JP2513761B2 - ウエハチャック - Google Patents
ウエハチャックInfo
- Publication number
- JP2513761B2 JP2513761B2 JP1313888A JP1313888A JP2513761B2 JP 2513761 B2 JP2513761 B2 JP 2513761B2 JP 1313888 A JP1313888 A JP 1313888A JP 1313888 A JP1313888 A JP 1313888A JP 2513761 B2 JP2513761 B2 JP 2513761B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck
- chuck body
- push
- pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔概要〕 ウエハ処理用ウエハチャックに係り，特にスパッタリ
ング用のウエハチャックの構造に関し， ウエハとこれを保持する爪の接触部においてゴミの発
生源となる堆積物が付着しないようにし，爪の長寿命化
によりメンテナンスを容易にすることを目的とし， ウエハを保持するチャック本体と，該チャック本体を
ウエハの面方向に回転させる手段と，ウエハを該チャッ
ク本体より押し出すための押し出しピンとを有して，ウ
エハを水平位置で搬送し，垂直位置で処理を行うウエハ
チャックであって， 該チャック本体は，テーパ面がチャック本体のウエハ
保持面に対して鋭角をなすように２個のテーパ爪が固定
され，該テーパ面と該チャック本体間にウエハを保持す
るようにした構成にする。
ング用のウエハチャックの構造に関し， ウエハとこれを保持する爪の接触部においてゴミの発
生源となる堆積物が付着しないようにし，爪の長寿命化
によりメンテナンスを容易にすることを目的とし， ウエハを保持するチャック本体と，該チャック本体を
ウエハの面方向に回転させる手段と，ウエハを該チャッ
ク本体より押し出すための押し出しピンとを有して，ウ
エハを水平位置で搬送し，垂直位置で処理を行うウエハ
チャックであって， 該チャック本体は，テーパ面がチャック本体のウエハ
保持面に対して鋭角をなすように２個のテーパ爪が固定
され，該テーパ面と該チャック本体間にウエハを保持す
るようにした構成にする。
本発明はウエハ処理用ウエハチャックに係り，特にス
パッタリング用のウエハチャックの構造に関する。
パッタリング用のウエハチャックの構造に関する。
〔従来の技術〕 スパッタ装置において，スパッタ室内に設けられるウ
エハチャックの爪は、従来，線材や，板材を折り曲げて
作製されていた。
エハチャックの爪は、従来，線材や，板材を折り曲げて
作製されていた。
第４図（１）〜（３）は従来のウエハチャックの平面
図と断面図である。
図と断面図である。
図において，ウエハ31は板材で作製された４本の爪3
2,または32Aにより保持される。
2,または32Aにより保持される。
このような爪でウエハをクランプすると，ウエハと爪
の接触部においてスパッタされた物質が容易に付着し，
ウエハの着脱の際にそれが剥離してゴミの発生源となっ
ていた。
の接触部においてスパッタされた物質が容易に付着し，
ウエハの着脱の際にそれが剥離してゴミの発生源となっ
ていた。
また，爪の寿命が短く，その交換回数が増えて装置の
メンテナンス回数が増え，真空立ち上げ等に多くの時間
と労力を費やしていた。
メンテナンス回数が増え，真空立ち上げ等に多くの時間
と労力を費やしていた。
上記問題点の解決は，ウエハを保持するチャック本体
と，該チャック本体をウエハの面方向に回転させる手段
と，ウエハを該チャック本体より押し出すための押し出
しピンとを有して，ウエハを水平位置で搬送し，垂直位
置で処理を行うウエハチャックであって、該チャック本
体は，テーパ面がチャック本体のウエハ保持面に対して
鋭角をなすように２個のテーパ爪が固定され，該テーパ
面と該チャック本体間にウエハを保持するようにしたウ
エハチャックにより達成される。
と，該チャック本体をウエハの面方向に回転させる手段
と，ウエハを該チャック本体より押し出すための押し出
しピンとを有して，ウエハを水平位置で搬送し，垂直位
置で処理を行うウエハチャックであって、該チャック本
体は，テーパ面がチャック本体のウエハ保持面に対して
鋭角をなすように２個のテーパ爪が固定され，該テーパ
面と該チャック本体間にウエハを保持するようにしたウ
エハチャックにより達成される。
第１図は本発明を説明するテーパ爪ウエハチャック本
体の断面図である。
体の断面図である。
図において，ウエハ３は垂直位置（処理位置）におい
て，テーパ爪２により，チャック本体１に密着して保持
され，ウエハ３の表面に飛来する堆積物質はテーパ爪２
の外側に堆積する。
て，テーパ爪２により，チャック本体１に密着して保持
され，ウエハ３の表面に飛来する堆積物質はテーパ爪２
の外側に堆積する。
従って，内側のテーパ部には堆積しないため，ウエハ
の着脱に際しゴミを発生しない。
の着脱に際しゴミを発生しない。
また，テーパ爪を用いるウエハチャックの一般的な利
点であるが，テーパ爪ウエハチャックは，搬送されてき
たウエハを処理位置において拾い上げてテーパ爪に滑り
込ませ，ウエハチャックを垂直位置まで回転してウエハ
をテーパ爪に保持した状態で種々の処理を行い，処理
後，ウエハを水平位置に戻し，押し出しピンを押し出し
てウエハをテーパ爪より外し，搬送できるため，自動化
が容易である。
点であるが，テーパ爪ウエハチャックは，搬送されてき
たウエハを処理位置において拾い上げてテーパ爪に滑り
込ませ，ウエハチャックを垂直位置まで回転してウエハ
をテーパ爪に保持した状態で種々の処理を行い，処理
後，ウエハを水平位置に戻し，押し出しピンを押し出し
てウエハをテーパ爪より外し，搬送できるため，自動化
が容易である。
第２図（１）〜（３）は本発明の一実施例を説明する
テーパ爪ウエハチャックの断面図，平面図およびウエハ
回転位置説明図である。
テーパ爪ウエハチャックの断面図，平面図およびウエハ
回転位置説明図である。
図において，チャック本体１は２箇所にテーパ爪２が
設けられてウエハ３を保持し，レバー４に固定されて支
点５の回りに回転運動する。
設けられてウエハ３を保持し，レバー４に固定されて支
点５の回りに回転運動する。
ウエハ５は搬送用回転子６上を搬送される。
ウエハ押し出しピン７は支点９の回りに回転するレバ
ー８の一端に取りつけられ，レバー８の他端は押し出し
ピン７の駆動端となる。駆動端をＡよりＢに移動する
と，押し出しピン７はＣよりＤに移動してウエハ３を押
し出す。
ー８の一端に取りつけられ，レバー８の他端は押し出し
ピン７の駆動端となる。駆動端をＡよりＢに移動する
と，押し出しピン７はＣよりＤに移動してウエハ３を押
し出す。
第２図（３）の動作位置説明図において，チャック本
体１がチャック回転中心０（第１図（１）の支点５）の
回りに回転する位置を〜に示す。これらの各位置に
対する駆動端と押し出しピンの位置関係をつぎに示す。
体１がチャック回転中心０（第１図（１）の支点５）の
回りに回転する位置を〜に示す。これらの各位置に
対する駆動端と押し出しピンの位置関係をつぎに示す。
チャック回転位置 駆動端 押し出しピン Ａ Ｃ Ａ〜Ｂ Ｃ〜Ｄ Ａ〜Ｂ Ｃ〜Ｄ Ｂ Ｄ チャック回転位置は処理位置，は回転途中位置，
は搬送位置，はウエハ押し出し位置で，ウエハを押
し出した後はつぎのウエハを待つ状態である。
は搬送位置，はウエハ押し出し位置で，ウエハを押
し出した後はつぎのウエハを待つ状態である。
さらに，チャッキングミスを防止するために，本出願
人は第３図に示される押し出しピンの動作機構を提案し
た1)。
人は第３図に示される押し出しピンの動作機構を提案し
た1)。
１）特願昭62−184040（昭和62.7.23出願） 次に，他の実施例として，この押し出しピンの動作機
構を用いたウエハチャックを説明する。
構を用いたウエハチャックを説明する。
第３図は改良された押し出しピンの動作機構を説明す
る図である。
る図である。
第３図において，押し出しピン７を一端に保持し，第
１の固定支点11の回りに回転できる従動体12と，駆動端
13を一端に有し，第２の固定支点14の回りに回転できる
駆動体15と，従動体の他端16と駆動体の他端17とを相互
に回転可能にピン接手により接続した連接体18とよりな
るリンク機構を有し，駆動端の１方向の移動Ａ→Ｂ→Ｃ
に対して押し出しピンが往復動作ｄ→ｅ→ｄを行うよう
にしている。
１の固定支点11の回りに回転できる従動体12と，駆動端
13を一端に有し，第２の固定支点14の回りに回転できる
駆動体15と，従動体の他端16と駆動体の他端17とを相互
に回転可能にピン接手により接続した連接体18とよりな
るリンク機構を有し，駆動端の１方向の移動Ａ→Ｂ→Ｃ
に対して押し出しピンが往復動作ｄ→ｅ→ｄを行うよう
にしている。
この機構により，駆動端の１方向の移動に対して押し
出しピンを往復運動させることにより，ウエハを押し出
した後は押し出しピンは元の位置に戻るようにして，チ
ャッキングの際のチャックの停止位置精度に余裕を持た
せてチャッキングミスを防止するようにしたものであ
る。
出しピンを往復運動させることにより，ウエハを押し出
した後は押し出しピンは元の位置に戻るようにして，チ
ャッキングの際のチャックの停止位置精度に余裕を持た
せてチャッキングミスを防止するようにしたものであ
る。
この場合も，チャック本体は第２図（１）と全く同様
である。
である。
以上のように，第２図の押し出しピンの動作機構を用
いる代わりに，第３図のものを使用したウエハチャック
はより動作が安定化する。
いる代わりに，第３図のものを使用したウエハチャック
はより動作が安定化する。
以上説明したように，ウエハと爪の接触部においてス
パッタされた物質が付着しないため，ウエハの着脱に際
してゴミを発生しない。
パッタされた物質が付着しないため，ウエハの着脱に際
してゴミを発生しない。
また，爪の寿命が長く，装置のメンテナンスが容易に
なる。
なる。
第１図は本発明を説明するテーパ爪ウエハチャック本体
の断面図， 第２図（１）〜（３）は本発明の一実施例を説明するテ
ーパ爪ウエハチャックの断面図，平面図およびウエハ回
転位置説明図， 第３図は改良された押し出しピンの動作機構を説明する
図， 第４図（１）〜（３）は従来のウエハチャックの平面図
と断面図である。 図において， １はチャック本体,2はテーパ爪,3はウエハ,4はレバー
（チャックの支持用）,5は支点（チャックの回転中
心）,6は搬送用回転子,7は従動体の一端に固定した押し
出しピン,11は第１の固定支点,12は従動体,13は駆動体
の一端で駆動端,14は第２の固定支点,15は駆動体,16は
従動体の他端,17は駆動体の他端,18は連接体,19は台座 である。
の断面図， 第２図（１）〜（３）は本発明の一実施例を説明するテ
ーパ爪ウエハチャックの断面図，平面図およびウエハ回
転位置説明図， 第３図は改良された押し出しピンの動作機構を説明する
図， 第４図（１）〜（３）は従来のウエハチャックの平面図
と断面図である。 図において， １はチャック本体,2はテーパ爪,3はウエハ,4はレバー
（チャックの支持用）,5は支点（チャックの回転中
心）,6は搬送用回転子,7は従動体の一端に固定した押し
出しピン,11は第１の固定支点,12は従動体,13は駆動体
の一端で駆動端,14は第２の固定支点,15は駆動体,16は
従動体の他端,17は駆動体の他端,18は連接体,19は台座 である。
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハを保持するチャック本体と，該チャ
ック本体をウエハの面方向に回転させる手段と，ウエハ
を該チャック本体より押し出すための押し出しピンとを
有して，ウエハを水平位置で搬送し，垂直位置で処理を
行うウエハチャックであって， 該チャック本体は，テーパ面がチャック本体のウエハ保
持面に対して鋭角をなすように２個のテーパ爪が固定さ
れ，該テーパ面と該チャック本体間にウエハを保持する
ようにしたことを特徴とするウエハチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1313888A JP2513761B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ウエハチャック |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1313888A JP2513761B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ウエハチャック |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01187938A JPH01187938A (ja) | 1989-07-27 |
| JP2513761B2 true JP2513761B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=11824801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1313888A Expired - Lifetime JP2513761B2 (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | ウエハチャック |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513761B2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP1313888A patent/JP2513761B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01187938A (ja) | 1989-07-27 |
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