JP2520048B2 - 画像形成用ワ―クとマスクフィルムの離間方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリント配線基板、又は写真製版等に使用さ
れる露光装置を用いて露光を行ったのち、密着状態にあ
るワークとマスクフィルムをそれ等の密着面に損傷を与
えることなく確実に離間させ得る画像形成用ワークとマ
スクフィルムの離間方法に関するものである。

〔従来の技術〕

プリント配線基板のパターン形成用その他に使用され
る両面式の露光装置として第８図に示すものがある。こ
の装置は、コンベア等を用いて矢印ａ方向から搬入され
たワーク１を受け入れる仮位置決め部２と、この仮位置
決め部２からワーク１を後述する露光部３に搬送する搬
入側の搬送装置４と、露光処理が完了したワーク１を露
光部３から受け取って搬出部５に搬出する搬出側の搬送
装置６等によって構成されており、前記露光部３は上下
の透明板7,8に展着したマスクフィルム9,10の間にワー
ク１を挾着し、ワーク１を取り囲む環境11を減圧状態に
してワーク１の上下面にマスクフィルム9,10を密着させ
たのち、紫外線照射装置12,12を用いて露光を行うよう
にしている。

そして露光終了後、ワーク１を露光部３から取り出す
には、先ずワーク１を取り囲む環境11の減圧状態を解除
して大気圧とし、上焼枠透明板７の昇降駆動装置（図示
せず）により上焼枠透明板７を上昇させてワーク１から
マスクフィルム９を離間させ、次に、搬出側の搬送装置
６を露光部３に移動させ、多数の真空チャック13を使用
してワーク１の上面を吸着し、更に上方に持ち上げて、
ワーク１とマスクフィルム10を離間している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、前記の離間方法には次にのべるような問題点
があった。

（１） 露光終了後、ワークを取り囲む減圧環境を解除
してもマスクフィルム9,10とワーク１は依然として密着
状態にあるので、昇降駆動装置を用いて上焼枠透明板７
を上昇させた際及び搬送装置６の真空チャック13を用い
てワーク１を持ち上げた際に、マスクフィルム９又は10
とワーク１の密着面に損傷を生ずることがあった。

（２） 前記の如く上焼枠透明板７を上昇させた際に、
ワーク１の下面と下焼用マスクフィルム10の密着面が先
に離間する場合があり、この場合、上焼用マスクフィル
ム９とワーク１を離間することが困難となる（人手によ
り離間させることになる）。尚、ここには図示していな
いが片面式の露光装置（ワークの下面に露光を行う）の
場合においても前記と同様、ワークとマスクフィルムの
密着面に損傷を生ずるという問題点があった。

本発明は前述の問題点に鑑み、両面式および片面式の
いずれの型式の露光装置においても、密着面に損傷を与
えることなく、しかもワークの上下面を順序正しく確実
に離間できる画像形成用ワークとマスクフィルムの離間
方法を提供することを課題とする。

〔課題を解決するための手段〕

前記の課題を達成するため、本発明では次の手段を構
成した。

（１） 両面式露光装置を用いて露光を行ったのち、ワ
ークを取り囲む減圧環境を解除し、上焼枠透明板の一隅
又は周辺部の一側に設けた少なくとも１個以上の突出ピ
ンを下方に突出させて上焼用マスクフィルムとワークの
密着面に開口部をつくり、上焼枠透明板の昇降駆動装置
を作動させて上焼枠透明板と上焼用マスクフィルムを上
方に持ち上げ、次に搬送装置の吸着部をワークの上部に
移動させて前記吸着部を構成する少なくとも１個以上の
真空チャックを用いてワークの一隅又は周辺部の一側を
吸着し、更に吸着部を上昇させてワークと下焼用マスク
フィルムの密着面に開口部をつくることを特徴とする画
像形成用ワークとマスクフィルムの離間方法。

（２） 片面式露光装置を用いて露光を行ったのち、複
数個の吸着区画を有する吸着部の内部を大気に連通して
ワークを取り囲む減圧環境を解除し、次に、ワークの一
隅又は周辺部の一側に対応する吸着区画を用いてワーク
の一部分を吸着し、更に吸着部を上昇させてワークと下
焼用フィルムの密着面に開口部をつくることを特徴とす
る画像形成用ワークとマスクフィルムの離間方法。

〔作用〕

（１） 両面式露光装置において、ワークを取り囲む減
圧環境を解除すると、突出ピンが下方に突出してワーク
の上面を押圧し、その結果、上焼用マスクフィルムとワ
ーク間の密着部の隅部又は縁部に開口部をつくるので、
この開口部から大気圧の空気が密着部の全面に流入して
密着部を離間する。

次に搬送装置の真空チャックを利用してワークと下焼
用マスクフィルムの密着部の隅部又は縁部に開口部を作
るので、前記と同様大気圧の空気が流入して密着部を離
間する。

（２） 片面式露光装置において、搬送装置の吸着部を
利用してワークと下焼用マスクフィルムの密着部の隅部
又は縁部に開口部を作るので、この開口部に大気圧の空
気が流入して密着部を離間する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

尚、図中の符号及び記号については従来の技術を説明
した際の露光装置各部と同じ機能を果たす部分に同じ符
号及び記号を付して示し説明を省略する。

第１図ないし第５図は本発明の方法を両面式露光装置
に適用した実施例を示すもので、この実施例の装置は第
１図、第２図及び第３図に示すように、突出ピン21と圧
縮ばね22を組合わせた伸縮自在な１組の押圧装置23aを
上焼枠透明板７の一隅に装備している。

突出ピン21は上焼枠透明板７の厚肉部7aに穿設した孔
24の中に摺動自在に且つ下方に脱落しないように嵌入し
ており、また圧縮ばね22は前記孔24の中に収納されてい
て、常時、突出ピン21を下方に付勢している。従って、
露光中、ワーク１を取り囲む環境11が減圧状態にあって
ワーク１の上下面が上下のマスクフィルタ9,10に密着し
ているとき、突出ピン21は圧縮ばね22を圧縮させた状態
で前記孔24の中に引っ込んでいる。

尚、図中の25はワーク１の環境11を気密に密閉するた
めの土堤ゴム、26,26はワーク１を取り囲む環境11を減
圧状態にするための吸引管、37a,37bは上下の枠材であ
る。

次に、本発明の方法及び作用を操作の手順に従って説
明する。先ず、減圧手段（図示せず）を大気に開放して
ワーク１を取り囲む環境11を大気圧にする。この操作に
よって上焼枠透明板７を下焼枠透明板８に強制的に押し
付けていた拘束力、すなわち上焼枠透明板７の上下面に
作用していた空気圧の差が除去される。従って圧縮ばね
22の弾性力によって下方に突出しようとする突出ピン21
の反力によって上焼枠透明板７の一隅が上方に持ち上
り、その結果、ワーク１の上面とマスクフィルム９の密
着部の一隅に開口部27が形成される。そして、この開口
部27に大気圧の空気が流入し、開口部27を拡大させなが
ら密着部の全面に進入する。従って、密着面に損傷を与
えることなくワーク１と上焼枠マスクフィルム９を離間
することができる。尚、圧縮ばね22の弾性力が不足して
密着面の隅部を剥離させ得ない場合は、前記の昇降駆動
装置（図示せず）を駆動して上焼枠透明板７を僅かに上
方に持ち上げると好都合である。

更に、前記昇降駆動装置（図示せず）により前記上焼
枠透明板７及びこれに密着した上焼用マスクフィルム９
を上方の退避位置（第８図の假想線参照）に持ち上げた
のち、搬出側の搬送装置６（第８図参照）を露光部３に
移動させ、第４図及び第５図に示す如く隅部の真空チャ
ック13を用いてワーク１の一隅を吸着し、且つ上方に持
ち上げることによりワーク１と下焼用マスクフィルム10
の密着面に開口部27をつくる。そして、この開口部27に
前記同様大気圧の空気が流入する。従って密着面に損傷
を与えることなくワーク１と下焼用マスクフィルム10を
離間することができる。

以上の説明では、単一の押圧装置23aを上焼枠透明板
７の一隅に配置する場合について述べたが、ワークのサ
イズが大きい場合には、開口部をつくる力を増大するた
め、第２図に仮想線で示すように透明板７の一隅に２組
の押圧装置23b,23bを設けるか、あるいは周辺部の一側
に複数の突出ピン23c,23c…を配置して、これ等を組み
合わせて使用する。また、下焼用マスクフィルム10を離
間する際の真空チャック13の使用区分についても前記押
圧装置23a,23b,23cと同様に取扱うものとする。

本発明の方法を片面式の露光装置（ワークの下面に露
光を行う）に適用した実施例を第６図及び第７図に示
す。この実施例における搬送装置は既に述べた真空チャ
ック13の代りに、複数の吸着区画30,32,33等を有する上
焼枠兼用の吸着部28を使用しており、この吸着部28の下
面には第７図に示すように多数の吸着孔29,29,29…が配
置されている。尚、複数個の吸着区画を有する上焼枠兼
用の吸着部を有する搬送装置については、本願と同一の
出願人によって出願された特願平２−224659号に詳細に
記載されているので、詳細な説明を省略する。

露光後、ワーク１とマスクフィルム10を離間するに
は、先ず、吸引管26,35,36を大気に連通させてワーク１
を取り囲む環境11を大気圧にする。この状態では吸着区
画30がワーク１の一隅を吸着しているので、吸着部28を
上昇させると第６図に仮想線で示すように密着部の一隅
に開口部37が形成され、この開口部27に大気圧の空気が
流入してワーク１とマスクフィルム10を離間する。尚、
ワーク１の周辺部の一側を吸着する場合は吸着区画30及
び32内の空気を吸引する。前記の如くワーク１の一隅又
は周辺部を吸着して上方に持ち上げ、開口部27に大気圧
の空気を流入させるので、密着面に損傷を生ずることな
くワーク１とマスクフィルム10を離間することができ
る。

尚、本発明は前述の実施例にのみ限定されるもきでは
なく、例えば押圧装置の配置は、上焼枠透明板の一隅又
は周辺部の一側に設けられる位置決め用ピンとの干渉を
避けるため、上焼枠透明板の四隅又は周辺部のうちの所
望の隅部又は一側に設けてもよいこと等、その他本発明
の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を加え得ること
は勿論である。

〔発明の効果〕

以上に述べたごとく本発明は次の優れた効果を発揮す
る。

（１） 露光処理終了後、ワークを取り囲む減圧環境を
解除し、ワーク上面側においては上焼枠透明板に配置し
た突出ピンを作動させて、ワークの隅部又は縁部（いず
れも画像の形成に無関係な余白の部分）を剥離させて開
口部を作り、またワークの下面側においては、搬送装置
の吸着部を部分的に作動させてワーク下面側に同様の開
口部をつくるようにしたので、この開口部に流入する空
気を利用して密着面に損傷を与えることなく、ワークと
マスクフィルムを離間させることができる。

（２） ワーク上下面のマスクフィルムを離間する場
合、減圧環境を解除すると、先ず、突出ピンが作動して
ワーク上側の密着面に開口部が作られ、次に搬送装置を
利用してワークの下側に開口部がつくられる。従って、
従来のようにワークの下側が先に離間するおそれがなく
作動が確実である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の方法を両面露光装置に適
用した場合の実施例を示し、第１図は露光中の各部の作
動状態を示す切断側面図（第２図におけるＩ−Ｉ方向か
らの拡大矢視図）第２図は押圧装置の配置を示す上部透
明板の底面図、第３図は押圧装置の突出ピンが作動した
状態を示す切断側面図、第４図は真空チャックの作動状
態を示す切断側面図、第５図は真空チャックの配置を示
す底面図、第６図及び第７図は本発明の方法を片面式露
光装置に適用した実施例を示し、第６図は吸着部の部分
を示す切断側面図（第７図におけるVI−VI方向からの部
分を示す矢視図）、第７図は第６図におけるVII−VII方
向からの縮小矢視図、第８図は一般的な両面式露光装置
の一部切断側面図である。 １……ワーク、６……搬出側の搬送装置 7,8……透明板、9,10……マスクフィルム 13……真空チャック、21……突出ピン 22……圧縮ばね、27……開口部 28……吸着部 30,32,33……吸着区画

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】両面式露光装置を用いて露光を行ったの
   ち、ワークを取り囲む減圧環境を解除し、上焼枠透明板
   の一隅又は周辺部の一側に設けた少なくとも１個以上の
   突出ピンを下方に突出させて上焼用マスクフィルムとワ
   ークの密着面に開口部をつくり、上焼枠透明板の昇降駆
   動装置を作動させて上焼枠透明板と上焼用マスクフィル
   ムを上方に持ち上げ、次に搬送装置の吸着部をワークの
   上部に移動させて前記吸着部を構成する少なくとも１個
   以上の真空チャックを用いてワークの一隅又は周辺部の
   一側を吸着し、更に吸着部を上昇させてワークと下焼用
   マスクフィルムの密着面に開口部をつくることを特徴と
   する画像形成用ワークとマスクフィルムの離間方法。
2. 【請求項２】片面式露光装置を用いて露光を行ったの
   ち、複数個の吸着区画を有する吸着部の内部を大気に連
   通してワークを取り囲む減圧環境を解除し、次に、ワー
   クの一隅又は周辺部の一側に対応する吸着区画を用いて
   ワークの一部分を吸着し、更に吸着部を上昇させてワー
   クと下焼用フィルムの密着面に開口部をつくることを特
   徴とする画像形成用ワークとマスクフィルムの離間方
   法。