JP2626051B2 - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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JP2626051B2
JP2626051B2 JP10492489A JP10492489A JP2626051B2 JP 2626051 B2 JP2626051 B2 JP 2626051B2 JP 10492489 A JP10492489 A JP 10492489A JP 10492489 A JP10492489 A JP 10492489A JP 2626051 B2 JP2626051 B2 JP 2626051B2
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magnetic recording
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metal thin
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紘一 篠原
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体に関する。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic recording medium using a ferromagnetic metal thin film suitable for high-density magnetic recording as a magnetic recording layer.

従来の技術 磁気記録における高密度記録傾向は年々強まる一方
で、面記録密度を高めるには周知のように、狭トラック
化と短波長化に耐える高C/N媒体の具現化である。
2. Description of the Related Art While the tendency of high-density recording in magnetic recording is increasing year by year, increasing the surface recording density is, as is well known, the realization of a high C / N medium that can withstand narrower tracks and shorter wavelengths.

信号当りの磁束量が減少する高密度記録の実現に有望
とされる強磁性金属薄膜は開発が進み、実用域へ近ずい
てきている。第4図に開発中の公知でない強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の代表的な構成を示
した。第4図で1は中心線平均粗さが0.001〜0.01μm
と平滑なポリエチレンテレフタレート,ポリアミドイミ
ド,ポリイミド等の高分子フィルムで、必要に応じて、
高分子をミミズ状に構成配設したり、微粒子を配設した
りしたものを用いてもよい。2は酸素雰囲気中でCo-Ni
を電子ビーム加熱で蒸発させ、斜め蒸着することで得た
高保磁力のCo-Ni-O薄膜や、自己減磁を解消する短波長
出力の改善案として優れた提案であるCo-Cr等のいわゆ
る垂直磁化膜等から成る磁気記録層で3は高分子フィル
ムの磁気記録層と反対側の面に必要に応じて配されたバ
ックコート層で、ポリウレタン樹脂,塩ビ酢ビ樹脂等の
結合剤樹脂中にカーボン,Al2O3,CaCO3等のフイラーを
分散させたもので、4は保護潤滑層でアモルファス・カ
ーボン膜とフロロカーボン系の潤滑層を積層したもの
(特開昭61-142525号公報)プラズマ重合膜と有機蒸着
膜の積層(特開昭61-151837号公報)パーフロロアルキ
ルカルボン酸の真空蒸着膜(特開昭61-220116号公報)
等多くの組み合わせが提案されている。
Ferromagnetic metal thin films, which are promising for realizing high-density recording in which the amount of magnetic flux per signal is reduced, have been developed and are approaching the practical range. FIG. 4 shows a typical configuration of a magnetic recording medium which is under development and uses a ferromagnetic metal thin film, which is not known, as a magnetic recording layer. In FIG. 4, 1 indicates a center line average roughness of 0.001 to 0.01 μm.
And a smooth polymer film such as polyethylene terephthalate, polyamide imide, or polyimide.
Those in which a polymer is arranged and arranged in an earthworm shape, or in which fine particles are arranged may be used. 2 is Co-Ni in oxygen atmosphere
Evaporated by electron beam heating, so-called Co-Ni-O thin film with high coercive force obtained by oblique deposition and Co-Cr etc., which are excellent proposals for improving short wavelength output to eliminate self-demagnetization A magnetic recording layer 3 composed of a perpendicular magnetization film and the like is a back coat layer 3 which is disposed as necessary on the surface of the polymer film opposite to the magnetic recording layer, and is made of a binder resin such as a polyurethane resin or a polyvinyl chloride resin. And a filler of carbon, Al 2 O 3 , CaCO 3, etc. dispersed therein. Reference numeral 4 denotes a protective lubricating layer in which an amorphous carbon film and a fluorocarbon-based lubricating layer are laminated (JP-A-61-142525). Lamination of plasma polymerized film and organic vapor-deposited film (JP-A-61-151837) Vacuum-deposited film of perfluoroalkylcarboxylic acid (JP-A-61-220116)
Many combinations have been proposed.

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記した構成のものは、限定された条件
範囲内では十分な実用性を有するものの、カメラ一体型
VTRや業務用VTR等で使用する時に十分な実用性が確保で
きないといった課題があり解決が望まれていた。本発明
は上記した事情に鑑みなされたもので、耐久性の優れた
磁気記録媒体を提供するものである。
Problems to be Solved by the Invention However, although the above-described configuration has sufficient practicality within a limited range of conditions, the camera-integrated type
There has been a problem that sufficient practicality cannot be secured when used in a VTR or a commercial VTR, and a solution has been desired. The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a magnetic recording medium having excellent durability.

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため本発明の磁気記録媒体は
表面酸化層を有する強磁性金属薄膜上に配した潤滑剤の
一部が金属部と反応被着しているようにしたものであ
る。
Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the magnetic recording medium of the present invention is such that a part of a lubricant disposed on a ferromagnetic metal thin film having a surface oxide layer reacts and adheres to a metal part. It was made.

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、磁気ヘ
ッドとの高速摺動下でも潤滑剤の反応被着面が直接アタ
ックされないことになるので、結合がきれることがな
く、潤滑作用を維持し続けることができるので、耐久性
は著しい改善をみることになる。
Effect The magnetic recording medium of the present invention has the above-described configuration, and even under high-speed sliding with the magnetic head, the reaction-adhered surface of the lubricant is not directly attacked. Since it can be continued, the durability will see a significant improvement.

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について詳
しく説明する。
Embodiment Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

〔実施例−1〕 第1図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面模
式図である。第1図で1は高分子フィルム、3はバック
コート層でこの技術は従来技術の範囲で構成すればよ
い。5は表面酸化層7を有する強磁性金属薄膜で、模式
的に金属層6とで構成されているように示してあるが、
ここに含まれるものは、酸素雰囲気中でCo-Ni等を斜め
蒸着して得られるように柱状微粒子の表面が酸化されて
いる構成のもの及び、強磁性金属薄膜を形成してから後
酸化処理により表面酸化層を形成したもの等で、表面酸
化層は強磁性金属材料を構成する元素を含むもので、厚
みはスペーシング損失の面からは薄い方が好ましく、耐
久性の面から厚い方が好ましく、妥協範囲としては50Å
から150Åの範囲が望ましい。8は潤滑剤で脂肪酸,脂
肪酸エステル,脂肪酸アミド,パーフルオロアルキルカ
ルボン酸,パーフルオロポリエーテル,等の公知の潤滑
剤或いは新たに合成した各種の潤滑剤の中から選ばれた
もののうち、一部の潤滑剤9は強磁性金属薄膜のもつ表
面酸化層を貫通して、金属部と反応被着し表面酸化層表
面に配された残りの潤滑剤10とで潤滑作用を受けもつよ
う構成されたものである。
Embodiment 1 FIG. 1 is an enlarged schematic sectional view of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a polymer film, and reference numeral 3 denotes a back coat layer. Reference numeral 5 denotes a ferromagnetic metal thin film having a surface oxide layer 7, which is schematically shown as being composed of a metal layer 6;
Included here are those in which the surfaces of the columnar fine particles are oxidized so that they can be obtained by obliquely depositing Co-Ni or the like in an oxygen atmosphere, and those in which a ferromagnetic metal thin film is formed and then post-oxidized. The surface oxide layer contains elements constituting the ferromagnetic metal material, and the thickness is preferably thinner in terms of spacing loss, and thicker in terms of durability. Preferred, 50 mm compromise
In the range of 150 to 150 mm. Reference numeral 8 denotes a lubricant selected from known lubricants such as fatty acids, fatty acid esters, fatty acid amides, perfluoroalkyl carboxylic acids, perfluoropolyethers, and various kinds of newly synthesized lubricants. The lubricant 9 penetrates through the surface oxide layer of the ferromagnetic metal thin film and reacts and adheres to the metal part to be lubricated by the remaining lubricant 10 disposed on the surface of the surface oxide layer. Things.

かかる構成の潤滑剤層を得る方法は、一部の潤滑剤を
エネルギーを最適に選び(酸化層を貫通するように)イ
オン注入し残りの潤滑剤を溶液塗布法,真空蒸着法等に
より配設する方法が適している。
A method of obtaining a lubricant layer having such a configuration is to select some of the lubricants with optimal energy (by penetrating the oxide layer) and implant the remaining lubricant by a solution coating method, a vacuum deposition method, or the like. The method is suitable.

以下に、更に具体的な実施例について比較例との対比
で説明する。
Hereinafter, more specific examples will be described in comparison with comparative examples.

厚み10μm,平均粗さ0.0025μmのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に直径200ÅのSiO2微粒子を30ケ/
(μm)2配し、直径1mの円筒キャンに沿わせて、8×1
0-5(Torr)の酸素中で最小入射角45度でCo-Ni(Co:80w
t%)を0.2μm電子ビーム蒸着した。この膜は、75Åの
CoO,NiO膜から成る表面酸化層を有したものである。上
記したフィルムを加熱ロール(直径25cm)に沿わせて、
100℃でステアリン酸をイオン化し加速電圧を1500V〜90
00Vの範囲で変化させ、照射し1部がCoとNiと反応しCo
塩,Ni塩となるようにした。
On a polyethylene terephthalate film with a thickness of 10 μm and an average roughness of 0.0025 μm, 30 pieces of SiO 2 fine particles with a diameter of 200 mm
(Μm) 2 x 8 x 1 along a cylindrical can with a diameter of 1m
0 -5 (Torr) at the minimum incident angle of 45 degrees in an oxygen Co-Ni of (Co: 80 w
t%) was 0.2 μm electron beam evaporated. This membrane is
It has a surface oxide layer composed of CoO and NiO films. Put the above film along the heating roll (diameter 25cm)
Ionizes stearic acid at 100 ° C and accelerates voltage from 1500V to 90V
Irradiation was carried out by changing the temperature in the range of
Salt and Ni salt.

その後表面をイソプロピルアルコールで洗浄し反応被
着していないものを除去し、潤滑剤を塗布した。塗布量
は0.5〔mg/m2〕一定とした。比較例としてはステアリン
酸はCo-O,Ni-Oとも吸着するので、ステアリン酸を塗布
し、イソプロピルアルコールで洗浄し、吸着分以外は除
去し、その後に潤滑剤を塗布した。実施例,比較例共に
0.4μmのバックコート層を配し8ミリテープとした。
夫々のテープを市販の8mmビデオ〔CCD-F300ソニー
(株)製〕により比較評価した結果をテープの条件と対
比させて第1表にまとめて示した。
Thereafter, the surface was washed with isopropyl alcohol to remove the non-reacted material, and a lubricant was applied. The coating amount was constant at 0.5 [mg / m 2 ]. As a comparative example, stearic acid is also adsorbed on Co-O and Ni-O, so stearic acid was applied, washed with isopropyl alcohol, and the portion other than the adsorbed portion was removed, and then a lubricant was applied. Example and Comparative Example
An 8 mm tape was formed by disposing a 0.4 μm back coat layer.
The results of comparative evaluation of each tape with a commercially available 8 mm video (CCD-F300, manufactured by Sony Corporation) are shown in Table 1 in comparison with the tape conditions.

評価は5℃80%RHと、40℃15%RHで夫々10パスくり返
すモード(モードA)と20℃10%RHと40℃80%RHでのモ
ード(モードB)を設定し、再生で画像異常(マスド
ロ,目づまり,ジッター)が何サイクルで発生したかを
みた。
For evaluation, set the mode (mode A) to repeat 10 passes at 5 ° C 80% RH and 40 ° C 15% RH, respectively, and the mode (mode B) at 20 ° C 10% RH and 40 ° C 80% RH. We looked at how many cycles image abnormalities (mass, clogging, jitter) occurred.

第1表より明らかなように本発明によれば、耐久性の
良好な磁気記録媒体が得られる。
As is clear from Table 1, according to the present invention, a magnetic recording medium having good durability can be obtained.

〔実施例−2〕 課題を解決するための別の手段は、強磁性金属薄膜上
に保護膜を配した潤滑剤の一部が表面酸化層と反応被着
するようにしたものである。
[Example 2] Another means for solving the problem is that a part of a lubricant having a protective film disposed on a ferromagnetic metal thin film reacts and adheres to a surface oxide layer.

本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、潤滑剤
の反応被着面が直接摺動を受けなくなるので、潤滑剤が
枯かつすることがなく、保護膜の保護効果を持続させる
ことができスチル特性や、磁気ディスクに於てのCSS特
性に於て著しい改善を与えることができる。
According to the magnetic recording medium of the present invention, the surface to which the reaction of the lubricant is applied is not directly slid by the above configuration, so that the lubricant does not run out and the protective effect of the protective film can be maintained. Significant improvements can be provided in the characteristics and CSS characteristics of the magnetic disk.

第2図は本発明の実施例の磁気ディスクの拡大断面図
で、11はCo-Ni,Co-Ni-P,Co-Cr-Nb等の強磁性金属薄膜
で、12はSiO2膜、TiC膜、WC膜,Si3N4膜,プラズマ重合
膜等の保護膜で、9は潤滑剤の一部で、保護膜を貫通し
てわずかに存在する11の表面酸化膜と反応被着している
様子を模式的に示したものである。13はハードディスク
ではAl-Mg合金等の非磁性基板,フロッピーディスクで
は、ポリエチレンテレフタレート,ポリフエニレンサル
ファイド等の高分子フィルムである。
FIG. 2 is an enlarged sectional view of a magnetic disk according to an embodiment of the present invention, 11 is a ferromagnetic metal thin film such as Co-Ni, Co-Ni-P, Co-Cr-Nb, 12 is a SiO 2 film, TiC 9 is a protective film such as a film, a WC film, a Si 3 N 4 film, and a plasma polymerized film. 9 is a part of a lubricant, and is formed by reacting with 11 surface oxide films slightly penetrating the protective film. FIG. Reference numeral 13 denotes a nonmagnetic substrate such as an Al-Mg alloy for a hard disk, and a polymer film such as polyethylene terephthalate or polyphenylene sulfide for a floppy disk.

以下、更に具体的な実施例について比較例との対比で
詳しく説明する。
Hereinafter, more specific examples will be described in detail in comparison with comparative examples.

厚さ3mmのAl-Mg合金円板を研磨し、Ni-Pメッキ膜を15
μm配し、再度研磨し、その上にAr+O2=0.04(Tor
r),Ar:O2=6:1,13.56(MHz),1.1(KW)でCo-Ni(Co:8
0wt%)をターゲットにしたスパッタリングで0.1μmの
Co-Ni膜を形成した。この膜は40ÅのCoO,NiOを表面酸化
層としてもっている。その上に保護膜として、TiC膜
(ヌープ硬度2600kg/mm2)を150Å配したものと、CF4
モノマーとし、13.56(MHz)の高周波でプラズマ重合し
て得た膜を100Å配したものを準備し、アラキン酸をイ
オン化し、加速電圧を1300V〜8000Vの範囲で変化させ照
射し、一部がCoO,NiOと反応被着するようにした。その
後表面をイソプロピールアルコールで洗浄し、反応被着
してないものを除去し、潤滑剤を塗布した。塗布量は0.
4(mg/m2)一定とした。比較例は、混合滑剤を塗布して
得た。夫々のディスクをフェライトヘッドを用いコンタ
クトスタートストップ(CSS)をくり返し、摩擦係数の
変化を調べた。磁気ディスクの条件と得られた特性につ
いて第2表にまとめて示した。
Polish a 3mm thick Al-Mg alloy disc and apply a Ni-P plating
μm, polished again, and Ar + O 2 = 0.04 (Tor
r), Ar: O 2 = 6: 1, 13.56 (MHz), 1.1 (KW) and Co-Ni (Co: 8
0wt%) and 0.1μm
A Co-Ni film was formed. This film has 40 ° CoO and NiO as the surface oxide layer. A TiC film (Knoop hardness of 2600 kg / mm 2 ) is disposed as a protective film over a thickness of 150 mm, and a film obtained by plasma polymerization of CF 4 as a monomer at a high frequency of 13.56 (MHz) is disposed over a distance of 100 mm. Prepared, ionized arachiic acid, changed the accelerating voltage in the range of 1300 V to 8000 V, and irradiated it, so that a part of the arachidic acid reacted with CoO and NiO. Thereafter, the surface was washed with isopropyl alcohol to remove the non-reacted material, and a lubricant was applied. The application amount is 0.
4 (mg / m 2 ) was fixed. The comparative example was obtained by applying a mixed lubricant. The contact start / stop (CSS) was repeated for each disk using a ferrite head, and the change in friction coefficient was examined. Table 2 summarizes the conditions of the magnetic disk and the obtained characteristics.

第2表より本発明によれば安定な潤滑が持続している
ことが理解される。
From Table 2, it is understood that stable lubrication is maintained according to the present invention.

次に厚み10μmのポリイミドフィルム上に、直径100
ÅのSiO2微粒子を13個/(μm)2配し、直径50cmの円
筒キャン(キャン温度220℃)に沿わせ、入射角13度以
内でCo-Cr(Co:80wt%)を8×10-7〜1.2×10-6(Tor
r)で電子ビーム蒸着し、0.19μmのCo-Cr垂直磁化膜を
形成し、更にその上にグラファイトをターゲットにし
て、Ar+H2=0.03(Torr),Ar:H2=4:1,13.56(MHz),
1.3(KW)でダイヤモンド状硬質炭素膜を80Å形成し、
その上からトリデカン酸をイオン化し、1900V〜3200Vの
範囲で照射し、反応被着界面をCo-Cr面となるようにし
反応被着してないものをイソプロピルアルコールで洗浄
してから、再度潤滑剤を0.5(mg/m2)塗布し、0.45μm
のバックコート層を配し、8ミリ幅の磁気テープを得
た。比較例は、単に潤滑剤を塗布したものを用いた。夫
々のテープの条件と、CCD-V300でくり返し走行後のスチ
ル特性で比較した結果を第3表に示した。
Next, on a polyimide film having a thickness of 10 μm,
SiO 13 SiO 2 fine particles / (μm) 2 are arranged along a cylindrical can with a diameter of 50 cm (can temperature 220 ° C.), and Co-Cr (Co: 80 wt%) is 8 × 10 within an incident angle of 13 degrees. -7 to 1.2 × 10 -6 (Tor
r) Electron beam evaporation to form a 0.19 μm Co-Cr perpendicular magnetization film, and further, using graphite as a target, Ar + H 2 = 0.03 (Torr), Ar: H 2 = 4: 1, 13.56 ( MHz),
At 1.3 (KW), a diamond-like hard carbon film is formed 80Å,
Ionize tridecanoic acid from above, irradiate it in the range of 1900 V to 3200 V, make the reaction-deposited interface a Co-Cr surface, wash the unreacted one with isopropyl alcohol, and then lubricate again 0.5 (mg / m 2 ), 0.45μm
Was provided to obtain a magnetic tape having a width of 8 mm. In the comparative example, the one simply coated with a lubricant was used. Table 3 shows the results of comparison between the conditions of each tape and the still characteristics after repeated running with the CCD-V300.

スチル特性はテープ上の任意の15ケ所での測定で最小
値を示した。尚60分以上は測定を中止したので、>60と
示されているのは60分まででスチル状態で出力が3dB低
下しなかったということを示している。
The still characteristic showed the minimum value when measured at arbitrary 15 places on the tape. Since the measurement was stopped for 60 minutes or more,> 60 indicates that the output did not decrease by 3 dB in the still state up to 60 minutes.

以上のように本発明によれば、わずかな量であって
も、ヘッドとの摺動で除去されない潤滑剤を含むことで
耐久性は著しい改善が認められる。
As described above, according to the present invention, even if the amount is small, the durability is remarkably improved by including the lubricant which is not removed by sliding with the head.

〔実施例−3〕 課題を解決する別の手段は、強磁性金属薄膜上に硬質
膜とグラファイト構造の炭素膜を介し配した潤滑剤の一
部が硬質膜と反応被着するようにしたものである。
[Example 3] Another means for solving the problem is that a part of a lubricant disposed on a ferromagnetic metal thin film via a hard film and a carbon film having a graphite structure is adhered by reaction with the hard film. It is.

本発明の磁気記録媒体は、上記した構成によりグラフ
ァイトの滑性が薄くても確保されるので、スペーシング
損失を改良しても、負荷の大きい摺動下でも十分な耐久
性が得られることになる。
In the magnetic recording medium of the present invention, the above-described configuration ensures the graphite even if the lubricity is thin, so that even if the spacing loss is improved, sufficient durability can be obtained even under sliding with a large load. Become.

第3図は、本発明の磁気記録媒体の拡大断面図で、第
3図で11はCo,Co-Ni,Co-Cr,Co-O,Co-Ti,Co-Ta,Co-W,Co-
Ni-O,Co-Cr-Nb等の強磁性金属薄膜で、12は50Åから150
Åまでの範囲の硬質炭素膜,プラズマ重合膜,SiO2膜,
Si3N4膜等で硬度が高いものの滑性は十分とはいえない
保護膜で14はグラファイト構造をもった炭素膜で電子ビ
ーム蒸着法,スパッタリング法等で形成されるものでグ
ラファイト構造を70%以上含んでいれば50Åから100Å
の範囲で本発明の潤滑剤構成とで十分な滑性を維持でき
る。潤滑剤8の一部9は保護膜12と反応被着するように
構成する必要がある。本発明は磁気ディスク,磁気テー
プのいずれでもよい。以下、更に具体的に本発明の実施
例について説明する。
FIG. 3 is an enlarged sectional view of the magnetic recording medium of the present invention. In FIG. 3, reference numeral 11 denotes Co, Co-Ni, Co-Cr, Co-O, Co-Ti, Co-Ta, Co-W, Co. -
Ferromagnetic metal thin film such as Ni-O, Co-Cr-Nb, etc.
Hard carbon film, plasma polymerized film, SiO 2 film,
A protective film, such as a Si 3 N 4 film, which has a high hardness but does not have sufficient lubricity, is a carbon film having a graphite structure, which is formed by an electron beam evaporation method, a sputtering method, etc., and has a graphite structure of 70%. % To 50Å to 100 含 ん
Within the range, sufficient lubricity can be maintained with the lubricant composition of the present invention. A portion 9 of the lubricant 8 must be configured to react with the protective film 12. The present invention may be either a magnetic disk or a magnetic tape. Hereinafter, examples of the present invention will be described more specifically.

厚み12μmのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に、直径150ÅのZrO2微粒子を16個/(μm)2配し、直
径1mの円筒キャンに沿わせて、3×10-5(Torr)の酸素
中で、最小入射角50度でCo-Ni(Co:80wt%)を0.2μm
電子ビーム蒸着し、その上に反応性スパッタリング法で
保護膜を形成し、更に電子ビーム蒸着法で炭素膜を形成
し、パーフルオロステアリン酸をイオン化し、1500V〜4
600Vに加速し、照射し保護膜に反応被着させ、イソプロ
ピルアルコールで表面洗浄後、各種の潤滑剤を0.45(mg
/m2)塗布し、0.45μmのバックコート層を配し1/2イン
チ幅の磁気テープを得た。比較例はパーフルオロステア
リン酸のイオン照射を行わないものを用いた。
On a polyethylene terephthalate film having a thickness of 12 μm, 16 particles of ZrO 2 having a diameter of 150 ° / (μm) 2 are arranged, and along a cylindrical can having a diameter of 1 m, a minimum of 3 × 10 -5 (Torr) oxygen 0.2 μm of Co-Ni (Co: 80wt%) at an incident angle of 50 degrees
Electron beam evaporation, a protective film is formed thereon by a reactive sputtering method, a carbon film is further formed by an electron beam evaporation method, and perfluorostearic acid is ionized.
Accelerate to 600V, irradiate, apply reactive coating on the protective film, wash the surface with isopropyl alcohol, and apply 0.45 (mg
/ m 2) was applied to obtain a magnetic tape 1/2 inch width arranged backcoat layer of 0.45 [mu] m. In Comparative Examples, those without perfluorostearic acid ion irradiation were used.

夫々のテープの構成要件と、放送用VTR〔(松下電器
製)AU-660〕により、耐久性をスチル特性により比較し
た結果を第4表にまとめて示した。スチル特性は出力が
初期の値から3dB低下するまでの時間で、10ケ所測定し
最小値を示した。尚(>60)は60分で測定を中心したこ
とを示している。
Table 4 summarizes the results of a comparison of the durability of the respective tapes and the VTR for broadcasting [Matsushita Electric AU-660] based on the still characteristics. The still characteristic was the time required for the output to drop by 3 dB from the initial value. Note that (> 60) indicates that measurement was centered in 60 minutes.

以上のように1/2インチ系の厳しいインターフェース
条件でも十分な耐久性が得られることがわかる。
It can be seen that a sufficient durability can be obtained even under severe interface condition 1/2 inch series as described above.

発明の効果 以上のように本発明によれば、ヘッドとの高速摺動下
のストレスに対しても、潤滑剤が反応被着しているた
め、潤滑性が持続し、十分なる耐久性が確保されるとい
ったすぐれた効果がある。
Advantageous Effects of the Invention As described above, according to the present invention, the lubricant reacts and adheres to the stress under high-speed sliding with the head, so that the lubricity is maintained and sufficient durability is secured. There is an excellent effect of being done.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図,第2図,第3図は本発明の実施例の磁気記録媒
体の拡大断面図で、第4図は開発中の磁気記録媒体の拡
大断面図である。 1……高分子フィルム、5,11……強磁性金属薄膜、7…
…表面酸化層、9……反応潤滑剤、12……保護膜、14…
…グラファイト状炭素膜。
1, 2 and 3 are enlarged sectional views of a magnetic recording medium according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an enlarged sectional view of a magnetic recording medium under development. 1 ... polymer film, 5,11 ... ferromagnetic metal thin film, 7 ...
... Surface oxide layer, 9 ... Reactive lubricant, 12 ... Protective film, 14 ...
... Graphite-like carbon film.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】表面酸化層を有する強磁性金属薄膜上に配
した潤滑剤の一部が金属部と反応被着していることを特
徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium characterized in that a part of a lubricant disposed on a ferromagnetic metal thin film having a surface oxide layer reacts and adheres to a metal part.
【請求項2】強磁性金属薄膜上に保護膜を介して配した
潤滑剤の一部が強磁性金属薄膜表面と反応被着している
ことを特徴とする磁気記録媒体。
2. A magnetic recording medium characterized in that a part of a lubricant disposed on a ferromagnetic metal thin film via a protective film is deposited by reacting with a surface of the ferromagnetic metal thin film.
【請求項3】強磁性金属薄膜上に硬質膜とグラファイト
状の炭素膜を介して配した潤滑剤の一部が硬質膜と反応
被着していることを特徴とする磁気記録媒体。
3. A magnetic recording medium characterized in that part of a lubricant disposed on a ferromagnetic metal thin film via a hard film and a graphite-like carbon film is reactively deposited on the hard film.
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