JP2526708Y2 - 基板表面からのフィルム剥離装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は表面にフィルムが接着さ
れたグリーンセラミックス基板の表面から自動的にフィ
ルムを剥離するために使用される基板表面からのフィル
ム剥離装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】多層積層基板の製造工程においては、１
枚ずつのグリーンセラミックス基板をバキュームチャッ
クによりハンドリングする際の基板の損傷を防止するた
め、基板の表面にＰＥＴ等のフィルムを接着しておくこ
とがある。このようなフィルムは基板を多層に積層する
前に剥離する必要があり、従来は人手によって剥離作業
を行っていた。しかしこのような人手に頼る方法は多層
積層基板の製造を自動化したい場合には採用することが
できなかった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】本考案は上記した従来
の問題点を解消して、基板の表面から自動的にフィルム
を剥離することができる基板表面からのフィルム剥離装
置を提供するために完成されたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めになされた本考案は、表面にフィルムが接着された基
板を保持する保持台の上方位置に水平方向に移動できる
台車を設け、この台車にフィルムの耳を剥離する粘着ロ
ーラを下端に備えたアームと、これらの粘着ローラによ
り剥離されたフィルムの耳を把持して斜め上方へ引き上
げる引上げ機構とを設けたことを特徴とするものであ
る。

【０００５】

【作用】本考案の基板表面からのフィルム剥離装置は、
台車から下方に延びるアームの下端の粘着ローラにより
フィルムの耳を基板表面から剥離し、剥離されたフィル
ムの耳を把持して引上げ機構により斜め上方へ引き上げ
ることにより、基板を変形させることなくその表面から
自動的にフィルムを剥離することができる。

【０００６】

〔第１の実施例〕

図１、図２において、１は装置フレーム、２はこの装置
フレーム１上に設けられた保持台であり、表面にフィル
ムが接着された基板50をバキュームチャックにより保持
することができる構造となっている。保持台２の上方位
置には、ビーム３が軸４を中心として取り付けられてい
る。このビーム３はシリンダ５により図２に示す水平位
置と図３に示す上方位置との間を揺動できるようになっ
ており、基板50を保持台２へ搬送する際には図３の位置
を取るが、その後は図２の水平位置を保つようになって
いる。

【０００７】このビーム３上にはレール６があり、シリ
ンダ７によりレール６に沿って移動できる台車８が支持
されている。この台車８の下面にはブラケット９を介し
て一対のアーム10が垂下されており、各アーム10の下端
にはそれぞれ粘着ローラ11が水平に支持されている。こ
れらの粘着ローラ11は図２に示すように保持台２上の基
板50の端部に接触し、基板50の表面で転動することによ
り基板50の表面から粘着力によってフィルムの耳をわず
かに剥離する役割を持つものである。なおローラ11の押
圧力は適宜調節可能となっている。またこれらのローラ
11の曲率は、基板50にビア埋印刷等がされているときに
は10φ以下とすることが好ましい。これは曲率が10φ以
上であるとフィルムにビアペーストが付着して取れてし
まう危険性があるためである。

【０００８】またこれら一対のローラ11の中間位置に
は、フィルムの耳を把持して斜め上方へ引き上げる引上
げ機構12が設けられている。この引上げ機構12は前記し
た台車８にほぼ45度の角度で支持された引上げシリンダ
13と、図５に示すようにこの引上げシリンダ13のピスト
ンロッド14の下端に設けられた開閉爪15とからなるもの
である。図２に想像線で示すように、引上げ機構12は台
車８とともに移動しながら開閉爪15を次第に上方へ引上
げることができるものである。

【０００９】このように構成された実施例のフィルム剥
離装置によりフィルムを剥離するには、まず図３のよう
にビーム３を上方に撥ね上げておき、図示を略した搬送
機構により表面にフィルムが接着された基板50を保持台
２へセットし、バキュームにより確実に吸着させる。次
にビーム３を水平位置まで戻し、台車８をビーム３の先
端まで移動させた状態で図２に実線で示すように各アー
ム10の下端の一対の粘着ローラ11を基板50の端部に接触
させる。そしてこの状態から台車８を図２、図３の左方
向へ移動させる。この結果、基板50の表面のフィルム上
では粘着ローラ11が回転することとなるが、これらの粘
着ローラ11には粘着力が与えてあるためフィルムはその
表面に粘着し、粘着ローラ11が回転するためにフィルム
の耳は基板50の表面からわずかに剥離し始めることとな
る。

【００１０】そこでこれらの粘着ローラ11の中間位置に
設けられた引上げ機構12の開閉爪15によりフィルムの耳
を把持し、台車８により引上げ機構12の全体を図２の想
像線の位置に来るまで移動させながら、引上げシリンダ
13により開閉爪15を上昇させてフィルムの耳を斜め上方
へ引き上げる。このようにしてフィルムは基板50の表面
から徐々に剥離され、図２に想像線で示す位置まで台車
８を移動させれば、フィルムは基板50の表面から完全に
剥離されることとなる。しかも引上げ中も一対のローラ
11が基板50の表面を押圧し続けているので、グリーンセ
ラミックからなる基板50が変形するおそれもない。

【００１１】なお、フィルムの剥離が完了した基板50は
再び図示しない搬送機構により保持台２から持ち上げら
れ、次工程へ搬送される。

【００１２】〔第２の実施例〕 図６〜図８に示す第２の実施例では、アーム10の下端に
タレット20が設けられており、このタレット20の４辺に
粘着ローラ11と基板押さえローラ21の組が設けられてい
る。このタレット20はその上方のエアインデックス装置
22により、タイミングベルト23を介して駆動することが
できるようになっている。この実施例では粘着ローラ11
の粘着力が低下してきたときにタレット20をインダック
スし、新しい粘着ローラ11と基板押さえローラ21の組を
下側に回転させて使用することができる。またこの基板
押さえローラ21は、開閉爪15によりフィルムの耳を斜め
上方へ引き上げるときに、下側の基板50を押さえて持ち
上がることを防止するためのものである。その他の構成
は第１の実施例と同様であるから、説明を省略する。

【００１３】〔第３の実施例〕 図９〜図１０に示す第３の実施例では、アーム10の下端
に粘着ローラ11とフィルム押さえローラ29とを交互に下
降可能に設けてある。すなわち、アーム10の下端にエア
シリンダ24により揺動される軸25が設けられており、こ
の軸25から延びるアーム26の下端に粘着ローラ11が設け
られている。一方、アーム10の下端に軸25と平行な軸27
が設けられており、この軸27から延びるアーム28の先端
にフィルム押さえローラ29が設けられている。そして軸
25に固定されたセクターギヤ30が軸27に固定されたセク
ターギヤ31と噛み合っているので、図９に実線で示すよ
うにアーム10を下げて粘着ローラ11を基板50に接触させ
ると軸27は逆転してフィルム押さえローラ29が上がり、
逆に粘着ローラ11を上げるとフィルム押さえローラ29が
下がるようになっている。

【００１４】なお、32はアーム33の先端に設けられた基
板押さえローラであり、アーム33がスプリング34により
常に下向きに弾発されているので、基板押さえローラ32
は常に基板50の表面に押し付けられている。

【００１５】この実施例ではまず粘着ローラ11を基板50
に接触させてその表面からフィルムの耳を剥離し、開閉
爪15によりフィルムの耳を把持する。その後は粘着ロー
ラ11を上昇させるとともにフィルム押さえローラ29を下
げ、剥離部分に近いフィルムの上面を押さえる。これと
ともに基板押さえローラ32が下側の基板50を押さえて基
板50が持ち上がることを防止する。このように第３の実
施例では最初の必要時のみに粘着ローラ11を基板50に接
触させ、その後は基板50から上昇させるので、粘着ロー
ラ11の粘着力が長期間にわたり維持されることとなる。

【００１６】

【考案の効果】以上に詳細に説明したように、本考案の
基板表面からのフィルム剥離装置によれば粘着ローラに
より剥離されたフィルムの耳を把持して斜め上方へ引き
上げることにより、基板を変形させることなくその表面
から自動的にフィルムを剥離することができ、従来の人
手によるフィルムの剥離に比較して著しく作業能率を向
上させることができる利点がある。更に前記したように
粘着ローラの曲率を設定しておけば、ローラ曲率により
フィルムの剥離曲率が規制され、ビアペーストの離脱等
を防止することができる。さらにまた第２、第３の実施
例のように粘着ローラの部分を工夫すれば、粘着ローラ
の粘着力の低下をカバーすることができ、長期間の連続
使用が可能である。よって本考案は従来の問題点を解消
した基板表面からのフィルム剥離装置として、その実用
的価値は極めて大きいものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１の実施例を示す正面図である。

【図２】本考案の第１の実施例を示す側面図である。

【図３】ビームを撥ね上げた状態を示す側面図である。

【図４】第１の実施例の要部の拡大正面図である。

【図５】第１の実施例の要部の拡大側面図である。

【図６】第２の実施例を示す正面図である。

【図７】第２の実施例の要部の拡大正面図である。

【図８】第２の実施例の要部の拡大側面図である。

【図９】第３の実施例の要部の拡大正面図である。

【図１０】第３の実施例の要部の拡大平面図である。

【符号の説明】

２ 保持台 ８ 台車 10 アーム 11 粘着ローラ 12 引上げ機構 20 タレット 21 基板押さえローラ 29 フィルム押さえローラ 32 基板押さえローラ 50 基板

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面にフィルムが接着された基板を保持
   する保持台の上方位置に水平方向に移動できる台車を設
   け、この台車にフィルムの耳を剥離する粘着ローラを下
   端に備えたアームと、これらの粘着ローラにより剥離さ
   れたフィルムの耳を把持して斜め上方へ引き上げる引上
   げ機構とを設けたことを特徴とする基板表面からのフィ
   ルム剥離装置。
2. 【請求項２】 アームの先端のタレット上に、粘着ロー
   ラと基板押さえローラを複数組取り付けた請求項１記載
   の基板表面からのフィルム剥離装置。
3. 【請求項３】 アームの先端に、粘着ローラとフィルム
   押さえローラとを交互に下降可能に設けた請求項１記載
   の基板表面からのフィルム剥離装置。