JPH06185990A - 厚み測定装置 - Google Patents
厚み測定装置Info
- Publication number
- JPH06185990A JPH06185990A JP34011592A JP34011592A JPH06185990A JP H06185990 A JPH06185990 A JP H06185990A JP 34011592 A JP34011592 A JP 34011592A JP 34011592 A JP34011592 A JP 34011592A JP H06185990 A JPH06185990 A JP H06185990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- sheet
- measured
- data
- constant value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ光を用いて被測定シートの膜厚を測定
するのに、シート部分のみの測定値をデータ処理部に取
り込み、正しい演算結果を得る。 【構成】 厚み計１０の厚み出力が一定値以下の場合に
強制的に定値データを外部に出力し、この厚み情報を受
け取った場合、この定値データを加えずに厚みデータ処
理部２０でデータ処理を行うことで、被測定シートＳの
シート幅外のデータが入らないようにしたことを特徴と
している。
するのに、シート部分のみの測定値をデータ処理部に取
り込み、正しい演算結果を得る。 【構成】 厚み計１０の厚み出力が一定値以下の場合に
強制的に定値データを外部に出力し、この厚み情報を受
け取った場合、この定値データを加えずに厚みデータ処
理部２０でデータ処理を行うことで、被測定シートＳの
シート幅外のデータが入らないようにしたことを特徴と
している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばポリエステルシ
ートなどの製造ラインに用いられるシート等の膜厚を光
学的に測定する厚み測定装置に関するものである。
ートなどの製造ラインに用いられるシート等の膜厚を光
学的に測定する厚み測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３および図４は、例えば特開平１−２
７４００５号公報に示された従来の厚み測定装置の全体
構成を示すブロック図および斜視図であり、また、図５
（ａ），（ｂ）は図４の検出ヘッド部分の拡大正面図お
よび側面図である。
７４００５号公報に示された従来の厚み測定装置の全体
構成を示すブロック図および斜視図であり、また、図５
（ａ），（ｂ）は図４の検出ヘッド部分の拡大正面図お
よび側面図である。
【０００３】図４において、１は基本軸となる回転軸
で、フレーム２により回転可能に支持されている。３は
この回転軸１を回転駆動するモータ、４はヘッド移動機
構で、モータ５により駆動される。６は懸架機構で、検
出ヘッド（厚み計）１０を懸架し、ヘッド移動機構４に
より回転軸１の軸方向に駆動される。１１は前記回転軸
１の表面から所定の間隔をあけて軸方向に平行に配置さ
れた遮光板（図５（ａ），（ｂ）を参照）、Ｓは前記回
転軸１の表面を走行する被測定シートである。図３にお
いて、１２はレーザ光１２ａを発生するレーザ光発生
器、１３は反射ミラーで、レーザ光発生器１２より出射
されたレーザ光１２ａを反射し、それを集光レンズ１４
で集光し、回転軸１および被測定シートＳの表面と遮光
板１１との間を走査するように制御される。１５は集光
レンズ、１６は上記のように走査されたレーザ光１２ａ
を集光レンズ１５を介して受光する受光器、これら１２
〜１６の各部を内蔵して検出ヘッド（厚み計）１０が構
成されている。２０は厚みデータ処理部であり、次の各
部で構成されている。すなわち、２１は前記被測定シー
トＳの速度をモータ３の回転数から測定して、ヘッド移
動機構４の移動速度を制御することにより、回転軸１上
を検出ヘッド１０を所定の速度で走査する制御部、２２
は前記受光器１６の出力信号をパルスカウントするカウ
ンタ、２３はこのカウンタ２２のパルスカウント数によ
り被測定シートＳの厚みを演算する演算器、２４はこの
演算器２３で算出された厚みを表示する表示器である。
で、フレーム２により回転可能に支持されている。３は
この回転軸１を回転駆動するモータ、４はヘッド移動機
構で、モータ５により駆動される。６は懸架機構で、検
出ヘッド（厚み計）１０を懸架し、ヘッド移動機構４に
より回転軸１の軸方向に駆動される。１１は前記回転軸
１の表面から所定の間隔をあけて軸方向に平行に配置さ
れた遮光板（図５（ａ），（ｂ）を参照）、Ｓは前記回
転軸１の表面を走行する被測定シートである。図３にお
いて、１２はレーザ光１２ａを発生するレーザ光発生
器、１３は反射ミラーで、レーザ光発生器１２より出射
されたレーザ光１２ａを反射し、それを集光レンズ１４
で集光し、回転軸１および被測定シートＳの表面と遮光
板１１との間を走査するように制御される。１５は集光
レンズ、１６は上記のように走査されたレーザ光１２ａ
を集光レンズ１５を介して受光する受光器、これら１２
〜１６の各部を内蔵して検出ヘッド（厚み計）１０が構
成されている。２０は厚みデータ処理部であり、次の各
部で構成されている。すなわち、２１は前記被測定シー
トＳの速度をモータ３の回転数から測定して、ヘッド移
動機構４の移動速度を制御することにより、回転軸１上
を検出ヘッド１０を所定の速度で走査する制御部、２２
は前記受光器１６の出力信号をパルスカウントするカウ
ンタ、２３はこのカウンタ２２のパルスカウント数によ
り被測定シートＳの厚みを演算する演算器、２４はこの
演算器２３で算出された厚みを表示する表示器である。
【０００４】次に、上記のように構成された従来の厚み
測定装置の動作について説明する。まず、レーザ光発生
器１２から発射されたレーザ光１２ａは、反射ミラー１
３に入射して反射された後、集光レンズ１４で集光さ
れ、回転軸１および被測定シートＳと遮光板１１との間
を通過する時点でビーム径が最小となり、回転軸１に垂
直な方向、つまり、ギャップの方向（図５（ａ）の矢印
方向）に一定の速度で走査される。走査後、レーザ光１
２ａは集光レンズ１５で再び集光され受光器１６により
受光される。この時レーザ光１２ａはギャップを通過し
ている間だけ受光器１６に入射されるので、受光器１６
はギャップに比例した幅のパルス波形信号を出力し、こ
れをカウンタ２２でパルスカウトすることによってパル
ス幅に相当したカウント数が得られる。
測定装置の動作について説明する。まず、レーザ光発生
器１２から発射されたレーザ光１２ａは、反射ミラー１
３に入射して反射された後、集光レンズ１４で集光さ
れ、回転軸１および被測定シートＳと遮光板１１との間
を通過する時点でビーム径が最小となり、回転軸１に垂
直な方向、つまり、ギャップの方向（図５（ａ）の矢印
方向）に一定の速度で走査される。走査後、レーザ光１
２ａは集光レンズ１５で再び集光され受光器１６により
受光される。この時レーザ光１２ａはギャップを通過し
ている間だけ受光器１６に入射されるので、受光器１６
はギャップに比例した幅のパルス波形信号を出力し、こ
れをカウンタ２２でパルスカウトすることによってパル
ス幅に相当したカウント数が得られる。
【０００５】一方、制御部２１はモータ３の回転数を測
定することにより被測定シートＳの速度を検出し、この
速度に同期させてヘッド移動機構４のモータ５を駆動す
るようにして、検出ヘッド１０を被測定シートＳの速度
に対応した所定の速度で走査するようになっている。こ
のため、検出ヘッド１０は被測定シートＳの速度に関係
なく回転軸１上の同一軌跡上を移動して測定することに
なる。
定することにより被測定シートＳの速度を検出し、この
速度に同期させてヘッド移動機構４のモータ５を駆動す
るようにして、検出ヘッド１０を被測定シートＳの速度
に対応した所定の速度で走査するようになっている。こ
のため、検出ヘッド１０は被測定シートＳの速度に関係
なく回転軸１上の同一軌跡上を移動して測定することに
なる。
【０００６】上記構成において、まず、被測定シートＳ
の無い状態において、前記回転軸１の軌跡上のギャップ
を測定し、各測定点におけるギャップ値を演算器２３Ａ
内のメモリに記憶しておき、次に、被測定シートＳがあ
る場合のギヤップ値を測定し、各測定点でのギャップ値
と前記ギャップ値の差を演算器２３で計算して被測定シ
ートＳの厚みを算出し、表示器２４で表示させる。これ
により、回転軸１の偏心およびたわみの影響を受けずに
厚みの測定が可能となる。なお、回転軸１には厚み計算
の基準にするための段差部（１ｍｍ）があらかじめ設け
られており、この段差部のカウント数の差を基準として
カウント数−厚み変換を行っている。
の無い状態において、前記回転軸１の軌跡上のギャップ
を測定し、各測定点におけるギャップ値を演算器２３Ａ
内のメモリに記憶しておき、次に、被測定シートＳがあ
る場合のギヤップ値を測定し、各測定点でのギャップ値
と前記ギャップ値の差を演算器２３で計算して被測定シ
ートＳの厚みを算出し、表示器２４で表示させる。これ
により、回転軸１の偏心およびたわみの影響を受けずに
厚みの測定が可能となる。なお、回転軸１には厚み計算
の基準にするための段差部（１ｍｍ）があらかじめ設け
られており、この段差部のカウント数の差を基準として
カウント数−厚み変換を行っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の厚
み測定装置は、被測定シートＳの蛇行やシート幅の変化
を考えて、厚み測定装置のシート幅方向の測定範囲（走
査幅）はシート幅より長めとなっている。このため、厚
み測定装置の出力には、被測定シートＳの掛かっていな
い部分での測定データも出力されてしまう。この被測定
シートＳの掛かっていないロール表面の出力データは、
ロール表面に付着した微小なゴミの影響および測定器と
しての誤差のため必ずしも０とならずに微小な厚み値が
出力されるという問題点があった。また、このため、例
えばシート幅方向の平均厚みを演算する際に、この部分
の測定データも演算に加えられてしまい正しく平均厚み
が演算できないという問題点があった。本発明は、上記
のような問題点を解消するためになされたもので、被測
定シート部分のみの厚みを演算処理することのできる厚
み測定装置を提供することを目的とするものである。
み測定装置は、被測定シートＳの蛇行やシート幅の変化
を考えて、厚み測定装置のシート幅方向の測定範囲（走
査幅）はシート幅より長めとなっている。このため、厚
み測定装置の出力には、被測定シートＳの掛かっていな
い部分での測定データも出力されてしまう。この被測定
シートＳの掛かっていないロール表面の出力データは、
ロール表面に付着した微小なゴミの影響および測定器と
しての誤差のため必ずしも０とならずに微小な厚み値が
出力されるという問題点があった。また、このため、例
えばシート幅方向の平均厚みを演算する際に、この部分
の測定データも演算に加えられてしまい正しく平均厚み
が演算できないという問題点があった。本発明は、上記
のような問題点を解消するためになされたもので、被測
定シート部分のみの厚みを演算処理することのできる厚
み測定装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる厚み測定
装置は、厚み計の出力を厚みが一定値以下の場合に強制
的に定値データとして出力し、この定値データを受け取
った場合に、この定値データを加えずに演算を行うよう
に厚みデータ処理部を構成したものである。
装置は、厚み計の出力を厚みが一定値以下の場合に強制
的に定値データとして出力し、この定値データを受け取
った場合に、この定値データを加えずに演算を行うよう
に厚みデータ処理部を構成したものである。
【０００９】
【作用】本発明においては、シートが掛かっていない部
分の測定値を強制的に定値データとすることにより、外
部に対しての測定情報を明確にするとともに、厚みデー
タ処理部は、定値データを無視することで、シート測定
部分のみのデータを演算処理することができ、正しい演
算結果を得ることができる。
分の測定値を強制的に定値データとすることにより、外
部に対しての測定情報を明確にするとともに、厚みデー
タ処理部は、定値データを無視することで、シート測定
部分のみのデータを演算処理することができ、正しい演
算結果を得ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図について説明す
る。図１は本発明の一実施例における厚み計および厚み
データ処理部の構成を示すブロック図である。本発明と
図３に示した従来例とは演算器２３の部分において相違
しており、他はほぼ同様の構成である。すなわち、演算
器２３に設定部２３Ａと比較部２３Ｂとを有する。ま
た、図２は、図１の動作を説明するための図である。以
下、図１，図２により動作を説明する。
る。図１は本発明の一実施例における厚み計および厚み
データ処理部の構成を示すブロック図である。本発明と
図３に示した従来例とは演算器２３の部分において相違
しており、他はほぼ同様の構成である。すなわち、演算
器２３に設定部２３Ａと比較部２３Ｂとを有する。ま
た、図２は、図１の動作を説明するための図である。以
下、図１，図２により動作を説明する。
【００１１】図１および図２において、演算器２３内の
設定部２３Ａにてあらかじめ被測定シートＳの厚みＴ１
より十分に小さく、ロール表面付着の塵などの厚みＴ２
より十分に大きめの範囲で一定値Ｔを設定しておく。検
出ヘッド（厚み計）１０は回転軸１の幅方向を走査しな
がら厚み測定を行うが、被測定シートＳの掛かっていな
い部分は微小な塵等による一定値Ｔ以下の測定データ出
力が、被測定シートＳ部分では一定値Ｔ以上の測定デー
タ出力が厚みデータ処理部２０に出力される。
設定部２３Ａにてあらかじめ被測定シートＳの厚みＴ１
より十分に小さく、ロール表面付着の塵などの厚みＴ２
より十分に大きめの範囲で一定値Ｔを設定しておく。検
出ヘッド（厚み計）１０は回転軸１の幅方向を走査しな
がら厚み測定を行うが、被測定シートＳの掛かっていな
い部分は微小な塵等による一定値Ｔ以下の測定データ出
力が、被測定シートＳ部分では一定値Ｔ以上の測定デー
タ出力が厚みデータ処理部２０に出力される。
【００１２】演算器２３では、入力データと設定した一
定値Ｔと比較部２３Ｂで比較を行い、一定値Ｔ以上のデ
ータはそのまま、一定値Ｔ以下のデータは定値データ
（例えば０）として外部に出力し、さらに、０入力以外
の厚み出力のみを取り込んで平均等の演算処理を行い、
表示器２４に表示する。なお、上記実施例では、検出ヘ
ッド１０と厚みデータ処理部２０とを別体として示した
が、これは一体としてもよい。
定値Ｔと比較部２３Ｂで比較を行い、一定値Ｔ以上のデ
ータはそのまま、一定値Ｔ以下のデータは定値データ
（例えば０）として外部に出力し、さらに、０入力以外
の厚み出力のみを取り込んで平均等の演算処理を行い、
表示器２４に表示する。なお、上記実施例では、検出ヘ
ッド１０と厚みデータ処理部２０とを別体として示した
が、これは一体としてもよい。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる厚
み測定装置は、厚み計の出力を厚みがあらかじめ設定し
た一定値以下の場合に強制的に定値データを出力し、こ
の定値データを受け取った場合に、この定値データを加
えずに演算を行うよう厚みデータ処理部を構成したの
で、シート測定部分のみのデータを演算処理することが
でき、正しい演算結果を得ることができる。
み測定装置は、厚み計の出力を厚みがあらかじめ設定し
た一定値以下の場合に強制的に定値データを出力し、こ
の定値データを受け取った場合に、この定値データを加
えずに演算を行うよう厚みデータ処理部を構成したの
で、シート測定部分のみのデータを演算処理することが
でき、正しい演算結果を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例における厚み測定装置の構成
を示すブロック図である。
を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施例を説明するための補足図であ
る。
る。
【図３】従来の厚み測定装置の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図４】従来の厚み測定装置を示す一部を切欠いた斜視
図である。
図である。
【図５】図４における要部の正面図および側面図であ
る。
る。
１ 回転軸 ２ フレーム ３ モータ １０ 検出ヘッド １１ 遮光板 １２ レーザ光発生器 １２ａ レーザ光 １３ 反射ミラー １４ 集光レンズ １５ 集光レンズ １６ 受光器 ２０ 厚みデータ処理部 ２１ 制御部 ２２ カウンタ ２３ 演算器 ２３Ａ 設定部 ２３Ｂ 比較部 ２４ 表示器 Ｓ 被測定シート
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定シートを密着支持しながら走行さ
せる回転軸と、この回転軸の面から所定の距離をあけて
基準軸の軸中心と平行に設けた遮光板とを有し、前記被
測定シートの表面と前記遮光板との間をレーザ光を反射
ミラーを介して走査し、前記レーザ光の透過時間を測定
することにより前記被測定シートの厚みを測定する厚み
計と、この厚み計をシート幅方向に往復走査することに
より前記厚み計から厚み情報を受取り、これを基に各種
演算を行い前記被測定シートの流れ方向および幅方向厚
み分布を求め、この演算結果を表示する厚みデータ処理
部とを備えた厚み測定装置において、前記厚みデータ処
理部を前記厚み計の出力を厚みが一定値以下の場合に強
制的に定値データとして出力し、この定値データを受け
取った場合に、この定値データを加えずに演算を行う構
成としたことを特徴とする厚み測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34011592A JPH06185990A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 厚み測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34011592A JPH06185990A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 厚み測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06185990A true JPH06185990A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18333868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34011592A Pending JPH06185990A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 厚み測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06185990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116857513A (zh) * | 2023-08-29 | 2023-10-10 | 钛玛科(江苏)工业科技有限公司 | 一种x射线测厚仪可调节式定位扫描框架 |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP34011592A patent/JPH06185990A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116857513A (zh) * | 2023-08-29 | 2023-10-10 | 钛玛科(江苏)工业科技有限公司 | 一种x射线测厚仪可调节式定位扫描框架 |
| CN116857513B (zh) * | 2023-08-29 | 2023-11-14 | 钛玛科(江苏)工业科技有限公司 | 一种x射线测厚仪可调节式定位扫描框架 |
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