JP2509043B2 - 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物 - Google Patents

温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物

Info

Publication number
JP2509043B2
JP2509043B2 JP4076314A JP7631492A JP2509043B2 JP 2509043 B2 JP2509043 B2 JP 2509043B2 JP 4076314 A JP4076314 A JP 4076314A JP 7631492 A JP7631492 A JP 7631492A JP 2509043 B2 JP2509043 B2 JP 2509043B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
strontium
calcium
temperature
raw material
material composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP4076314A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH05242731A (ja
Inventor
広明 石井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KYORITSU CERAMIC MATERIALS
Original Assignee
KYORITSU CERAMIC MATERIALS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KYORITSU CERAMIC MATERIALS filed Critical KYORITSU CERAMIC MATERIALS
Priority to JP4076314A priority Critical patent/JP2509043B2/ja
Publication of JPH05242731A publication Critical patent/JPH05242731A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2509043B2 publication Critical patent/JP2509043B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は、温度補償用誘電体磁器の製造法
及びそれに用いられる原料組成物に係り、特に、比誘電
率の温度係数が改善された、Sr・CaTiO3 系の温
度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料
組成物に関するものである。
【0002】
【背景技術】従来から、電気回路や素子の温度係数を補
正するために、各種の温度補償用誘電体磁器の開発が進
められてきているが、そのような温度補償用誘電体磁器
を製造するための基礎材料としては、MgTiO3 ,C
aTiO3 ,SrTiO3 ,BaTiO3 等のペロブス
カイト型結晶構造を有するものを始めとする、各種チタ
ン酸塩や、酸化チタン等が、好適に用いられている。そ
して、より優れた電気的特性を有する温度補償用誘電体
磁器を得るべく、それら基礎材料が、種々組み合わされ
て、配合材料が構成され、更にこの配合材料に対して、
焼成操作が施され、以て所望の温度補償用誘電体磁器が
製造されている。
【0003】例えば、1500ppm/℃程度の温度係
数を有する誘電体磁器を得ようとする場合には、一般
に、MgTiO3 −CaTiO3 系、またはLa2 Ti
2 7−CaTiO3 系等の組成系から選択された配合
材料に対して、所定の焼成操作が施される。ところが、
そのような組成系の配合材料からでは、せいぜい、17
0程度の低い誘電率のものしか、得られない。しかも、
それらの組成系の配合材料から誘電体磁器を製造する場
合においては、よく知られているように、比誘電率を高
める程、その温度係数が大きくなってしまい、また温度
係数を小さくしようとすると、比誘電率までもが低くな
ってしまうことが、避けられなかったのである。
【0004】そこで、近年、上記の如き問題を回避し
得、高い比誘電率を有し、且つその温度係数が小さな誘
電体磁器を与え得る配合材料が、種々検討され、例え
ば、そのような配合材料として、以下の如き方法にて得
られるSrTiO3 −CaTiO3 混合系配合材料が、
提案されている。
【0005】すなわち、一の方法によれば、先ず、Sr
CO3 とTiO2 とを等モル量の割合で用い、それらを
ボールミル中に水と共に投入し、湿式混合して、混合物
を得る。次いで、この得られた混合物をボールミル中か
ら取り出して、脱水、乾燥した後、1100℃で3時間
程度仮焼・反応せしめ、そしてその仮焼物を粉砕して、
SrTiO3 の粉末を得る。一方、CaCO3 とTiO
2 とを、同じく、等モル量の割合で用い、上記と同様に
して、CaTiO3 の粉末を得る。そして、それらSr
TiO3 粉末とCaTiO3 粉末とを、任意の比率に
て、ボールミル中で、再び湿式混合せしめ、その後脱
水、乾燥して、SrTiO3 −CaTiO3混合系配合
材料を得るのである。また、これとは別の方法では、S
rCO3 CaCO 3 とTiO2 とを出発原料として用
い、それらを、同時に、ボールミル中に水と共に投入
し、湿式混合して、混合物を得た後、この得られた混合
物に対して、上記と同様の操作を施して、SrTiO3
−CaTiO3 混合系配合材料を得るのである。
【0006】ところが、本発明者らの検討によれば、上
記の如くして得られるSrTiO3−CaTiO3 混合
系配合材料は、それぞれの製造手法において工程数の違
いはあるにせよ、それらを焼成して得られる誘電体磁器
の電気的特性において、ほぼ一致するものではあるが、
その温度変化特性は、下記表1に示される如く、それら
配合材料中のSrTiO3 とCaTiO3 の組成割合を
種々変えたとしても、温度補償用誘電体磁器に対する要
求特性を、充分に満足し得るものではないことが明らか
となったのである。
【0007】
【表1】
【0008】すなわち、かかる表1からも明らかなよう
に、上記のようにして得られたSrTiO3 −CaTi
3 混合系配合材料を用いて製造される誘電体磁器は、
比誘電率においては、SrTiO3 とCaTiO3 の組
成割合に関係なく、250前後の高い値を示すのである
が、温度係数は、−55℃→+20℃の温度範囲におい
て、1300ppm/℃を下回ることがなく、1000
ppm/℃前後の小さな値を得ることが出来ないのであ
り、またそれら試料A〜Mの何れにあっても、−55℃
→+125℃の温度範囲内における、温度範囲別の値の
バラツキが、極めて大きいのである。
【0009】
【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その解決すべき課題と
するところは、+20℃における比誘電率が250程度
の高い値に確保されつつ、従来のものに比して、−55
℃→+125℃の温度範囲における温度係数が小さく、
且つバラツキの小さい平坦な温度補償用誘電体磁器の製
造方法及びそれに用いられる原料組成物を提供すること
にある。
【0010】
【解決手段】かかる状況下、本発明者らは、上記の課題
を解決すべく、鋭意研究を重ねた結果、ストロンチウム
とカルシウムの特定範囲の組成比を有するストロンチウ
ム/カルシウム共沈炭酸塩と、酸化チタンとを、出発原
料として用いて得られる誘電体磁器が、SrCO3 とC
aCO3 とTiO2 とを出発原料とする、前述の従来法
にて得られる誘電体磁器に対して、+20℃における比
誘電率が、ほぼ同程度の大きさを示し、−55℃→+1
25℃の温度範囲における比誘電率の変化量が比較的小
さく、しかもその変化率が平坦であることを見い出した
のである。
【0011】そして、本発明は、かかる知見に基づいて
完成されたものであって、その特徴とするところは、
[(Sr)X (Ca)1-X ]CO3 (但し、0.59≦
x≦0.66)にて表わされるストロンチウム/カルシ
ウム共沈炭酸塩と酸化チタンを出発原料とし、これを焼
成する温度補償用誘電体磁器の製造法にある。
【0012】また、本発明は、[(Sr)X (Ca)
1-X ]CO3 (但し、0.59≦x≦0.66)にて表
わされるストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩と酸化
チタンとからなる温度補償用誘電体磁器製造のための原
料組成物をも、その特徴とするものである。
【0013】
【具体的構成】ところで、本発明者らの研究によれば、
SrTiO3 −CaTiO3 系の温度補償用誘電体磁器
の、従来の製造法において、出発原料に含まれるSrC
3 及びCaCO3 と、かかる従来法における出発原料
である、それらSrCO3 及びCaCO3 とTiO2
の混合物とに対して、また本発明において、出発原料と
して用いられる、ストロンチウム/カルシウム共沈炭酸
塩と酸化チタンとからなる原料組成物に対して、それぞ
れ、X線回折を行なったところ、図1乃至図4の如きピ
ーク位置及び強度を示す(但し、図3及び4において
は、TiO2 によるものと思われるピークは除いた。)
ことが、確認された。そして、それらの図から、かかる
ストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩が、SrCO3
とCaCO3との単なる混合物ではなく、固溶体となっ
ていることが、明らかとなったのである。
【0014】すなわち、このことから、本発明は、出発
原料たる原料組成物が、固溶体であるストロンチウム/
カルシウム共沈炭酸塩と酸化チタンとから構成されてい
ることにより、得られる誘電体磁器において、高い比誘
電率を保持しつつ、−55℃→+125℃の温度範囲に
おける、比誘電率の温度係数の改善が図られるものであ
ると考えられる。
【0015】なお、このような本発明において出発原料
として用いられる、固溶体となったストロンチウム/カ
ルシウム共沈炭酸塩は、一般に、特開昭64−5909
号公報等にて開示される、以下の如き公知の手法に従っ
て製造され得るものである。
【0016】そのような製造手法では、要するに、スト
ロンチウム及びカルシウムの、それぞれの水溶性化合物
が溶解してなる水溶液と、該水溶液中に溶解するストロ
ンチウムとカルシウムとの合計量に対して、炭酸根が当
量以上となるような、炭酸化合物の水溶液とを、別々に
調製し、それら二つの水溶液を、反応器中に、同時に投
入したり、或いはかかる二つの水溶液のうちの一方に、
他方を加えたりすることによって、固溶体となったスト
ロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩たる沈澱物を生成せ
しめるのである。
【0017】より詳しくは、例えば、先ず、ストロンチ
ウムの水溶性化合物とカルシウムの水溶性化合物とを、
適量の水に溶解せしめる。そして、それとは別に、炭酸
根が、ストロンチウムとカルシウムとの合計量に対し
て、当量以上となる量の水溶性の炭酸化合物を、適当な
量の水に溶解する。次いで、かくして得られた二つの水
溶液を、それぞれ、一般に20〜90℃に加温し、その
後、該二つの水溶液を、適量の水を入れた反応器中に、
攪拌しながら、同時に、約10秒間にて投入し、更に、
該反応器中において、好ましくは20〜90℃の温度
で、約1時間攪拌しつつ熟成して、固溶体となったスト
ロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩たる沈澱物を生ぜし
める。そして、この沈澱物を濾別し、水洗した後、該沈
澱物を容器に移し、これに適量の水を加え、常温にて約
60分間攪拌し、その後、再び、濾別し、水洗する。こ
のようなリパルプ、濾別、水洗する操作を4回繰り返し
て、該沈澱物に含まれる不純物を除去せしめ、しかる
後、その沈澱物を、乾燥器中にて温度110℃±5℃で
約10時間乾燥する。そして、この得られた乾燥物を、
必要に応じて、サンプルミル等にて粉砕せしめ、かくし
てストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩の粉末を得る
のである。
【0018】なお、上記の如き方法において用いられる
ストロンチウム及びカルシウムの水溶性化合物として
は、塩化物及び硫化物が好適に用いられ得るが、その
他、水酸化物や硝酸塩、或いは酢酸塩のような水溶性の
有機酸塩等も使用可能である。一方、水溶性の炭酸化合
物も、特に限定されるものではなく、例えば、ナトリウ
ムやカリウム等のアルカリ金属の炭酸塩や炭酸水素塩等
が、使用され得る他、炭酸アンモニウムや炭酸水素アン
モニウム等のアンモニウム塩を用いても良い。また、ア
ルカリ物質を含む水溶液中に二酸化炭素を加えて、水溶
液中で、上記の如き水溶性の炭酸化合物を生成せしめ、
この水溶液とストロンチウム及びカルシウムの水溶性化
合物の水溶液とを反応せしめても良く、更にはそのよう
な炭酸化合物の水溶液を用いずに、ストロンチウム及び
カルシウムの水溶性化合物の水溶液に、直接、二酸化炭
素を吹き込んでも良い。
【0019】そして、本発明にあっては、上記の如くし
て、通常得られるものや、一般に市販されるもののう
ち、特に、[(Sr)X (Ca)1-X ]CO3 (但し、
0.59≦x≦0.66)にて表される一般式を満足す
るもののみが、用いられることとなる。けだし、かかる
一般式を満たさないストロンチウム/カルシウム共沈炭
酸塩、即ち、かかる一般式中のSrとCaの組成比にお
いて、xの範囲が、x<0.59、またはx>0.66
であるストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩を、出発
原料として用いて、得られる誘電体磁器にあっては、比
誘電率の温度係数の有利な改善が図られ得ないからであ
る。
【0020】一方、かかる本発明において、ストロンチ
ウム/カルシウム共沈炭酸塩と共に、原料組成物を構成
する酸化チタンは、一般に市販されるものの他、従来か
ら公知の手法に従って製造されるものが、何れも、使用
され得る。
【0021】而して、本発明手法にあっては、それら前
記した一般式を満たすストロンチウム/カルシウム共沈
炭酸塩と酸化チタンとが、出発原料として用いられ、こ
れに対して、所定の焼成操作が施されることによって、
目的とする温度補償用誘電体磁器が得られることとな
る。
【0022】具体的には、先ず、上記した一般式を満た
すストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩の粉末と、酸
化チタンの粉末とを、好ましくは等モル量にて、ボール
ミル等の所定の混合容器中に水と共に投入して、湿式混
合せしめ、泥漿を得る。次いで、その得られた泥漿を、
混合容器中から取り出し、通常の手法にて脱水、乾燥し
た後、有利には、900〜1000℃で3時間仮焼し
て、化学反応を行なわしめ、ストロンチウム/カルシウ
ム共沈炭酸塩系の配合材料を得る。そして、かくして得
られたストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩系配合材
料に、必要に応じて粘結材等を適当量添加した後、所望
の形状に成形し、この成形物を、一般に、1300〜1
350℃で2時間本焼成することによって、目的とする
温度補償用誘電体磁器たる焼成物を得るのである。な
お、この焼成操作においては、よく知られているよう
に、Mn、Ce、La、クレー等の元素を、焼結助材と
して、添加せしめることにより、焼結温度の低下、焼結
幅の拡大等が図られ得る。
【0023】
【実施例】以下に、本発明の実施例を示し、本発明を更
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるも
のでないことは、言うまでもないところである。また、
本発明には、以下の実施例の他にも、更には上記の具体
的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおい
て、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良
等を加え得るものであることが、理解されるべきであ
る。
【0024】先ず、出発原料として、下記表2に示され
るような、ストロンチウムとカルシウムの種々の組成比
を有するストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩と共
に、酸化チタンを用い、それらを、それぞれ、1モルず
つボールミル中に投入し、更に水を加えて湿式混合せし
め、泥漿を得た。そして、それら泥漿をボールミル中か
ら取り出し、脱水、乾燥した後、それぞれ、950℃で
3時間仮焼して、ストロンチウム/カルシウム共沈炭酸
塩系の配合材料を得た。次いで、それら配合材料に、各
々、バインダーを適当量添加せしめた後、造粒し、かく
して得られた造粒物を加圧成型機にかけ、約3t/cm2
の圧力にて直径:16mm、厚さ:0.5mmの円板状の成
形体を、それぞれ、作製した。その後、それら成形体
を、1300〜1350℃で2時間本焼成し、焼結体を
得た。
【0025】かくして得られた焼結体に対して、銀電極
ペーストを塗布し、これを850℃にて焼き付け、磁器
試料とした。そして、それら磁器試料の電気的特性、即
ち、比誘電率、Q値、比誘電率の温度係数を測定し、そ
の得られた結果を、下記表2に示した。なお、それら電
気的特性の測定に際しては、測定条件として、1KH
z、1Vrmsの測定電圧を採用し、恒温槽(ジェック
(株)製:201D)内にて、Q値は、Qメーター(目
黒電波測器(株)製:MQ−1601)、比誘電率は、
LCRメーター(横河ヒューレット・パッカード(株)
製:4274A)を、それぞれ、使用して測定した。ま
た、温度係数は、所定温度での比誘電率を、それぞれ、
測定し、+20℃を基準とした温度変化に対する比誘電
率の変化率として示した。
【0026】
【表2】
【0027】かかる表2から明らかなように、本発明に
従って、[(Sr)X (Ca)1-X]CO3 (但し、
0.59≦x≦0.66)にて表される一般式を満たす
ストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩と、酸化チタン
とからなる原料組成物を出発原料として用い、これを焼
成して得られた試料No.3〜7は、+20℃における
比誘電率が、従来法にて得られる前記表1の試料A〜M
とほぼ同程度の250前後の値を示している。
【0028】また、−55℃〜+125℃の温度範囲の
温度係数は、表1の試料A〜Mや、上記した一般式を満
たさないストロンチウム/カルシウム共沈炭酸塩と酸化
チタンとを出発原料とする試料No.1〜2及び8〜1
0が、1000〜2000ppm/℃、或いは2000
〜3000ppm/℃といった大きな値で、しかも温度
変化によるバラツキが大きいのに対して、本発明に従っ
て得られる試料No.3〜7は、1000ppm/℃の
比較的小さな値で、且つ平坦な値を示している。更に、
Q値においては、本発明に従って得られる試料No.3
〜7が、従来法にて得られる表1の試料A〜Mよりも、
格段に大きな値となっているのである。
【0029】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、かくの
如き本発明手法に従えば、比誘電率が高く、しかも−5
5℃〜+125℃の温度範囲における、比誘電率の温度
係数が小さく且つ平坦であり、更には高いQ値を有する
温度補償用誘電体磁器を得ることが出来るのである。
【0030】それ故、そのような温度補償用誘電体磁器
を用いて、誘電体素子、例えば積層コンデンサー等を製
造すれば、その小型、大容量化が、効果的に図られ得る
のである。
【図面の簡単な説明】
【図1】SrTiO3 −CaTiO3 系の温度補償用誘
電体磁器の、従来の製造法において、出発原料の一つと
して用いられるSrCO3 のX線回折図に基づく、ピー
ク位置及び強度を模式的に示す図である。
【図2】SrTiO3 −CaTiO3 系の温度補償用誘
電体磁器の、従来の製造法において、出発原料の一つと
して用いられるCaCO3 のX線回折図に基づく、ピー
ク位置及び強度を模式的に示す図である。
【図3】SrTiO3 −CaTiO3 系の温度補償用誘
電体磁器の、従来の製造法における出発原料である、S
rCO3 とCaCO3 とTiO2 との混合物のX線回折
図に基づく、ピーク位置及び強度を模式的に示す図であ
る。
【図4】本発明に係るストロンチウム/カルシウム共沈
炭酸塩と酸化チタンとからなる原料組成物のX線回折図
に基づく、ピーク位置及び強度を模式的に示す図であ
る。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 [(Sr)x (Ca)1-X ]CO3 (但
    し、0.59≦x≦0.66)にて表わされるストロン
    チウム/カルシウム共沈炭酸塩と酸化チタンを出発原料
    とし、これを焼成することを特徴とする温度補償用誘電
    体磁器の製造法。
  2. 【請求項2】 [(Sr)X (Ca)1-X ]CO3 (但
    し、0.59≦x≦0.66)にて表わされるストロン
    チウム/カルシウム共沈炭酸塩と酸化チタンとからなる
    温度補償用誘電体磁器製造のための原料組成物。
JP4076314A 1992-02-27 1992-02-27 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物 Expired - Lifetime JP2509043B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4076314A JP2509043B2 (ja) 1992-02-27 1992-02-27 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4076314A JP2509043B2 (ja) 1992-02-27 1992-02-27 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05242731A JPH05242731A (ja) 1993-09-21
JP2509043B2 true JP2509043B2 (ja) 1996-06-19

Family

ID=13601916

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4076314A Expired - Lifetime JP2509043B2 (ja) 1992-02-27 1992-02-27 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2509043B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2022059650A1 (ja) * 2020-09-15 2022-03-24

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS645909A (en) * 1987-06-29 1989-01-10 Sakai Chemical Industry Co Carbonate of alkaline-earth metal
JPH02188472A (ja) * 1989-01-13 1990-07-24 Fine Ceramics Center セラミツクス複合材料

Also Published As

Publication number Publication date
JPH05242731A (ja) 1993-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2509043B2 (ja) 温度補償用誘電体磁器の製造法及びそれに用いられる原料組成物
JPH0825795B2 (ja) 非還元性誘電体磁器組成物
JPS597665B2 (ja) 高誘電率磁器組成物
JPH0246531B2 (ja)
JPH0517150A (ja) セラミツク原料粉末の製造方法
JPH0210089B2 (ja)
JPH0210091B2 (ja)
JP3588210B2 (ja) 誘電体磁器組成物
JPH03126664A (ja) ペロブスカイト型酸化物磁器およびその製造方法
JPH0571538B2 (ja)
JP2605446B2 (ja) 磁器材料の製造方法
JPH0210090B2 (ja)
WO2021010368A1 (ja) Me元素置換有機酸バリウムチタニル、その製造方法及びチタン系ペロブスカイト型セラミック原料粉末の製造方法
JPH068204B2 (ja) 誘電体磁器の製造方法
JPS62202854A (ja) 高周波用誘電体磁器組成物
JPH0637322B2 (ja) 誘電体磁器組成物
JP2917455B2 (ja) 誘電体磁器組成物
JPS6217806B2 (ja)
JPH0457615B2 (ja)
JPS63291305A (ja) 誘電体共振器材料の製造方法
JP3512587B2 (ja) 積層型セラミックコンデンサ
JP2021017441A (ja) Me元素置換有機酸バリウムチタニル、その製造方法及びチタン系ペロブスカイト型セラミック原料粉末の製造方法
JPH0784349B2 (ja) ネオジウムを含む誘電体セラミックスの製造方法
JPS62217504A (ja) 高周波用誘電体磁器組成物
JPS6311523A (ja) 易焼結性圧電セラミツクス粉末の製造法

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080416

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090416

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100416

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100416

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110416

Year of fee payment: 15

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120416

Year of fee payment: 16

EXPY Cancellation because of completion of term