JP2506766Y2 - イオン源の制御装置 - Google Patents
イオン源の制御装置Info
- Publication number
- JP2506766Y2 JP2506766Y2 JP1990055846U JP5584690U JP2506766Y2 JP 2506766 Y2 JP2506766 Y2 JP 2506766Y2 JP 1990055846 U JP1990055846 U JP 1990055846U JP 5584690 U JP5584690 U JP 5584690U JP 2506766 Y2 JP2506766 Y2 JP 2506766Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- power supply
- breakdown
- discharge
- ion source
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990055846U JP2506766Y2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | イオン源の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990055846U JP2506766Y2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | イオン源の制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0415142U JPH0415142U (de) | 1992-02-06 |
JP2506766Y2 true JP2506766Y2 (ja) | 1996-08-14 |
Family
ID=31579160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1990055846U Expired - Fee Related JP2506766Y2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | イオン源の制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2506766Y2 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108695128A (zh) * | 2017-04-11 | 2018-10-23 | 上海伟钊光学科技股份有限公司 | 具有束流自动反馈控制的考夫曼离子源 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6074299A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-26 | 株式会社東芝 | イオン源電源装置 |
JPS60182639A (ja) * | 1984-03-01 | 1985-09-18 | Toshiba Corp | イオン源放電電源装置 |
JP2609674B2 (ja) * | 1988-04-18 | 1997-05-14 | 日本電信電話株式会社 | イオン発生器 |
JP2625942B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1997-07-02 | 日新電機株式会社 | イオン処理装置の制御方法 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP1990055846U patent/JP2506766Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0415142U (de) | 1992-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR870001325A (ko) | 스퍼터링 참버에서 단락된 고-전압 음극을 제거하기 위한 방법 및 장치 | |
JP4206598B2 (ja) | 質量分析装置 | |
US4193070A (en) | Method and arrangement for controlling the electrical relationships of a current-intensive glow discharge | |
JP2506766Y2 (ja) | イオン源の制御装置 | |
JP3934262B2 (ja) | 半導体を製造するため使用するイオン注入装置のファラデーカップをモニタする方法 | |
US8653405B2 (en) | Method for operating a vacuum plasma process system | |
JPH10117484A (ja) | 常時商用給電型交流無停電電源回路 | |
JP2656542B2 (ja) | イオンビーム加工装置 | |
JPS5744469A (en) | Device for preventing damage of torch for plasma arc | |
US3826889A (en) | System for automatic control of electron beam heating device | |
JPH021014Y2 (de) | ||
JPH0635365Y2 (ja) | 電子線照射装置 | |
JPH04332448A (ja) | イオン打込装置の加速電圧印加方法 | |
JP7469110B2 (ja) | 無停電電源装置 | |
JPH06150875A (ja) | 熱陰極型イオン源の保護回路装置 | |
JPH03119636A (ja) | イオン源 | |
JPS6110960B2 (de) | ||
JP2000121800A (ja) | 電子線照射装置 | |
JP2644146B2 (ja) | アーク放電診断方法及び装置 | |
JP3017766B2 (ja) | ガス処理装置 | |
JPH08236056A (ja) | イオン源装置 | |
JPH09134698A (ja) | イオンビーム加工装置 | |
JP2000299934A (ja) | ピークカットコントローラー | |
JPH02135652A (ja) | イオン源への電圧印加判定方法 | |
JPH01274323A (ja) | リレーの制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |