JP2025166084A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JP2025166084A5 JP2025166084A5 JP2025132087A JP2025132087A JP2025166084A5 JP 2025166084 A5 JP2025166084 A5 JP 2025166084A5 JP 2025132087 A JP2025132087 A JP 2025132087A JP 2025132087 A JP2025132087 A JP 2025132087A JP 2025166084 A5 JP2025166084 A5 JP 2025166084A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- consumable
- storage module
- chamber
- processing system
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020179160 | 2020-10-26 | ||
| JP2020179160 | 2020-10-26 | ||
| JP2021148516A JP7728062B2 (ja) | 2020-10-26 | 2021-09-13 | 処理システム及び搬送方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021148516A Division JP7728062B2 (ja) | 2020-10-26 | 2021-09-13 | 処理システム及び搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2025166084A JP2025166084A (ja) | 2025-11-05 |
| JP2025166084A5 true JP2025166084A5 (enExample) | 2025-11-21 |
Family
ID=81257531
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021148516A Active JP7728062B2 (ja) | 2020-10-26 | 2021-09-13 | 処理システム及び搬送方法 |
| JP2025132087A Pending JP2025166084A (ja) | 2020-10-26 | 2025-08-07 | 処理システム及び搬送方法 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021148516A Active JP7728062B2 (ja) | 2020-10-26 | 2021-09-13 | 処理システム及び搬送方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US11955356B2 (enExample) |
| JP (2) | JP7728062B2 (enExample) |
| KR (1) | KR20220055424A (enExample) |
| CN (1) | CN114496694A (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7728062B2 (ja) * | 2020-10-26 | 2025-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム及び搬送方法 |
| KR102649714B1 (ko) * | 2020-10-27 | 2024-03-21 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법 |
| WO2024095856A1 (ja) * | 2022-10-31 | 2024-05-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム、および搬送方法 |
| KR102824299B1 (ko) * | 2022-11-21 | 2025-06-25 | (주)아이씨디 | 플라즈마 처리 시스템 및 이의 반송 방법 |
| CN120642042A (zh) * | 2023-02-09 | 2025-09-12 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置 |
| JP7483118B1 (ja) * | 2023-12-22 | 2024-05-14 | Ｓｐｐテクノロジーズ株式会社 | 基板処理装置 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5650935B2 (ja) | 2009-08-07 | 2015-01-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び位置決め方法並びにフォーカスリング配置方法 |
| JP6003011B2 (ja) | 2011-03-31 | 2016-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
| KR101697500B1 (ko) * | 2015-06-12 | 2017-02-01 | 세메스 주식회사 | 티칭 방법, 그리고 이를 이용한 기판 처리 장치 |
| US10124492B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-11-13 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using end effectors interfacing with plasma processing system |
| US9881820B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-01-30 | Lam Research Corporation | Front opening ring pod |
| US10062599B2 (en) * | 2015-10-22 | 2018-08-28 | Lam Research Corporation | Automated replacement of consumable parts using interfacing chambers |
| JP6635888B2 (ja) | 2016-07-14 | 2020-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム |
| US11662373B2 (en) * | 2018-05-24 | 2023-05-30 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Substrate storage container management system, load port, and substrate storage container management method |
| US12444632B2 (en) * | 2018-12-12 | 2025-10-14 | Tokyo Electron Limited | System of processing substrate, transfer method, transfer program, and holder |
| JP7357453B2 (ja) * | 2019-03-07 | 2023-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システムおよび基板の搬送方法 |
| KR102809937B1 (ko) * | 2019-06-06 | 2025-05-19 | 램 리써치 코포레이션 | 회전 정렬이 필요한 에지 링의 자동화된 이송 |
| JP7519822B2 (ja) * | 2020-06-19 | 2024-07-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 収納モジュール、基板処理システムおよび消耗部材の搬送方法 |
| JP7728062B2 (ja) * | 2020-10-26 | 2025-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム及び搬送方法 |
| CN114765115A (zh) * | 2021-01-15 | 2022-07-19 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置 |
| JP7769186B2 (ja) * | 2021-08-05 | 2025-11-13 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | ロードポート |
-
2021
- 2021-09-13 JP JP2021148516A patent/JP7728062B2/ja active Active
- 2021-10-15 CN CN202111201637.3A patent/CN114496694A/zh active Pending
- 2021-10-22 KR KR1020210141445A patent/KR20220055424A/ko active Pending
- 2021-10-26 US US17/511,505 patent/US11955356B2/en active Active
-
2024
- 2024-02-27 US US18/588,356 patent/US20240194504A1/en active Pending
-
2025
- 2025-08-07 JP JP2025132087A patent/JP2025166084A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2025166084A5 (enExample) | ||
| JP2020096149A5 (enExample) | ||
| CN103247559B (zh) | 基板搬送装置和基板搬送方法 | |
| JP5058836B2 (ja) | 処理装置、処理方法、被処理体の認識方法および記憶媒体 | |
| JP5488806B2 (ja) | トレイ移載装置及び方法 | |
| JP2022107898A5 (enExample) | ||
| JP2007329447A (ja) | 基板搬送装置及び縦型熱処理装置 | |
| JP2005039185A5 (enExample) | ||
| TWI705035B (zh) | 基板搬送方法及基板處理系統 | |
| JP2006351884A (ja) | 基板搬送機構及び処理システム | |
| JP2015032617A (ja) | 搬送ロボットの教示データ補正方法、および搬送システム | |
| CN107408525A (zh) | 基板搬送机器人及基板搬送方法 | |
| JP2018052682A (ja) | 移載装置 | |
| CN114467172A (zh) | 元件处理器 | |
| WO2005091355A1 (ja) | 搬送機構の搬送ズレを割り出す方法及び半導体処理装置 | |
| JPWO2022259948A5 (enExample) | ||
| JP4534876B2 (ja) | 被処理物供給装置及び被処理物供給方法 | |
| JP2010283334A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
| JP2024138513A5 (enExample) | ||
| JP2011009295A (ja) | 搬送装置および搬送方法 | |
| EP1980510A1 (en) | Loading device, input section, method for loading a printing plate, computer system and computer program product | |
| KR102322129B1 (ko) | 반도체 로봇용 엔드이펙터 | |
| JP2015191932A (ja) | 真空処理装置およびその運転方法 | |
| JPH10180670A (ja) | 板状物の取り出し方法および装置 | |
| TW202441683A (zh) | 搬運系統、處理系統及搬運方法 |