JPH0352608U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案に係る光学式走査型測定装置
の実施例で用いられているゲート回路及びカウン
タの要部を示すブロツク線図、第２図は、実施例
の全体構成を示す、一部ブロツク線図を含む光路
図、第３図は、前記実施例の各部信号波形を示す
線図、第４図は、２方向測定の原理を示す光路図
、第５図は、透明体を２方向測定したときの走査
波形の例を示す線図、第６図は、透明体の測定原
理を説明するための線図、第７図は、透明体測定
に用いられている従来のゲート回路及びカウンタ
の構成の例を示すブロツク線図、第８図は、第７
図に示した従来例の各部信号波形の例を示す線図
である。 １０……レーザ光源、１２……レーザビーム、
１４……ポリゴンミラー、１６……回転走査ビー
ム、１８……コリメータレンズ、２０，２０Ｘ，
２０Ｙ……平行走査ビーム、２２……測定対象物
、２６Ｘ，２６Ｙ，３２……受光素子、３４……
３角柱状ミラー、３６Ｘ，３６Ｙ……ミラー、３
８……加算器、５０……エツジ検出回路、５２…
…リセツト回路、５６……ゲート回路、５６Ａ，
５６Ｂ……シフトレジスタ、５６Ｃ……フリツプ
フロツプ（ＦＦ）、５６Ｄ……モノマルチバイブ
レータ、５６Ｆ……ＡＮＤゲート、５８，５８Ａ
，５８Ｂ，５８Ｃ，５８Ｄ，５８Ｅ，５８Ｆ，５
８Ｇ，５８Ｈ……カウンタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転又は振動走査ビームを平行走査ビーム
   とするコリメータレンズと、該平行走査ビームを
   時間的に区分された複数のビームに分離して、測
   定対象に複数の方向から照射するビーム分離手段
   と、測定対象を通過した各平行走査ビームの明暗
   を検出する計測用の受光素子と、該受光素子出力
   を波形整形してエツジを検出するエツジ検出回路
   とを有し、測定対象によつて前記平行走査ビーム
   の一部が遮られて生じる暗部又は明部への切替り
   を検出して、測定対象の走査方向寸法を求めるよ
   うにした光学式走査型測定装置において、 所定の走査方向測定時に、前記受光信号の所定
   の立上がりエツジ又は立下がりエツジの時刻を計
   数するための、走査方向毎に独立した複数のカウ
   ンタ群と、 前記平行走査ビームの走査位置に応じて、前記
   カウンタ群のうち、走査方向に対応するカウンタ
   群の計数を開始する手段と、 を備えたことを特徴とする光学式走査型測定装置
   。 (2) 請求項１において、更に、受光信号の立上
   がりエツジを検出する毎、又は立下がりエツジを
   検出する毎に出力が反転するフリツプフロツプと
   、該フリツプフロツプの出力が反転する毎に交互
   に計数を開始し、又は計数値がクリアされる、走
   査方向毎に独立した１対のカウンタとを備え、該
   １対のカウンタの計数値により、各走査方向にお
   ける受光信号の最後の立上がりエツジ又は最後の
   立下がりエツジの時刻を求めることを特徴とする
   光学式走査型測定装置。