JP2024066534A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ワークの引き出し中に遮断された電源が投入されても、ワークが破損することを防止できる加工装置を提供する。【解決手段】研削装置（１）は、複数のワーク（Ｗ）を棚状に収容したカセット（６）を載置するカセットステージ（５０）と、カセットステージを昇降させる昇降機構（５２）と、カセットに収容されたワークを把持する把持部（９９）と、把持部を水平方向に移動させカセットからワークを引き出す引き出し機構（９０）と、引き出し機構により引き出したワークを仮置き位置に仮置きする一対のガイドレール（８７）と、制御部（１２０）とを備えている。引き出し機構がワークを引き出しているときに電源が遮断され電源が投入されたら、制御部は、把持部をカセットステージに近づける方向に移動させ、把持部がワークを押してカセットに収納させ、ガイドレールにワークが無い初期状態にする。【選択図】図７

Description

本発明は、加工するワークをカセットからガイドレールに引き出す加工装置に関する。

特許文献１、２に開示のように、カセットに収容されているワークをレールの上に仮置きした後、そのワークを搬送機構でチャックテーブルに搬送して保持させ、切削ブレードや研削砥石等でワークを加工する加工装置がある。

上記加工装置は、昇降機構によりカセットステージを昇降させ、ワークが収容されているカセットの棚とレールとを同一高さにした状態で、カセットからレールにワークを引き出し、レール上の所定の位置にワークを仮置きしている。そして、仮置きされたワークの上面を搬送パッドが吸引保持し、搬送パッドによってチャックテーブルにワークを搬送している。

特開２０１８－１８１９５１号公報 特開２０２２－０２３３７８号公報

上記した加工装置にあっては、緊急停止ボタンが押されたときや、停電等が発生したときに、電源が遮断される。カセット内のワークをレールの所定の位置に引き出しているときに電源が遮断されたら、ワークは、一部分がカセットに載り、残る部分がレールに載っている状態となる。このような状態で電源を投入し、昇降機構が動作してカセットが昇降動作すると、カセットやレール等によってワークを破損させる可能性がある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ワークの引き出し中に遮断された電源が投入されても、ワークが破損することを防止することができる加工装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様の加工装置は、複数のワークを棚状に収容したカセットを載置するカセットステージと、カセットステージを昇降させる昇降機構と、カセットに収容されたワークを把持する把持部と、把持部を水平方向に移動させカセットからワークを引き出す引き出し機構と、引き出し機構により引き出したワークを仮置き位置に仮置きする一対のガイドレールと、ガイドレール上の仮置き位置に仮置きされたワークを保持しチャックテーブルに搬送する搬送機構と、チャックテーブルに保持されたワークを加工する加工機構と、制御部と、を備える加工装置であって、引き出し機構がカセットからワークを引き出しているときに電源が遮断され電源が投入されたら、制御部は、把持部をカセットステージに近づける方向に移動させ、把持部がワークを押してカセットに収納させ、ガイドレールにワークが無い初期状態にする。

本発明の一態様にて、引き出し機構は、把持部がカセットから最も遠ざかった位置を検知する原点センサを備え、電源が投入されたら、制御部は、把持部を開いた後、把持部をカセットから遠ざかる方向に移動させ原点センサを検知させた後、把持部をカセットステージに近づける方向に移動させ、把持部がワークを押してカセットに収納させ、ガイドレールにワークが無い初期状態にするとよい。

本発明の一態様にて、ガイドレールとカセットとの間にワークの有無を検知するワーク検知センサを備え、制御部は、ワーク検知センサがワークを検知したときは、作業者にワークが有ることを通知して、ワーク検知センサがワークを検知しないときは、把持部をカセットステージに接近する方向に移動させ、ワーク検知センサがワークを検知したら、該把持部の移動を停止させ、作業者にワークが有ることを通知して、把持部がカセットステージに最も近づいてもワーク検知センサがワークを検知しなかったら、ガイドレールにはワークが無い初期状態であると判断するとよい。

本発明の一態様にて、ガイドレールとカセットとの間にワークの有無を検知するワーク検知センサを備え、制御部は、ワーク検知センサがワークを検知したときは、作業者にワークが有ることを通知して、ワーク検知センサがワークを検知しないときは、カセットステージを昇降させカセットの段とガイドレールとを同一高さにした後、把持部をカセットステージに接近する方向に移動させるとよい。

本発明によれば、引き出し機構によるワークの引き出し中に遮断された電源が投入されたときに、ワークを把持可能な把持部の移動を制御してカセットにワークを収納し、ガイドレールにワークが無い初期状態にすることができる。これにより、ワークがカセットとガイドレールとに跨った状態でカセットが昇降動作することを回避でき、かかる昇降動作によるワークの破損を防止することができる。

実施の形態に係る研削装置の概略斜視図である。 搬送部の概略斜視図である。 カセットからワークを引き出して仮置きする機構を示す概略斜視図である。 引き出し機構の概略斜視図である。 ワーク搬送機構の斜視図である。 図６Ａ～図６Ｃは、ワークの引き出し要領の説明図である。 図７Ａ～図７Ｄは、ガイドレールを初期状態にするための第１モードの動作説明図である。 電源遮断時の状態の一例を示す説明図である。 図９Ａは、ガイドレールを初期状態にするための第２モードの動作説明図であり、図９Ｂは、ガイドレールが初期状態となった場合の一例を示す説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る研削装置（加工装置）について説明する。図１は、実施の形態に係る研削装置の概略斜視図である。なお、本実施の形態に係る拡張装置において、各図にて図示するように、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向は互いに直交しており、Ｚ軸方向を上下方向とする。また、Ｙ軸方向を水平方向にてＺ軸方向に直交し、且つ、ガイドレール８７の延出方向（引き出し機構９０によるワークＷの引き出し方向）と平行な方向とし、Ｘ軸方向を水平方向にてＹ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向とする。

図１に示す研削装置１は、矩形プレート状の２枚のワークＷをフルオートで研削加工する装置とされる。研削装置１は、ワークＷを粗研削する第１加工ユニットＵ１と、第１加工ユニットＵ１によって粗研削されたワークＷを仕上げ研削する第２加工ユニットＵ２とを備えている。また、研削装置１は、第１加工ユニットＵ１と第２加工ユニットＵ２との間でワークＷを受け渡すためにワークＷを一時的に仮置きしておく仮置き部４０と、第２加工ユニットＵ２によって仕上げ研削されたワークＷを洗浄する洗浄部６０とを備えている。更に、研削装置１は、研削加工前の複数のワークＷを収容するカセット６を載置するカセットステージ５０と、複数のカセット６をストックしておくストッカ７０と備えている。

第１加工ユニットＵ１及び第２加工ユニットＵ２は、装置ベース２上にＸ軸方向に沿って並設されている。第１加工ユニットＵ１と第２加工ユニットＵ２の基本構成は同じであるため、以下、第１加工ユニットＵ１の構成について説明し、第２加工ユニットＵ２にて第１加工ユニットＵ１の同一又は類似する構成については、同一符号を付し、説明を省略する場合がある。

第１加工ユニットＵ１は、チャックテーブル３と、研削機構（加工機構）１０と、チャックテーブル３をＹ軸方向に往復動させる第１移動機構（不図示）と、ワークＷの上面を保持してワークＷを搬送する搬送部（搬送機構）２０とを備えている。

チャックテーブル３は、円板状の部材であって、Ｚ軸方向に平行な中心軸回りに回転駆動される。チャックテーブル３の上面には、ワークＷを吸引保持する矩形の２つの保持面３１が設けられ、各保持面３１は、吸引源（不図示）に接続されている。装置ベース２上であってチャックテーブル３が通過する位置には、チャックテーブル３に保持されたワークＷの厚みを測定する厚み測定器４が設置されている。

研削機構１０は、回転駆動される垂直なスピンドル１３と、スピンドル１３の下端に取り付けられた円板状のマウント１４と、マウント１４の下面に着脱可能に装着された研削ホイール１５とを備えている。研削ホイール１５には、円環状に配列された複数の砥石１６が取り付けられている。砥石１６を構成する砥粒の粒径は、粗研削する第１加工ユニットＵ１に用いられる砥石１６に比べ、仕上げ研削する第２加工ユニットＵ２に用いられる砥石１６の方が小さくなるよう設定される。

研削機構１０は、装置ベース２の＋Ｙ軸方向端部に垂直に立設されたブロック状のコラム１７の－Ｙ軸方向端面（前面）に設けられた昇降部１８によって昇降可能に支持されている。

研削機構１０においては、ワークＷを保持したチャックテーブル３を研削ホイール１５の下方に位置決めした状態で、研削ホイール１５を回転しつつ昇降部１８を駆動して研削ホイール１５を所定量（研削代）下降する。これにより、回転する研削ホイール１５の砥石１６が、チャックテーブル３に保持されたワークＷに接触してワークＷが研削加工される。

搬送部２０は、図１に破線にて示す第１搬送空間Ｓ１に配置される。搬送部２０は、２枚のワークＷを保持し、チャックテーブル３と後述する仮置きテーブル８０との間で、保持したワークＷを搬送する。図２は、搬送部の概略斜視図である。図２に示すように、搬送部２０は、ワークＷを吸引保持する矩形プレート状の一対の搬送パッド２１を備えている。ここで、一対の搬送パッド２１は、これらを間欠的に１８０°回転させる反転機構２２に互いに平行に取り付けられており、反転機構２２は、ブロック状の昇降ブロック２３から水平に延びる回転軸２４の先端に取り付けられている。なお、各搬送パッド２１の吸着面には、複数の吸盤２７が取り付けられている。

搬送部２０は、搬送パッド２１をＹ軸方向に移動可能に設けられたＹ軸移動機構２０１と、搬送パッド２１をＺ軸方向に昇降可能に設けられたＺ軸移動機構２０２とを備えている。ここで、Ｙ軸移動機構２０１は、ベースプレート２０１１の側面にＹ軸方向に沿って互いに平行に配置された上下一対のガイドレール２０１２と、ガイドレール２０１２に沿ってＹ軸方向に摺動可能なスライダ２０１３とを備えている。一対のガイドレール２０１２の間には、Ｙ軸方向に沿って延びる回転可能なボールネジ軸２０１４が配置されている。

ボールネジ軸２０１４の軸方向一端は、駆動源である電動モータ２０１５に接続され、ボールネジ軸２０１４の軸方向他端は、軸受２０１６によってベースプレート２０１１に回転可能に支持されている。ボールネジ軸２０１４は、矩形ブロック状のスライダ２０１３に螺合挿通している。

Ｚ軸移動機構２０２は、スライダ２０１３の側面に取り付けられたベースプレート２０２１にＺ軸方向に沿って垂直に取り付けられたガイドレール２０２２を備え、ガイドレール２０２２に沿って昇降ブロック２３をＺ軸方向に昇降動する。昇降ブロック２３には、垂直に配置された回転可能なボールネジ軸２０２３が螺合挿通している。ボールネジ軸２０２３の上端は、回転駆動源である電動モータ２０２４に連結され、ボールネジ軸２０２３の下端は、軸受２０２５によってベースプレート２０２１に回転可能に支持されている。

従って、Ｙ軸移動機構２０１の電動モータ２０１５を起動してボールネジ軸２０１４を正逆転させると、ボールネジ軸２０１４に螺合するスライダ２０１３がＺ軸移動機構２０２と共にガイドレール２０１２に沿ってＹ軸方向に移動する。また、Ｚ軸移動機構２０２の電動モータ２０２４を起動してボールネジ軸２０２３を正逆転させると、ボールネジ軸２０２３に螺合する昇降ブロック２３がＺ軸方向に沿って昇降動する。

これにより、昇降ブロック２３に回転軸２４と反転機構２２を介して支持された搬送パッド２１は、Ｙ軸方向に移動することができるとともに、Ｚ軸方向に昇降動することができる。よって、搬送部２０は、搬送パッド２１でワークＷを吸引保持した状態で、Ｙ軸移動機構２０１及びＺ軸移動機構２０２を駆動することで、チャックテーブル３に対してワークＷを搬入及び搬出することができる。

図１に戻り、仮置き部４０は、Ｙ軸方向において装置ベース２上のカセットステージ５０とストッカ７０の近傍に配置されている。仮置き部４０は、第１加工ユニットＵ１の研削機構１０によって粗研削されたワークＷを第２加工ユニットＵ２に受け渡すとともに、第２加工ユニットＵ２の研削機構１０によって仕上げ研削されたワークＷを受け取ってワークＷを一時的に仮置きする。仮置き部４０は、水平な仮置き台４１にＸ軸方向に沿って敷設されたガイドプレート４２に沿って移動機構（不図示）を介してＹ軸方向に移動可能なテーブル４３を備えている。テーブル４３の上面には、２枚のワークＷを吸引保持するための矩形の２つの保持面４３１が設けられている。

洗浄部６０は、第２加工ユニットＵ２の研削機構１０によって仕上げ研削された２枚のワークＷを洗浄水によって洗浄する。洗浄部６０は、Ｙ軸方向においてストッカ７０の近傍に配置されている。洗浄部６０は、ワークＷを上面に吸引保持して回転するスピンナテーブル６０１と、スピンナテーブル６０１に保持されたワークＷに向けて洗浄水を噴射する洗浄水ノズル６０２とを備えている。

カセットステージ５０は、装置ベース２の－Ｙ軸方向端部の－Ｘ軸方向隅部に配置されており、その上面には、矩形のアダプタプレート５１を介してカセット６が載置されている。ここで、カセット６は、研削加工前の複数のワークＷを収納するためのものであって、その内部には複数の棚６１が上下方向に所定の間隔を設けて配置されている（図３参照）。言い換えると、カセット６は、複数のワークＷを棚状に収容する。

カセットステージ５０内には、カセット６をＺ軸方向（上下方向）に昇降させるためのカセット昇降機構（昇降機構）５２が設けられている。カセット昇降機構５２は、垂直なベースプレート５３に互いに平行に配置された垂直な一対のガイドレール５４と、各ガイドレール５４に沿って昇降する昇降板５５を備えている。昇降板５５にアダプタプレート５１が接続され、アダプタプレート５１上にカセット６が着脱可能に載置されている。

一対のガイドレール５４の間には、垂直なボールネジ軸５６が回転可能に配置され、ボールネジ軸５６の下端は、回転駆動源である電動モータ５７に連結されている。ボールネジ軸５６には、昇降板５５に突設されたナット部材（不図示）が螺合している。

従って、電動モータ５７を起動してボールネジ軸５６を正逆転させることで、ボールネジ軸５６に螺合するナット部材が突設された昇降板５５がガイドレール５４に沿ってＺ軸方向に昇降し、昇降板５５と共にカセット６も昇降する。

図３は、カセットからワークを引き出して仮置きする機構を示す概略斜視図である。カセットステージ５０に隣接する図１に破線にて示すワーク仮置き空間Ｓ３には、図３に示す仮置きテーブル８０と、仮置きテーブル８０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構８１とが配置されている。

仮置きテーブル８０は、矩形ブロック状に形成され、その上面には、２枚のワークＷを吸引保持するための２つの矩形の保持面８０１が形成されている。Ｘ軸移動機構８１は、ベース台８２の上面にＸ軸方向に沿って互いに平行に敷設された一対のガイドレール８３と、ガイドレール８３の間にＸ軸方向に沿って配置された回転可能なボールネジ軸８４とを備えている。ボールネジ軸８４の軸方向一端には、回転駆動源である電動モータ８５が連結され、ボールネジ軸８４の軸方向他端は、軸受８６によってベース台８２に回転可能に支持されている。

一対のガイドレール８３には、仮置きテーブル８０が摺動可能に嵌合し、仮置きテーブル８０には、ボールネジ軸８４が螺合挿通している。従って、電動モータ８５を起動してボールネジ軸８４を正逆転させると、このボールネジ軸８４に螺合する仮置きテーブル８０が一対のガイドレール８３に沿ってＸ軸方向に移動する。

アダプタプレート５１とベース台８２との間には、Ｙ軸方向に延びる一対のガイドレール８７が互いに平行に架設されている。ガイドレール８７の近傍の図３に破線にて示すワーク取出空間Ｓ４には、図４に示す引き出し機構９０が配置されている。引き出し機構９０は、カセット６に収納されているワークＷを把持する把持部９９をＹ軸方向（水平方向）に移動させ、把持部９９で把持したワークＷをカセット６から引き出す機構である。

図４は、引き出し機構の概略斜視図である。図４に示すように、引き出し機構９０は、ベースプレート９１にＹ軸方向に沿って互いに平行に配置された上下一対のガイドレール９２と、ガイドレール９２に沿ってＹ軸方向に摺動するブロック状のスライダ９３とを備えている。

上下一対のガイドレール９２の間には、Ｙ軸方向に沿って延びる回転可能なボールネジ軸９４が配置されている。ボールネジ軸９４は、スライダ９３に螺合挿通している。ボールネジ軸９４の軸方向一端は、回転駆動源である電動モータ９５に連結され、ボールネジ軸９４の軸方向他端は、軸受９７によってベースプレート９１に回転可能に支持されている。スライダ９３からは逆Ｌ字状に屈曲するアーム９８が延びており、アーム９８の先端には把持部９９が取り付けられる。電動モータ９５には回転数（パルス数）を検知するエンコーダ９６が配設され、エンコーダ９６から出力されるパルス信号によってスライダ９３の移動量を取得可能となる。

従って、電動モータ９５を起動してボールネジ軸９４を正逆転させれば、ボールネジ軸９４に螺合するスライダ９３がアーム９８と共に一対のガイドレール９２に沿ってＹ軸方向に移動する。この移動によって、アーム９８の先端に取り付けられた把持部９９がカセット６内に収容されたワークＷを１枚ずつ把持してカセット６から引き出す。引き出し機構９０によりカセット６から引き出されたワークＷは、一対のガイドレール８７（図３参照）の仮置き位置に仮置きされる。ここで、かかる仮置き位置は、ガイドレール８７上における＋Ｙ軸方向側の移動限近傍として予め任意に設定された位置となる。

更に、仮置きテーブル８０の移動限の近傍の図３において破線にて示す第２搬送空間Ｓ５には、図５に示すワーク搬送機構（搬送機構）１００が配置されている。ワーク搬送機構１００は、引き出し機構９０によってカセット６から一対のガイドレール８７上の仮置き位置に引き出されたワークＷを保持し、これを仮置きテーブル８０へと搬送する。

図５は、ワーク搬送機構の斜視図である。図５に示すように、ワーク搬送機構１００は、ベースプレート１０１にＹ軸方向に沿って互いに平行に取り付けられた上下一対のガイドレール１０２と、ガイドレール１０２に沿ってＹ軸方向に摺動するスライダ１０３とを備えている。上下一対のガイドレール１０２の間には、Ｙ軸方向に沿って延びる回転可能なボールネジ軸１０４が配置されている。ボールネジ軸１０４は、スライダ１０３に螺合挿通している。ボールネジ軸１０４の軸方向一端は、回転駆動源である電動モータ１０５に連結され、ボールネジ軸１０４の軸方向他端は、軸受１０６によってベースプレート１０１に回転可能に支持されている。

スライダ１０３には昇降シリンダ１０７が取り付けられている。昇降シリンダ１０７から下方に垂直に延びるロッド１０８の下端には、ワークＷを吸引保持するための矩形プレート状の吸着パッド１０９が取り付けられている。

ワーク搬送機構１００にて、電動モータ１０５を起動してボールネジ軸１０４を正逆転させると、ボールネジ軸１０４に螺合するスライダ１０３が昇降シリンダ１０７及び吸着パッド１０９と共にＹ軸方向に移動する。この移動によって、吸着パッド１０９に保持されたワークＷがＹ軸方向に沿って搬送される。

ワーク搬送機構１００は、吸着パッド１０９でワークＷを吸引保持した状態で、電動モータ１０５及び昇降シリンダ１０７を駆動することで、ワークＷを搬送することができる。更に述べると、ワーク搬送機構１００によって、一対のガイドレール８７（図３参照）の仮置き位置に仮置きされたワークＷを保持して仮置きテーブル８０に搬出することができる。ここで、上述の搬送部２０（図２参照）によって、保持したワークＷをチャックテーブル３と仮置きテーブル８０との間で搬送できる。よって、搬送部２０とワーク搬送機構１００とにより、ガイドレール８７上の仮置き位置に仮置きされたワークＷを保持してチャックテーブル３に搬送可能となる。

図１に戻り、ストッカ７０は、カセットステージ５０の横に配置されている。ストッカ７０のテーブル７１上には、研削加工前の複数のワークＷが収納された複数のカセット６がアダプタプレート５１上に載置された状態でストックされる。

研削装置１は、制御部１２０によって統括的に制御される。制御部１２０は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラム等を記憶する記憶部（メモリ）と、によって構成されている。制御部１２０の記憶部には、制御プログラムの一部として、例えば、後述する各種センサの出力に基づき、引き出し機構９０や把持部９９の駆動を制御するためのプログラムが記憶されている。

ワークＷを研削加工する際には、図４に示す引き出し機構９０によってカセット６から加工前のワークＷが図３に示す一対のガイドレール８７上に引き出される。かかるワークＷの引き出しについて、図６を用いて、以下に説明する。図６Ａ～図６Ｃは、ワークの引き出し要領の説明図である。更に述べると、図６Ａは、ワークをカセットから引き出す直前の状態を示す説明図であり、図６Ｂは、ワークを引き出す中途段階の状態を示す説明図である。図６Ｃは、ワークをガイドレール上の仮置き位置に仮置きした状態を示す説明図である。なお、図６と、後述する図７及び図８においては、ワークＷの図示明確化を図るため、ワークＷだけに斜線模様を付して表す。

図６Ａに示すように、ワークＷをカセット６から引き出す前に、制御部１２０によってカセット昇降機構５２の駆動を制御し、カセット６を所定の高さ位置に位置決めする。ここでは、一例として、カセット６にて引き出す予定のワークＷが収容された最下段の棚６１の高さ位置と、ガイドレール８７の高さ位置とが一致するよう位置決めした状態とする。なお、後述する把持部９９の引き出し方向に平行な方向（Ｙ軸方向）の移動量は、制御部１２０によって、引き出し機構９０におけるエンコーダ９６の出力に基づき電動モータ９５（図４参照）の回転数を制御することができる。

この状態で、引き出す予定のワークＷを把持部９９によって把持する把持工程を行う。把持工程は、把持部９９を開放した状態としつつ、引き出し機構９０の駆動によって把持部９９をカセット６に接近する方向（－Ｙ軸方向）に移動する。そして、把持部９９の内部にワークＷが位置するまで把持部９９を移動した後、引き出し機構９０の駆動を停止して把持部９９を閉塞する。これにより、図６Ａに示したように把持部９９がワークＷを把持する。

把持工程の後、ワークＷを一対のガイドレール８７に引き出す引き出し移動工程を行う。引き出し移動工程は、図６Ａ～図６Ｃにて順に示すように、把持部９９がワークＷを把持したまま、ガイドレール８７に沿って把持部９９を＋Ｙ軸方向に移動し、ワークＷの全てをカセット６から引き出した状態とする。そして、ガイドレール８７上の予め設定した仮置き位置にて把持部９９の＋Ｙ軸方向移動を停止し、把持部９９を開放する。これにより、図６Ｃに示したようにワークＷがガイドレール８７上の仮置き位置に仮置きされ、カセット６からのワークＷの引き出しが完了する。

ガイドレール８７上に引き出されたワークＷは、図５に示すワーク搬送機構１００によって仮置きテーブル８０へと搬送されてから、図２に示す搬送部２０により図１に示す第１加工ユニットＵ１のチャックテーブル３へと搬送されて保持される。その後、チャックテーブル３で保持されたワークＷが研削機構１０によって研削加工される。

ところで、上述のようにワークＷを引き出しているときに、研削装置１の電源が遮断され、所定時間経過後、電力供給が復帰されて電源が投入される状態となる場合がある。例えば、図６Ｂに示すように、ワークＷがカセット６とガイドレール８７とに跨った状態で電源が遮断される場合がある。この状態で、電源が投入され、カセット昇降機構５２が駆動してカセット６が昇降すると、ワークＷが損傷するおそれがある。そこで、本実施の形態では、以下に説明する第１～第３モードのように動作や制御を行うことでガイドレール８７にワークＷが無い状態（以下、この状態を「初期状態」とする）とし、遮断された電源が投入されてもワークＷの損傷を防止している。

ここで、本実施の形態にあっては、引き出し機構９０に、図６から図８に示す原点センサ１３０及びワーク検知センサ１４０が設けられ、これらの少なくとも１つを用いている。原点センサ１３０及びワーク検知センサ１４０は制御部１２０に検知結果を出力する。

原点センサ１３０は、スライダ９３及び把持部９９のＹ軸方向の位置を認識するセンサとされる。よって、原点センサ１３０は、把持部９９がカセット６から最も遠ざかった位置を検知でき、該位置や該位置から－Ｙ軸方向に所定距離離れた任意の位置を原点位置として検知することもできる。原点センサ１３０は、検出光線を把持部９９等に照射して反射された光を受光し、受光した光を評価、演算して距離に換算する非接触式で光学式の距離センサを例示できる。また、原点センサ１３０は、上述のエンコーダ９６の出力に基づき、スライダ９３及び把持部９９のＹ軸方向の位置を認識する構成に代替してもよい。

ワーク検知センサ１４０は、Ｙ軸方向におけるガイドレール８７とカセット６との間に設けられる。ワーク検知センサ１４０は、投光部１４１と受光部１４２を対向配置して、投光部１４１から受光部１４２に対する光の受光量変化から物体を検出する光学式センサとされる。よって、ワーク検知センサ１４０は、ガイドレール８７とカセット６との間に跨ったワークＷの有無を検知する。

（第１モード）
第１モードを実施する準備として、起動時等にガイドレール８７上の仮置き位置やその近傍に移動した把持部９９を原点センサ１３０にて検知し、把持部９９の原点位置として制御部１２０に記憶しておく。引き出し機構９０がワークＷを引き出している最中となる例えば図６Ｂに示す状態で電源が遮断され、その後電源が投入されたら、第１モードでは、先ず、図７Ａに示すように、把持部９９を開く動作をするよう制御部１２０によって制御する。

その後、図７Ｂに示すように、把持部９９をカセット６から遠ざかる方向に移動させ、把持部９９が原点位置まで移動すると、原点センサ１３０にて把持部９９が原点位置に達したことを検知する。かかる検知結果が制御部１２０に出力されると、制御部１２０によって把持部９９の移動を停止するよう制御する。これにより、把持部９９がカセット６及びワークＷから遠ざかって離れた位置に配置される。

次いで、把持部９９を閉じる動作をするよう制御部１２０によって制御する。把持部９９を閉じた後、図７Ｃに示すように、把持部９９をカセットステージ５０に近づける方向に移動させ、把持部９９によってワークＷをカセット６に向かって押し込む。この押し込みによって、図７Ｄに示すように、ワークＷをカセット６に収納させ、ガイドレール８７にワークＷが無い初期状態となる。

なお、第１モードでは、遮断された電源が投入されるときに、図８に示すように、ワークＷの全てがガイドレール８７上に位置する場合でも、上述と同様に初期状態とすることができる。また、第１モードでは、ワークＷの全てがカセット６内に収納されている場合でも、上述と同様に把持部９９の移動及び開閉動作が行われる。この場合、電源が投入された時点でガイドレール８７にワークＷが無いので、初期状態を維持したままとなる。

（第２モード）
第２モードでは、第１モードと同じ準備をした後、先ず、ワーク検知センサ１４０がワークＷの有無を検知する。例えば図６Ｂに示す状態で電源が遮断され、その後電源が投入されたら、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知するときとなり、その検知結果が制御部１２０に出力される。そして、制御部１２０では、ディスプレイやアラーム等（何れも不図示）を制御し、作業者にワークＷがガイドレール８７上に有ることを画像や音声等で通知する。その後は、第１モードと同様に把持部９９の移動及び開閉動作を行い、ワークＷをカセット６に収納させてガイドレール８７にワークＷが無い初期状態とする。

また、図８に示すように、ワークＷの全てがガイドレール８７上に位置する場合、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知しないときとなり、制御部１２０の制御によって把持部９９を閉じた後、把持部９９をカセットステージ５０に接近する方向に移動させる。この移動により、図９Ａに示すように、把持部９９によってワークＷがカセット６に向かって押し込まれ、該押し込みによって、ワークＷをカセット６に収納してガイドレール８７にワークＷが無い初期状態となる（図７Ｄ参照）。

かかる把持部９９の移動の最中においても、ワーク検知センサ１４０によるワークＷの有無の検知が継続される。よって、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知したら、言い換えると図９Ａの状態となったら、制御部１２０では、上述と同様にして作業者にワークＷがガイドレール８７上に有ることを通知する。

また、図９Ｂに示すように、ワークＷの全てがカセット６内に収納された初期状態となる場合も、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知しないときとなる。このときも、初期状態を維持したまま、制御部１２０の制御によって把持部９９を閉じた後、把持部９９をカセットステージ５０に接近する方向に移動させる。把持部９９の移動の最中、ワーク検知センサ１４０によるワークＷの有無の検知が継続されるが、把持部９９がカセットステージ５０に最も近づいてもワーク検知センサ１４０はワークＷを検知しない。この状態を、ワーク検知センサ１４０の検知結果と把持部９９の位置とに基づき、制御部１２０は、ガイドレール８７にワークＷが無い初期状態であると判断する。

（第３モード）
第３モードでは、第１モードと同じ準備をした後、遮断された電源が投入されたときに、先ず、ワーク検知センサ１４０がワークＷの有無を検知する。ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知する場合は、第２モードと同様にして作業者にワークＷがガイドレール８７上に有ることを通知し、ワークＷをカセット６に収納させてガイドレール８７にワークＷが無い初期状態とする。

また、図８に示すようにワークＷの全てがガイドレール８７上に位置する場合、及び、図９Ｂに示すようにワークＷの全てがカセット６内に収納されている場合、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知しないときとなる。制御部１２０は、かかる検知結果に基づき、カセット昇降機構５２の駆動を制御してカセットステージ５０を昇降させ、カセット６にてワークＷが収容されていない棚６１の段と、ガイドレール８７とを同一高さにする。その後、制御部１２０の制御によって把持部９９を閉じた後、把持部９９をカセットステージ５０に接近する方向に移動させる。

かかる把持部９９の移動によって、ワークＷがガイドレール８７上に位置する場合にはワークＷがカセット６に向かって押し込まれ、ワークＷをカセット６に収納してガイドレール８７にワークＷが無い初期状態となる（図７Ｄ参照）。ワークＷの押し込み中に、ワーク検知センサ１４０がワークＷを検知したら、制御部１２０では、上述と同様にして作業者にワークＷがガイドレール８７上に有ることを通知する。

また、ワークＷの全てがカセット６内に収納された初期状態となる場合には、把持部９９をカセットステージ５０に接近する方向に移動しても、ワーク検知センサ１４０はワークＷを検知しない。よって、この状態を、ワーク検知センサ１４０の検知結果と把持部９９の位置とに基づき、制御部１２０は、ガイドレール８７にワークＷが無い初期状態であると判断し、また、ガイドレール８７にワークＷが無い初期状態が維持される。

上記実施の形態によれば、ワークＷの引き出し中に、緊急停止や停電等によって、研削装置１の電源が遮断されてから投入されても、上記第１～第３モードの何れかを実施することで、ガイドレール８７にワークＷが無い初期状態にすることができる。これにより、ワークＷがカセット６とガイドレール８７とに跨った状態でカセット６が昇降動作することを回避でき、かかる昇降動作によるワークＷの破損を防止することができる。

なお、本発明の加工装置は、カセット６からワークＷをガイドレール８７に引き出す加工装置である限りにおいて、加工機構をワークＷの切削装置やワークＷへの貼着装置にする等として、他の加工装置としてもよい。

また、上記実施の形態のワークＷは、一例に過ぎず、カセット６からガイドレール８７に引き出し可能である限りにおいて、矩形以外となる円形等の板状としてもよい。

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

以上説明したように、本発明は、カセットからワークをガイドレールに引き出す加工装置にて、ワークの引き出し中に遮断された電源が投入されても、ワークが破損することを防止できる。

１ ：研削装置（加工装置）
３ ：チャックテーブル
６ ：カセット
６１ ：棚
１０ ：研削機構（加工機構）
２０ ：搬送部（搬送機構）
５０ ：カセットステージ
５２ ：カセット昇降機構（昇降機構）
８７ ：ガイドレール
９０ ：引き出し機構
９９ ：把持部
１００ ：ワーク搬送機構（搬送機構）
１２０ ：制御部
１３０ ：原点センサ
１４０ ：ワーク検知センサ
Ｗ ：ワーク

Claims (4)

1. 複数のワークを棚状に収容したカセットを載置するカセットステージと、該カセットステージを昇降させる昇降機構と、該カセットに収容されたワークを把持する把持部と、該把持部を水平方向に移動させ該カセットからワークを引き出す引き出し機構と、該引き出し機構により引き出したワークを仮置き位置に仮置きする一対のガイドレールと、該ガイドレール上の該仮置き位置に仮置きされたワークを保持しチャックテーブルに搬送する搬送機構と、該チャックテーブルに保持されたワークを加工する加工機構と、制御部と、を備える加工装置であって、
   該引き出し機構が該カセットからワークを引き出しているときに電源が遮断され電源が投入されたら、該制御部は、該把持部を該カセットステージに近づける方向に移動させ、該把持部がワークを押して該カセットに収納させ、該ガイドレールにワークが無い初期状態にする、加工装置。
2. 該引き出し機構は、該把持部が該カセットから最も遠ざかった位置を検知する原点センサを備え、
   電源が投入されたら、
   該制御部は、該把持部を開いた後、該把持部を該カセットから遠ざかる方向に移動させ該原点センサを検知させた後、該把持部を該カセットステージに近づける方向に移動させ、該把持部がワークを押して該カセットに収納させ、該ガイドレールにワークが無い初期状態にする、請求項１記載の加工装置。
3. 該ガイドレールと該カセットとの間にワークの有無を検知するワーク検知センサを備え、
   該制御部は、該ワーク検知センサがワークを検知したときは、作業者にワークが有ることを通知して、該ワーク検知センサがワークを検知しないときは、該把持部を該カセットステージに接近する方向に移動させ、該ワーク検知センサがワークを検知したら、該把持部の移動を停止させ、作業者にワークが有ることを通知して、該把持部が該カセットステージに最も近づいても該ワーク検知センサがワークを検知しなかったら、該ガイドレールにはワークが無い初期状態であると判断する、請求項１記載の加工装置。
4. 該ガイドレールと該カセットとの間にワークの有無を検知するワーク検知センサを備え、
   該制御部は、該ワーク検知センサがワークを検知したときは、作業者にワークが有ることを通知して、該ワーク検知センサがワークを検知しないときは、該カセットステージを昇降させ該カセットの段と該ガイドレールとを同一高さにした後、該把持部を該カセットステージに接近する方向に移動させる、請求項１記載の加工装置。

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