JP2505482Y2

JP2505482Y2 - ウエ−ハ自動ラッピング装置

Info

Publication number: JP2505482Y2
Application number: JP1990108940U
Authority: JP
Inventors: 文彦長谷川; 浩昌橋本
Original assignee: 信越半導体株式会社
Priority date: 1990-10-19
Filing date: 1990-10-19
Publication date: 1996-07-31
Anticipated expiration: 2005-10-19
Also published as: JPH0467965U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）本考案は、ウエーハの自動ラッピング装置に関する。

（従来の技術）例えば半導体製造分野においては、半導体ウエーハの
表面はラップ盤によって鏡面研磨される。即ち、半導体
ウエーハは遊星ギヤを構成するキャリア上にセットさ
れ、複数の半導体ウエーハがセットされたキャリアは下
定盤上に太陽歯車（駆動ギヤ）と内歯歯車に噛合する状
態でセットされる。そして、キャリアが上下の定盤間で
遊星運動することによって、これにセットされた半導体
ウエーハの表面が研磨される。

ところで、半導体ウエーハのキャリア上へのセット、
半導体ウエーハがセットされたキャリアのラップ盤への
セット、研磨加工終了後のキャリアのラップ盤からの取
り出し、研磨された半導体ウエーハの取り出し等の作業
は人手に頼っていたため、作業には熟練を要し、作業能
率が悪くサイクルタイムが長くなるという問題があっ
た。

そこで、研磨作業の自動化が考えられ、ラップ盤の近
傍にキャリアとウエーハのセットステージを設け、この
セットステージでウエーハをキャリア上に自動でセット
し、ウエーハがセットされたキャリアを自動でラップ盤
上にセットし、且つ取り出す装置が提案されている（例
えば、特開昭61−76269号公報参照）。

（考案が解決しようとする課題）しかしながら、従来の自動ラッング装置では、自動化
による作業能率の向上効果は、必ずしも、充分とはいえ
ないものであった。

また、上記提案に係る自動ラッピング装置においてキ
ャリアをラップ盤にセットする場合、該キャリアが太陽
歯車と内歯歯車に常に滑らかに噛合するとは限らず、各
歯同士が干渉し合う結果、キャリアが正しくセットされ
ない場合があった。

本考案は、上記問題点に鑑みなされたもので、その目
的は、自動ラッピング装置によるウエーハ研磨作業の自
動化の効果を、より高めることにある。

この目的を達成するために本考案は、従来の自動ラッ
ピング装置の全体構造を更に改良するとともに、キャリ
アをラップ盤に常に正しくセットできるように、該キャ
リアの形状を改良したものである（課題を解決するための手段）上記目的を達成するべく本考案のウエーハの自動ラッ
ピング装置は、ラップ盤Ａと、該ラップ盤の近傍に配備
され、ウエーハをキャリア６と一体でセットするための
第１のローダー部Ｂおよび第２のローダー部Ｂ′を備え
たウエーハローダー部と、これら第１、第２のローダー
部間に配備され、研磨後のウエーハをラップ盤からキャ
リアと一体で取り出して排出するための１系列のアンロ
ーダー部Ｃと、前記ウエーハローダー部の一部を構成
し、かつ前記アンローダー部の一部を構成し、キャリア
にウエーハをセットするための第１のステージS₁および
第２のステージS₁′と、前記アンローダー部の一部を構
成し、かつキャリア６内のウエーハを排出するためのウ
エーハ排出ステージS₂とを含んで構成され、ラップ盤Ａ
は、上定盤および下定盤と、下定盤上の中央に設けた太
陽歯車と、下定盤の外周に固定した内歯歯車と、太陽歯
車および内歯歯車に噛合して上定盤・下定盤間で遊星運
動をする複数枚のキャリアとを備え、かつ太陽歯車およ
び内歯歯車は、全歯について上部端面をテーパ面に面取
りしたものであり、キャリア６は、中心軸の回りに同一
直径のウエーハを保持するための円孔７を同一ピッチ円
上に等角度ピッチで備えたものであり、第１のローダー
部Ｂと第２のローダー部Ｂ′は実質的に同一の構成から
成るものであって、第１のローダー部Ｂは、ウエーハカ
セット10から成るウエーハ収納部ａと、ウエーハを前記
第１のステージ上でキャリア６にセットするための第１
アーム旋回ロボット20および第２アーム旋回ロボット30
から成るウエーハ取出し・セット手段ｂと、研磨後のウ
エーハをキャリア６と一体で前記ラップ盤から取り出し
た後キャリア６からウエーハを排出するための第３アー
ム旋回ロボット40から成りキャリア取出し・搬送手段ｅ
およびウエーハ取出し・排出手段ｆをも構成するキャリ
アセット手段ｃとを備え、第１アーム旋回ロボット20お
よび第２アーム旋回ロボット30は、それぞれアームの先
部にウエーハ吸着用の真空吸着部24a,32aを備え、第３
アーム旋回ロボット40はアームの先部に吸着板43を備
え、該吸着板はウエーハ吸着用の真空吸着部43aをキャ
リア６の複数の円孔７対応した形態で備えるとともに、
キャリア吸着用の真空吸着部43bを備え、かつ該円孔７
のピッチ角度と同一角度ピッチで間欠的に自転可能と
し、第２のローダー部Ｂ′は、キャリアセット手段ｃを
第１のローダー部Ｂと共有し、アンローダー部Ｃは、ウ
エーハ回収部ｄを含むとともに、キャリアセット手段ｃ
を共有しており、ラップ盤Ａ、第１のステージS₁、第２
のステージS₁′およびウエーハ排出ステージS₂は、第３
アーム旋回ロボット40のアーム42の旋回範囲内に配置さ
れ、第１のステージS₁および第２のステージS₁′は、そ
れぞれ前記ターンテーブル60を備え、該ターンテーブル
は複数枚のキャリア６を多重にセットして、これらを前
記円孔７のピッチ角度と同一の角度ピッチで間欠的に自
転させうるものであり、ウエーハ排出ステージS₂はウエ
ーハ回収部ｄの直上に位置していることを特徴とする。

（作用）本考案のウエーハの自動ラッピング装置においては、
ウエーハ収納部ａのウエーハを第１アーム旋回ロボット
20、次いで第２アーム旋回ロボット30により取り出し、
このウエーハを、第１のステージS₁のターンテーブル60
に第３アーム旋回ロボット40でセットしたキャリア６の
円孔７にセットし、所定枚数のウエーハをセットしたキ
ャリア６を第３アーム旋回ロボット40によりラップ盤Ａ
にセットする。

ウエーハ研磨後は、ラップ盤Ａからウエーハを保持し
たキャリア６を第３アーム旋回ロボット40により取り出
してウエーハ排出ステージS₂にセットし、吸着板43を所
定角度自転させた後、ウエーハをウエーハ回収部ｄに排
出し、空になったキャリア６を第３アーム旋回ロボット
40で、第２のステージS₁′のターンテーブル60にセット
する。

そして、ウエーハの研磨加工中には、第１のローダー
部Ｂと第２のローダー部Ｂ′を交互に用いて第１のステ
ージS₁、第２のステージS₁′それぞれのキャリア６にウ
エーハをセットする。

また、本考案に係るラップ盤においては、太陽歯車と
内歯歯車は、その各歯の上部端面がテーパ面に面取りさ
れているため、キャリアの外周歯の位相が太陽歯車と内
歯歯車に対してズレていても、該キャリアの外周歯は太
陽歯車と内歯歯車のテーパ面に案内されてこれら太陽歯
車と内歯歯車の歯に確実に噛合する。この結果、キャリ
アは如何なる場合も、その歯が太陽歯車と内歯歯車の歯
に干渉することがなく、下定盤上へのキャリアのセット
が常に正しく行われる。

以下に本考案の一実施例を添付図面に基づいて説明す
る。

第１図はウエーハ自動ラッピング装置の平面図、第２
図は第１図のII−II線断面図、第３図は第１図のIII−I
II線断面図、第４図（ａ），（ｂ）はそれぞれ太陽歯
車、内歯歯車の歯端面の面取りを示す斜視図である。

このウエーハ自動ラッピング装置はラップ盤Ａと、該
ラップ盤Ａの近傍に配される２系列のローダー部、すな
わち第１のローダー部Ｂおよび第２のローダー部Ｂ′
と、これらローダー部Ｂ、Ｂ′に挟まれる中間に配され
る１系列のアンローダー部Ｃを含んで構成される。

上記ラップ盤Ａは、第３図に示すように上定盤１と下
定盤２を有しており、上定盤１は軸３に沿って上下動自
在、且つ軸３の回りに回転自在に支持されている。又、
下定盤２の中央部には駆動歯車を構成する太陽歯車４が
設けられており、同下定盤２の外周部には内歯歯車５が
設けられている。尚、太陽歯車４、内歯歯車５はそれぞ
れ第４図（ａ），（ｂ）に示すようにその全歯4a…,5a
…について、その上部端面がテーパ面4a−1,4a−1,5a−
1,5a−１によって面取りされており、歯4a…,5a…の上
部端面は図示のように上部に向かって尖った山形状に成
形されている。

ところで、下定盤２には、第１図に示すように遊星ギ
ヤから成る５枚のキャリア６…が太陽歯車４と内歯歯車
５に噛合する状態でセットされるが、各キャリア６には
ウエーハＷを保持すべき４つの円孔７…が同一ピッチ円
上に等角度ピッチ（90°ピッチ）で貫通形成されてい
る。尚、各キャリア６の中心には円孔８が形成され、中
心に対し幾分偏位した位置には小径の円孔９が形成され
ている。

而して、ラップ盤Ａにあっては、キャリア６…及びこ
れらに保持された複数のウエーハＷ…は上定盤１と下定
盤２との間で挟持され、太陽歯車４が回転駆動される
と、各キャリア６は上定盤１と下定盤２との間で遊星運
動するため、これに保持されたウエーハＷ…の上下面が
研磨される。

次に、第１のローダー部Ｂの構成を第１図及び第２図
に基づいて説明する。

即ち、第１のローダー部Ｂは、ウエーハ収納部ａと、
ウエーハ取出し・セット手段ｂと、キャリアセット手段
ｃを含んで構成される。ウエーハ収納部ａは、第２図に
示すように複数（本実施例では、20枚）のウエーハＷ…
を上下方向に積層収納するカセット10で構成されてい
る。

又、前記ウエーハ取出し・セット手段ｂは、第１図に
示すように第１アーム旋回ロボット20および第２アーム
旋回ロボット30にて構成され、第１アーム旋回ロボット
20は軸21を中心に回動するアーム22と、軸23を中心に回
動するアーム24を含んで構成され、アーム24の先部には
吸着部24aが設けられている。第２アーム旋回ロボット3
0は軸31を中心に回動するアーム32を含んで構成され、
アーム32の先部には吸着部32aが設けられている。

更に、前記キャリアセット手段ｃは第３アーム旋回ロ
ボット40にて構成され、該アーム旋回ロボット40は軸41
を中心に回動するアーム42と、該アーム42の先部に垂直
に支持された円板状の吸着板43を含んで構成される。そ
して、吸着板43には第１図に示すようにウエーハＷ…を
吸着すべき４つの吸着部43a…が等角度ピッチ（90°ピ
ッチ）で設けられ、これらの吸着部43a…の間にはキャ
リア６を吸着すべき４つの吸着部43b…が等角度ピッチ
（90°ピッチ）で設けられている。

尚、以上は第１のローダー部Ｂの構成について述べた
が、第２のローダーＢ′の構成は第１のローダー部Ｂの
それと全く同じであり、第１図中、第１のローダー部Ｂ
と同一要素には同一符号でダッシュ「′」を付して示す
が、該ローダー部Ｂ′は前記キャリアセット手段ｃを第
１のローダー部Ｂと共有する。

ここで、前記アンローダー部Ｃの構成を第１図及び第
３図に基づいて説明する。

即ち、該アンローダー部Ｃは前記キャリアセット手段
ｃを共通に含む他、ウエーハ回収部ｄを含んで構成され
る。尚、キャリアセット手段ｃは、ラップ盤Ａから各キ
ャリア６を順次取り出してこれをウエーハ回収部ｄまで
搬送するキャリア取出し・搬送手段ｅと、各キャリア６
にセットされたウエーハＷ…を１枚ずつ取り出してこれ
をウエーハ回収部ｄに排出するウエーハ取出し・排出手
段ｆを構成している。

ところで、前記ウエーハ回収部ｄは水を満たした水槽
50を有しており、該水槽50の底部には斜めに傾斜した凹
部50aと、該凹部50aに向かって斜めに下がる傾斜面50b
が形成されている。

そして、上記凹部50a内には、地上に設置されたエア
リシンダ51から延出するロッド52の先部が臨んでおり、
該ロッド52の先部には縦断面がコの字状の保持部材53が
軸54にて回動自在に枢着されており、この保持部材53に
はウエーハ回収用のカセット55が保持されている。

ところで、第１図に示すように、第３アーム旋回ロボ
ット40のアーム42の旋回範囲内には、第１のステージ
S₁、第２のステージS₁′およびウエーハ排出ステージS₂
が設けられており、第１および第２のステージS₁，S₁′
上には第２図に示すように円板状のターンテーブル60が
設置されており、ターンテーブル60の中心には軸61が、
中心から偏位した位置にはピン62がそれぞれ垂設されて
いる。

次に、当該ウエーハ自動ラッピング装置の作用を説明
する。

作業に先立ち第１のステージS₁のターンテーブル60上
には５枚のキャリア６…が同位相で多重セットされてい
る。即ち、各キャリア６はこれの中央に穿設された円孔
８に前記軸61を通し、円孔９にピン62を通すことによっ
て同位相にセットされ、５枚のキャリア６…が同位相で
多重セットされると、これら多重セットされたキャリア
６…には同位相の５つの円孔７…が縦方向に並んで１つ
の貫通孔を形成する。

上記キャリア６…の、第１のステージS₁におけるター
ンテーブル60上への多重セットが終了すると、第１アー
ム旋回ロボット20が駆動され、該アーム旋回ロボット20
はカセット10に収納されたウエーハＷ…の中から１枚の
ウエーハＷを取り出してこれを第２アーム旋回ロボット
30に受け渡す。即ち、第１アーム旋回ロボット20はアー
ム24の先部に設けられた吸着部24aに１枚のウエーハＷ
を吸着してこれを第１図の実線位置で待機する第２アー
ム旋回ロボット30に受け渡す。尚、カセット10から１枚
のウエーハＷが取り出されると、カセット10は１ピッチ
分だけ上動して次のウエーハＷの取り出しに備える。

ウエーハＷを受け渡された第２のアーム旋回ロボット
30は、アーム32の先部に設けられた吸着部32aにウエー
ハＷを保持した状態でアーム31が軸31を中心に図示矢印
イ方向に180°回動することによって、第１のステージS
₁におけるターンテーブル60上にセットされた１枚のキ
ャリア６の１つの円孔７内にウエーハＷをセットする。

次に、ターンテーブル60が駆動されて、これに多重セ
ットされたキャリア６…が所定角度（本実施例では、90
°）だけ回動せしめられ、前記と同様の操作によって次
の、カセット10から取り出された２枚目のウエーハＷが
キャリア６の次の円孔７にセットされる。

以上の操作が所定回数（本実施例の場合、４×５＝20
回）だけ繰り返されると、第１のステージS₁におけるタ
ーンテーブル60上の全てのキャリア６…の円孔７…には
計20枚のウエーハＷ…がセットされる。

次に、第３アーム旋回ロボット40が駆動され、第１の
ステージS₁にある１枚のキャリア６が、これにセットさ
れた４枚のウエーハＷ…と共にラップ盤Ａの下定盤２上
にセットされる。即ち、第３アーム旋回ロボット40のア
ーム42が軸41を中心に回動され、これに支持された吸着
板43が第２図に鎖線にて示すように、第１のステージS₁
にセットされたキャリア６…上に位置すると、該吸着板
43に設けられた前記吸着部43a…,43bが共にONされて、
最上部に位置する１枚のキャリア６と、これにセットさ
れた４枚のウエーハＷ…が吸着板43に吸着される。この
状態でアーム42が軸41を中心に第１図の矢印ロ方向に旋
回し、これに支持された吸着板43がラップ盤Ａの所定位
置に位置したときにアーム42の旋回が停止され、吸着板
43の吸着部43a…,43b…がともにOFFされて、該吸着板43
からキャリア６及びウエーハＷ…が離れ、キャリア６は
太陽歯車４と内歯歯車５に噛合して下定盤２上の所定位
置S₃にセットされる。

而して、本実施例では、太陽歯車４と内歯歯車５は、
前述のようにその各歯4a,5aの上部端面がテーパ面4a−
1,4a−１、5a−1,5a−１によって面取りされている（第
４図（ａ），（ｂ）参照）ため、キャリア６の外周歯6a
…の位相が太陽歯車４と内歯歯車５に対してズレていて
も、該キャリア６の外周歯6a…は太陽歯車４と内歯歯車
５のテーパ面５の歯4a−1,4a−１、5a−1,5a−１に案内
されて、これら太陽歯車４と内歯歯車５の歯4a…,5a…
に確実に噛合する。この結果、各キャリア６は如何なる
場合もその歯6a…が太陽歯車４と内歯歯車５の歯4a…,5
a…に干渉することがなく下定盤２上へのキャリア６の
セットが常に正しく行われる。

上記のように下定盤２上へのキャリア６のセットが終
了すると、下定盤２が所定角度（72°）だけ回動されて
これの割り出しがなされ、以後は前記と同様の操作によ
って、第１のステージS₁上にセットされた次のキャリア
６が、４枚のウエーハＷ…と共に下定盤２上の所定位置
S₃にセットされる。

上記操作を、第１のステージS₁上にセットされた残り
３枚のキャリア６…についても繰り返すことによって、
第１図に示すようにラップ盤Ａの下定盤２上には５枚の
キャリア６…が、これらにセットされた計20枚のウエー
ハＷ…と共に配置される。

以上の操作が完了すると、ラップ盤Ａが駆動され、前
述のようにキャリア６…に保持された計20枚のウエーハ
Ｗ…の上下面が研磨される。

上記研磨加工が終了すると、上定盤１が第３図に示す
ように軸３に沿って持ち上げられるとともに、１枚目の
キャリア６が所定の位置S₃に割り出される。すると、第
３アーム旋回ロボット40が再び駆動され、１枚目のキャ
リア６が、これにセットされた４枚のウエーハＷ…と共
に位置S₃からウエーハ排出ステージS₂に移動せしめられ
る。即ち、第３アーム旋回ロボッロ40のアーム42が軸41
を中心に回動して、これに支持された吸着板43が位置S₃
にある１枚目のキャリア６上に位置すると、該吸着板43
に設けられた吸着部43a…,43b…が共にONされて１枚目
のキャリア６と、これにセットされた４枚のウエーハＷ
…が吸着板43に吸着される。この状態でアーム42が軸41
を中心に第１図の矢印ハ方向に180°旋回し、これに支
持された吸着板43がウエーハ排出ステージS₂上に位置し
たときにアーム42の旋回が停止される。次に、吸着板43
が旋回せしめられ、これに吸着された１枚目のウエーハ
Ｗが第１図のS₄位置に割り出され、次に該ウエーハＷを
吸着していた１つの吸着部43aのみOFFされる。すると、
１枚目のウエーハＷの吸着が解除され、該ウエーハＷは
吸着板43から離れて水槽50の水中に落下し、第３図に示
すように水槽50の傾斜面50bに沿ってカセット55方向へ
移動し、第３図に鎖線にて示すように、その下限位置で
待機するカセット55の最上段に収納される。尚、この１
枚目のウエーハＷが収納されると、エアシリンダ51が駆
動されてカセット55が１ピッチ分だけ上動せしめられ
て、次の２枚目のウエーハＷの収納に備えられる。

上記作業が終了すると、吸着板43が所定角度（90°）
だけ回動されて次の２枚目のウエーハＷがS₄位置に割り
出され、以後は前記と同様の操作によってこの２枚目の
ウエーハＷがカセット55内に収納される。

以下、同様にして１枚目のキャリア６の４枚全てのウ
エーハＷ…がカセット55内に収納されると、第３アーム
旋回ロボット40のアーム42が再び駆動されて第１図の矢
印ニ方向に旋回せしめられ、空になったキャリア６がウ
エーハ排出ステージS₂から第２のステージS₁′に移さ
れ、ここで吸着板43の吸着部43b…がOFFされてキャリア
６が、第２のステージS₁′に設置されたターンテーブル
60上にセットされる。

以上の一連の操作をラップ盤Ａの下定盤２上の２枚目
乃至５枚目のキャリア６…についても繰り返せば、研磨
加工が施された計20枚のウエーハＷ…の全てがカセット
55内に収納されるとともに、第２のステージS₁′のター
ンテーブル60上には空になった５枚のキャリア６…が同
位相で多重セットされる。すると、第３図に示すエアシ
リンダ51が駆動されて保持部材53が凹部50Aの斜面50a−
１に沿って上動せしめられ、該保持部材53は凹部50aを
越えて上動せしめられると斜面50a−１によるガイドを
解除されるため、該保持部材53は、第３図に破線にて示
すように軸54を中心に回動して、その開口部が上になる
ようにして静止する。従って、保持部材53に保持された
カセット55を水槽50の水中から容易に取り出すことがで
きる。

以上によって研磨加工の１サイクルが自動的に完了す
るが、続けて研磨加工を実施するには、再び第１のステ
ージS₁のターンテーブル60上に別の５枚のキャリア６…
がセットされ、以上と同様の操作が繰り返し行われる
が、２サイクル目以降においては、ラップ盤Ａによって
研磨加工がおこなわれている間に、第２のローダー部
Ｂ′によって第２のステージS₁′において多重セットさ
れている空のキャリア６…に、カセット10′に収納され
ている未加工ウエーハＷ…をセットすることができる。

以後同様にしてラップ盤Ａによる研磨加工中に第１、
第２のローダー部B,B′を交互に用いて第１、第２のス
テージS₁，S₁′に多重セットされた空のキャリア６…に
予めウエーハＷ…をセットするようにすれば、キャリア
６…上へのウエーハＷ…のセット時間分だけサイクルタ
イムを短縮することができ、作業能率の向上を図ること
ができる。

又、本実施例では、各５枚のキャリア６…は第１、第
２のステージS₁，S₁′において多重セットされるため、
これらが大きなスペースを占めることがなく、装置の小
型化が図れる。

尚、本実施例において１サイクルの加工枚数に満たな
い20枚未満のウエーハＷ…について研磨加工を実施する
には、カセット10（10′）内にウエーハＷ…と共に、不
足枚数分のダミーウエーハを収納しておけばよい。又、
ラップ盤Ａやキャリア６…の清掃は、ロード及びアンロ
ード時にスプレーや水タワシによって行われる。

（考案の効果）以上の説明で明らかな如く、本考案によれば、ウエー
ハの研磨作業が高度に自動化され、多数枚のウエーハに
ついて研磨加工を短時間に的確に行うことができ、生産
効率が大幅に向上する効果がある。

また、本考案に係るラップ盤では、太陽歯車及び内歯
歯車の全歯について、その上部端面をテーパ面によって
面取りしたためキャリアを、その歯が太陽歯車と内歯歯
車の各歯と干渉することなく常に正しくセットすること
ができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエーハ自動ラッピング装置の平面図、第２図
は第１図のII−II線断面図、第３図は第１図のIII−III
線断面図、第４図は（ａ），（ｂ）はそれぞれ太陽歯
車、内歯歯車の歯端面の面取りを示す斜視図である。１…上定盤、２…下定盤、４…太陽歯車、５…内歯歯
車、4a,5a…歯車の歯、4a−1,5a−１…テーパ面、６…
キャリア、７…円孔、10…ウエーハカセット、20…第１
アーム旋回ロボット、30…第２アーム旋回ロボット、40
…第３アーム旋回ロボット、24a,32a,43a…真空吸着
部、42…アーム、43…吸着板、60…ターンテーブル、Ａ
…ラップ盤、Ｂ…第１のローダー部、Ｂ′…第２のロー
ダー部、Ｃ…アンローダー部、S₁…第１のステージ、
S₁′…第２のステージ、S₂…ウエーハ排出ステージ、ａ
…ウエーハ収納部、ｂ…ウエーハ取出し・セット手段、
ｃ…キャリアセット手段、ｄ…ウエーハ回収部、ｅ…キ
ャリア取出し・搬送手段、ｆ…ウエーハ取出し・排出手
段。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平２−131863（ＪＰ，Ａ) 特開昭53−103283（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】ラップ盤と、該ラップ盤にウエーハをキャ
リアと一体でセットするための第１のローダー部および
第２のローダー部を備えたウエーハローダー部と、研磨
後のウエーハをラップ盤からキャリアと一体で取り出し
て排出するための１系列のアンローダー部と、前記ウエ
ーハローダー部の一部を構成し、かつ前記アンローダー
部の一部を構成し、キャリアにウエーハをセットするた
めのターンテーブルをもつ第１のステージおよび第２の
ステージと、前記アンローダー部の一部を構成し、かつ
キャリア内のウエーハを排出するためのウエーハ排出ス
テージとを含んで構成され、前記ラップ盤は、上定盤および下定盤と、下定盤上の中
央に設けた太陽歯車と、下定盤の外周に固定した内歯歯
車と、太陽歯車および内歯歯車に噛合して上定盤・下定
盤間で遊星運動をする複数枚のキャリアとを備え、かつ
太陽歯車および内歯歯車は、全歯について上部端面をテ
ーパ面に面取りしたものであり、前記キャリアは、中心軸の回りに同一直径のウエーハを
保持するための円孔を同一ピッチ円上に等角度ピッチで
備えたものであり、第１のローダー部と第２のローダー部は実質的に同一の
構成から成るものであって、第１のローダー部は、ウエ
ーハカセットから成るウエーハ収納部と、ウエーハを前
記第１のステージ上で前記キャリアにセットするための
第１アーム旋回ロボットおよび第２アーム旋回ロボット
から成るウエーハ取出し・セット手段と、研磨後のウエ
ーハを前記キャリアと一体で前記ラップ盤から取り出し
た後キャリアからウエーハを排出するための第３アーム
旋回ロボットから成りキャリア取出し・搬送手段および
ウエーハ取出し・排出手段をも構成するキャリアセット
手段とを備え、第１アーム旋回ロボットおよび第２アー
ム旋回ロボットは、それぞれアームの先部にウエーハ吸
着用の真空吸着部を備え、第３アーム旋回ロボットはア
ームの先部に吸着板を備え、該吸着板はウエーハ吸着用
の真空吸着部を前記キャリアの複数の円孔に対応した形
態で備えるとともにキャリア吸着用の真空吸着部を備
え、かつ該円孔のピッチ角度と同一角度ピッチで間欠的
に自転可能とし、第２のローダー部は、前記キャリアセット手段を第１の
ローダー部と共有し、アンローダー部は、ウエーハ回収
部を含むとともに、前記キャリアセット手段を共有して
おり、前記ラップ盤、第１のステージ、第２のステージおよび
ウエーハ排出ステージは、第３アーム旋回ロボットのア
ームの旋回範囲内に配置され、第１のステージおよび第
２のステージはそれぞれ前記ターンテーブルを備え、該
ターンテーブルは複数枚のキャリアを多重にセットし
て、これらを前記円孔のピッチ角度と同一角度ピッチで
間欠的に自転させうるものであり、ウエーハ排出ステー
ジは前記ウエーハ回収部の直上に位置していることを特
徴とするウエーハの自動ラッピング装置。