティングされた後所
望の情報が露光された被製版ロールを水平に両端チャッ
クして回転するロールチャック手段と、該ロールチャッ
ク手段の所要下方の一側から他側までの間を水平移動と
昇降動を所定の順序で行う二次元テーブルを有する二次
元テーブル装置と、該二次元テーブル上に設けられ植毛
ロール接触式現像手段と植毛ロール接触式水洗手段とス
ポンジロール接触バキューム式水分除去手段をロール軸
に沿った処理方向前側より順に配列された現像ユニット
からなり、 前記植毛ロール接触式現像手段は、柔軟な細毛が植設さ
れてなる第一植毛ロールを現像液貯溜ミニタンク内のア
ルカリ現像液に浸漬されるように有し、前記植毛ロール
接触式水洗手段は、柔軟な細毛が植設されてなる第二植
毛ロールを有し、該第二植毛ロールに装置外部からフレ
キシブルホースを通して洗浄水を撒水するように成って
おり、前記スポンジロール接触バキューム式水分除去手
段は、多孔管の外側に環状のスポンジが固定されてなる
スポンジロールをフリー回転可能に有し、該スポンジロ
ールの内側を負圧にする負圧発生手段が該スポンジロー
ルに接続されており、 さらに、前記二次元テーブルが前記被製版ロールの径に
応じた所要高さに上昇して該被製版ロールの下側を水平
移動するときに、 前記植毛ロール接触式現像手段は、前記第一植毛ロール
が前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動され該
被製版ロールに接触回転してアルカリ現像液を塗布して
アルカリ現像を行うように成っており、前記第二植毛ロ
ールが前記被製版ロールの回転と反対方向に回転駆動さ
れ該被製版ロールの現像処理済部分の付着アルカリ現像
液及び付着溶解状レジストの洗い落しを行うように成っ
ており、前記スポンジロール接触バキューム式水分除去
手段は、前記スポンジロールが前記被製版ロールと接触
して連れ回り回転し該被製版ロールの前記被水洗部分の
付着洗浄水の吸引除去を行うように成っていることを特
徴とするユニット移動式現像装置。 - 【請求項4】前記現像ユニットは、前記植毛ロール接触
式現像手段の処理方向前側に設けられ、前記二次元テー
ブルが前記被製版ロールの径に応じた所要高さに上昇し
て該被製版ロールの下側を水平移動するときに、該被製
版ロールに近接して前記感光膜の露光後の硬化反応を促
進し得る温度に加熱する適宜の加熱手段を有してなる,
ことを特徴とする請求項(3)に記載のユニット移動式
現像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2136494A JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
US07/702,946 US5253006A (en) | 1990-05-24 | 1991-05-20 | Moving-unit type developing method and a moving-unit type developing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2136494A JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0429151A JPH0429151A (ja) | 1992-01-31 |
JP2530243B2 true JP2530243B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15176476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2136494A Expired - Lifetime JP2530243B2 (ja) | 1990-05-24 | 1990-05-24 | ユニット移動式現像方法及びユニット移動式現像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5253006A (ja) |
JP (1) | JP2530243B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0595775B1 (en) * | 1992-10-29 | 1999-07-28 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of evaluating the dielectric layer of nonvolatile EPROM, EEPROM and flash-EEPROM memories |
EP0594920B1 (en) * | 1992-10-29 | 1999-07-28 | STMicroelectronics S.r.l. | Method of evaluating the gate oxide of non-volatile EPROM, EEPROM and flash-EEPROM memories |
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-
1991
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