JPH0195652U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0195652U JPH0195652U JP19206087U JP19206087U JPH0195652U JP H0195652 U JPH0195652 U JP H0195652U JP 19206087 U JP19206087 U JP 19206087U JP 19206087 U JP19206087 U JP 19206087U JP H0195652 U JPH0195652 U JP H0195652U
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- JP
- Japan
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- disk
- defect inspection
- display device
- inspection display
- displaying
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 6
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
第１図は本考案装置の構成例を示すブロツク図
、第２図はデイスクの欠陥を示す図、第３図は本
考案装置の要部構成図、第４図は再生信号ａとド
ロツプアウト信号ｂの波形図、第５図は本考案装
置によるマツピング表示例を示す図、第６図は従
来装置によるマツピング表示例を示す図である。 １……デイスク再生プレーヤー、１１……コン
パレータ回路、１２……長さ・角度カウント回路
、１３……ＦＩＦＯレジスタ、１５ｃ……ＣＰＵ
、１５ｄ……ＲＡＭ。
、第２図はデイスクの欠陥を示す図、第３図は本
考案装置の要部構成図、第４図は再生信号ａとド
ロツプアウト信号ｂの波形図、第５図は本考案装
置によるマツピング表示例を示す図、第６図は従
来装置によるマツピング表示例を示す図である。 １……デイスク再生プレーヤー、１１……コン
パレータ回路、１２……長さ・角度カウント回路
、１３……ＦＩＦＯレジスタ、１５ｃ……ＣＰＵ
、１５ｄ……ＲＡＭ。
Claims (1)
- デイスクの欠陥検査結果をデイスク図面上にマ
ツピング表示するようにしたデイスク欠陥検査表
示装置において、欠陥をその面積に比例する円で
表示するための欠陥検査表示回路をもうけたこと
を特徴とするデイスク欠陥検査表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19206087U JPH0195652U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19206087U JPH0195652U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0195652U true JPH0195652U (ja) | 1989-06-23 |
Family
ID=31482936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19206087U Pending JPH0195652U (ja) | 1987-12-18 | 1987-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0195652U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03125945A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-29 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
| JP2008234695A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Pulstec Industrial Co Ltd | 光ディスク検査装置及び光ディスク検査方法 |
| JP2009015922A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Pulstec Industrial Co Ltd | 光ディスク検査装置及び光ディスク検査方法 |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP19206087U patent/JPH0195652U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03125945A (ja) * | 1989-10-11 | 1991-05-29 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
| JP2008234695A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Pulstec Industrial Co Ltd | 光ディスク検査装置及び光ディスク検査方法 |
| JP2009015922A (ja) * | 2007-07-02 | 2009-01-22 | Pulstec Industrial Co Ltd | 光ディスク検査装置及び光ディスク検査方法 |
| JP4569604B2 (ja) * | 2007-07-02 | 2010-10-27 | パルステック工業株式会社 | 光ディスク検査装置及び光ディスク検査方法 |