JP2512113B2 - Thin film magnetic disk - Google Patents

Thin film magnetic disk

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JP2512113B2
JP2512113B2 JP28079788A JP28079788A JP2512113B2 JP 2512113 B2 JP2512113 B2 JP 2512113B2 JP 28079788 A JP28079788 A JP 28079788A JP 28079788 A JP28079788 A JP 28079788A JP 2512113 B2 JP2512113 B2 JP 2512113B2
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【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はコンピューターの磁気記憶装置等に用いられ
る高密度記録に適した薄膜型磁気ディスクに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thin film magnetic disk suitable for high density recording used in a magnetic storage device of a computer.

従来の技術 磁性層に金属薄膜や金属酸化物薄膜を使用する薄膜型
磁気ディスクとしては、通常、アルミ合金板の表面にア
ルマイト処理、ニッケル・リンメッキ処理等を施した基
板に真空製膜法、メッキ法等により薄膜磁性層を形成さ
せたものが実用化されている。そして、一般に、磁気デ
ィスク稼動時には磁気ヘッドがディスク面より浮上し停
止時にはディスク面に接触するいわゆるコンタクトスタ
ートストップ(CSS)方式が採用されている。この場
合、スタート時またはストップ時における磁気ヘッドス
ライダーとディスク表面との接触摺動に耐えるために通
常ディスク表面には基板表面のテキスチャ加工により生
じる磁気ヘッドを走行方向にほぼ平行な溝を有するおう
突形状が設けられており、さらに、磁性薄膜の上にはグ
ラファイト,SiO2等を主体とする保護膜と、その表面に
潤滑剤層とが設けられている。
Conventional technology As a thin-film magnetic disk that uses a metal thin film or metal oxide thin film for the magnetic layer, a vacuum deposition method or plating is usually used on a substrate whose surface is an aluminum alloy plate that has been subjected to alumite treatment, nickel-phosphorus plating treatment, or the like. A thin film magnetic layer formed by a method or the like has been put into practical use. In general, a so-called contact start stop (CSS) method is adopted in which the magnetic head floats above the disk surface when the magnetic disk is in operation and contacts the disk surface when stopped. In this case, in order to withstand the sliding contact between the magnetic head slider and the disk surface at the time of start or stop, the magnetic head normally formed on the disk surface by the texturing of the substrate surface is provided with a groove substantially parallel to the running direction. The magnetic thin film is provided with a protective film mainly containing graphite, SiO 2 or the like, and a lubricant layer is provided on the surface of the protective film.

発明が解決しようとする課題 記録密度向上のためには、磁気ヘッド浮上距離を低減
せしめることが必要であるが、その際、テキスチャ加工
により生じる突起形状の高さを低減して表面形状を改善
していくと、そのぶん、CSS耐久性を犠牲にすることに
なり実用性能確保が困難となる。
Problems to be Solved by the Invention In order to improve the recording density, it is necessary to reduce the flying distance of the magnetic head. At that time, the height of the projection shape generated by the texturing is reduced to improve the surface shape. As a result, CSS durability is sacrificed, and it becomes difficult to secure practical performance.

また、テキスチャ加工は、通常、研磨砥粒によるアブ
レシブ摩耗によりディスク円周方向に微細な傷を発生さ
せたものであり、その突起形状としては、円周方向に対
しては山脈の尾根のごとき勾配の非常にゆるやかなもの
となっている。このようなゆるやかな勾配は磁気ヘッド
スライダーの衝撃力に対して変形・破壊を受けやすく、
また、磁気ヘッドスライダー摺動時に面接触を生じやす
く摩擦係数も点接触の場合に比べて高い傾向を示す。
Further, the texturing is usually a process in which minute scratches are generated in the disk circumferential direction due to abrasive wear caused by abrasive grains, and the projection shape is a gradient such as a mountain range ridge in the circumferential direction. It's very loose. Such a gentle slope is easily deformed and destroyed by the impact force of the magnetic head slider,
Further, when the magnetic head slider slides, surface contact is likely to occur, and the coefficient of friction tends to be higher than in the case of point contact.

本発明は上述の問題点に鑑み発明されたものであっ
て、ディスク表面に多数の勾配の急峻な微小突起を存在
せしめて、磁気ヘッドスライダーとの接触を点接触とす
ることにより、前記問題を解決した薄膜型磁気ディスク
を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and it is possible to solve the above-mentioned problems by allowing a large number of small protrusions having a steep gradient to exist on the disk surface and making the contact with the magnetic head slider a point contact. An object is to provide a solved thin film magnetic disk.

課題を解決するための手段 上記の目的を達成するため本発明は、少なくとも表面
がビッカース硬度100以上の材質から成る厚さ5μm以
上の硬質非磁性平滑層で構成される基板上に、高さ100
〜500Å,高さ:面方向の長さ比0.1以上,面密度1×10
7〜1×109個/mm2の微小突起群を設け、その上に、磁性
薄膜層,保護層,潤滑剤層を順次設けたことを特徴と
し、望ましくは全表面積中に占める微小突起群の面積の
割合が1〜50%であることを特徴とする。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a substrate having a height of 100 μm on a hard non-magnetic smoothing layer having a thickness of 5 μm or more made of a material having a Vickers hardness of 100 or more.
~ 500Å, height: length ratio in the plane direction 0.1 or more, areal density 1 × 10
A microprojection group of 7 to 1 × 10 9 pieces / mm 2 is provided, on which a magnetic thin film layer, a protective layer, and a lubricant layer are sequentially provided. Desirably, the microprojection group occupies the entire surface area. The area ratio is 1 to 50%.

ここで、薄膜磁気ディスクにおいて、磁性薄膜の厚さ
はCoP,CoNi,CoNiP,CoNiCr,CoCr等の金属系では約500
Å,γ−Fe2O3のごとき酸化物系で約1000Åであり、こ
れらに下地、表面保護層を加えても全厚さで2000Åと薄
いため、基板表面の形状がほぼそのままディスク表面形
状に反映される。本発明の最大の特徴は、従来基板で採
用されているテキスチャ加工にみられるごとき平均的に
ゆるやかな勾配の突起ではなく、急峻な勾配を有する微
小突起群を基板表面に配したことにある。
Here, in the thin film magnetic disk, the thickness of the magnetic thin film is about 500 in the metal system such as CoP, CoNi, CoNiP, CoNiCr and CoCr.
Å, γ-Fe 2 O 3 is about 1000Å for oxides, and the total thickness is 2000Å even if an underlayer and a surface protection layer are added to these, so the shape of the substrate surface is almost the same as the disk surface shape. Reflected. The greatest feature of the present invention resides in that micro-projections having a steep gradient are arranged on the surface of the substrate, instead of the protrusions having an average gentle slope as seen in the conventional texturing process.

また、薄膜ディスク用の基板としては、一般に、Al合
金の表面に厚さ10μm以上の硬質アルマイト層、また
は、厚さ20μm以上のNiP合金メッキ層を有するものが
使用され、その表面材質の硬度はビッカースで数百以上
が必要とされている。そしてその厚さは少なくとも10μ
m以上が必要とされている。
In addition, as a substrate for a thin film disk, generally, a substrate having a hard alumite layer having a thickness of 10 μm or more or a NiP alloy plating layer having a thickness of 20 μm or more on the surface of Al alloy is used, and the hardness of the surface material is Hundreds or more are needed by Vickers. And its thickness is at least 10μ
m or more is required.

本発明の第2の特徴は、基板表面がビッカース硬度10
0以上で、しかもその硬質表面層の厚さが5μm以上で
あれば良いということにある。このような硬度,厚みの
低減を可能としているのは前述の急峻な勾配を有する微
小突起群を基板表面に配したことによるものである。
The second feature of the present invention is that the substrate surface has a Vickers hardness of 10
It is to be 0 or more, and the thickness of the hard surface layer may be 5 μm or more. The reason why the hardness and the thickness can be reduced is that the minute projections having the steep gradient are arranged on the substrate surface.

本発明に使用する基板は、まず、第1に少なくとも表
面がビッカース硬度100以上の材質から成る厚さ5μm
以上の硬質非磁性平滑層で構成されていることが必要で
あり、表面がビッカース硬度100以下の材質の場合、あ
るいは、ビッカース硬度100以上の材質であってもその
厚さが5μm以下の場合には目的とするCSS寿命が得ら
れ難い。第2には、上記非磁性平滑層上に、高さ100〜5
00Å,高さ:面方向の長さ比0.1以上,面密度1×107
1×109個/mm2の微小突起群を設けることが必要であ
り、突起群の高さは最大高さの平均値で100〜500Åの範
囲が適当であり、高さが100Å以下ではCSS耐久性が低下
し、逆に500Å以上では出力低下が大となり高記録密度
が得られ難い。また、突起の高さ:面方向の長さ比が0.
1以下の場合にはいずれもCSS耐久性が低下する。面密度
が1×107/mm2以下、または1×109個/mm2以上ではCSS
耐久性が低下する。
First, the substrate used in the present invention has a thickness of 5 μm, at least the surface of which has a Vickers hardness of 100 or more.
It is necessary to be composed of the above hard non-magnetic smooth layer, and when the surface is made of a material with a Vickers hardness of 100 or less, or even if the surface has a Vickers hardness of 100 or more and its thickness is 5 μm or less. It is difficult to obtain the desired CSS life. Secondly, on the non-magnetic smooth layer, a height of 100-5
00Å, height: length ratio in the plane direction of 0.1 or more, areal density 1 × 10 7
It is necessary to provide a group of microprotrusions of 1 × 10 9 pieces / mm 2 , and it is appropriate that the height of the group of protrusions is in the range of 100 to 500Å as an average value of the maximum height. Durability deteriorates, and conversely, at 500 Å or higher, output decreases greatly and it is difficult to obtain high recording density. Also, the ratio of the height of the protrusion to the surface length is 0.
When it is 1 or less, CSS durability is deteriorated. CSS when the surface density is 1 × 10 7 / mm 2 or less, or 1 × 10 9 pieces / mm 2 or more
Durability decreases.

なお、上記微小突起群は上記非磁性平滑層上に設けら
れるのであるが、上記非磁性平滑層全表面積中に占める
上記微小突起群の面積の割合が1〜50%であることが最
も望ましく、この割合が上記の範囲外である場合に比べ
てCSS耐久性が一段と向上する。
The fine projection group is provided on the non-magnetic smooth layer, but it is most preferable that the area ratio of the fine projection group in the total surface area of the non-magnetic smooth layer is 1 to 50%. The CSS durability is further improved as compared with the case where this ratio is out of the above range.

作用 本発明のディスクにおいては、CSS時に磁気ヘッドス
ライダー表面がディスク表面に存在する微小突起群の突
起先端と点接触するため摩擦抵抗が低減され、凝着・破
壊現象が発生せず良好なCSS特性が確保される。さら
に、通常ディスク表面に施される潤滑剤はディスク表面
の微小突起の間に保持され表面張力の作用により微小突
起先端に供給される。その結果、良好なCSS寿命が得ら
れる。
Effect In the disk of the present invention, during CSS, the surface of the magnetic head slider makes point contact with the tips of the projections of the minute projections present on the disk surface, so the frictional resistance is reduced, and good adhesion and fracture characteristics do not occur. Is secured. Further, the lubricant which is usually applied to the surface of the disk is held between the minute projections on the surface of the disk and is supplied to the tips of the minute projections by the action of surface tension. As a result, a good CSS life can be obtained.

実施例 第1図は、本発明の一実施例である磁気ディスクの厚
さ方向の断面の部分拡大図である。図において、1は基
板、2は基板1の表面の硬質非磁性平滑層、3は硬質非
磁性平滑層2上の微小突起、4は磁性薄膜層、5は保護
層、6は潤滑剤層である。また、7は微小突起3に対応
するディスク表面の微小突起部分、8は微小突起3の存
在しない平滑部分に対応するディスク表面の平滑部分を
示す。なお、前述のように、基板表面の微小突起を含む
形状はディスク表面にほぼそのままの形で反映される。
Embodiment FIG. 1 is a partially enlarged view of a cross section in the thickness direction of a magnetic disk according to an embodiment of the present invention. In the figure, 1 is a substrate, 2 is a hard non-magnetic smooth layer on the surface of the substrate 1, 3 is fine protrusions on the hard non-magnetic smooth layer 2, 4 is a magnetic thin film layer, 5 is a protective layer, and 6 is a lubricant layer. is there. Reference numeral 7 indicates a fine protrusion portion on the disk surface corresponding to the fine protrusion 3, and reference numeral 8 indicates a smooth portion on the disk surface corresponding to a smooth portion on which the fine protrusion 3 does not exist. As described above, the shape including the minute protrusions on the substrate surface is reflected on the disk surface as it is.

本発明に使用する基板1としては、アルミまたはアル
ミ合金板の表面に硬質非磁性平滑層2としてアルマイト
処理層、NiまたはNiPメッキ処理層等を施したもの、プ
ラスチック成型板または強化プラスチック板上にNiまた
はNiPメッキ処理層等を施したもの、ガラス板,セラミ
ック板等が使用でき、それらの表面は鏡面状態(たとえ
ば、Raで0.001μm)に仕上げられていることが必要で
ある。
As the substrate 1 used in the present invention, an aluminum or aluminum alloy plate having a hard non-magnetic smooth layer 2 provided with an alumite treatment layer, a Ni or NiP plating treatment layer or the like, a plastic molded plate or a reinforced plastic plate is used. A Ni- or NiP-plated layer, a glass plate, a ceramic plate, or the like can be used, and their surfaces must be mirror-finished (for example, 0.001 μm in Ra).

硬質非磁性平滑層2上への微小突起3群の形成法とし
ては、たとえば、粒径が100〜500Åの微粒子を樹脂結合
剤により基板1表面に固着せしめるものがあり、この場
合、微粒子としては、アルミナ,シリカ,酸化チタン等
の無機物微粒子,ポリエステル,ポリアミド,ポリアリ
レート,ポリスルホン,ポリフェニレンオキサイド,ポ
リイミド,エポキシ,架橋スチレン,架橋アクリル,架
橋ベンゾグアナミン,架橋メラミン等の高分子化合物の
微粒子,カーボン微粒子,金属アルコキシド加水分解物
微粒子等が使用できる。また、樹脂結合剤としては、ポ
リエチレンテレフタレート,ポリブチレンテレフタレー
ト等の飽和ポリエステル,ナイロン6,ナイロン66,ナイ
ロン610,ナイロン11,ナイロン12等のポリアミド,ポリ
スチレン,ポリカーボネート,ポリアリレート,ポリス
ルホン,ポリエーテルスルホン,ポリアクリレート,ポ
リ塩化ビニール,ポリ塩化ビニリデン,ポリビニルブチ
ラール,ポリビニールアルコール,フエノキシ樹脂,ポ
リイミド,ポリアミドイミド等の各種樹脂の単体,混合
体,共重合体等が使用でき、また、エポキシ樹脂,ウレ
タン樹脂,シリコン樹脂,フェノール樹脂等の架橋性樹
脂も使用できる。これらの樹脂結合剤の希薄溶液に上記
の微粒子を添加したものを基板1の硬質非磁性平滑層2
上に塗布することにより微小突起3群が形成される。微
粒子は樹脂結合剤100重量部に対し50〜300重量部加える
のが適当である。このようにして得られる微小突起3群
を有する基板1の突起3以外の平滑部分8には結合剤樹
脂の薄層が存在するが、この薄層の厚みが500Å以下で
あれば薄層自体がディスク性能に直接影響することはな
い。微小突起群形成法としては上記に限定されるもので
はなく、スパッタリング,イオンビーム蒸着,メッキ等
の方法により金属,酸化物等を島状に析出させる方法な
ども使用可能である。
As a method of forming the group of minute projections 3 on the hard non-magnetic smooth layer 2, for example, there is a method in which fine particles having a particle size of 100 to 500Å are fixed to the surface of the substrate 1 by a resin binder. , Inorganic particles such as alumina, silica, titanium oxide, polyester, polyamide, polyarylate, polysulfone, polyphenylene oxide, polyimide, epoxy, cross-linked styrene, cross-linked acrylic, cross-linked benzoguanamine, cross-linked melamine and other high-molecular compound particles, carbon fine particles, Fine particles of metal alkoxide hydrolyzate can be used. As the resin binder, saturated polyester such as polyethylene terephthalate and polybutylene terephthalate, polyamide such as nylon 6, nylon 66, nylon 610, nylon 11 and nylon 12, polystyrene, polycarbonate, polyarylate, polysulfone, polyether sulfone, Various resins such as polyacrylate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, polyvinyl butyral, polyvinyl alcohol, phenoxy resin, polyimide, polyamide imide, etc. can be used as a single substance, a mixture, a copolymer, etc., and also an epoxy resin, urethane resin A crosslinkable resin such as silicone resin or phenol resin can also be used. The hard non-magnetic smooth layer 2 of the substrate 1 is prepared by adding the above fine particles to a dilute solution of these resin binders.
By coating on top, a group of minute projections 3 is formed. It is suitable to add 50 to 300 parts by weight of fine particles to 100 parts by weight of the resin binder. A thin layer of the binder resin exists on the smooth portion 8 other than the protrusions 3 of the substrate 1 having the group of minute protrusions 3 thus obtained. If the thickness of this thin layer is 500 Å or less, the thin layer itself is formed. It does not directly affect disk performance. The method for forming the fine projections is not limited to the above, and a method of depositing metal, oxide or the like in an island shape by a method such as sputtering, ion beam vapor deposition or plating can be used.

磁性薄膜層4としては、Co−Ni,Co−Ni−Cr,Co−Cr,C
o−Ni−P,γ−Fe2O3等のスパッタ法,メッキ法等により
得られる公知の薄膜層が使用でき、必要に応じて、Cr,T
i等の下地層を設けることも可能である。下地層を含め
た磁性薄膜層4の厚みとしては、500〜5000Åが適当で
ある。
As the magnetic thin film layer 4, Co-Ni, Co-Ni-Cr, Co-Cr, C
A well-known thin film layer obtained by a sputtering method such as o-Ni-P or γ-Fe 2 O 3 or a plating method can be used.
It is also possible to provide an underlayer such as i. A suitable thickness of the magnetic thin film layer 4 including the underlayer is 500 to 5000Å.

保護層5としては、各種無機・有機非磁性材料から成
る厚さ50〜500Åの薄膜が使用可能でとりわけ、スパッ
タ法,CVD法等で得られる各種カーボン薄膜,湿式法で得
られるSiO2薄膜等が適している。
As the protective layer 5, thin films of various inorganic / organic non-magnetic materials with a thickness of 50 to 500 Å can be used. In particular, various carbon thin films obtained by sputtering, CVD, etc., SiO 2 thin films obtained by wet method, etc. Is suitable.

潤滑剤層6としては、パーフロロアルキルポリエーテ
ルとその誘導体、フロロアルキル基を導入した脂肪酸・
脂肪酸エステル・脂肪酸アミド・金属石ケン・シリコー
ン化合物,フッ素系界面活性剤等が適しており、その存
在量としては表面1m2あたり0.1〜100mgが適当である。
As the lubricant layer 6, perfluoroalkyl polyether and its derivative, a fluoroalkyl group-introduced fatty acid,
Suitable are fatty acid esters, fatty acid amides, metal soaps, silicone compounds, fluorine-based surfactants, etc., and the amount present is 0.1 to 100 mg per 1 m 2 of the surface.

以下、実施例につきさらに具体的に説明する。 Hereinafter, examples will be described more specifically.

鏡面バフ研磨された直径95mm,厚さ1.2mmのAl合金板1
の表面に、NiまたはNiPから成る各種硬度,各種薄膜の
メッキ膜を電解メッキまたは無電解メッキ法により形成
せしめたのち、その表面を再度バフ研磨して鏡面化する
ことにより硬質非磁性平滑層2とした。この層2上に下
記のA〜Cの方法により各種形状の微小突起群を形成せ
しめた。
Mirror surface buffed aluminum alloy plate with a diameter of 95 mm and a thickness of 1.2 mm 1
A hard non-magnetic smooth layer 2 is formed by forming a plating film with various hardnesses and various thin films made of Ni or NiP on the surface of nickel by electroplating or electroless plating, and then buffing the surface again to make it mirror-finished. And On this layer 2, fine projection groups of various shapes were formed by the following methods A to C.

(A) 平均直径50Å,100Å,210Å,400Åの4種類のシ
リカコロイドを含むポリビニールアルコール水溶液(シ
リカコロイド濃度1000ppm,ポリビニールアルコール濃度
500〜2000ppm)を塗布乾燥した。
(A) Polyvinyl alcohol aqueous solution containing 4 kinds of silica colloids with average diameters of 50Å, 100Å, 210Å, 400Å (silica colloid concentration 1000ppm, polyvinyl alcohol concentration
500 to 2000 ppm) was applied and dried.

(B) ポリアクリレート系エマルジョン(粒径600
Å)の希釈溶液(粒子濃度3000ppm)を塗布乾燥後150℃
10分間熱処理を行なった。
(B) Polyacrylate emulsion (particle size 600
Å) diluted solution (particle concentration 3000ppm) is applied and dried at 150 ℃
Heat treatment was performed for 10 minutes.

(C) ポリエチレンテレフタレートのジクロール酢酸
溶液(濃度2000ppm)を塗布し150℃30分加熱乾燥した。
(C) A solution of polyethylene terephthalate in dichloroacetic acid (concentration 2000 ppm) was applied and dried by heating at 150 ° C. for 30 minutes.

これらの方法により得られた試料の表面および破断表
面のSEM写真から微小突起の平均高さ、高さ:面方向の
長さ比、および、面密度を求めた。そののち、スパッタ
法により、Cr下地層(厚さ1000Å),CoNi磁性層4(同5
00Å),カーボン保護層5(同200Å)を順次形成せし
め最後にパーフロロポリエーテル系潤滑剤を表面1m2
り1mgとなるように塗布して、潤滑剤層6を形成せしめ
試料とした。これらの各試料の表面SEM写真から微小突
起3の全表面に占める面積(占有面積)の比率を求め
た。そして、各試料のCSS測定を行ないCSS耐久性を評価
した。その際、摩擦係数が1.0を超える時点、または、
ヘッドクラッシュ発生時点を寿命とした。上記の試料の
種類・内容とそれらのCSS試験結果を第1表にまとめて
記した。なお表中試作ディスクNo.に()を付したもの
は比較例である。
From the SEM photographs of the surface and the fractured surface of the sample obtained by these methods, the average height of the microprotrusions, the height: plane length ratio, and the areal density were determined. After that, the Cr underlayer (thickness 1000Å), CoNi magnetic layer 4 (see
00 Å) and carbon protective layer 5 (200 Å) were sequentially formed, and finally, a perfluoropolyether lubricant was applied so that 1 mg per 1 m 2 of the surface was formed, and a lubricant layer 6 was formed as a sample. From the surface SEM photographs of each of these samples, the ratio of the area (occupied area) of the microprojections 3 to the entire surface was obtained. Then, the CSS durability of each sample was evaluated by performing CSS measurement. At that time, when the friction coefficient exceeds 1.0, or
The life was defined when the head crash occurred. The types and contents of the above samples and their CSS test results are summarized in Table 1. The prototype disc numbers in parentheses in the table are comparative examples.

第1表より、硬質非磁性平滑層2の硬度は100Hv以上
必要であること〔比較例(15),(16)参照〕、また、
その厚さは5μm以上必要なこと〔比較例(4)参
照〕、微小突起3の高さは100Å以上必要であること
〔比較例(14)参照〕、高さ:面方向の長さの比は0.1
以上必要であること〔比較例(19)参照〕、面密度は1
×107〜1×109個/mm2が適当であること〔比較例(2
0),(21)参照〕、さらに好ましくは微小突起3群の
占有面積が1〜50%であること〔実施例3,7,17参照〕が
わかる。
From Table 1, it is necessary that the hardness of the hard non-magnetic smooth layer 2 be 100 Hv or more [see Comparative Examples (15) and (16)].
The thickness must be 5 μm or more [see Comparative Example (4)], the height of the microprojections 3 must be 100 Å or more [see Comparative Example (14)], and the ratio of height: length in the plane direction. Is 0.1
The above is required [see Comparative Example (19)], and the areal density is 1
× 10 7 to 1 × 10 9 pieces / mm 2 is appropriate [Comparative example (2
0), (21)], and more preferably, the occupied area of the three groups of minute projections is 1 to 50% [see Examples 3, 7, and 17].

上記を考慮して、本願請求の範囲内であればCSS試験
結果がすべて良好であることが第1表より明らかであ
る。なお、上記実施例に順じた構成において微小突起3
群の代りに従来公知のテキスチャ加工による突起を形成
せしめた場合には硬質非磁性平滑層の硬度が100Hv,180H
vのものではその厚みを20μmとしてもCSS耐久は5000回
以下であった。また、上記硬度が550Hv,厚み20μmの場
合においてもテキスチャ突起高さが500Å以下の場合に
はCSS耐久が10000回以下であった。
In view of the above, it is clear from Table 1 that all the CSS test results are good within the scope of the claims of the present application. In addition, in the configuration according to the above-described embodiment, the minute protrusions 3
When a protrusion is formed by the conventionally known texture processing instead of the group, the hardness of the hard non-magnetic smooth layer is 100Hv, 180H.
With v, the CSS durability was 5000 times or less even if the thickness was 20 μm. Even when the hardness was 550 Hv and the thickness was 20 μm, the CSS durability was 10,000 times or less when the texture protrusion height was 500 Å or less.

発明の効果 本発明によれば、従来のテキスチャ形状に代えて微小
突起群を採用することにより表面粗さの小さい高記録密
度が可能な領域において実用に耐えるCSS耐久性を確保
することができるため、本発明は工業的に価値の高いも
のである。
Effect of the Invention According to the present invention, it is possible to secure practical CSS durability in a region where high recording density with small surface roughness is possible by adopting a group of minute protrusions instead of the conventional texture shape. The present invention is industrially valuable.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明による薄膜磁気ディスクの厚さ方向の断
面図である。 1……基板、2……硬質非磁性平滑層、3……微小突
起、4……磁性薄膜層、5……保護層、6……潤滑剤
層。
FIG. 1 is a sectional view in the thickness direction of a thin film magnetic disk according to the present invention. 1 ... Substrate, 2 ... Hard non-magnetic smooth layer, 3 ... Minute protrusions, 4 ... Magnetic thin film layer, 5 ... Protective layer, 6 ... Lubricant layer.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】少なくとも表面がビッカース硬度100以上
の材質から成る厚さ5μm以上の硬質非磁性平滑層で構
成される基板上に、高さ100〜500Å,高さ:面方向の長
さ比0.1以上,面密度1×107〜1×109個/mm2の微小突
起群を設け、その上に、磁性薄膜層,保護層,潤滑剤層
を順次設けたことを特徴とする薄膜型磁気ディスク。
1. A height of 100 to 500Å, a height: plane length ratio of 0.1, on a substrate composed of a hard non-magnetic smooth layer having a thickness of 5 μm or more and made of a material having a Vickers hardness of 100 or more. As described above, the thin film magnetic layer is characterized in that a group of minute projections having an area density of 1 × 10 7 to 1 × 10 9 pieces / mm 2 is provided, on which a magnetic thin film layer, a protective layer, and a lubricant layer are sequentially provided. disk.
【請求項2】全表面積中に占める微小突起群の面積の割
合が1〜50%である請求項1記載の薄膜磁気ディスク。
2. A thin-film magnetic disk according to claim 1, wherein the ratio of the area of the microprojections to the total surface area is 1 to 50%.
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