JP2024065685A - 有機デバイスおよび有機デバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 外部接続電極の腐食が低減された有機デバイスを提供する。【解決手段】 基板の第１主面上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、を有し、前記外部接続電極上に、第１の封止膜と、前記第１の封止膜と材質が異なる第２の封止膜と、を有する有機デバイスであって、前記第２の封止膜は、前記第１の封止膜上に配されており、前記周辺領域において、前記有機デバイスは、前記第１の封止膜に、前記外部接続電極を露出させる開口部と、前記開口部と前記画素領域の間に、前記第２の封止膜が配された第１の溝と、が設けられていることを特徴とする有機デバイス。【選択図】 図１

Description

本発明は、有機デバイスとその製造方法に関する。

有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、「有機ＥＬ素子」、「有機発光素子」、または「有機デバイス」とも呼ぶ）は、陽極と陰極とこれらの電極間に配置されている発光層とを含む有機化合物層に通電することにより発光する素子である。

有機デバイスの最近の進歩は著しく、有機デバイスは、更なる高性能化（高精細化、高輝度化、高色純度化）とともに、高い信頼性が求められている。

特許文献１には、上部電極上に、第１の封止層と第２の封止層とが積層した有機デバイスが記載されている。

特開２０１８－７３７６０号公報

特許文献１に記載の有機デバイスは、第１の封止膜を成膜後、１回目のエッチングを行う。その後、第２の封止膜を成膜し、２回目のエッチングを行うが、このとき、１回目のエッチングを行った箇所と重複する箇所をエッチングする。その結果、特許文献１に記載の有機デバイスは、外部接続電極表面にエッチングのダメージが生じやすく、外部接続電極の腐食が発生する場合があった。

本発明は、上記課題を鑑みてなされるものであり、その目的は、外部接続電極の腐食が低減された有機デバイスを提供することである。

本発明に係る有機デバイスは、基板の第１主面上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、を有し、前記外部接続電極上に、第１の封止膜と、前記第１の封止膜と材質が異なる第２の封止膜と、を有する有機デバイスであって、前記第２の封止膜は、前記第１の封止膜上に配されており、前記周辺領域において、前記有機デバイスは、前記第１の封止膜に、前記外部接続電極を露出させる開口部と、前記開口部と前記画素領域との間に、前記第２の封止膜が配された第１の溝と、が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、外部接続電極の腐食が低減された有機デバイスを提供することができる。

（ａ）本発明の第１実施形態における有機デバイスの平面図である。（ｂ）本発明の図１（ａ）のＡ－Ａ’における断面図である。（ｃ）本発明の図１（ｂ）の拡大図である。 （ａ）～（ｄ）本発明の第１実施形態の有機デバイスの製造方法を説明する図である。 （ａ）本発明の第２実施形態における有機デバイスの平面図である。（ｂ）本発明の図３（ａ）のＢ－Ｂ’における断面図である。 本発明の第３実施形態の有機デバイスの断面図である。 （ａ）、（ｂ）本発明の第４実施形態の有機デバイスの平面図である。 （ａ）特許文献１に記載の有機デバイスの平面図である。（ｂ）図６（ａ）のＣ－Ｃ’における断面図である。 本発明の一実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。 （ａ）本発明の一実施形態に係る撮像装置の一例を表す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。 （ａ）本発明の一実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。（ｂ）折り曲げ可能な表示装置の一例を表す模式図である。 （ａ）本発明の一実施形態に係る照明装置の一例を示す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係る車両用灯具を有する自動車の一例を示す模式図である。 （ａ）本発明の一実施形態に係るウェアラブルデバイスの一例を示す模式図である。（ｂ）本発明の一実施形態に係るウェアラブルデバイスの一例で、撮像装置を有する形態を示す模式図である。

以下、添付図面を参照して本発明に係る実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一もしくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

また、本願明細書では、外部接続電極の腐食を低減できることを、「信頼性に優れる」と表現することがある。

［第１実施形態］
図１（ａ）乃至（ｃ）を参照しながら、第１実施形態の有機デバイス１００について説明する。図１（ａ）は、第１実施形態の有機デバイス１００の平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ’における断面図であり、図１（ｃ）は、第１の溝５２の拡大図である。有機デバイス１００は、第１主面を有する基板１０と、当該第１主面上に、複数の画素が配置された画素領域と、画素領域の外側に配置されており、画素が配されていない周辺領域と、周辺領域に配置された外部接続電極４０と、外部接続電極４０上に配される第１の封止膜２０と第２の封止膜３０と、を有する。有機デバイス１００が有する周辺領域は、画素が配されていない形態を含む。

周辺領域において、有機デバイス１００は、外部接続電極４０を露出させる開口部５１と、開口部５１と画素領域との間に、第２の封止膜３０が配された第１の溝５２と、を有する。開口部５１は、パッド開口とも呼ばれる。また、第１の溝５２は、外部接続電極４０または周辺領域に配された基板１０を露出させるように形成されていることが好ましく、外部接続電極４０を露出させるように形成されていることが更に好ましい。外部接続電極４０を露出させるように第１の溝５２を形成することで、水分の浸入をより低減できるためである。

本発明に係る有機デバイスは、前記第１主面に対する平面視において、第１主面に平行な方向に、開口部５１、第１の封止膜２０、第２の封止膜３０、第１の封止膜２０がこの順に設けられているともいえる。

基板１０は、シリコン基板等の半導体基板、ガラス基板、樹脂基板であってよく、基板１０には、基板１０上の層間絶縁層や平坦化層を含む。当該層間絶縁層や平坦化層には、トランジスタが配されてよい。基板１０が封止膜からなるとき、基板１０は酸化ケイ素（ＳｉＯ）や窒化ケイ素（ＳｉＮ）から形成されることが好ましく、ＳｉＯから形成されることが更に好ましい。なぜなら、ＳｉＮに比べて、ＳｉＯは加工しやすいためである。

第１の封止膜２０および第２の封止膜３０は、互いに材質が異なり、かつ、有機デバイス１００への水分の浸入を低減できるものであれば限定されないが、第２の封止膜３０の水分透過率が、第１の封止膜２０の水分透過率より低いことが好ましい。具体的には、第１の封止膜２０はＳｉＯを含有した膜であり、第２の封止膜３０はＳｉＮを含有した膜であることが好ましい。上記の構成を有することで、有機デバイス１００への水分の浸入をより低減することができるため、有機デバイス１００は信頼性により優れる。

第１の溝５２には、第２の封止膜３０が配されており、有機デバイス１００への水分の浸入を低減する。このとき、第１の溝５２において、第２の封止膜３０が基板１０または外部接続電極４０と接するように配されることが好ましく、第２の封止膜３０が外部接続電極４０と接するように配されることが更に好ましく、第１の溝５２を満たすように第２の封止膜３０が配されることが特に好ましい。上記の構成を有することで、有機デバイス１００への水分の浸入をより低減することができる。

第１の封止膜２０および第２の封止膜３０を成膜する方法は特に限定されないが、化学気相堆積法（ＣＶＤ：Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって成膜されることが好ましく、特に、プラズマＣＶＤ法によって製膜されることが更に好ましい。

外部接続電極４０は、具体的には、パッド電極等であり、バリアメタル４１と、Ａｌ合金４２と、反射防止膜４３と、から構成される。バリアメタル４１と反射防止膜４３は、チタンナイトライド（ＴｉＮ）から構成されてよい。Ａｌ合金４２は、ＡｌにＣｕを含んだものであってよい。具体的に、Ａｌ合金４２は、Ａｌに０．２～１重量％のＣｕを含んだものであってよい。外部接続電極４０は、異方性導電膜（ＡＣＦ）等を用いてフレキシブルケーブルに接続される。外部接続電極４０は、配線電極が外部接続電極表面に露出していてもよい。

以下、図２（ａ）乃至（ｄ）を参照しながら、第１実施形態の有機デバイス１００の製造方法について説明する。まず、図２（ａ）に例示されるように、基板１０上に外部接続電極４０と第１の封止膜２０を配した有機デバイス１００を準備する。このとき、第１の封止膜２０は、プラズマＣＶＤ法によって成膜されていてよい。また、第１の封止膜２０の表面は、ＣＭＰ処理によって平坦化処理されていてもよい。

次に、図２（ｂ）に例示されるように、エッチングによって、第１の封止膜２０に第１の溝５２を形成する。第１の溝５２は、周辺領域に配される基板１０または外部接続電極４０が露出するように形成される。第１の溝５２が、基板１０を露出させるように形成されるとき、基板１０はＳｉＮからなることが好ましい。第１の封止膜のエッチングは、例えば、フッ素系ガスを用いたプラズマエッチング（ＲＩＥ）である。具体的に、フッ素系ガスは、Ｃ_４Ｆ_８またはＣＦ_４であってよい。外部接続電極４０が露出するように第１の溝５２を形成するとき、反射防止膜４３も同時にエッチングしてよい。図１（ａ）に示したように、上記の手法によって形成された第１の溝５２は、後述する開口部５１と周辺領域に配された基板との間に配される。換言すると、図１（ｂ）に示したように、第１の溝５２は、開口部５１よりも外部接続電極４０の外縁側に形成される。

次に、図２（ｃ）に例示されるように、第２の封止膜３０を第１の封止膜２０上に形成する。第２の封止膜３０は、例えば、プラズマＣＶＤ法によって成膜される。第１の封止膜２０と第２の封止膜３０との間に、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）膜を含んでいてもよい。当該アルミナ膜は、例えば、原子層堆積法（ＡＬＤ：Ａｔｏｍｉｃ Ｌａｙｅｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって形成される。第１の溝５２に、第２の封止膜３０が配されることで、有機デバイス１００への水分の浸入を低減することができる。

最後に、図２（ｄ）に例示されるように、第１の封止膜２０および第２の封止膜３０をエッチングすることで、開口部５１を形成する。開口部５１は、外部接続電極４０を露出させるように形成される。第１の封止膜２０および第２の封止膜３０のエッチングは、例えば、フッ素系ガスを用いたプラズマエッチング（ＲＩＥ）である。具体的に、フッ素系ガスは、Ｃ_４Ｆ_８またはＣＦ_４であってよい。このとき、反射防止膜４３も同時にエッチングしてよい。

上述した製造方法によって、図１（ｂ）に記載の構造を有する有機デバイスを得ることができる。本発明に係る有機デバイスは、水分の浸入を低減しながら、エッチングによる外部接続電極へのダメージも低減することができるため、信頼性に優れた有機デバイスとなる。

以下、図２（ｄ）と、図６（ａ）および（ｂ）を参照しながら、本発明と比較例の比較を行う。図６（ａ）は、特許文献１に記載の有機デバイスの平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＣ－Ｃ’における断面図である。特許文献１に記載の有機デバイスでは、第１の封止膜２０を成膜後、エッチングによって外部接続電極４０上に開口部５１を形成する。その後、第２の封止膜３０を成膜後、再度、エッチングによって外部接続電極４０上に開口部５１を形成する。換言すると、図６（ｂ）に記載のＥ領域において、外部接続電極４０は、複数回のエッチングにさらされる。その結果、外部接続電極４０は腐食が発生しやすくなる。

それに対して、本発明に係る有機デバイスは、外部接続電極４０の表面のうち、異なる箇所をエッチング処理する。換言すると、開口部５１と第１の溝５２が、同じ場所に重複して形成されない。そのため、本発明に係る有機デバイスは、水分に対する封止性能を維持したまま、エッチングによる外部接続電極４０の表面へのダメージを低減することができる。その結果、外部接続電極４０は腐食が発生しにくく、信頼性に優れた有機デバイスを得ることができる。

［第２実施形態］
図３（ａ）および（ｂ）を参照しながら、第２実施形態の有機デバイス１００について説明する。

図３（ａ）は、第２実施形態の有機デバイス１００の平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ－Ｂ’における断面図である。第２実施形態では、開口部５１と画素領域との間に、第２の封止膜３０が配された第２の溝５３を更に有する。換言すると、図３（ｂ）に示したように、第２の溝５３は、開口部５１よりも外部接続電極４０の外縁側に形成される。第２の溝５３は、基板１０または外部接続電極４０を露出させるように形成される。第２の溝５３が、基板１０を露出させるように形成されるとき、基板１０はＳｉＮで形成されることが好ましい。図３（ｂ）に示すように、第２の封止膜３０が第２の溝５３に配されることで、有機デバイス１００への水分の浸入を更に低減することができる。このとき、第２の溝５３において、第２の封止膜３０が基板１０または外部接続電極４０と接するように配されることが好ましく、第２の溝５３を満たすように、第２の封止膜３０が配されることが更に好ましい。上記の構成を有することで、有機デバイス１００への水分の浸入をより低減することができるため、本発明に係る有機デバイスは、より信頼性に優れる。

本実施形態に係る有機デバイスは、前記第１主面に対する平面視において、第１主面に平行な方向に、開口部５１、第１の封止膜２０、第２の封止膜３０、第１の封止膜２０、第２の封止膜３０、第１の封止膜２０がこの順に設けられているともいえる。

図３（ａ）および（ｂ）に例示した構造を有する有機デバイスは、第１実施形態の有機デバイスの製造方法において、第１の溝５２を形成するときに、第２の溝５３を形成することで製造することができる。

［第３実施形態］
図４を参照しながら、第３実施形態の有機デバイス１００について説明する。第３実施形態は、第１実施形態の変形例であり、第１の溝５２が基板１０上に配された有機デバイスである。上記の構成を有することで、開口部５１に面している第１の封止膜２０から画素領域へ水分が侵入した場合であっても、水分は、第１の封止膜２０、基板１０、第１の封止膜２０を順に介して浸入する必要がある。そのため、第３実施形態の構造であっても、有機デバイス１００への水分の浸入をより低減することができる。

特に、上記の構造を有する場合、基板１０は、ＳｉＮからなることが好ましい。ＳｉＯと比較し、ＳｉＮは水分透過率が低いため、開口部５１に面している第１の封止膜２０から水分が浸入した場合であっても、画素領域への水分の浸入をより低減することができる。

［第４実施形態］
図５（ａ）および（ｂ）を参照しながら、第４実施形態の有機デバイス１００について説明する。

図５（ａ）および（ｂ）は、第３実施形態の有機デバイス１００の平面図である。第４実施形態の有機デバイス１００の断面図は、図１（ｂ）と同様であるため、省略する。開口部５１および第１の溝５２は、目的に応じて、矩形、円形、または楕円形であってよい。

［応用例］
図７は、本実施形態に係る表示装置の一例を示す模式図である。表示装置１０００は、上部カバー１００１と下部カバー１００９との間に、タッチパネル１００３、表示パネル１００５、フレーム１００６、回路基板１００７、バッテリー１００８を有してよい。タッチパネル１００３および表示パネル１００５には、それぞれフレキシブルプリント回路ＦＰＣ１００２、１００４が接続されている。表示パネル１００５は、本発明に係る有機デバイスを有していてよい。回路基板１００７には、トランジスタがプリントされている。バッテリー１００８は、表示装置が携帯機器でなければ、設けなくてもよいし、携帯機器であっても、別の位置に設けてもよい。

本実施形態に係る表示装置は、赤色、緑色、青色を有するカラーフィルタを有してよい。カラーフィルタは、当該赤色、緑色、青色がデルタ配列で配置されてよい。

本実施形態に係る表示装置は、光を受光する撮像素子を有する撮像装置の表示部に用いられてよい。当該撮像装置は、レンズを有する光学部を更に有していてもよく、撮像素子が当該光学部を通過した光を受光してもよい。光学部が有するレンズは、単数であってもよく、複数であってもよい。撮像装置は、撮像素子が取得した情報を表示する表示部を有してよい。また、表示部は、撮像装置の外部に露出した表示部であっても、ファインダ内に配置された表示部であってもよい。撮像装置は、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラであってよい。

図８（ａ）は、本実施形態に係る撮像装置の一例を示す模式図である。撮像装置１１００は、ビューファインダ１１０１、背面ディスプレイ１１０２、操作部１１０３、筐体１１０４を有してよい。ビューファインダ１１０１および背面ディスプレイ１１０２は、本発明に係る有機デバイスを有してよい。その場合、表示装置は、撮像する画像のみならず、環境情報、撮像指示等を表示してよい。環境情報には、外光の強度、外光の向き、被写体の動く速度、被写体が遮蔽物に遮蔽される可能性等であってよい。

撮像装置１１００は、不図示の光学部を有する。光学部が複数のレンズを有するとき、当該光学部を通過した光は、筐体１１０４内に収容されている撮像素子に結像する。複数のレンズは、その相対位置を調整することで、焦点を調整することができる。この操作は手動で行ってもよく、自動で行ってもよい。撮像装置は光電変換装置と呼ばれてもよい。光電変換装置は逐次撮像するのではなく、前画像からの差分を検出する方法、常に記録されている画像から切り出す方法等を撮像の方法として含むことができる。

図８（ｂ）は、本実施形態に係る電子機器の一例を表す模式図である。電子機器１２００は、表示部１２０１と、操作部１２０２と、筐体１２０３とを有する。筐体１２０３は、回路、当該回路を有するプリント基板、バッテリー、通信部を有してよい。操作部１２０２はボタンであってもよく、タッチパネル方式の反応部であってもよい。操作部１２０２は、指紋を認識してロックの解除等を行う、生体認識部であってもよい。通信部を有する電子機器は、通信機器ということもできる。電子機器は、レンズと、撮像素子とを備えることで、カメラ機能をさらに有してよい。カメラ機能により撮像された画素が表示部１２０１に表示される。電子機器としては、スマートフォン、ノートパソコン等があげられる。

図９は、本実施形態に係る表示装置の一例を表す模式図である。図９（ａ）は、テレビモニタやＰＣモニタ等の表示装置である。表示装置１３００は、筐体１３０１と、表示部１３０２とを有する。表示部１３０２には、本発明に係る有機デバイスが用いられてよい。表示装置１３００は、筐体１３０１と表示部１３０２とを支える土台１３０３をさらに有してもよい。土台１３０３は、図９（ａ）の形態に限定されない。筐体１３０１の下辺が土台を兼ねてもよい。また、筐体１３０１および表示部１３０２は、曲がっていてもよい。その曲率半径は、５０００ｍｍ以上６０００ｍｍ以下であってよい。

図９（ｂ）は、本実施形態に係る表示装置の他の例を表す模式図である。図９（ｂ）の表示装置１３１０は、折り曲げ可能に構成されており、いわゆるフォルダブルな表示装置である。表示装置１３１０は、第一表示部１３１１、第二表示部１３１２、筐体１３１３、屈曲点１３１４を有する。第一表示部１３１１と第二表示部は、本発明に係る有機デバイスを有してよい。第一表示部１３１１と第二表示部１３１２とは、つなぎ目のない１枚の表示装置であってよい。第一表示部１３１１と第二表示部１３１２とは、屈曲点で分けることができる。第一表示部１３１１、第二表示部１３１２は、それぞれ異なる画像を表示してもよいし、第一表示部１３１１および第二表示部１３１２とで１つの画像を表示してもよい。

図１０（ａ）は、本実施形態に係る照明装置の一例を表す模式図である。照明装置１４００は、筐体１４０１と、光源１４０２と、回路基板１４０３とを有してよい。光源１４０２は、本発明に係る有機デバイスを有していてよい。照明装置１４００は、光源の演色性を向上させるために、光学フィルム１４０４を有してよい。また、照明装置１４００は、光源の光を効果的に拡散するために、光拡散部１４０５を有してよい。照明装置１４００が光拡散部１４０５を有することで、広い範囲に光を届けることができる。光学フィルム１４０４および光拡散部１４０５は、照明の光出射側に設けられてよい。必要に応じて、最外部にカバーを設けてもよい。

照明装置は、例えば、室内を照明する装置である。照明装置は白色、昼白色、その他青から赤のいずれの色を発光するものであってよい。それらを調光する調光回路を有してよい。照明装置は、電源回路を有してよい。電源回路は、交流電圧から直流電圧に変換する回路であってよい。また、白とは、色温度が４２００Ｋで、昼白色とは、色温度が５０００Ｋである。照明装置はカラーフィルタを有してもよい。

また、本実施形態に係る照明装置は、放熱部を有していてもよい。放熱部は装置内の熱を装置外へ放出するものであり、熱伝導率の大きな金属、セラミックからなる。

図１０（ｂ）は、本実施形態に係る移動体の一例である自動車の模式図である。当該自動車は灯具の一例であるテールランプを有する。自動車１５００は、テールランプ１５０１を有し、ブレーキ操作等を行った際に、テールランプが点灯する携帯であってよい。自動車１５００は、車体１５０３、それに取り付けられている窓１５０２を有してよい。

テールランプ１５０１は、本発明に係る有機デバイスを有してよい。テールランプは、光源を保護する保護部材を有してよい。保護部材はある程度高い強度を有し、透明であれば材料は問わないが、ポリカーボネート等で構成されることが好ましい。ポリカーボネートにフランジカルボン酸誘導体、アクリロニトリル誘導体等を混ぜてよい。

本実施形態に係る移動体は、自動車、船舶、航空機、ドローン等であってよい。移動体は、機体と当該機体に設けられた灯具を有してよい。灯具は、機体の位置を知られるために発光していてもよい。

電子機器あるいは表示装置は、例えば、スマートグラス、ヘッドマウントディスプレイ、スマートコンタクトのようなウェアラブルデバイスとして装着可能なシステムに適用できる。電子機器は、可視光を光電変換可能な撮像装置と、可視光を発光可能な表示装置とを有してもよい。

図１１は、本実施形態に係る眼鏡（スマートグラス）の一例を表す模式図である。図１１（ａ）を用いて、眼鏡１６００（スマートグラス）を説明する。眼鏡１６００は、レンズ１６０１の裏面側に、表示部を有する。当該表示部は、本発明に係る有機デバイスを有していてもよい。更に、レンズ１６０１の表面側に、ＣＭＯＳセンサやＳＰＡＤのような撮像装置１６０２が設けられていてもよい。

眼鏡１６００は、制御装置１６０３をさらに備える。制御装置１６０３は、撮像装置１６０２と表示部に電力を供給する電源として機能する。また、制御装置１６０３は、撮像装置１６０２と表示部の動作を制御する。レンズ１６０１には、撮像装置１６０２や表示部に光を集光するための光学系が形成されている。

図１１（ｂ）を用いて、眼鏡１６１０（スマートグラス）を説明する。眼鏡１６１０は、制御装置１６１２を有しており、制御装置１６１２に、本発明に係る有機デバイスを有する表示装置が設けられている。制御装置１６１２は、撮像装置１６０２に相当する撮像装置をさらに有していてもよい。レンズ１６１１には、制御装置１６１２からの発光を投影するための光学系が形成されており、レンズ１６１１には画像が投影される。制御装置１６１２は、撮像装置および表示装置に電力を供給する電源として機能するとともに、撮像装置および表示装置の動作を制御する。制御装置は、装着車の視線を検知する視線検知部を有してもよい。視線の検知は、赤外線を用いてよい。赤外線発光部は、表示画像を注視しているユーザーの眼球に対して赤外線を発光する。発せられた赤外光のうち、眼球からの反射光を、受光素子を有する撮像部が検出することで眼球の撮像画像が得られる。平面視における赤外発光部から表示部への光を低減する低減手段を有することで、画像品位の低下を低減する。

赤外光の撮像により得られた眼球の撮像画像から、制御装置１６１２は表示画像に対するユーザーの視線を検出する。眼球の撮像画像を用いた視線検出には、任意の公知の手法が適用できる。一例として、角膜での照射光の反射によるプルキニエ像に基づき視線検出方法を用いることができる。

より具体的には、瞳孔角膜反射法に基づく視線検出処理が行われる。瞳孔角膜反射法を用いて、眼球の撮像画像に含まれる瞳孔の像とプルキニエ像とに基づいて、眼球の向き（回転角度）を表す視線ベクトルが産出されることにより、ユーザーの視線が検出される。

本発明の一実施形態に係る表示装置は、受光素子を有する撮像装置を有し、撮像装置からのユーザーの視線情報に基づいて表示装置の表示画像を制御してよい。

具体的には、表示装置は視線情報に基づいて、ユーザーが注視する第一の視界領域と、第一の視界領域以外の第二の視界領域とを決定する。第一の視界領域、第二の視界領域は、表示装置の制御装置が決定してもよいし、外部の制御装置が決定したものを受信してもよい。表示装置の表示領域において、第一の視界領域の表示解像度を、第二の視界領域の表示解像度よりも高く制御してよい。つまり、第二の視界領域の解像度を第一の視界領域よりも低くしてよい。

なお、第一の表示領域や優先度が高い表示領域の決定には、ＡＩを用いてもよい。ＡＩは、眼球の画像と当該画像の眼球が実際に視ていた方向とを教師データとして、眼球の画像から視線の角度、視線の先の目的物までの距離を推定するよう構成されたモデルであってよい。ＡＩは、表示装置が有してもよいし、撮像装置が有してもよいし、外部装置有してもよい。外部装置がＡＩを有する場合は、外部を撮像する撮像装置を更に有するスマートグラスに好ましく適用できる。スマートグラスは、撮像した外部情報をリアルタイムで表示することができる。

以上より、本発明に係る有機デバイスは、水分に対する封止性能を維持しながら、エッチングによる外部接続電極へのダメージを低減することができるため、外部接続電極の腐食が低減された有機デバイスを提供することができる。また、本発明は上述の実施形態に限定されないことはいまでもなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、上述した実施形態は適宜変更、組み合わせが可能である。

また、本発明は、以下の構成を取ることもできる。

（構成１）
基板の第１主面上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、を有し、
前記外部接続電極上に、第１の封止膜と、前記第１の封止膜と材質が異なる第２の封止膜と、を有する有機デバイスであって、
前記第２の封止膜は、前記第１の封止膜上に配されており、
前記周辺領域において、前記有機デバイスは、前記第１の封止膜に、前記外部接続電極を露出させる開口部と、前記開口部と前記画素領域の間に、前記第２の封止膜が配された第１の溝と、が設けられていることを特徴とする有機デバイス。

（構成２）
前記有機デバイスにおいて、前記周辺領域には画素が配されていないことを特徴とする構成１に記載の有機デバイス。

（構成３）
前記第１の溝において、前記第２の封止膜が前記外部接続電極と接することを特徴とする構成１または２に記載の有機デバイス。

（構成４）
前記第２の封止膜が、前記第１の溝を満たすように配されることを特徴とする構成１乃至３のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成５）
前記第２の封止膜の水分透過率が、前記第１の封止膜の水分透過率より小さいことを特徴とする構成１乃至４のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成６）
前記第１の封止膜が、酸化ケイ素を含有することを特徴とする構成１乃至５のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成７）
前記第２の封止膜が、窒化ケイ素を含有することを特徴とする構成１乃至６のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成８）
前記第１主面に対する平面視において、前記第１主面に平行な方向に、前記開口部、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜がこの順に設けられていることを特徴とする構成１乃至７のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成９）
前記有機デバイスが、前記開口部の周囲に配された第２の溝を更に有し、
前記第２の封止膜が、前記第２の溝に配されていることを特徴とする構成１乃至８のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成１０）
前記第２の溝において、前記第２の封止膜が前記外部接続電極と接することを特徴とする構成９に記載の有機デバイス。

（構成１１）
前記第２の封止膜が、前記第２の溝を満たすように配されることを特徴とする構成９または１０に記載の有機デバイス。

（構成１２）
前記第１主面に対する平面視において、前記第１主面に平行な方向に、前記開口部、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜がこの順に設けられていることを特徴とする構成９乃至１１のいずれか一項に記載の有機デバイス。

（構成１３）
光を受光する撮像素子と、前記撮像素子が撮像した画像を表示する表示部と、を有し、
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスが前記表示部であることを特徴とする光電変換装置。

（構成１４）
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部が設けられた筐体と、を有することを特徴とする表示装置。

（構成１５）
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部が設けられた筐体と、前記筐体に設けられ、外部と通信する通信部を有することを特徴とする電子機器。

（構成１６）
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する光源と、前記光源が設けられた筐体と、を有することを特徴とする照明装置。

（構成１７）
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する灯具と、前記灯具が設けられた機体と、を有することを特徴とする移動体。

（構成１８）
構成１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部に光を集光する光学系と、前記表示部の動作を制御する制御装置と、を有することを特徴とするウェアラブルデバイス。

（構成１９）
基板上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、前記外部接続電極上に第１の封止膜と、を有する有機デバイスを用意する工程と、
前記第１の封止膜に、前記外部接続電極または前記周辺領域に配された前記基板を露出させる第１の溝を形成する工程と、
前記第１の溝を形成する工程のあとに、前記第１の封止膜上に第２の封止膜を配する工程と、
前記第２の封止膜を配する工程のあとに、前記外部接続電極を露出させる開口部を形成することを特徴とする有機デバイスの製造方法。

１０ 基板
２０ 第１の封止膜
３０ 第２の封止膜
４０ 外部接続電極
５１ 第１の溝
５２ 第２の溝

Claims (19)

1. 基板の第１主面上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、を有し、
   前記外部接続電極上に、第１の封止膜と、前記第１の封止膜と材質が異なる第２の封止膜と、を有する有機デバイスであって、
   前記第２の封止膜は、前記第１の封止膜上に配されており、
   前記周辺領域において、前記有機デバイスは、前記第１の封止膜に、前記外部接続電極を露出させる開口部と、前記開口部と前記画素領域の間に、前記第２の封止膜が配された第１の溝と、が設けられていることを特徴とする有機デバイス。
2. 前記有機デバイスにおいて、前記周辺領域には画素が配されていないことを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
3. 前記第１の溝において、前記第２の封止膜が前記外部接続電極と接することを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
4. 前記第２の封止膜が、前記第１の溝を満たすように配されることを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
5. 前記第２の封止膜の水分透過率が、前記第１の封止膜の水分透過率より小さいことを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
6. 前記第１の封止膜が、酸化ケイ素を含有することを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
7. 前記第２の封止膜が、窒化ケイ素を含有することを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
8. 前記第１主面に対する平面視において、前記第１主面に平行な方向に、前記開口部、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜がこの順に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
9. 前記有機デバイスが、前記開口部の周囲に配された第２の溝を更に有し、
   前記第２の封止膜が、前記第２の溝に配されていることを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
10. 前記第２の溝において、前記第２の封止膜が前記外部接続電極と接することを特徴とする請求項９に記載の有機デバイス。
11. 前記第２の封止膜が、前記第２の溝を満たすように配されることを特徴とする請求項９に記載の有機デバイス。
12. 前記第１主面に対する平面視において、前記第１主面に平行な方向に、前記開口部、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜、前記第２の封止膜、前記第１の封止膜がこの順に設けられていることを特徴とする請求項９に記載の有機デバイス。
13. 光を受光する撮像素子と、前記撮像素子が撮像した画像を表示する表示部と、を有し、
    請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスが前記表示部であることを特徴とする光電変換装置。
14. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部が設けられた筐体と、を有することを特徴とする表示装置。
15. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部が設けられた筐体と、前記筐体に設けられ、外部と通信する通信部を有することを特徴とする電子機器。
16. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する光源と、前記光源が設けられた筐体と、を有することを特徴とする照明装置。
17. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する灯具と、前記灯具が設けられた機体と、を有することを特徴とする移動体。
18. 請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の有機デバイスを有する表示部と、前記表示部に光を集光する光学系と、前記表示部の動作を制御する制御装置と、を有することを特徴とするウェアラブルデバイス。
19. 基板上に、複数の画素が配置された画素領域と、前記画素領域の外側に配置された周辺領域と、前記周辺領域に配置された外部接続電極と、前記外部接続電極上に第１の封止膜と、を有する有機デバイスを用意する工程と、
    前記第１の封止膜に、前記外部接続電極または前記周辺領域に配された前記基板を露出させる第１の溝を形成する工程と、
    前記第１の溝を形成する工程のあとに、前記第１の封止膜上に第２の封止膜を配する工程と、
    前記第２の封止膜を配する工程のあとに、前記外部接続電極を露出させる開口部を形成することを特徴とする有機デバイスの製造方法。

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