JP2515325Y2 - 基板の搬出・搬入装置 - Google Patents
基板の搬出・搬入装置Info
- Publication number
- JP2515325Y2 JP2515325Y2 JP8106790U JP8106790U JP2515325Y2 JP 2515325 Y2 JP2515325 Y2 JP 2515325Y2 JP 8106790 U JP8106790 U JP 8106790U JP 8106790 U JP8106790 U JP 8106790U JP 2515325 Y2 JP2515325 Y2 JP 2515325Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- arm
- cassette
- carry
- unloading
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8106790U JP2515325Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8106790U JP2515325Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0438050U JPH0438050U (US20110009641A1-20110113-C00185.png) | 1992-03-31 |
JP2515325Y2 true JP2515325Y2 (ja) | 1996-10-30 |
Family
ID=31626682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8106790U Expired - Fee Related JP2515325Y2 (ja) | 1990-07-30 | 1990-07-30 | 基板の搬出・搬入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2515325Y2 (US20110009641A1-20110113-C00185.png) |
-
1990
- 1990-07-30 JP JP8106790U patent/JP2515325Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0438050U (US20110009641A1-20110113-C00185.png) | 1992-03-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3468430B2 (ja) | 位置検出案内装置、位置検出案内方法及び真空処理装置 | |
JPH11165864A (ja) | 基板搬送装置及び基板処理装置 | |
JP2515325Y2 (ja) | 基板の搬出・搬入装置 | |
JP2862956B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2000200810A (ja) | プロ―バ | |
JP2504337Y2 (ja) | 基板の搬出・搬入装置 | |
JP3172286B2 (ja) | 電子部品装着装置における押圧力測定装置 | |
JPH0922933A (ja) | 基板搬送方法及びその装置 | |
JPS6411412B2 (US20110009641A1-20110113-C00185.png) | ||
JP2901469B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JPH05129417A (ja) | 板状体の処理装置 | |
KR20060126204A (ko) | 부품실장기용 기판지지장치 | |
JP2552017B2 (ja) | 基板の位置合わせ支持装置 | |
KR20010081967A (ko) | 기판 센터링장치 | |
JP3065843B2 (ja) | 被処理体の検出装置 | |
JP4282379B2 (ja) | ウエハ検査装置 | |
KR100256215B1 (ko) | 멀티챔버 시스템 | |
JP4849744B2 (ja) | 表示用基板の検査装置 | |
JP2002261144A (ja) | 基板の受け渡し方法及び装置 | |
JP4602838B2 (ja) | 半導体チップの実装装置 | |
CN220627825U (zh) | 一种整片硅片加工传输线 | |
JP2000335741A (ja) | 受渡機構および予備位置決め機構ならびに受渡方法 | |
JP2503732Y2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP3029409B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPH05286526A (ja) | ウエハ移載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |