JP2524794Y2 - 光学式走査型測定装置 - Google Patents
光学式走査型測定装置Info
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- JP2524794Y2 JP2524794Y2 JP1989114327U JP11432789U JP2524794Y2 JP 2524794 Y2 JP2524794 Y2 JP 2524794Y2 JP 1989114327 U JP1989114327 U JP 1989114327U JP 11432789 U JP11432789 U JP 11432789U JP 2524794 Y2 JP2524794 Y2 JP 2524794Y2
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Description
本考案は、光学式走査型測定装置に係り、特に、透明
体を複数の方向から測定する際に用いるのに好適な、レ
ーザビームを利用して測定対象物の寸法等を測定する光
学式走査型測定装置の改良に関するものである。
体を複数の方向から測定する際に用いるのに好適な、レ
ーザビームを利用して測定対象物の寸法等を測定する光
学式走査型測定装置の改良に関するものである。
従来、回転又は振動走査ビーム（レーザビーム）をコ
リメータレンズにより、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査ビームに変換し、該コリメータレ
ンズと集光レンズの間に配置した測定対象物によって前
記平行走査部分の一部が遮られて生じる暗部又は明部の
時間の長さから測定対象物の走査方向寸法を測定する光
学式走査型測定装置があった。 このような光学式走査型測定装置の１つに、第４図に
示す如く、例えば三角柱状のミラー34と１対のミラー36
X及び36Yを用いて、コリメータレンズ18により形成され
た平行走査ビーム20を、時間的に区分された２つの平行
走査ビーム（Ｘ軸ビーム20XとＹ軸ビーム20Y）に分離し
て、測定対象物22に対して互いに直交する２つの方向
（Ｘ方向とＹ方向）から照射し、例えば２つの集光レン
ズ24X、24Yによって集光した光を２つの受光素子26X、2
6Yで受光し、加算器38によりその合成出力を得て、１つ
の測定対象物22を２方向から同時に測定し、その平均値
又は差を得るようにして、測定精度を高めたものもあ
る。 このような光学式走査型測定装置によれば、第４図に
示した如く、ミラー34の境界を挟んで、その前方と後方
にＸ軸方向の測定値ＸとＹ軸方向の測定値Ｙが得られる
ので、測定対象物が１つであれば、簡単な構成で２方向
測定が可能となる。
リメータレンズにより、このコリメータレンズと集光レ
ンズ間を通る平行走査ビームに変換し、該コリメータレ
ンズと集光レンズの間に配置した測定対象物によって前
記平行走査部分の一部が遮られて生じる暗部又は明部の
時間の長さから測定対象物の走査方向寸法を測定する光
学式走査型測定装置があった。 このような光学式走査型測定装置の１つに、第４図に
示す如く、例えば三角柱状のミラー34と１対のミラー36
X及び36Yを用いて、コリメータレンズ18により形成され
た平行走査ビーム20を、時間的に区分された２つの平行
走査ビーム（Ｘ軸ビーム20XとＹ軸ビーム20Y）に分離し
て、測定対象物22に対して互いに直交する２つの方向
（Ｘ方向とＹ方向）から照射し、例えば２つの集光レン
ズ24X、24Yによって集光した光を２つの受光素子26X、2
6Yで受光し、加算器38によりその合成出力を得て、１つ
の測定対象物22を２方向から同時に測定し、その平均値
又は差を得るようにして、測定精度を高めたものもあ
る。 このような光学式走査型測定装置によれば、第４図に
示した如く、ミラー34の境界を挟んで、その前方と後方
にＸ軸方向の測定値ＸとＹ軸方向の測定値Ｙが得られる
ので、測定対象物が１つであれば、簡単な構成で２方向
測定が可能となる。
しかしながら、このような２方向型の光学式走査型測
定装置を用いて透明体を測定すると、第５図に示す如
く、透明体22Aを通過した平行走査ビーム20X、20Y（第
５図は20Xのみ図示）の強度が不安定となり、多数のエ
ッジが検出されるため、通常の透明体測定用ロジックで
は、Ｘ軸のデータとＹ軸のデータの判別が困難になり、
測定が不可能になるという問題点を有していた。 即ち、前記のような光学式走査型測定装置を用いて透
明体を測定する際には、第５図に示した如く、透明体を
通過した平行走査ビームの強度が不定となり、第６図
（Ｘ軸の例）に示す如く、透明体の内部でもエッジが発
生するため、単に各エッジと、例えば基準信号であるリ
セット信号の時間を計数したのでは、透明体の外径を求
めることができない。 そこで、第７図に示す如く、立上りエッジと立下りエ
ッジの合成エッジ信号が入力される毎に出力がシフトさ
れるシフトレジスタ56Aと、受光信号の最初のエッジに
対応する該シフトレジスタ56Aの最初の出力Ａ、即ち受
光信号の最初の立上りエッジによってクロックの計数を
開始し、リセット信号の立上りによって計数を停止する
ことにより、最初のエッジからリセット信号までの時間
CNT1（第６図参照）を計数する第１のカウンタ58Aと、
受光信号の２番目のエッジに対応する、前記シフトレジ
スタ56Aの２番目の出力Ｂ、即ち、受光信号の最初の立
下りエッジによってクロックの計数を開始し、前記リセ
ット信号の立上りによって計数を停止することにより、
２番目のエッジからリセット信号までの時間CNT2（第６
図参照）を計数する第２のカウンタ58Bと、受光信号の
３番目以降のエッジに対応する、前記シフトレジスタ56
Aの次の出力Ｃによってクロックの計数を開始し、以
後、受光信号の奇数番目のエッジ（立上りエッジに対
応）が検出される毎に０クリアされることによって、最
後から２番目のエッジ（最後の立上りエッジに対応）か
らリセット信号までの時間CNT3（第６図参照）を計数す
る第３のカウンタ58Cとを備えていた。 即ち、この第７図の回路によれば、第８図に示す如
く、第３のカウンタ58Cによって最後の立上りエッジの
時刻CNT3を計数できるので、透明体の外径を、第６図に
示した如く、例えば第２のカウンタ58Bの計数値CNT2と
第３のカウンタ58Cの計数値CNT3の差（CNT2−CNT3）か
ら求めることができる。 しかしながら、第４図に示した如く、Ｘ軸とＹ軸の両
方向を同時に測定する場合には、合成した受光信号の最
初の立上りエッジ及び最初の立下りエッジ（即ちＸ軸の
最初の立上りエッジとＸ軸の最初の立下りエッジ）と、
合成受光信号の最後の立上りエッジ（即ちＹ軸の最後の
立上りエッジ）が検出されるだけであり、Ｘ軸の最後の
立上りエッジ及びＹ軸の最初の立下りエッジが測定でき
ないため、透明体の寸法を２方向から測定することは不
可能であった。 このような問題点を解消するべく、独立した２台の測
定部を直交させることも考えられるが、高価な測定部を
２台必要とする上、表示部における計算処理が複雑化す
るという問題点を有していた。 本考案は、前記従来の問題点を解消するべくなされた
もので、透明体であっても、安価な構成で複数方向か
ら、不透明体と同様の高精度な測定を行うことが可能な
光学式走査型測定装置を提供することを課題とする。
定装置を用いて透明体を測定すると、第５図に示す如
く、透明体22Aを通過した平行走査ビーム20X、20Y（第
５図は20Xのみ図示）の強度が不安定となり、多数のエ
ッジが検出されるため、通常の透明体測定用ロジックで
は、Ｘ軸のデータとＹ軸のデータの判別が困難になり、
測定が不可能になるという問題点を有していた。 即ち、前記のような光学式走査型測定装置を用いて透
明体を測定する際には、第５図に示した如く、透明体を
通過した平行走査ビームの強度が不定となり、第６図
（Ｘ軸の例）に示す如く、透明体の内部でもエッジが発
生するため、単に各エッジと、例えば基準信号であるリ
セット信号の時間を計数したのでは、透明体の外径を求
めることができない。 そこで、第７図に示す如く、立上りエッジと立下りエ
ッジの合成エッジ信号が入力される毎に出力がシフトさ
れるシフトレジスタ56Aと、受光信号の最初のエッジに
対応する該シフトレジスタ56Aの最初の出力Ａ、即ち受
光信号の最初の立上りエッジによってクロックの計数を
開始し、リセット信号の立上りによって計数を停止する
ことにより、最初のエッジからリセット信号までの時間
CNT1（第６図参照）を計数する第１のカウンタ58Aと、
受光信号の２番目のエッジに対応する、前記シフトレジ
スタ56Aの２番目の出力Ｂ、即ち、受光信号の最初の立
下りエッジによってクロックの計数を開始し、前記リセ
ット信号の立上りによって計数を停止することにより、
２番目のエッジからリセット信号までの時間CNT2（第６
図参照）を計数する第２のカウンタ58Bと、受光信号の
３番目以降のエッジに対応する、前記シフトレジスタ56
Aの次の出力Ｃによってクロックの計数を開始し、以
後、受光信号の奇数番目のエッジ（立上りエッジに対
応）が検出される毎に０クリアされることによって、最
後から２番目のエッジ（最後の立上りエッジに対応）か
らリセット信号までの時間CNT3（第６図参照）を計数す
る第３のカウンタ58Cとを備えていた。 即ち、この第７図の回路によれば、第８図に示す如
く、第３のカウンタ58Cによって最後の立上りエッジの
時刻CNT3を計数できるので、透明体の外径を、第６図に
示した如く、例えば第２のカウンタ58Bの計数値CNT2と
第３のカウンタ58Cの計数値CNT3の差（CNT2−CNT3）か
ら求めることができる。 しかしながら、第４図に示した如く、Ｘ軸とＹ軸の両
方向を同時に測定する場合には、合成した受光信号の最
初の立上りエッジ及び最初の立下りエッジ（即ちＸ軸の
最初の立上りエッジとＸ軸の最初の立下りエッジ）と、
合成受光信号の最後の立上りエッジ（即ちＹ軸の最後の
立上りエッジ）が検出されるだけであり、Ｘ軸の最後の
立上りエッジ及びＹ軸の最初の立下りエッジが測定でき
ないため、透明体の寸法を２方向から測定することは不
可能であった。 このような問題点を解消するべく、独立した２台の測
定部を直交させることも考えられるが、高価な測定部を
２台必要とする上、表示部における計算処理が複雑化す
るという問題点を有していた。 本考案は、前記従来の問題点を解消するべくなされた
もので、透明体であっても、安価な構成で複数方向か
ら、不透明体と同様の高精度な測定を行うことが可能な
光学式走査型測定装置を提供することを課題とする。
本考案は、回転又は振動走査ビームを平行走査ビーム
とするコリメート手段と、該平行走査ビームを時間的に
区分された複数の平行走査ビーム（実施例ではＸ軸ビー
ムとＹ軸ビーム）に分離して、測定対象に複数の方向か
ら照射するビーム分離手段と、測定対象を通過した各平
行走査ビームの明暗を検出する計測用の受光素子と、該
受光素子出力から得られる合成された受光信号を波形整
形してエッジを検出するエッジ検出回路とを有し、測定
対象によって各平行走査ビームの一部が遮られて生じる
暗部又は明部への切替りを検出して、測定対象の各走査
方向（実施例ではＸ方向とＹ方向）寸法を求めるように
した光学式走査型測定装置において、１走査の終了又は
開始時にリセット信号を発生するリセット回路と、各走
査方向における受光信号の少なくとも２番目のエッジ
（実施例では最後の立下りエッジ）と前記リセット信号
の間隔（実施例ではCNT2x及びCNT2y）を計数するため
の、各走査方向毎に独立した複数のカウンタ（実施例で
はカウンタ58B及び58F）と、各走査方向における受光信
号の最後から２番目のエッジ（実施例では最後の立上り
エッジ）と前記リセット信号の間隔（実施例ではCNT3x
及びCNT3y）を計数するための、各走査方向における受
光信号の３番目以降の奇数番目のエッジ（実施例では２
番目以降の立上りエッジ）が検される毎に、一方が計数
を開始し、他方の計数値がクリアされる、各走査方向毎
に独立した複数のカウンタ対（実施例ではカウンタ58C
＋58D及び58G＋58H）と、対応する方向（実施例ではＹ
軸方向）の走査開始迄は、当該走査方向のカウンタ群の
非計数状態を固定するための手段（実施例ではモノマル
チバイブレータ56D＋ANDゲート56F）と、対応する方向
（実施例ではＸ軸方向）の走査終了後は、当該走査方向
のカウンタ群の計数状態を固定するための手段（実施例
ではモノマルチバイブレータ56D＋インバータ56E）とを
備え、前記カウンタによって計数された、各走査方向の
２番目のエッジとリセット信号の間隔（実施例ではCNT2
x及びCNT2y）と、前記カウンタ対によって計数された、
各走査方向の最後から２番目のエッジとリセット信号の
間隔（実施例ではCNT3x及びCNT3y）の差（実施例ではCN
T2x−CNT3x及びCNT2y−CNT3y）に基づいて、測定対象の
各走査方向寸法を求めるようにして、上記課題を達成し
たものである。
とするコリメート手段と、該平行走査ビームを時間的に
区分された複数の平行走査ビーム（実施例ではＸ軸ビー
ムとＹ軸ビーム）に分離して、測定対象に複数の方向か
ら照射するビーム分離手段と、測定対象を通過した各平
行走査ビームの明暗を検出する計測用の受光素子と、該
受光素子出力から得られる合成された受光信号を波形整
形してエッジを検出するエッジ検出回路とを有し、測定
対象によって各平行走査ビームの一部が遮られて生じる
暗部又は明部への切替りを検出して、測定対象の各走査
方向（実施例ではＸ方向とＹ方向）寸法を求めるように
した光学式走査型測定装置において、１走査の終了又は
開始時にリセット信号を発生するリセット回路と、各走
査方向における受光信号の少なくとも２番目のエッジ
（実施例では最後の立下りエッジ）と前記リセット信号
の間隔（実施例ではCNT2x及びCNT2y）を計数するため
の、各走査方向毎に独立した複数のカウンタ（実施例で
はカウンタ58B及び58F）と、各走査方向における受光信
号の最後から２番目のエッジ（実施例では最後の立上り
エッジ）と前記リセット信号の間隔（実施例ではCNT3x
及びCNT3y）を計数するための、各走査方向における受
光信号の３番目以降の奇数番目のエッジ（実施例では２
番目以降の立上りエッジ）が検される毎に、一方が計数
を開始し、他方の計数値がクリアされる、各走査方向毎
に独立した複数のカウンタ対（実施例ではカウンタ58C
＋58D及び58G＋58H）と、対応する方向（実施例ではＹ
軸方向）の走査開始迄は、当該走査方向のカウンタ群の
非計数状態を固定するための手段（実施例ではモノマル
チバイブレータ56D＋ANDゲート56F）と、対応する方向
（実施例ではＸ軸方向）の走査終了後は、当該走査方向
のカウンタ群の計数状態を固定するための手段（実施例
ではモノマルチバイブレータ56D＋インバータ56E）とを
備え、前記カウンタによって計数された、各走査方向の
２番目のエッジとリセット信号の間隔（実施例ではCNT2
x及びCNT2y）と、前記カウンタ対によって計数された、
各走査方向の最後から２番目のエッジとリセット信号の
間隔（実施例ではCNT3x及びCNT3y）の差（実施例ではCN
T2x−CNT3x及びCNT2y−CNT3y）に基づいて、測定対象の
各走査方向寸法を求めるようにして、上記課題を達成し
たものである。
本考案においては、走査方向毎に独立した複数のカウ
ンタ群を設け、平行走査ビームの走査位置に応じて、対
応する方向の走査開始迄は、当該走査方向のカウンタ群
の非計数状態を固定し、対応する方向の走査終了後は、
当該走査方向のカウンタ群の計数状態を固定するように
している。従って、合成された受光信号に対して、走査
方向毎に独立した計数が可能となり、透明体であって
も、従来と同様の透明体測定用ロジックを用いて、複数
方向からの測定が可能となる。 更に、各走査方向における受光信号の最後から２番目
のエッジとリセット信号の間隙を、各走査方向における
受光信号の３番目以降の奇数番目のエッジが検出される
毎に、一方が計数を開始し、他方の計数値がクリアされ
るカウンタ対により計数するようにしているので、従来
の透明体測定時に存在した、第８図に示すクリアパルス
による測定誤差（クリアパルスが立下がるまで第３のカ
ウンタの作動が停止している）が排除され、各カウンタ
の計数開始時間を揃えて、透明体であっても不透明体と
同様の高精度の測定を行うことが可能となる。更に、透
明体と不透明体で測定方法や校正方法を分ける必要がな
く、従来は透明体用と不透明体用で測定方法や校正方法
を分ける必要がなく、従来は透明体用と不透明体用でそ
れぞれ設けていた校正用の基準体も共用できるため、コ
ストダウンを図ることができる。
ンタ群を設け、平行走査ビームの走査位置に応じて、対
応する方向の走査開始迄は、当該走査方向のカウンタ群
の非計数状態を固定し、対応する方向の走査終了後は、
当該走査方向のカウンタ群の計数状態を固定するように
している。従って、合成された受光信号に対して、走査
方向毎に独立した計数が可能となり、透明体であって
も、従来と同様の透明体測定用ロジックを用いて、複数
方向からの測定が可能となる。 更に、各走査方向における受光信号の最後から２番目
のエッジとリセット信号の間隙を、各走査方向における
受光信号の３番目以降の奇数番目のエッジが検出される
毎に、一方が計数を開始し、他方の計数値がクリアされ
るカウンタ対により計数するようにしているので、従来
の透明体測定時に存在した、第８図に示すクリアパルス
による測定誤差（クリアパルスが立下がるまで第３のカ
ウンタの作動が停止している）が排除され、各カウンタ
の計数開始時間を揃えて、透明体であっても不透明体と
同様の高精度の測定を行うことが可能となる。更に、透
明体と不透明体で測定方法や校正方法を分ける必要がな
く、従来は透明体用と不透明体用で測定方法や校正方法
を分ける必要がなく、従来は透明体用と不透明体用でそ
れぞれ設けていた校正用の基準体も共用できるため、コ
ストダウンを図ることができる。
以下図面を参照して、本考案の実施例を詳細に説明す
る。 本実施例の測定部は、第２図に示す如く、レーザ光源
10と、該レーザ光源10で発生されたレーザビーム12を回
転走査ビーム16に変換するポリゴンミラー14と、該回転
走査ビーム16を平行走査ビーム20に変換するためのコリ
メータレンズ（ｆθレンズ）18と、該平行走査ビーム20
を、時間的に区分された、互いに直交する２つの平行走
査ビーム20X、20Yに分離して、測定対象物22に２つの方
向（Ｘ方向及びＹ方向）から照射する３角柱状ミラー34
及びミラー36X、36Yと、測定対象物22を通過した平行走
査ビーム20X、20Yをそれそれ集光するための集光レンズ
24X、24Yと、該集光レンズ24X、24Yによって集光された
光の明暗をそれぞれ検出する計測用の受光素子26X、26Y
と、該受光素子26X、26Yの出力を合成する加算器38と、
該加算器38の出力を増幅するアンプ48と、から主に構成
されている。 図において、28は、レーザ光源10から照射されたレー
ザビーム12をポリゴンミラー14の反射面に当てるため、
必要に応じて配置されるミラー、30は、前記ポリゴンミ
ラー14を回転するためのモータ、32は、前記回転走査ビ
ーム16又は平行走査ビーム20の有効走査範囲外に配置さ
れ、１走査の開始又は終了を検出するためのリセット用
受光素子である。 又、本実施例の表示部は、同じく第２図に詳細に示し
た如く、各種演算処理を行う中央処理ユニット（CPU）4
0と、該CPU40に必要な指令を与え、又は該CPU40による
演算結果等を表示するためのキーボード及び表示回路42
と、入出力装置44と、リードオンリーメモリ（ROM）、
ランダムアクセスメモリ（RAM）等の記憶装置46と、ア
ンプ48の出力を波形整形してエッジ検出を行うためエッ
ジ検出回路50と、前記リセット用受光素子32の出力のエ
ッジを検出してリセット信号とするリセット回路52と、
クロック信号を発生するクロック54と、前記エッジ検出
回路50で検出された所定エッジとリセット信号間のクロ
ック信号を通過させるための、本考案に係るゲート回路
56と、該ゲート回路56を通過したクロック信号を計数し
て、所定エッジ間とリセット信号間の時間の長さを検出
するための、本考案に係るカウンタ58と、前記クロック
54出力のクロック信号と同期してモータ30を駆動するた
めの同期信号を発生するモータ同期信号発生器60とから
主に構成されている。 図において、62は、該モータ同期信号発生器60の出力
に応じて前記モータ30を駆動するためのモータ駆動回
路、64は、前記リセット回路52から入力される波形整形
後のリセット用受光素子32の出力に応じて、前記レーザ
光源10から発生されるレーザビーム12の出力が一定とな
るように、これを自動調製するレーザ出力調整回路であ
る。 前記ゲート回路56及びカウンタ58には、第１図に詳細
に示す如く、前記エッジ検出回路50から合成エッジ信号
が入力される毎に出力をシフトし、前記リセット回路52
から入力されるリセット信号によってリセツトされる、
Ｘ軸用及びＹ軸用のシフトレジスタ56A、56Bと、受光信
号の奇数番目のエッジ、例えば立上りエッジを検出する
毎に出力が反転するフリップフロップ（FF）56Cと、走
査方向に応じて、前記Ｘ軸用シフトレジスタ56A又はＹ
軸用シフトレジスタ56Bのいずれか一方を有効とし、他
方を無効とするための、モノマルチバイブレータ56D、
インバータ56E及びANDゲート56Fと、合成受光信号の最
初のエッジである最初の立上りエッジに対応して発生さ
れる前記Ｘ軸用シフトレジスタ56Aの第１出力A1に応じ
て、Ｘ軸受光信号の最初のエッジからリセット信号の立
上りまでの時間CNT1x（第３図参照）を計数するＸ軸用
の第１カウンタ58Aと、合成受光信号の２番目のエッジ
である最初の立下りエッジに対応して発生される前記Ｘ
軸用シフトレジスタ56Aの第２出力B1に応じて、Ｘ軸受
光信号の最初の立下りエッジからリセット信号の立上り
までの時間CNT2x（第３図参照）を計数するＸ軸用の第
２カウンタ58Bと、Ｘ軸走査中は、前記フリップフロッ
プ56Cの出力ＱがＨレベルにある時に計数を行い、Ｌレ
ベルになった時に計数値がクリアされる一方のカウンタ
58C、及び、前記フリップフロップ56Cの反転出力がＨ
レベルにある時に計数を行い、Ｌレベルになった時に計
数値がクリアされる他方のカウンタ58Dからなり、一方
のカウンタが計数中である時は、他方のカウンタの計数
値がクリアされているようにされた、Ｘ軸用の１対のカ
ウンタ58C、58Dと、Ｘ軸走査終了後に動作を開始する前
記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bの第１出力A2に応じて、Ｙ
軸受光信号の最初のエッジである最初の立上りエッジか
らリセット信号の立上りまでの時間CNT1y（第３図参
照）を計数するＹ軸用の第１カウンタ58Eと、Ｙ軸受光
信号の２番目のエッジに対応して発生される前記Ｙ軸用
シフトレジスタ56Bの第２出力B2に応じて、Ｙ軸受光信
号の最初の立下りエッジからリセット信号の立上りまで
の時間CNT2y（第３図参照）を計数するＹ軸用の第２カ
ウンタ58Fと、Ｙ軸走査中は、前記フリップフロップ56C
の出力ＱがＨレベルにある時に計数を行い、Ｌレベルに
なった時に計数値がクリアされる一方のカウンタ58G、
及び、前記フリップフロップ56Cの反転出力がＨレベ
ルにある時に計数を行い、Ｌレベルになった時に計数値
がクリアされる他方のカウンタ58Hからなり、一方のカ
ウンタが計数中である時は、他方のカウンタの計数値が
クリアされているようにされた、Ｙ軸用の１対のカウン
タ58G、58Hとが備えられている。 前記モノマルチバイブレータ56Dは、第３図に示した
如く、通常Ｌレベルであり、信号が入力すると、Ｘ軸走
査に対応する所定時間t1の間だけ更にＬレベルの状態を
継続した後、Ｈレベルとなる信号を出力する。このモノ
マルチバイブレータ56Dには、第１図に示した如く、前
記Ｘ軸用シフトレジスタ56Aの最初の出力A1が入力され
ているので、モノマルチバイブレータ56Dの出力は、合
成受光信号の最初のエッジに対応してＸ軸用シフトレジ
スタ56Aに最初の出力A1が発生して、Ｘ軸の測定が開始
されてから、Ｘ軸の走査が終了するまでの時間に略対応
する所定時間t1の間だけＬレベルの状態を継続する。こ
のモノマルチバイブレータ56Dの出力は、第１図に示し
た如く、ANDゲート56Fの一方の入力端子に入力されてお
り、ANDゲート56Fの他方の入力端子には、合成エッジ信
号が入力され、前記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、該A
NDゲート56Fを介して合成エッジ信号を入力するように
しているので、Ｘ軸方向の走査が行われている前記所定
時間t1の間は、Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、合成エ
ッジ信号が入力されず、Ｙ軸用シフトレジスタ56Bは、
動作を停止している。 前記所定時間t1が経過し、モノマルチバイブレータ56
Dの出力がＨレベルになると、インバータ56Eを介してＸ
軸用カウンタ58C、58Dにホールド信号が入力され、Ｘ軸
用カウンタ58C、58Dの計数区間の切換が停止される。従
って、Ｙ軸方向の測定に移行して、Ｙ軸方向の立上りエ
ッジによりFF56Cの出力Ｑ、が反転しても、Ｘ軸用カ
ウンタ58C、58Dの計数状態又は非計数（クリア）状態
は、そのまま維持される。 一方、前記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、Ｘ軸方向
の測定時間に略対応する前記所定時間t1が経過して、モ
ノマルチバイブレータ56Dの出力によりANDゲート56Fが
開かれてから、リセット信号が入力されるまでの時間t2
の間、合成エッジ信号が入力される。従って、Ｙ軸用シ
フトレジスタ56Bは、前記所定時間t1経過するまでは休
止しており、該所定時間t1が経過し、Ｘ軸方向の走査が
終了して、Ｙ軸方向の走査に移って、始めて動作を開始
する。 以下、第３図を参照して、実施例の作用を説明する。 受光信号の最初の立上りエッジが合成エッジ信号の最
初のエッジとしてＸ軸用シフトレジスタ56Aに入力する
と、このＸ軸用シフトレジスタ56Aに最初の出力即ち第
１出力A1が発生する。この第１出力A1はＸ軸用の第１カ
ウンタ58Aに入力され、リセット回路52からリセット信
号が入力されるまでの時間CNT1xが計数される。前記Ｘ
軸用シフトレジスタの第１出力A1は、モノマルチバイブ
レータ56Dにも入力され、このモノマルチバイブレータ5
6Dは、前記受光信号の最初の立上りエッジ（即ち、最初
のエッジ）から、Ｘ軸走査に対応する所定時間t1の間だ
けＬレベルの状態を継続した後、Ｈレベルとなる。前記
Ｙ軸用シフトレジスタ58Bには、該モノマルチバイブレ
ータ56Dの出力と前記合成エッジ信号との論理積がANDゲ
ート56Fを介して入力されるので、このＹ軸用シフトレ
ジスタ56Bは、Ｘ軸走査が終了してＹ軸走査に移るまで
動作しない。 受光信号の最初の立下りエッジになると、合成エッジ
信号の２番目のエッジがＸ軸用シフトレジスタ56Aに入
力され、その第２出力B1がＸ軸用第２カウンタ58Bに入
力される。従って、この第２カウンタ58Bは、Ｘ軸走査
信号の最初の立下りエッジからリセット信号までの時間
CNT2xを計数する。 一方、前記１対のカウンタ58C、58Dは、前記フリップ
フロップ56Cの出力Ｑ、の状態に応じて、交互に計数
を行っている。即ち、カウンタ58Cは、フリップフロッ
プ56Cの出力ＱがＨレベルのとき計数し、Ｌレベルのと
きは計数値が０クリアされる。又、カウンタ58Dは、フ
リップフロップ56Cの反転出力ＱがＨレベルのとき計数
し、Ｌレベルのときは計数値が０クリアされる。従っ
て、カウンタ56C、58Dが同時に計数することはない。こ
れらのカウンタ58C、58Dには、フリップフロップ56Cの
出力Ｑ、の他に、シフトレジスタ56Aの出力B1も入力
されており、そのアンド処理によって、第１カウンタ58
A、第２カウンタ58Bと同様に、クリアパルスを用いるこ
となく、走査信号のエッジの立上りから計数する正しい
データが得られる。 なお、カウンタ58C又は58Dで計数された値CNT3xを読
出すときには、測定対象物の状態によって、カウンタ58
C、58Dのいずれにデータが存在するかは不定である。従
って、フリップフロップ56Cの出力Ｑ又は反転出力の
状態で判断し、対応する一方のカウンタの計数値を読出
すか、あるいは、他方のカウンタの計数値は常に０であ
るため、カウンタ58Cと58Dの計数値を加算してもよい。
この場合には、構成が簡略である。 受光信号の最初の立上りエッジから、Ｘ軸走査中に対
応する設定時間t1が経過すると、前記モノマルチバイブ
レータ56Dの出力がＨレベルとなるので、ANDゲート56F
が開かれ、合成エッジ信号がＹ軸用シフトレジスタ56B
にも入力されるようになる。 従って、前記のＸ軸の場合と同様にして、Ｙ軸用第１
カウンタ58Eには、Ｙ軸受光信号の最初の立上りエッジ
（即ち、最初のエッジ）からリセット信号までの時間CN
T1yが計数され、Ｙ軸用第２カウンタ58Fには、Ｙ軸受光
信号の最初の立下りエッジ（即ち２番目のエッジ）から
リセット信号までの時間CNT2yが計数され、１対のカウ
ンタ58G及び58Hのいずれか一方には、Ｙ軸受光信号の最
後の立上りエッジ（即ち、最後から２番目のエッジ）か
らリセット信号までの時間CNT3yが計数される。 以上のようにして、Ｘ軸用のデータとＹ軸用のデータ
が完全に分離されるので、透明体であっても、従来と同
様の測定を行うことができる。 本実施例においては、モノマルチバイブレータ56Dを
１個だけ使用しているので、構成が簡略である。なお、
Ｘ軸走査中にＨレベルとなる第１モノマルチバイブレー
タと、Ｙ軸走査中にＨレベルとなる第２モノマルチバイ
ブレータをそれぞれ用いることも可能である。この場合
には、Ｘ軸用の第１モノマルチバイブレータを、前回走
査時のリセット信号によってトリガすることもできる。
その場合には、シフトレジスタの待機時間が持てるので
一層好ましい。又、モノマルチバイブレータ56Dの代わ
りにタイマを用いることもできる。 一般に、光学式走査型測定装置は、複数の測定対象物
を同時に測定する機能を有しており、カウンタの数も
（測定対象数×２＋１）だけ備えている。従って、測定
対象数が３である光学式走査型測定装置の場合には、他
の用途共合わせてカウンタを通常８個備えており、従っ
て、カウンタの使い方を変えるだけで対応可能である。 なお、前記実施例においては、本考案が、ポリゴンミ
ラー14を用いて回転走査ビーム16を発生するものに適用
されていたが、本考案の適用対象はこれに限定されず、
例えば音叉を用いて振動走査ビームを発生するものにも
同様に適用できることは明らかである。
る。 本実施例の測定部は、第２図に示す如く、レーザ光源
10と、該レーザ光源10で発生されたレーザビーム12を回
転走査ビーム16に変換するポリゴンミラー14と、該回転
走査ビーム16を平行走査ビーム20に変換するためのコリ
メータレンズ（ｆθレンズ）18と、該平行走査ビーム20
を、時間的に区分された、互いに直交する２つの平行走
査ビーム20X、20Yに分離して、測定対象物22に２つの方
向（Ｘ方向及びＹ方向）から照射する３角柱状ミラー34
及びミラー36X、36Yと、測定対象物22を通過した平行走
査ビーム20X、20Yをそれそれ集光するための集光レンズ
24X、24Yと、該集光レンズ24X、24Yによって集光された
光の明暗をそれぞれ検出する計測用の受光素子26X、26Y
と、該受光素子26X、26Yの出力を合成する加算器38と、
該加算器38の出力を増幅するアンプ48と、から主に構成
されている。 図において、28は、レーザ光源10から照射されたレー
ザビーム12をポリゴンミラー14の反射面に当てるため、
必要に応じて配置されるミラー、30は、前記ポリゴンミ
ラー14を回転するためのモータ、32は、前記回転走査ビ
ーム16又は平行走査ビーム20の有効走査範囲外に配置さ
れ、１走査の開始又は終了を検出するためのリセット用
受光素子である。 又、本実施例の表示部は、同じく第２図に詳細に示し
た如く、各種演算処理を行う中央処理ユニット（CPU）4
0と、該CPU40に必要な指令を与え、又は該CPU40による
演算結果等を表示するためのキーボード及び表示回路42
と、入出力装置44と、リードオンリーメモリ（ROM）、
ランダムアクセスメモリ（RAM）等の記憶装置46と、ア
ンプ48の出力を波形整形してエッジ検出を行うためエッ
ジ検出回路50と、前記リセット用受光素子32の出力のエ
ッジを検出してリセット信号とするリセット回路52と、
クロック信号を発生するクロック54と、前記エッジ検出
回路50で検出された所定エッジとリセット信号間のクロ
ック信号を通過させるための、本考案に係るゲート回路
56と、該ゲート回路56を通過したクロック信号を計数し
て、所定エッジ間とリセット信号間の時間の長さを検出
するための、本考案に係るカウンタ58と、前記クロック
54出力のクロック信号と同期してモータ30を駆動するた
めの同期信号を発生するモータ同期信号発生器60とから
主に構成されている。 図において、62は、該モータ同期信号発生器60の出力
に応じて前記モータ30を駆動するためのモータ駆動回
路、64は、前記リセット回路52から入力される波形整形
後のリセット用受光素子32の出力に応じて、前記レーザ
光源10から発生されるレーザビーム12の出力が一定とな
るように、これを自動調製するレーザ出力調整回路であ
る。 前記ゲート回路56及びカウンタ58には、第１図に詳細
に示す如く、前記エッジ検出回路50から合成エッジ信号
が入力される毎に出力をシフトし、前記リセット回路52
から入力されるリセット信号によってリセツトされる、
Ｘ軸用及びＹ軸用のシフトレジスタ56A、56Bと、受光信
号の奇数番目のエッジ、例えば立上りエッジを検出する
毎に出力が反転するフリップフロップ（FF）56Cと、走
査方向に応じて、前記Ｘ軸用シフトレジスタ56A又はＹ
軸用シフトレジスタ56Bのいずれか一方を有効とし、他
方を無効とするための、モノマルチバイブレータ56D、
インバータ56E及びANDゲート56Fと、合成受光信号の最
初のエッジである最初の立上りエッジに対応して発生さ
れる前記Ｘ軸用シフトレジスタ56Aの第１出力A1に応じ
て、Ｘ軸受光信号の最初のエッジからリセット信号の立
上りまでの時間CNT1x（第３図参照）を計数するＸ軸用
の第１カウンタ58Aと、合成受光信号の２番目のエッジ
である最初の立下りエッジに対応して発生される前記Ｘ
軸用シフトレジスタ56Aの第２出力B1に応じて、Ｘ軸受
光信号の最初の立下りエッジからリセット信号の立上り
までの時間CNT2x（第３図参照）を計数するＸ軸用の第
２カウンタ58Bと、Ｘ軸走査中は、前記フリップフロッ
プ56Cの出力ＱがＨレベルにある時に計数を行い、Ｌレ
ベルになった時に計数値がクリアされる一方のカウンタ
58C、及び、前記フリップフロップ56Cの反転出力がＨ
レベルにある時に計数を行い、Ｌレベルになった時に計
数値がクリアされる他方のカウンタ58Dからなり、一方
のカウンタが計数中である時は、他方のカウンタの計数
値がクリアされているようにされた、Ｘ軸用の１対のカ
ウンタ58C、58Dと、Ｘ軸走査終了後に動作を開始する前
記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bの第１出力A2に応じて、Ｙ
軸受光信号の最初のエッジである最初の立上りエッジか
らリセット信号の立上りまでの時間CNT1y（第３図参
照）を計数するＹ軸用の第１カウンタ58Eと、Ｙ軸受光
信号の２番目のエッジに対応して発生される前記Ｙ軸用
シフトレジスタ56Bの第２出力B2に応じて、Ｙ軸受光信
号の最初の立下りエッジからリセット信号の立上りまで
の時間CNT2y（第３図参照）を計数するＹ軸用の第２カ
ウンタ58Fと、Ｙ軸走査中は、前記フリップフロップ56C
の出力ＱがＨレベルにある時に計数を行い、Ｌレベルに
なった時に計数値がクリアされる一方のカウンタ58G、
及び、前記フリップフロップ56Cの反転出力がＨレベ
ルにある時に計数を行い、Ｌレベルになった時に計数値
がクリアされる他方のカウンタ58Hからなり、一方のカ
ウンタが計数中である時は、他方のカウンタの計数値が
クリアされているようにされた、Ｙ軸用の１対のカウン
タ58G、58Hとが備えられている。 前記モノマルチバイブレータ56Dは、第３図に示した
如く、通常Ｌレベルであり、信号が入力すると、Ｘ軸走
査に対応する所定時間t1の間だけ更にＬレベルの状態を
継続した後、Ｈレベルとなる信号を出力する。このモノ
マルチバイブレータ56Dには、第１図に示した如く、前
記Ｘ軸用シフトレジスタ56Aの最初の出力A1が入力され
ているので、モノマルチバイブレータ56Dの出力は、合
成受光信号の最初のエッジに対応してＸ軸用シフトレジ
スタ56Aに最初の出力A1が発生して、Ｘ軸の測定が開始
されてから、Ｘ軸の走査が終了するまでの時間に略対応
する所定時間t1の間だけＬレベルの状態を継続する。こ
のモノマルチバイブレータ56Dの出力は、第１図に示し
た如く、ANDゲート56Fの一方の入力端子に入力されてお
り、ANDゲート56Fの他方の入力端子には、合成エッジ信
号が入力され、前記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、該A
NDゲート56Fを介して合成エッジ信号を入力するように
しているので、Ｘ軸方向の走査が行われている前記所定
時間t1の間は、Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、合成エ
ッジ信号が入力されず、Ｙ軸用シフトレジスタ56Bは、
動作を停止している。 前記所定時間t1が経過し、モノマルチバイブレータ56
Dの出力がＨレベルになると、インバータ56Eを介してＸ
軸用カウンタ58C、58Dにホールド信号が入力され、Ｘ軸
用カウンタ58C、58Dの計数区間の切換が停止される。従
って、Ｙ軸方向の測定に移行して、Ｙ軸方向の立上りエ
ッジによりFF56Cの出力Ｑ、が反転しても、Ｘ軸用カ
ウンタ58C、58Dの計数状態又は非計数（クリア）状態
は、そのまま維持される。 一方、前記Ｙ軸用シフトレジスタ56Bには、Ｘ軸方向
の測定時間に略対応する前記所定時間t1が経過して、モ
ノマルチバイブレータ56Dの出力によりANDゲート56Fが
開かれてから、リセット信号が入力されるまでの時間t2
の間、合成エッジ信号が入力される。従って、Ｙ軸用シ
フトレジスタ56Bは、前記所定時間t1経過するまでは休
止しており、該所定時間t1が経過し、Ｘ軸方向の走査が
終了して、Ｙ軸方向の走査に移って、始めて動作を開始
する。 以下、第３図を参照して、実施例の作用を説明する。 受光信号の最初の立上りエッジが合成エッジ信号の最
初のエッジとしてＸ軸用シフトレジスタ56Aに入力する
と、このＸ軸用シフトレジスタ56Aに最初の出力即ち第
１出力A1が発生する。この第１出力A1はＸ軸用の第１カ
ウンタ58Aに入力され、リセット回路52からリセット信
号が入力されるまでの時間CNT1xが計数される。前記Ｘ
軸用シフトレジスタの第１出力A1は、モノマルチバイブ
レータ56Dにも入力され、このモノマルチバイブレータ5
6Dは、前記受光信号の最初の立上りエッジ（即ち、最初
のエッジ）から、Ｘ軸走査に対応する所定時間t1の間だ
けＬレベルの状態を継続した後、Ｈレベルとなる。前記
Ｙ軸用シフトレジスタ58Bには、該モノマルチバイブレ
ータ56Dの出力と前記合成エッジ信号との論理積がANDゲ
ート56Fを介して入力されるので、このＹ軸用シフトレ
ジスタ56Bは、Ｘ軸走査が終了してＹ軸走査に移るまで
動作しない。 受光信号の最初の立下りエッジになると、合成エッジ
信号の２番目のエッジがＸ軸用シフトレジスタ56Aに入
力され、その第２出力B1がＸ軸用第２カウンタ58Bに入
力される。従って、この第２カウンタ58Bは、Ｘ軸走査
信号の最初の立下りエッジからリセット信号までの時間
CNT2xを計数する。 一方、前記１対のカウンタ58C、58Dは、前記フリップ
フロップ56Cの出力Ｑ、の状態に応じて、交互に計数
を行っている。即ち、カウンタ58Cは、フリップフロッ
プ56Cの出力ＱがＨレベルのとき計数し、Ｌレベルのと
きは計数値が０クリアされる。又、カウンタ58Dは、フ
リップフロップ56Cの反転出力ＱがＨレベルのとき計数
し、Ｌレベルのときは計数値が０クリアされる。従っ
て、カウンタ56C、58Dが同時に計数することはない。こ
れらのカウンタ58C、58Dには、フリップフロップ56Cの
出力Ｑ、の他に、シフトレジスタ56Aの出力B1も入力
されており、そのアンド処理によって、第１カウンタ58
A、第２カウンタ58Bと同様に、クリアパルスを用いるこ
となく、走査信号のエッジの立上りから計数する正しい
データが得られる。 なお、カウンタ58C又は58Dで計数された値CNT3xを読
出すときには、測定対象物の状態によって、カウンタ58
C、58Dのいずれにデータが存在するかは不定である。従
って、フリップフロップ56Cの出力Ｑ又は反転出力の
状態で判断し、対応する一方のカウンタの計数値を読出
すか、あるいは、他方のカウンタの計数値は常に０であ
るため、カウンタ58Cと58Dの計数値を加算してもよい。
この場合には、構成が簡略である。 受光信号の最初の立上りエッジから、Ｘ軸走査中に対
応する設定時間t1が経過すると、前記モノマルチバイブ
レータ56Dの出力がＨレベルとなるので、ANDゲート56F
が開かれ、合成エッジ信号がＹ軸用シフトレジスタ56B
にも入力されるようになる。 従って、前記のＸ軸の場合と同様にして、Ｙ軸用第１
カウンタ58Eには、Ｙ軸受光信号の最初の立上りエッジ
（即ち、最初のエッジ）からリセット信号までの時間CN
T1yが計数され、Ｙ軸用第２カウンタ58Fには、Ｙ軸受光
信号の最初の立下りエッジ（即ち２番目のエッジ）から
リセット信号までの時間CNT2yが計数され、１対のカウ
ンタ58G及び58Hのいずれか一方には、Ｙ軸受光信号の最
後の立上りエッジ（即ち、最後から２番目のエッジ）か
らリセット信号までの時間CNT3yが計数される。 以上のようにして、Ｘ軸用のデータとＹ軸用のデータ
が完全に分離されるので、透明体であっても、従来と同
様の測定を行うことができる。 本実施例においては、モノマルチバイブレータ56Dを
１個だけ使用しているので、構成が簡略である。なお、
Ｘ軸走査中にＨレベルとなる第１モノマルチバイブレー
タと、Ｙ軸走査中にＨレベルとなる第２モノマルチバイ
ブレータをそれぞれ用いることも可能である。この場合
には、Ｘ軸用の第１モノマルチバイブレータを、前回走
査時のリセット信号によってトリガすることもできる。
その場合には、シフトレジスタの待機時間が持てるので
一層好ましい。又、モノマルチバイブレータ56Dの代わ
りにタイマを用いることもできる。 一般に、光学式走査型測定装置は、複数の測定対象物
を同時に測定する機能を有しており、カウンタの数も
（測定対象数×２＋１）だけ備えている。従って、測定
対象数が３である光学式走査型測定装置の場合には、他
の用途共合わせてカウンタを通常８個備えており、従っ
て、カウンタの使い方を変えるだけで対応可能である。 なお、前記実施例においては、本考案が、ポリゴンミ
ラー14を用いて回転走査ビーム16を発生するものに適用
されていたが、本考案の適用対象はこれに限定されず、
例えば音叉を用いて振動走査ビームを発生するものにも
同様に適用できることは明らかである。
第１図は、本考案に係る光学式走査型測定装置の実施例
で用いられているゲート回路及びカウンタの要部を示す
ブロック線図、 第２図は、実施例の全体構成を示す、一部ブロック線図
を含む光路図、 第３図は、前記実施例の各部信号波形を示す線図、 第４図は、２方向測定の原理を示す光路図、 第５図は、透明体を２方向測定したときの走査波形の例
を示す線図、 第６図は、透明体の測定原理を説明するための線図、 第７図は、透明体測定に用いられている従来のゲート回
路及びカウンタの構成の例を示すブロック線図、 第８図は、第７図に示した従来例の各部信号波形の例を
示す線図である。 10……レーザ光源、12……レーザビーム、14……ポリゴ
ンミラー、16……回転走査ビーム、18……コリメータレ
ンズ、20、20X、20Y……平行走査ビーム、22……測定対
象物、26X、26Y、32……受光素子、34……３角柱状ミラ
ー、36X、36Y……ミラー、38……加算器、50……エッジ
検出回路、52……リセット回路、56……ゲート回路、56
A、56B……シフトレジスタ、56C……フリップフロップ
（FF）、56D……モノマルチバイブレータ、56F……AND
ゲート、58、58A、58B、58C、58D、58E、58F、58G、58H
……カウンタ。
で用いられているゲート回路及びカウンタの要部を示す
ブロック線図、 第２図は、実施例の全体構成を示す、一部ブロック線図
を含む光路図、 第３図は、前記実施例の各部信号波形を示す線図、 第４図は、２方向測定の原理を示す光路図、 第５図は、透明体を２方向測定したときの走査波形の例
を示す線図、 第６図は、透明体の測定原理を説明するための線図、 第７図は、透明体測定に用いられている従来のゲート回
路及びカウンタの構成の例を示すブロック線図、 第８図は、第７図に示した従来例の各部信号波形の例を
示す線図である。 10……レーザ光源、12……レーザビーム、14……ポリゴ
ンミラー、16……回転走査ビーム、18……コリメータレ
ンズ、20、20X、20Y……平行走査ビーム、22……測定対
象物、26X、26Y、32……受光素子、34……３角柱状ミラ
ー、36X、36Y……ミラー、38……加算器、50……エッジ
検出回路、52……リセット回路、56……ゲート回路、56
A、56B……シフトレジスタ、56C……フリップフロップ
（FF）、56D……モノマルチバイブレータ、56F……AND
ゲート、58、58A、58B、58C、58D、58E、58F、58G、58H
……カウンタ。
Claims (1)
- 【請求項１】回転又は振動走査ビームを平行走査ビーム
とするコリメート手段と、該平行走査ビームを時間的に
区分された複数の平行走査ビームに分離して、測定対象
に複数の方向から照射するビーム分離手段と、測定対象
を通過した各平行走査ビームの明暗を検出する計測用の
受光素子と、該受光素子出力から得られる合成された受
光信号を波形整形してエッジを検出するエッジ検出回路
とを有し、測定対象によって各平行走査ビームの一部が
遮られて生じる暗部又は明部への切替りを検出して、測
定対象の各走査方向寸法を求めるようにした光学式走査
型測定装置であって、 １走査の終了又は開始時にリセット信号を発生するリセ
ット回路と、 各走査方向における受光信号の少なくとも２番目のエッ
ジと前記リセット信号の間隔を計数するための、各走査
方向毎に独立した複数のカウンタと、 各走査方向における受光信号の最後から２番目のエッジ
と前記リセット信号の間隔を計数するための、各走査方
向における受光信号の３番目以降の奇数番目のエッジが
検される毎に、一方が計数を開始し、他方の計数値がク
リアされる、各走査方向毎に独立した複数のカウンタ対
と、 対応する方向の走査開始迄は、当該走査方向のカウンタ
群の非計数状態を固定するための手段と、 対応する方向の走査終了後は、当該走査方向のカウンタ
群の計数状態を固定するための手段とを備え、 前記カウンタによって計数された、各走査方向の２番目
のエッジとリセット信号の間隔と、前記カウンタ対によ
って計数された、各走査方向の最後から２番目のエッジ
とリセット信号の間隔の差に基づいて、測定対象の各走
査方向寸法を求めることを特徴とする光学式走査型測定
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989114327U JP2524794Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式走査型測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989114327U JP2524794Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式走査型測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352608U JPH0352608U (ja) | 1991-05-22 |
| JP2524794Y2 true JP2524794Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=31662705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989114327U Expired - Lifetime JP2524794Y2 (ja) | 1989-09-29 | 1989-09-29 | 光学式走査型測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2524794Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008014132A (ja) * | 2005-09-05 | 2008-01-24 | Shigeki Nakamura | 管継手 |
| JP5009086B2 (ja) * | 2005-09-05 | 2012-08-22 | 重樹 中村 | 管継手 |
| JP4437834B2 (ja) * | 2008-06-26 | 2010-03-24 | 株式会社ニューライン | 管連結装置、管構築物 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1450056A (en) * | 1972-12-01 | 1976-09-22 | Davy Instr Ltd | Optical dimension measuring apparatus |
-
1989
- 1989-09-29 JP JP1989114327U patent/JP2524794Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0352608U (ja) | 1991-05-22 |
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