JP2524532B2

JP2524532B2 - ウエハ異物検査装置

Info

Publication number: JP2524532B2
Application number: JP1262981A
Authority: JP
Inventors: 俊明谷内
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1989-10-11
Filing date: 1989-10-11
Publication date: 1996-08-14
Anticipated expiration: 2011-08-14
Also published as: JPH03125945A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、LSI用のウエハの表面など、被検査面上
の異物の有無などの検査を自動的に行うウエハ異物検査
装置に関する。さらに詳しくは、この発明は、被検査面
に偏光レーザ光などの光ビームを照射し、その反射光に
基づき被検査面上のウエハ異物検査を自動的に行い、異
物の大きさに応じた分布状態を見易い映像で画面表示で
きるようなウエハ異物検査装置に関する。

［従来の技術］従来、LSI用のウエハを対象とした異物検査装置にお
いては、検出した異物を、その大小（サイズ）に対応し
た点マークの形でウエハの輪郭図形に重ねて表した異物
マップとして、表示装置に表示するか、Ｘ−Ｙプロッタ
により印刷出力している。このような異物マップによれ
ば、異物の存在位置とその大小（サイズ）とがわかる。
この種の装置として特開昭62−11148号を挙げることが
できる。

［解決しようとする課題］しかし、従来異物マップでは、大小の異物が点マーク
表示である関係でこれらを同時に画面表示した場合に大
小の異物の相関状態が観測し難く、特に、その大きさの
分類数が細かくかつ多くなると大小の異物の分布状態を
的確に把握することが難しい。個別的にそれぞれの粒径
の大きさに応じて異物の分布状態を表示することもでき
るが、それでは、個々の分布状態は把握できるが、大小
の異物の相関関係が明確でない。

さらに、異物の大小に関連して、異物の発生している
位置に目視観測系を合わせて異物を目視観察することに
よってそれを調べて、その種類や性質などを調査し、異
物の大小に対応させて異物データを生成することが行わ
れるが、これとの関係も明確にならない。

この発明の目的は、このような従来技術の問題点を解
決するものであって、粒径の相違する異物の状態とその
相関関係を明確に把握でき、見易い画像表示ができるウ
エハ異物検査装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］このような目的を達成するためにこの発明のウエハ異
物検査装置の構成は、光ゲームを照射された被検査面か
らの反射光に基づき、被検査面上の異物を検出し、検出
した異物の少なくとも位置の情報を各異物と対応させて
メモリに記憶し、このメモリに記憶した位置情報に従っ
て表示装置の画面上に異物のマップを表示する異物検査
装置において、異物の大小に応じて大小に応じた検出信
号を発生する検出手段と、この検出手段から信号に応じ
て検出された異物の位置の情報とその大小を表す情報と
をメモリに記憶する処理を行う演算処理手段とを備えて
いて、大小を表す情報に対応してそれぞれ異なる、中心
に点マークを有する図形パターンを割当て、演算処理手
段が前記メモリから異物の位置の情報及びその大小を表
す情報を得て、この大小を表す情報に対応する図形パタ
ーンにより読出した位置の情報で指定される画面上の位
置に点マークを合わせて記号表示するものである。

［作用］このように、大きさに対応して割当てられた表示記号
により異なる大きさの異物を同時にマップ表示するよう
にすることで、大きさに応じたそれぞれの異物の分布状
態とその相関関係を明確に把握でき、特に、分類数が多
いときにその効果が大きい。

また、記号を図形パターンとして比較的大きな表示と
し、画面上の異物の表示位置に対応する位置を中心とし
てそこに点マークを有する図形パターンを用いることに
より、目視観察の際の観察異物についてのカーソル等に
よる位置指定が正確に行え、さらに、より見やすい図形
とすることができ、その位置も正確に把握できる。

［実施例］以下、図面を参照し、この発明の一実施例について詳
細に説明する。

第１図（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は、この発明のウエ
ハ異物検査装置の一実施例の表示画面の説明図であり、
第２図は、そのウエハ用異物検査装置の光学系部分など
の構成を簡略化して示す概要図、第３図は、同装置の信
号処理および制御系の概要図である。

まず、第２図において、10はＸ方向に摺動可能にベー
ス12に支持されたＸステージである。このＸステージ10
には、ステッピングモータ14の回転軸に直結されたスク
リュー16が螺合しており、ステッピングモータ14を作動
させることにより、Ｘステージ10をＸ方向に進退させる
ことができる。18はＸステージ10のＸ方向位置ｘに対応
したコード信号を発生するリニアエンコーダである。

Ｘステージ10には、Ｚステージ20がＺ方向に移動可能
に取り付けられている。その移動手段は図中省略されて
いる。Ｚステージ20には、被検査物としてのウエハ30が
載置される回転ステージ22が回転可能に支持されてい
る。この回転ステージ22には、直流モータ24が連結され
ており、これを作動させることにより回転されるように
なっている。この直流モータ24には、その回転角度位置
θに対応したコード信号を出力するロータリエンコーダ
が内蔵されている。

なお、ウエハ30は、回転ステージ22に負圧吸着により
位置決め固定されるが、そのための手段は図中省かれて
いる。

このウエハ異物検査装置は、偏光レーザ光を利用して
ウエハ30上の異物を自動的に検査するものであり、ウエ
ハ30の上面（被検査面）に、Ｓ偏光レーザ光が照射され
る。そのために、Ｓ偏光レーザ発振器32,34,36,38が設
けられている。

１対のＳ偏光レーザ発振器32,34は、波長がλ_１のＳ
偏光レーザ光を発生するもので、例えば波長が8300Åの
半導体レーザ発振器である。そのＳ偏光レーザ光は、Ｘ
方向よりウエハ面に例えば２゜の照射角で照射される。
このように照射角が小さいため、円形断面のＳ偏光レー
ザ光のビームを照射した場合、ウエハ面におけるスポッ
トがＸ方向に延びてしまい、十分な照射密度を得られな
い。そこで、本実施例において、Ｓ偏光レーザ発振器3
2,34の前方にシリンドリカルレンズ40,42を配置し、Ｓ
偏光レーザ光をＺ方向につぶれた扁平な断面形状のビー
ムにしてウエハ面に照射させ、スポット形状を円形に近
づけて照射密度を高めている。

他方のＳ偏光レーザ発振器36,38は波長がλ_２のＳ偏
光レーザ光を発生するもので、例えば波長が6330ÅのHe
−Neレーザ発振器である。そのＳ偏光レーザ光は、シリ
ンドリカルレンズ44,46によりＺ方向に絞られてから、
Ｙ方向より例えば２゜の照射角でウエハ面に照射され
る。

ウエハ面に照射されたＳ偏光レーザ光の反射レーザ光
は、照射面が微視的に平滑ならば、ほとんどＳ偏光成分
だけである。例えば、パターンが存在している場合、そ
れは微視的には平滑面と考えられるから、反射レーザ光
はＳ偏光成分だけとみなし得る。

他方、ウエハ面に異物が存在していると、異物の表面
には一般に微小な凹凸があるため、照射されたＳ偏光レ
ーザ光は散乱して偏光方向が変化する。その結果、反射
レーザ光には、Ｓ偏光成分の外に、Ｐ偏光成分がかなり
含まれることになる。

このような現象に着目し、反射レーザ光に含まれるＰ
偏光成分のレベルに基づき、異物の有無と異物のサイズ
を検出する。これが、この異物検査装置の検出原理であ
る。

再び第２図を参照する。ウエハ30のＳ偏光レーザ光照
射領域からの反射レーザ光は、前記原理に従い異物を検
出する検出系50と、ウエハの目視観察のための顕微鏡52
の共通の光学系に入射する。すなわち、反射レーザ光
は、対物レンズ54、ハーフミラー56、プリズム58を経由
して45度プリズム60に達する。

また、目視観察のためにランプ70が設けられている。
このランプ70から出た可視光により、ハーフミラー56お
よび対物レンズ54を介してウエハ面を照射する。

プリズム60を経由して顕微鏡52側に入射した可視反射
光は、60度プリズム62、フィールドレンズ64、リレーレ
ンズ66を順に通過して接眼レンズ68に入射する。したが
って、接眼レンズ68より、ウエハ面を十分大きな倍率で
目視観察することができる。この場合の視野内にはウエ
ハ面のＳ偏光レーザ光照射領域が入る。

また、プリズム58を通してウエハ30を低倍率で観察す
ることもできる。

プリズム60を経由して検出系側に入射した反射レーザ
光は、スリット72に設けられた２つのアパーチャ74A,74
Bを通過して波長分離用のダイクロイックミラー76に達
し、波長λ_１の反射レーザ光と波長λ_２の反射レーザ光
に分離される。

分離された波長λ_１の反射レーザ光は、シャープカッ
トフィルタ78およびＳ偏光カットフィルタ（偏光板）80
を通過し、そのＰ偏光成分だけが抽出される。抽出され
たＰ偏光レーザ光は分離ミラー82に入射し、スリット72
のアパーチャ74Aを通過した部分はホトマルチプライヤ8
4Aに入射し、アパーチャ74Bを通過した部分はホトマル
チプライヤ84Bに入射する。

同様に、波長分離された波長λ_２の反射レーザ光は、
Ｓ偏光カットフィルタ（偏光板）86を通され、そのＰ偏
光成分だけが抽出される。抽出されたＰ偏光レーザ光は
分離ミラー88に入射し、スリット72のアパーチャ74A,74
Bを通過した部分がそれぞれホトマルチプライヤ90A,90B
に入射する。

各ホトマルチプライヤ84A,84B,90A,90Bから、それぞ
れの入射光量に比例した値の検出信号が出力される。後
述のように、ホトマルチプライヤ84A,84Bの検出信号は
加算され、同様に、ホトマルチプライヤ90A,90Bの検出
信号は加算される。そして、この加算された信号のレベ
ルに基づき、Ｓ偏光レーザ光射領域における異物の有無
が判定され、また異物が存在する場合は、その信号のレ
ベルから異物の粒径が判定される。

ここで、異物検査は、前述のようにウエハを回転させ
つつＸ方向（半径方向）に送りながら行われる。そのよ
うなウエハ30の移動に従い、第４図に示すように、Ｓ偏
光照射領域30Aはウエハ30の上面を外側より中心へ向か
って螺旋状に移動する。スリット72のアパーチャ74A,74
Bの視野は、Ｓ偏光レーザ光照射領域30A内に位置する。
すなわち、ウエハ面は螺旋走査される。

また、スリット72のアパーチャ74A,74Bのウエハ面に
おける視野74a,74bは、第５図に示すごとくである。こ
の図における各寸法は、例えば、l₁＝２×l₂−αであ
り、各アパーチャは走査方向（θ方向）と直行する方向
すなわちＸ方向にαだけ重なっている。そして、l₁はウ
エハのＸ方向つまり半径方向への送りピッチより大き
い。したがって、ウエハ面は一部重複して走査されるこ
とになる。

なお、ここでは、異物の異法制による検出誤差をなく
すため、後述のように、異なる方向から照射した散乱光
を検出している各ホトマルチプライヤの出力信号を加算
するようにしている。

次に、この異物検査装置の信号系および処理制御系に
ついて、第３図を参照して説明する。

前記ホトマルチプライヤ84A,90Aの出力信号は加算増
幅器100により加算増幅され、レベル比較回路102に入力
される。同様に、ホトマルチプライヤ84B,90Bの出力信
号は加算増幅器104により加算増幅され、レベル比較回
路106に入力される。

ここで、ウエハ上の異物の粒径と、ホトマルチプライ
ヤ84,90の出力信号レベルとの間には、第６図に示すよ
うな関係がある。この図において、L₁,L₂,L₃,L₄はレベ
ル比較回路102,106の閾値である。

レベル比較回路102,106は、それぞれの入力信号のレ
ベルを各閾値と比較し、その比較結果に応じた論理レベ
ルの閾値対応の出力信号を送出する。すなわち、閾値
L₁,L₂,L₃,L₄に対応する出力信号O₁,O₂,O₃,O₄の論理レベ
ルは、その閾値以上のレベルの信号が入力した場合に
“1"となり、入力信号レベルが閾値未満のときに“0"と
なる。したがって、例えば、入力信号レベルが閾値L₁未
満ならば、出力信号はすべて“0"となり、入力信号レベ
ルが閾値L₂以上で閾値L₃未満ならば、出力信号O₁とO₂が
“1"、O₃とO₄が“0"となる。また、入力信号レベルが閾
値L₃以上で閾値L₄未満ならば、出力信号はO₁とO₂,O₃が
“1"、O₄が“0"となる。そして、入力信号レベルが閾値
L₄以上となると出力信号はO₁とO₂,O₃,O₄が“1"となる。

このように、出力信号O₁,O₂,O₃,O₄は、入力信号のレ
ベル比較結果を示す２進コードである。

レベル比較回路102,106の出力信号は対応する信号同
士がワイアードオアされ、コードＬ（O₁を最下位ビット
とした２進コード）として、データ処理システム118の
インターフェイス回路108に入力される。

このインターフェイス回路108には、前記ロータリエ
ンコーダおよびリニアエンコーダから、各時点における
回転角度位置θおよびＸ方向（半径方向）位置ｘの情報
を示す信号（２進コード）も、バッファ回路110,112を
介し入力される。これらの入力コードは、一定の周期で
インターフェイス回路108内部のあるレジスタに取込ま
れ、そこに一時的に保持される。

また、インターフェイス回路108の内部には、処理制
御系よりステッピングモータ14,直流モータ24の制御情
報がセットされるレジスタもある。このレジスタにセッ
トされた制御情報に従い、モータコントローラ116によ
りステッピングモータ14、直流モータ24の駆動制御が行
われる。

データ処理システム118は、マイクロプロセッサ120,R
OM122,RAM124、フロッピーディスク装置126、Ｘ−Ｙプ
ロッタ127、CRTディスプレイ装置128、キーボード130な
どからなる。132はシステムバスであり、マイクロプロ
セッサ120、ROM122、RAM124、前記インターフェイス回
路108が直接的に接続されている。

キーボード130は、オペレータが各種指令やデータを
入力するためのもので、インターフェィス回路（I/F）1
34を介してシステムバス132に接続されている。フロッ
ピーディスク装置126は、オペレーティングシステムや
各種処理プログラム、検査結果データなどを格納するも
のであり、フロッピーディスクコントローラ136を介し
システムバス132に接続されている。

この異物検査装置が起動されると、オペレーティング
システムがフロッピーディスク装置126からRAM124のシ
ステム領域124Aヘロードされる。その後、フロッピーデ
ィスク装置126に格納されている各種処理プログラムの
うち、必要な１つ以上の処理プログラムがRAM124のプロ
グラム領域124Bへロードされ、マイクロプロセッサ120
により実行される。処理途中のデータなどはRAM124の作
業領域に一時的に記憶される。処理結果データは、最終
的にフロッピーディスク装置126へ転送され格納され
る。

ROM122には、文字、数字、記号（後述する表示記号と
してのずめいパターンを含む）などのドットパターンが
格納されている。

CRTディスプレイ装置128は、オペレータとの対話のた
めの各種メッセージの表示、異物マップやその他のデー
タの表示などに利用されるものであり、その表示データ
はビデオRAM138にビットマップ展開される。140はビデ
オコントローラであり、ビデオRAM138の書込み、読出し
などの制御の外に、ドットパターンに応じたビデオ信号
の発生、カーソルパターンの発生などを行う。このビデ
オコントローラ140はインターフェイス回路（I/F）142
を介してシステムバス132に接続されている。カーソル
のアドレスを制御するためのカーソルアドレスポインタ
140Aがビデオコントローラ140に設けられているが、こ
のポインタはキーボード130からのカーソル制御信号に
従いインクリメントまたはデクリメントされ、またマイ
クロプロセッサ120によりアクセス可能である。

Ｘ−Ｙプロッタ127は異物マップなどの印刷出力に使
用されるものであり、プロッタコントローラ137を介し
てシステムバス132に接続されている。

次に、異物検査処理について、第７図（ａ），（ｂ）
のフローチャートを参照しながら説明する。ここでは、
異物の自動検査、マップ表示、印刷などのジョブをオペ
レータが指定する型式としているが、これは飽くまで一
例である。

回転ステージ22の所定位置にウエハ30をセットした状
態で、オペレータがキーボード130より検査開始を指令
すると、検査処理プログラムがフロッピーディスク装置
126からRAM124のプログラム領域124Bへロードされ、走
り始める。

まず、マイクロプロセッサ120は、初期化処理を行
う。具体的には、Ｘステージ10および回転ステージ22を
初期位置に位置決めさせるためのモータ制御情報がイン
ターフェイス回路108の内部レジスタにセットされる。
このモータ制御情報に従い、モータコントローラ116が
ステッピングモータ14,24を制御し、各ステージを初期
位置に移動させる。また、マイクロプロセッサ120は、
後述のテーブル、カウンタ、検査データのバッファなど
のために記憶領域（第３図参照）をRAM124上に確保する
（それらの記憶領域はクリアされる）。

上記テーブル（テーブル領域124Dに作成される）の概
念図を第８図に示す。このテーブル150の各エントリ
は、異物の番号（検出された順番）、異物の位置（検出
された走査位置x,θ）、その種類ないし性質（目視観察
によって調べられる）、およびサイズの各情報から構成
されている。

前記初期化の後に、ジョブメニューがCRTディスプレ
イ装置128に表示され、オペレータからのジョブ指定を
待つ状態になる。

「自動検査」のジョブが指定された場合の処理の流れ
を、第７図（ａ）のフローチャートを参照して説明す
る。

自動検査のコードがキーボード130を通じてマイクロ
プロセッサ120に入力されると、マイクロプロセッサ120
は、自動検査処理を開始する。まず、マイクロプロセッ
サ120は、インターフェイス回路108を通じ、モータコン
トローラ116に対し走査開始を指示する（ステップ21
0）。この指示を受けたモータコントローラ116は、前述
のような螺旋走査を一定速度で行わせるように、ステッ
ピングモータ14、直流モータ24を駆動する。

マイクロプロセッサ120は、インターフェイス回路108
の特定の内部レジスタの内容、すなわち、ウエハ30の走
査位置x,θのコードと、レベル比較回路102,106による
レベル比較結果であるコードＬとからなる入力データを
取込み、RAM124上の入力バッファ124Cに書込む（ステッ
プ２）。

マイクロプロセッサ120は、取込んだ走査位置情報を
走査終了位置の位置情報と比較することにより、走査の
終了判定を行う（ステップ220）。この判定の結果がNO
（走査途中）ならば、マイクロプロセッサ120は、取込
んだコードＬのゼロ判定を行う（ステップ225）。Ｌ＝0
000ならば、その走査位置には異物が存在しない。Ｌ≠0
000ならば、異物が存在する。

ステップ225の判定結果がYESならばステップ215に戻
る。ステップ225の判定結果がNOならば、マイクロプロ
セッサ120は、取込んだ位置情報（x,θ）と、テーブル1
50に記憶されている既検出の他の異物の位置情報（x,
θ）とを比較する（ステップ230）。

位置情報の一致がとれた場合、現在の異物は他の異物
と同一とみなせるので、ステップ215に戻る。

位置情報の比較が不一致の場合、新しい異物が検出さ
れたとみなせる。そこで、マイクロプロセッサ120は、R
AM124上に確保された領域124EであるカウンタＮを１だ
けインクリメントする。（ステップ235）。そして、テ
ーブル150のＮ番目のエントリに、当該異物の位置情報
（x,θ）およびコードＬ（粒径情報として）を書込む
（ステップ240）。

ウエハ30の走査が終了するまで、同様の処理が繰り返
し実行される。

ステップ220で走査終了と判定されると、マイクロプ
ロセッサ120は、インターフェイス回路108を通じて、モ
ータコントローラ116に対し走査停止指示を送る（ステ
ップ250）。この指示に応答して、モータコントローラ1
16はステッピングモータ14、直流モータ24の駆動を停止
する。次にマイクロプロセッサ120は、テーブル150を参
照し、コードＬが1₂（＝001）の異物の合計数TL₁、コー
ドＬが3₂（＝0011）の異物の合計数TL₂,コードＬが7
₂（＝0111）の異物の合計数TL₃を計算し、コードＬが15
₂（＝1111）の異物の合計数TL₄を計算し、その異物合計
数データを、RAM124上の特定領域124F,124G,124H,124I
に書込む（ステップ251）。そして、テーブル150の記憶
内容および異物合計データを、ウエハ番号を付加してフ
ロッピーディスク装置126へ転送し、格納させる（ステ
ップ252）。

これで、自動検査のジョブが終了し、CRTディスプレ
イ装置128の画面にジョブメニューが表示される。

ここで、ジョブメニューのうち第１図（ａ）に示すマ
ップ表示を指定すると、第７図（ｂ）に示すマップ表示
処理プログラムが起動されて、マイクロプロセッサ120
は、ウエハの輪郭画像のドットパターンデータをフロッ
ピーディスク装置126よりビデオRAM138へDMA転送させる
（ステップ285）。この転送の起動制御はマイクロプロ
セッサ120により行われるが、その後の転送制御はビデ
オコントローラ140およびフロッピーディスクコントロ
ーラ136によって行われる。ビデオRAM138のドットパタ
ーンデータは、ビデオコントローラ140により順次読出
されビデオ信号に変換されてCRTディスプレイ装置128に
送られ、表示される。

次に、マイクロプロセッサ120は、RAM124上のテーブ
ル150から、各異物の位置情報とサイズ情報（Ｌコー
ド）を順次読出し、その読出しの都度、それぞれのＬコ
ードに対応して割当てられた図形パターン、例えば、Ｌ
＝“0001"ならば黒点、Ｌ＝“0011"ならば、△、Ｌ＝
“0111"ならば□、Ｌ＝“1111"ならば○というようなパ
ターンをROM122から読出して、その位置情報に対応した
ビデオRAM138のアドレス情報とともにビデオコントロー
ラ140へ転送し、ビデオRAM138に書込ませる（ステップ2
90）。この処理により、第１図（ａ）に示す状態でテー
ブル150に記憶されている異物のマップがCRTディスプレ
イ装置128の画面に表示される。

第１図（ａ）では、信号レベルにおいて○がレベルL₄
を越える大きな異物を示していて、□がレベルL₄以下で
あってレベルL₃を越える大きさの異物、△がレベルL₃以
下であってレベルL₂を越える大きさの異物、黒点がレベ
ルL₂以下であってレベルL₁を越える小さな大きさの異物
を示している。

ここで、○、□、及び△の中心の点の位置は、異物の
存在している座標位置に一致している。

この表示状態で、次に、入力キー判定処理（ステップ
295）に移り、ここで、頻度グラフ表示キー入力をする
と、RAM124上の特定領域124F,124G,124H,124Iから各大
きさに対応する数値を読出して第１図の（ｂ）に示され
る頻度グラフを表示する。この表示状態で、カーソル12
8Aを操作する（ステップ300）。このカーソル操作によ
りキー入力待ち状態に入り（ステップ305）、カーソ128
Aをある大きさのグラフの位置にカーソル128Aを位置付
けて、ここで、表示の機能キーが入力されると、マイク
ロプロセッサ120は、カーソルの位置座標を読込み、そ
のＸ座標（粒径位置の表示座標に対応）から指定された
グラフに対応する粒径（Ｌコード）を判定してRAM124上
のテーブル150からこの指定されたＬコード（粒径）、
例えば、それをＬ＝“1111"とすると、これに対応する
データが読出され、その都度、このＬコードに対応して
割当てられた図形パターン、ここでは、○のパターンを
ROM122から読出して、その位置情報に対応したビデオRA
M138のアドレス情報とともにビデオコントローラ140へ
転送し、ビデオRAM138に書込ませる（ステップ310）。
この処理により、第１図（ｃ）に示す状態でテーブル15
0に記憶されている異物のマップがCRTディスプレイ装置
128の画面に表示される。

このようにすることにより、たとえ粒径の分類数が多
くなっても容易にその相関関係やそれぞれの粒径の分布
状況、数量を容易に把握することができる。

以上、この発明の一実施例について説明したが、この
発明はそれだけに限定されるものではなく、適宜変形し
て実施し得るものである。

例えば、表示装置はCRTディスプレイ装置に限られる
ものではなく、液晶表示装置であってもよい。また、マ
ークは、それぞれのマークを識別し易くするためにそれ
ぞれに異なる色を塗る表示をしてもよい。

実施例では、４つのレベルで４種類の大きさとして異
物を分類して表示する例を挙げているが、異物の分類数
は、さらに多くてもよく、これは複数であればよい。

また、実施例では、受光器としてホトマルチプライヤ
を用いているが、これの代わりに他の適当な光電素子を
用い得ることができる。さらに、走査は螺旋走査に限ら
ず、例えば直線走査としてもよい。

なお、この発明は、偏光レーザ光以外の光ビームを利
用する同様なウエハ異物検査装置にも、この発明は適用
可能である。

［発明の効果］以上説明したように、この発明にあっては、大きさに
対応して割当てられた表示記号により異なる大きさの異
物を同時にマップ表示するようにすることで、大きさに
大じたそれぞれの異物の分布状態とその相関関係を明確
に把握でき、特に、分類数が多いときにその効果が大き
い。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）及び（ｃ）は、この発明のウエハ
異物検査装置の一実施例の表示画面の説明図、第２図
は、そのウエハ用異物検査装置の光学系部分などの構成
を簡略化して示す概要図、第３図は、同装置の信号処理
および制御系の概要図、第４図は被検査面走査の説明
図、第５図はスリットのアパーチャに関する説明図、第
６図は異物の粒径とホトマルチプライヤの出力信号との
関係、およびレベル比較の閾値との関係を示すグラフ、
第７図（ａ）及び（ｂ）は、検査処理の流れを示すフロ
ーチャート、第８図は検査処理に関連するテーブルの概
念図である。 10……Ｘステージ、14……ステッピングモータ、22……
回転ステージ、24……直流モータ、30……ウエハ、32,3
4,36,38……Ｓ偏光レーザ発振器、50……検出系、52…
…顕微鏡、72……スリット、76……ダイクロイックミラ
ー、80……Ｓ偏光カットフィルタ、82……分離ミラー、
84A,84B……ホトマルチプライヤ、86……Ｓ偏光カット
フィルタ、88……分離ミラー、90A,90B……ホトマルチ
プライヤ、100,104……加算増幅器、102,106……レベル
比較回路、108……インターフェイス回路、116……モー
タコントローラ、120……マイクロプロセッサ、122……
ROM、124……RAM、126……フロッピーディスク装置、12
7……Ｘ−Ｙプロッタ、128……CRTディスプレイ装置、1
30……キーボード、138……ビデオRAM、150……テーブ
ル。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】光ビームを照射された被検査面からの反射
光に基づき、前期被検査面上の異物を検出し、検出した
前期異物の少なくとも位置の情報を各異物と対応させて
メモリに記憶し、このメモリに記憶した位置情報に従っ
て表示装置の画面上に異物のマップを表示する異物検査
装置において、異物の大小に応じて大小に応じた検出信
号を発生する検出手段と、この検出手段から信号に応じ
て検出された異物の位置の情報とその大小を表す情報と
を前記メモリに記憶する処理を行う演算処理手段とを備
え、前記大小を表す情報に対応してそれぞれ異なる、中
心に点マークを有する図形パターンを割当て、前記演算
処理手段が前記メモリから異物の位置の情報及びその大
小を表す情報を得て、この大小を表す情報に対応する前
記図形パターンにより読出した前記位置の情報で指定さ
れる画面上の位置に前記点マークを合わせて記号表示す
ることを特徴とするウエハ異物検出装置。
【請求項２】メモリに記憶された異物の大小を表す情報
に基づいて異物大きさ頻度グラフを表示し、このグラフ
上でカーソルにより指定した大きさの異物についてそれ
に割当てられた図形パターンで異物をマップ表示するこ
とを特徴とする請求項１記載のウエハ異物検出装置。
【請求項３】図形パターンは相互に識別できる色が付け
られていることを特徴とする請求項１乃至２のうちのい
ずれか１項記載のウエハ異物検査装置。