KR20240081344A - 유기 디바이스, 그것을 포함하는 표시장치, 광전 변환장치, 전자기기, 조명장치, 이동체, 및 웨어러블 디바이스 - Google Patents

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KR20240081344A
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아키노리 마카이노
타카시 우수이
토시히로 쇼야마
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캐논 가부시끼가이샤
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Abstract

유기 디바이스는, 기판의 제1주면 위에 반사층, 제1전극, 유기층, 및 제2전극을 이 순서로 갖는다. 상기 제1전극은, 제1 내지 제4영역을 갖는다. 제1영역은 상기 유기층에 접한다. 제2영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사진다. 제3영역은 상기 기판에 대해 상기 제2영역의 경사보다도 작은 경사를 갖는다. 제4영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 기판에 대해 상기 제3영역의 경사보다도 큰 경사를 갖는다. 상기 제1영역과 상기 제2영역이 서로 접한다. 상기 제2영역과 상기 제3영역이 서로 접한다. 상기 제3영역과 상기 제4영역이 서로 접한다.

Description

유기 디바이스, 그것을 포함하는 표시장치, 광전 변환장치, 전자기기, 조명장치, 이동체, 및 웨어러블 디바이스{ORGANIC DEVICE, DISPLAY APPARATUS INCLUDING THE SAME, PHOTOELECTRIC CONVERSION APPARATUS, ELECTRONIC APPARATUS, ILLUMINATION APPARATUS, MOVING OBJECT, AND WEARABLE DEVICE}
본 발명은, 유기 디바이스, 유기 디바이스를 포함하는 표시장치, 광전 변환장치, 전자기기, 조명장치, 이동체, 및 웨어러블 디바이스에 관한 것이다.
최근, 유기 일렉트로루미네센스 소자(이하, "유기 EL 소자", "유기 발광 소자", 또는 "유기 디바이스"로도 부른다)에 광 공진기 구조가 사용되어 왔다. 광 공진기 구조를 갖는 유기 디바이스는 양극인 투명 전극을 갖는다. 유기 디바이스로부터 발생한 빛이 투명 전극을 투과하고, 투과한 빛이 반사층에서 반사된다. 유기 디바이스로부터 발생한 빛과 반사광이 간섭에 의해 강화함으로써, 유기 디바이스의 발광 효율이 향상된다. 일본국 특개 2021-72282호 공보(PTL1)에는, 광 공진기 구조를 갖는 유기 디바이스가 기재되어 있다.
PTL 1에 기재된 유기 디바이스는, 경사부에 얇은 전극을 갖는 경향이 있어, 전극이 파괴되는 경우가 있다.
본 발명은, 전극의 파괴가 쉽게 일어나지 않는 유기 디바이스를 제공한다.
본 발명의 일면에 따른 유기 디바이스는, 기판의 제1주면 위에 반사층, 제1전극, 유기층, 및 제2전극을 이 순서로 갖는다. 상기 제1전극은, 제1영역, 제2영역, 제3영역과 제4영역을 갖는다. 제1영역은 상기 유기층에 접한다. 제2영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사진다. 제3영역은 상기 기판에 대해 상기 제2영역의 경사보다도 작은 경사를 갖는다. 제4영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 기판에 대해 상기 제3영역의 경사보다도 큰 경사를 갖는다. 상기 제1영역과 상기 제2영역이 서로 접한다. 상기 제2영역과 상기 제3영역이 서로 접한다. 상기 제3영역과 상기 제4영역이 서로 접한다.
본 발명의 또 다른 특징은 첨부도면을 참조하는 이하의 실시형태의 설명으로부터 명백해질 것이다.
도1a는, 본 발명의 제1실시형태에 따른 유기 디바이스의 단면도다.
도1b는 제1실시형태의 변형예를 나타낸 것이다.
도2는, 본 발명의 제1실시형태에 따른 유기 디바이스의 평면도다.
도3a 및 도3b는, 본 발명의 제1실시형태에 따른 유기 디바이스의 단면도다. 도3c는, 관련기술의 구조에 따른 형상을 나타낸 것이다.
도4a 내지 도4k는, 본 발명의 제1실시형태에 따른 유기 디바이스의 제조방법을 나타낸 것이다.
도4c' 내지 도4j'는 관련기술에 따른 방법을 나타낸 것이다.
도5a 및 도5b는, 본 발명의 제2실시형태에 따른 유기 디바이스의 제조방법을 나타낸 것이다.
도6a 내지 도6d는, 본 발명의 제3실시형태에 따른 유기 디바이스의 제조방법을 나타낸 것이다.
도7은, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 나타내는 모식도다.
도8a는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 촬상장치의 일례를 나타내는 모식도다.
도8b는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 전자기기의 일례를 나타내는 모식도다.
도9a는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 나타내는 모식도다.
도9b는, 절곡가능한 표시장치의 일례를 나타내는 모식도다.
도10a는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 조명장치의 일례를 나타낸 모식도다.
도10b는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 차량용 조명기구를 갖는 자동차의 일례를 나타낸 모식도다.
도11a는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 웨어러블 디바이스의 일례를 나타낸 모식도다.
도11b는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 웨어러블 디바이스의 일례를 나타낸 모식도다.
이하, 첨부도면을 참조해서 본 발명에 따른 실시형태를 상세히 설명한다. 이때, 이하의 실시형태는 청구범위에 관한 발명을 한정하는 것은 아니다. 실시형태에는 복수의 특징이 기재되어 있지만, 이들 복수의 특징의 모두가 발명에 필수적인 것은 아니고, 또한, 복수의 특징은 임의로 조합되어도 된다. 더구나, 첨부도면에 있어서는, 동일 혹은 유사한 구성에 동일한 참조번호를 붙이고, 중복한 설명은 생략한다.
제1실시형태
도1a 내지 도3c를 참조하면서, 제1실시형태에 따른 유기 디바이스(1)에 대해 설명한다. 도1a는, 제1실시형태에 따른 유기 디바이스(1)의 단면도이다. 도1b는, 제1실시형태의 변형예를 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 유기 디바이스(1)는, 기판(100)의 제1주면 위에 반사층(110), 제1전극(130), 유기층(150), 및 제2전극(140)을 이 순서로 갖는다. 본 실시형태에 따른 유기 디바이스는, 기판(100)의 제1주면 위에, 구동회로층(101)과, 층간절연층(102)을 더 갖는다.
층간절연층(102)은 제1도전 플러그(103)를 갖는다. 제1도전 플러그(103)는 구동회로층(101)과 반사층(110)을 서로 접속한다. 더욱 구체적으로는, 구동회로층(101)에 설치된 배선층이 반사층(110)에 접속된다. 도1b에 도시된 것과 같이, 제1도전 플러그(103)는, 반사층(110)에 접속하지 않고, 구동회로층(101)과 제1전극(130)을 접속해도 된다.
반사층(110) 위에는 반사 방지층(111)이 설치되어 있다. 반사 방지층(111) 위에 제1절연층(120), 제1전극(130), 제2절연층(140), 유기층(150) 및 제2전극(160)이 이 순서로 적층되어 있다. 제2전극(160) 위에 방습층(170), 제1평탄화층(180) 및 칼라필터층(190)이 이 순서로 적층되어도 된다. 본 발명에 따른 유기 디바이스는 마이크로렌즈를 더 갖고 있어도 된다.
본 발명에 따른 유기 디바이스에서는, 칼라필터층(190)이, 제1전극(130)의 경사부에 중첩하도록 배치되어도 된다. 시야각 특성 개선을 위해, 칼라필터층(190)이 제1전극(130)의 경사부의 일부와 중첩하도록 배치되어도 된다. 이것은 마이크로렌즈에 대해서도 마찬가지이다. 마이크로렌즈는, 제1전극(130)의 경사부에 중첩하거나 이 경사부의 일부와 중첩하도록 배치되어도 된다.
기판(100)은, 실리콘 기판 등의 반도체 기판이나 수지 기판이어도 된다.
층간절연층(102), 제1절연층(120), 및 제2절연층(140)의 재료는, 산화 규소, 산질화 규소, 또는 질화 규소일 수 있다. 양호한 가공성을 확보하기 위해, 재료가 산화 규소이어도 된다.
제1도전 플러그(103)는, 구동회로층(101)과 반사층(110)을 전기적으로 접속할 수 있는 임의의 재료로 제조되어도 된다. 예를 들어, 텅스텐(W)과 같은 도전성 재료를 사용해도 된다. 제1도전 플러그(103)는, 티타늄(Ti), 질화 티타늄(TiN), Ti/TiN 등의 배리어메탈을 갖고 있어도 된다.
반사층(110)은, 빛을 반사할 수 있는 임의의 재료로 제조되어도 된다. 이 재료는 반사율이 80% 이상이어도 된다. 더욱 구체적으로는, 이 재료는 알루미늄(Al), 은(Ag), 백금(Pt) 등의 고반사율 재료, 또는, 이들 고반사율 재료를 포함하는 합금(AlCu등)이어도 된다.
반사 방지층(111)은, 빛의 반사를 억제할 수 있는 임의의 재료로 제조되어도 된다. 예를 들어, Ti, TiN, 또는 Ti/TiN가 사용되어도 된다.
제1전극(130)은, 유기층(150)으로부터 기판(100)을 향해서 발생한 빛을 투과할 수 임의의 재료로 제조되어도 되고, 투명 재료이어도 된다. 예를 들어, 산화 인듐 주석(ITO) 또는 산화 인듐 아연(IZO)을 사용해도 된다.
본 실시형태에 따른 유기 디바이스에서는, 기판(100)에 형성된 구동회로층(101)이 제1전극(130)에 전기신호를 보내, 유기층(150)이 빛을 발생한다. 유기층(150)이 발생한 빛의 일부는 반사층(110)에 의해 반사된다. 유기층(150)이 발생하는 빛과 이 반사광이 간섭에 의해 서로 강화한다. 이 때문에, 본 발명에 따른 유기 디바이스는 광 공진기 구조를 갖는 것으로 간주될 수 있다. 더욱 구체적으로는, 유기층(150)이 제2전극(160)을 향해서 발생한 빛과, 유기층(150)에 의해 발생하여 반사층(110)에 의해 반사된 빛이 유기층(150)에서의 간섭에 의해 서로 강화한다.
후술하는 광학 조정막 두께 D1을 조정함으로써, 유기층(150)이 제2전극(160)을 향해서 발생한 빛과, 유기층(150)에 의해 발생되고 반사층(110)에 의해 반사된 빛을 보다 효율적으로 간섭에 의해 강화할 수 있다. 전술한 것과 같이 간섭에 의해 강화된 빛이, 각 색에 대응한 칼라필터 190r, 190g, 190b를 거쳐 출사된다.
본 명세서에 있어서, 복수의 칼라필터(190) 중 특정한 칼라필터를, 예를 들어 참조번호의 뒤에 첨자를 붙여 칼라필터 190"r"로 부른다. 어느 칼라 필터라도 될 수 있는 칼라필터는 간단히 칼라필터 "190"으로 나타낸다. 다른 구성요소에 대해서도 마찬가지이다.
도2는, 제2절연층(140)의 형성후 얻어진 구조를 나타낸 평면도이다. 유기 디바이스(1)는 복수의 화소(200)를 갖는다. 반사층(110)과 제1전극(130)은 전기적으로 접속되어 있다. 제2절연층(140)은, 제1전극(130)과 유기층(150) 사이에 접속을 제공하기 위한 개구부(141)를 갖는다.
도3a는, 도2의 III-III선에 따른 제1화소 200r의 단면도다. 본 발명에 따른 유기 디바이스는, 빛의 반사율을 향상시키기 위해, 개구부(141)에는 반사방지막(111)을 갖지 않아도 된다. 반사방지막(111)은, 포토리소그래픽법이나 드라이에칭법에 의해 제거되어도 된다.
상기한 것과 같이, 반사층(110)과 제1전극(130)은 전기적으로 접속되어 있다. 도3a에 나타낸 것과 같이, 반사층(110)과 제1전극(130)이 제2도전 플러그(121)에 의해 접속되어 있어도 된다. 도3b에 나타낸 것과 같이, 반사 방지층(111)과 제1전극(130)이 직접 접하여, 반사층(110)과 제1전극(130)이 전기적으로 접속되어 있어도 된다.
제2도전 플러그(121)는, 반사층(110)과 제1전극(130)을 전기적으로 접속할 수 있는 임의의 재료로 제조되어도 된다. 예를 들어, 텅스텐(W)과 같은 도전성 재료를 사용해도 된다. 제2도전 플러그(121)는, Ti, TiN, 또는 Ti/TiN 등의 배리어메탈을 갖고 있어도 된다.
본 발명에 따른 유기 디바이스가 갖는 제1전극(130)은, 다음의 영역을 갖는다. 즉, 제1영역 S1, 제2영역 S2, 제3영역 S3, 및 제4영역 S4를 갖는다. 제1영역 S1과 제2영역 S2는 서로 접한다. 제2영역 S2와 제3영역 S3은 서로 접한다. 제3영역 S3과 제4영역 S4는 서로 접한다. 제1전극(130)은, 제4영역 S4에 접하는 제5영역 S5를 더 가져도 된다.
제1영역 S1은, 유기층(150)과 접하는 영역을 갖는다. 더욱 구체적으로는, 개구부(141)에서 제1영역 S1이 유기층(150)과 접하고 있다. 제1영역 S1에 있어서 제1전극(130)은 막 두께 D2를 갖는다. 충분한 도전성을 담보하기 위해, 막 두께 D2는 20nm 이상 100nm 이하이어도 된다.
제1영역 S1에 배치되어 있는 제1절연층(120)의 부분은 광학 조정 막 두께로 불리는 막 두께 D1을 갖는다. 화소(200)로부터 발생한 빛과 반사층(110)에 의해 반사된 빛이 간섭에 의해 서로 강화하도록, D1을 조정해도 된다. 본 실시형태에 따른 유기 디바이스는, 복수의 화소(200)를 갖는다. 더욱 구체적으로는, 제1화소(200r), 제2화소(200g), 및 제3화소(200b)를 갖고 있다. 제1화소(200r), 제2화소(200g), 제3화소(200b)가 각각 다른 색의 빛을 발생할 때, 각각의 화소들 사이에서 D1이 달라도 된다. 예를 들면, 제1화소(200r), 제2화소(200g) 및 제3화소(200b)가 각각 적색(R)의 빛, 녹색(G)의 빛 및 청색(B)의 빛을 발생할 때, D1은, 제1화소(200r), 제2화소(200g), 제3화소(200b)의 순서로 작아진다.
제2영역 S2는, 기판(100)으로부터 멀어지는 방향으로 경사져 있다. 제2영역 S2에 있어서의 제1전극(130)의 경사각은 30°이상 50°이하이어도 된다. 제2영역 S2에 있어서의 경사부는 D1에 반비례하는 높이 h2를 갖는다. 더욱 구체적으로는, D1이 두꺼운 화소에서는 h2가 작고, D1이 얇은 화소에서는 h2가 크다. 여기에서, h2는, 제1주면에 수직한 방향에서 제1영역 S1에 있어서의 제1전극(130)의 하면으로부터 제2영역 S2에 있어서 가장 높은 위치에 있는 제1전극(130)의 하면까지의 거리이다. 제2영역 S2는 경사부를 갖기 때문에, 제1전극(130)은 제2영역 S2에서 쉽게 막형성될 수 없다. 그 때문에, 제2영역 S2에 있어서의 제1전극(130)의 D2보다 얇은 막 두께 D3을 갖는다.
기판(100)에 대한 제3영역 S3의 경사는 제2영역 S2의 경사보다 작다. 제3영역에 있어서, 제1전극(130)은 기판(100)과 평행하거나, 또는, 기판(100)으로부터 멀어지는 방향으로 경사져도 된다. 더욱 구체적으로는, 제3영역 S3에 있어서의 제1전극(130)의 경사각은, 0°이상 20°이하이어도 된다. 본 실시형태에 따른 유기 디바이스에서는, 제3영역 S3에 있어서의 제1전극(130)의 경사각이 0°인 것을 상정하고 있다. 제3영역 S3에 있어서의 제1전극(130)의 막 두께는 D3보다도 두껍다. 본 실시형태에 따른 유기 디바이스에서는, 제3영역 S3에 있어서의 제1전극(130)의 막 두께는 D1에 근접한다.
기판(100)에 대한 제4영역 S4의 경사는 제3영역 S3의 경사보다 크다. 제4영역 S4는 기판(100)으로부터 멀어지는 방향으로 경사져 있다. 제4영역 S4에 있어서의 제1전극(130)의 경사각은, 반사 방지층(111)을 제거하는 처리에서 반사층(110)과 반사 방지층(111)의 경사각에 근접해도 되고, 경사각은 30°이상 50°이하이어도 된다. 제4영역 S4에 있어서의 경사부는 반사 방지층(111)을 제거하는 처리에서 반사층(110)과 반사 방지층(111)의 높이 h1과 근접한 높이 h3을 가져도 된다. 여기에서, h1은, 제1주면에 수직한 방향에 있어서 반사층(110)의 상면 중 가장 낮은 위치로부터 반사 방지층(111)의 상면까지의 거리이다. 또한, h3은, 제1주면에 수직한 방향에 있어서 제3영역 S3에 있어서의 가장 높은 위치에 놓인 제1전극(130)의 하면으로부터 제4영역 S4에 있어서 가장 높은 위치에 놓인 제1전극(130)의 하면까지의 거리이다. D3과 마찬가지로, 제4영역 S4에 있어서 제1전극(130)의 막 두께는 D2보다도 얇아진다.
제5영역 S5는, 제1전극(130)과 반사층(110)이 전기적으로 접속되어 있는 영역을 갖는다. 제1전극(130)과 반사층(110)이 전기적으로 접속되어 있으면, 구조는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 도3a에 나타낸 것과 같이, 제1전극(130)과 반사층(110)이 제2도전 플러그(121)에 의해 전기적으로 접속되어 있어도 된다. 이와 달리, 도3b에 나타낸 것과 같이, 제1전극(130)과 반사 방지층(111)이 직접 접함으로써, 제1전극(130)과 반사층(110)이 전기적으로 접속되어 있어도 된다.
도3c는, 본 발명의 구성을 적용하지 않은 관련기술에 따른 형상을 나타낸다. 관련기술에 따른 형상에서는, 제1전극(130)은, 제1영역 S1과, 제1영역 S1에 접하는 제6영역 S6과, 제6영역 S6에 접하는 제7영역 S7을 갖는다. 제1영역 S1은, 전술한 제1영역 S1과 유사하다.
제6영역 S6은, 기판(100)에 대하여 기판(100)으로부터 멀어지는 방향으로 경사져 있다. 기판(100)에 대한 제7영역 S7의 경사는 제6영역 S6의 경사보다 작다. 제7영역 S7은, 제1전극(130)과 반사층(110)이 전기적으로 접속되어 있는 영역을 갖고 있어도 된다. 제1전극(130)과 반사층(110)을 전기적으로 접속하는 방법은, 제5영역 S5에서 설명한 방법과 유사하다.
관련기술에 따른 형상은, 본 발명에 따른 제3영역 S3에 대응하는 영역을 포함하지 않는다. 더욱 구체적으로는, 제1영역 S1과 제7영역 S7 사이에 1개의 경사부가 뻗어있다.
상기한 것과 같이, 경사부를 갖는 영역에서는, 제1전극(130)이 쉽게 형성될 수 없다. 이 때문에, 제6영역 S6에 있어서의 제1전극(130)의 막 두께 D4는, 제1영역에 있어서의 제1전극(130)의 막 두께 D2보다도 얇아진다.
관련기술에 따른 형상은 단지 한 개의 경사부를 갖기 때문에, 제1전극(130)은 더 높은 저항을 가져 쉽게 파괴되는 경우가 있다. 특히, 제1전극(130)의 두께가 줄어든 경우, 관련기술에 따른 형상에서는, D4가 보다 줄어든다. 이 때문에, 제1전극(130)은 더 높은 저항을 가져 더욱 쉽게 파괴될 수 있다.
이에 대하여, 본 발명에 따른 유기 디바이스에서는, 제1영역 S1과 제5영역 S5 사이에, 복수의 경사부를 설치함으로써, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴를 억제할 수 있다. 특히, 제1전극(130)의 두께가 줄어든 경우에도, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴를 억제할 수 있다. 본 발명의 유기 디바이스에 따르면, 제1전극(130)을 박막화할 수 있으므로, 제1전극(130)에 의한 빛의 흡수를 억제할 수 있다. 이 이유에서, 본 발명에 따른 유기 디바이스는, 소비 전력의 관점에서도 유리하다.
제1전극(130)의 두께를, 예를 들어, 30nm 이하로 줄여도 된다.
본 실시형태에 따른 유기 디바이스는 2개의 경사부를 갖고 있지만, 경사부의 수가 이것에 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 경사부를 3개 이상 갖고 있어도 된다. 경사부의 수가 증가함에 따라, 각 경사부의 높이가 낮아져, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴를 보다 억제할 수 있다.
도4a 내지 도4k를 참조하면서 본 실시형태에 따른 유기 디바이스의 제조방법을 설명한다. 비교를 위해, 도4c' 내지 도4j'는 관련기술에 따른 제조방법을 나타낸 것이다.
우선, 도4a에 나타낸 것과 같이, 기판(100)의 제1주면 위에, 트랜지스터, 커패시터 및 배선층을 갖는 구동회로층(101)을 공지의 상보성 금속 산화물 반도체(CMOS) 프로세스에 의해 형성한다.
다음에, 절연막을 막형성하여, 층간절연층(102)을 형성한다. 플라즈마 화학 기상 증착(CVD)법, 고밀도 플라즈마법, 또는 이들 제법의 조합에 의해, 층간절연층(102)을 형성해도 된다. 성막후, 층간절연층(102)은, 화학 기계 연마(CMP)법에 의해 평탄화 처리되어도 된다. 그후, 층간절연층(102)의 소정의 위치에 개구가 형성된다. 소정의 위치는 구동회로층(101) 내부의 배선층 위이어도 된다. 포토리소그래픽법이나 드라이에칭법 등에 의해 개구가 형성되어도 된다. 개구 내에 제1도전 플러그(103)가 형성된다. CMP법이나 에치백법에 의해 여분의 부분이 제거되어도 된다.
다음에, 도4b에 나타낸 것과 같이, 층간절연층(102) 위에, 티타늄(Ti), 질화 티타늄(TiN) 및 알루미늄 합금으로 이루어진 적층 금속막이 형성된다. 적층 금속막은, 반사층(110)과 반사방지막(111)을 포함해도 되고, 스퍼터링법에 의해 형성되어도 된다.
적층 금속막을 성막후, 적층 금속막을 포토리소그래픽법, 드라이에칭법, 또는 웨트에칭법에 의해, 소정의 형상으로 패터닝한다. 이에 따라, 제1도전 플러그(103)에 접속된 반사층(110)과 반사방지막(111)이 형성된다.
다음에, 도4c에 나타낸 것과 같이, 반사층(110)이 적층 금속막의 최표면을 획정하도록 반사 방지층(111)을 제거하여 반사 방지층(111)에 개구부(141)가 형성된다. 포토리소그래픽법 또는 드라이에칭법에 의해 개구부(141)가 형성되어도 된다. 반사방지막(111)이 설치되기 때문에, 포토리소그래픽법의 정밀도가 향상되어, 보다 미세한 형상을 가공할 수 있다. 개구부(141)는 테이퍼 형상의 끝을 가져도 된다. 더욱 구체적으로는, 반사층(110)과 반사방지막(111)이 30°이상 50°이하의 예각을 이루어도 된다. 이 단계에서, 개구부의 깊이(도3a에 있어서의 높이 h1)를 조정함으로써, 도3a에 있어서의 제4영역 S4에서의 경사부의 높이 h3을 조정해도 된다. 관련기술에 따른 제조방법에서는, 이 단계를 행하지 않는다. 이 때문에, 도4c'에 나타낸 형상이 형성된다.
다음에, 도4d에 나타낸 것과 같이, 반사층(110) 및 반사방지막(111) 위에 절연막을 막형성해서 제1절연층의 제1부분(120a)을 형성한다. 제1부분(120a)은, 플라즈마 CVD법에 의해 막형성되어도 된다. 관련기술에 따른 제조방법에서는, 도4d'에 나타낸 형상이 얻어진다.
다음에, 도4e에 나타낸 것과 같이, 제1화소(200r) 내부의 개소에 개구를 형성한다. 이 개구는, 포토리소그래픽법, 드라이에칭법, 또는 웨트에칭법에 의해 형성되어도 된다. 이 개구는, 적어도 D1이 가장 두꺼운 화소에 형성해도 되고, 광 공진기 구조가 형성될 수 있으면, RGB 각 화소에 동시에 형성하여도 된다. 이 개구의 직경은, 반사층(110)에 형성된 개구의 직경보다 작아도 된다. 관련기술에 따른 제조방법에서는, 도4d'에 도시된 형상이 얻어진다.
다음에, 도4f 내지 도4h에 나타낸 것과 같이, 제1절연층의 제2부분(120b), 제3부분(120c) 및 제4부분(120d)과 그 내부의 개구가 순차적으로 형성된다. 이에 따라, 각 화소에 있어서의 막 두께 D1r, D1g, D1b가 각 화소에서의 색에 대응하는 광 공진기 구조를 형성할 수 있다. 제1절연층(120)의 제1부분(120a) 내지 제4부분(120d)을 모두 형성하지 않아도 광 공진기 구조를 얻을 수 있는 경우, 제1절연층9120)의 제1부분(120a) 내지 제4부분(120d)을 모두 형성하지 않아도 된다. 제1절연층(120)의 제1부분(120a) 내지 제4부분(120d)을 모두를 형성한 후 광 공진기 구조를 얻을 수 없는 경우, 추가적인 절연층을 형성해도 된다. 관련기술에 따른 제조방법에서는, 도4f' 내지 도4h'에 도시된 형상이 얻어진다.
다음에, 도4i에 나타낸 것과 같이, 제1절연층(120)의 소정의 위치에 개구를 형성한다.
이 개구는 반사방지막(111) 위에 형성되어도 된다. 각각의 개구에는, 제2도전 플러그(121)가 형성된다. CMP법이나 에치백법에 의해, 여분의 부분이 제거되어도 된다.
다음에, 도4j에 나타낸 것과 같이, 제1전극(130)을 막형성한 후, 포토리소그래픽법이나 드라이에칭법에 의해 패턴 형성을 행한다. 제1전극(130)의 성막과 패턴 형성을 복수회 반복함으로써, 각 화소에서 제1전극(130)이 서로 다른 두께를 갖는다. 관련기술에 따른 제조방법에서는, 반사방지막(111)이 에칭되지 않는다. 이 때문에, 반사층(110) 및 반사방지막(111) 위에 막형성되는 제1절연층(120) 및 제1전극(130)은 1개보다 많은 수의 경사부를 갖지 않는다. 경사부의 높이는, 도4e' 및 도4f'에 도시된 단계에 있어서의 각 화소에 개구가 형성될 깨 형성되는 단차에 의한 영향을 받는다. 이 때문에, 관련기술에 따른 제조방법에 따르면, 제1전극(130)의 박막화에 따라, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴의 리스크가 높아진다.
이에 대하여, 본 발명에 따른 유기 디바이스에서는, 도4c에 도시된 단계에서, 반사방지막(111)이 에칭된다. 이 때문에, 반사층(110) 및 반사방지막(111) 위에 막형성되는 제1절연층(120) 및 제1전극(130)은 1개보다 많은 수의 경사부를 갖는다. 이 때문에, 각 경사부의 높이를 작게 할 수 있다. 그 결과, 본 발명의 유기 디바이스에 따르면, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴의 리스크를 억제할 수 있다.
또한, 본 발명의 유기 디바이스에 따르면, 제1전극(130)의 박막화를 행할 때, 제1전극(130)의 고저항화와 파괴의 리스크를 억제할 수 있다.
최후에, 도4k에 나타낸 것과 같이, 공지의 방법으로 개구부(141)로부터 칼라필터(190)까지의 구성요소를 형성한다. 이에 따라, 유기 디바이스(1)가 형성된다.
제2실시형태
도5a 및 도5b를 참조하면서, 제2실시형태에 따른 유기 디바이스(1)에 대해 설명한다. 도5a 및 도5b는, 제2실시형태에 따른 유기 디바이스(1)의 제조방법을 나타낸 것이다.
제2실시형태에서는, 유기 디바이스(1)가 갖는 복수의 화소(200) 중 한 개 이상만 복수의 경사부를 갖는다. 더욱 구체적으로는, 유기 디바이스(1)가 제1 화소와 제2 화소로 이루어진 복수의 화소를 갖는다. 제1 화소가 갖는 제1전극은 제1영역 S1, 제2영역 S2, 제3영역 S3, 및 제4영역 S4를 갖는다. 제2 화소가 갖는 제1전극은, 제1영역 S1, 제6영역 S6, 및 제7영역 S7을 갖는다.
본 실시형태에 있어서, 복수의 경사부를 갖는 화소는 임의의 화소이어도 되고, 광학 조정 막 두께 D1이 얇고 높이 h1이 가장 높은 화소이어도 된다. 왜냐하면, 더 큰 높이 h를 갖는 화소가 제1전극(130)의 파괴 리스크가 더 크기 때문이다. 가장 큰 광학 조정 막 두께 D1을 갖고 가장 작은 높이 h1을 갖는 화소 이외의 화소에 대하여, 반사방지막(111)의 패턴 형성을 행해도 된다.
제2실시형태에 따른 유기 디바이스(1)에서는, 도5a에 나타낸 것과 같이, 복수의 경사부를 형성하고 싶은 화소에만 반사방지막(111)의 패턴 형성을 행한다.
다음에, 전술한 도4d 내지 도4i에 나타낸 단계와 마찬가지로, 제1절연층(120)의 성막과 개구의 형성을 반복함으로써, 도5b에 나타낸 것과 같이, 소정의 화소에만 복수의 경사부를 갖는 형상을 형성한다.
제2실시형태에 따른 유기 디바이스(1)에서는, 제1전극(130)의 박막화에 의한 제1전극(130)의 파괴 리스크를 갖는 화소만 본 발명의 구성을 갖는다. 이 때문에, 화소의 개구율을 향상시킬 수 있다.
제3실시형태
도6a 내지 도6d를 참조하면서, 제3실시형태에 따른 유기 디바이스(1)에 대해 설명한다. 도6a 내지 도6d는, 제3실시형태에 따른 유기 디바이스(1)의 제조방법을 나타낸 것이다.
제3실시형태에 따르면, 반사방지막(111)의 패턴 형성을 행하지 않고, 복수의 경사부를 형성할 수 있다.
우선, 도6a에 나타낸 것과 같이, 도4a 및 도4b와 같은 프로세스에 의해 반사층(110)과 반사 방지층(111)을 형성한다.
다음에, 도6b에 나타낸 것과 같이, 반사방지막(111)의 패턴 형성을 행하지 않고, 도4d' 내지 도4h'와 같은 프로세스에 의해 제1절연층(120)의 성막과 개구의 형성을 반복한다. 그, 결과, 도6b에 나타낸 형상이 얻어진다.
다음에, 도6c에 나타낸 것과 같이, 포토리소그래픽법에 의해, 개구부(141) 내부 및 가장 높은 위치에 있는 제1절연층(120)의 제4부분(120d) 위에 레지스트를 형성한다.
개구부(141)를 레지스트로 채울 필요는 없다. 도6c에 나타낸 것과 같이, 경사부의 모서리가 노출되도록 레지스트를 형성해도 된다. 또한, 가장 높은 위치에 있는 제1절연층9120)의 제4부분(120d) 위를 레지스터가 모두 덮을 필요는 없다. 레지스트가 제4부분(120d)의 일부를 덮어도 된다.
최후에, 드라이에칭을 행하여, 도6d에 나타낸 것과 같이 각 화소가 복수의 경사부를 갖는 형상이 얻어진다.
본 실시형태의 유기 디바이스에 따르면, 레지스트 형상과 에칭 조건을 조정함으로써, h3을 조정할 수 있다. 이 때문에, 제1실시형태 및 제2실시형태에 따른 유기 디바이스와 비교하여, 더욱 용이하게 h3을 조정할 수 있다.
응용예
도7은, 본 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 나타낸 모식도다. 표시장치(1000)는, 상부 커버(1001)와 하부 커버(1009) 사이에, 터치패널(1003), 표시 패널(1005), 프레임(1006), 회로 기판(1007), 배터리(1008)를 가져도 된다. 터치패널(1003) 및 표시 패널(1005)에는, 각각 플렉시블 프린트 회로(FPC) 1002, 1004가 접속되어 있다. 표시 패널(1005)은, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 갖고 있어도 된다. 회로 기판(1007)에는, 트랜지스터가 프린트되어 있다. 배터리(1008)는, 표시장치가 휴대 기기가 아니면, 생략해도 된다. 표시장치가 휴대 기기이어도, 배터리(1008)는 다른 위치에 설치해도 된다.
본 실시형태에 따른 표시장치는, 적색, 녹색, 청색을 갖는 칼라필터를 가져도 된다. 칼라필터는, 이 적색, 녹색, 청색이 델타 배열로 배치되어도 된다.
본 실시형태에 따른 표시장치는, 빛을 수광하는 촬상 소자를 갖는 촬상장치의 표시부에 사용되어도 된다. 촬상장치는, 촬상 소자가 취득한 정보를 표시하는 표시부를 가져도 된다. 또한, 표시부는, 촬상장치의 외부에 노출한 표시부이어도, 파인더 내에 배치된 표시부이어도 된다. 촬상장치는, 디지털 카메라, 디지털 비디오카메라이어도 된다.
도8a는, 본 실시형태에 따른 촬상장치의 일례를 나타낸 모식도다. 촬상장치(1100)는, 뷰파인더(1101), 배면 디스플레이(1102), 조작부(1103), 하우징(1104)을 가져도 된다. 뷰파인더(1101) 및 배면 디스플레이(1102)는, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 가져도 된다. 그 경우, 표시장치는, 촬상할 화상 뿐만 아니라, 환경정보, 촬영지시 등을 표시해도 된다. 환경정보에는, 외광의 강도, 외광의 방향, 피사체가 움직이는 속도, 피사체가 차폐물에 차폐될 가능성 등이어도 된다.
촬상장치(1100)는, 광학부(미도시)를 더 가져도 된다. 광학부가 갖는 렌즈는, 단수이어도, 복수이어도 되고, 하우징(1104) 내에 수용되어 있는 촬상 소자에 결상한다. 복수의 렌즈는, 그것의 상대 위치를 조정함으로써, 초점을 조정할 수 있다. 이 조작을 자동으로 행할 수도 있다. 촬상장치는 광전 변환장치로 불려도 된다. 광전 변환장치는 순차 촬상하는 것이 아니고, 이전 화상으로부터의 차분을 검출하는 방법, 항상 기록되어 있는 화상으로부터 잘라내는 방법 등을 촬상의 방법으로서 포함할 수 있다.
도8b는, 본 실시형태에 따른 전자기기의 일례를 나타내는 모식도다. 전자기기(1200)는, 표시부(1201)와, 조작부(1202)와, 하우징(1203)을 갖는다. 하우징(1203)은, 회로, 이 회로를 갖는 프린트 기판, 배터리, 통신부를 가져도 된다. 조작부(1202)는 버튼이어도 되고, 터치패널 방식의 반응부이어도 된다. 조작부(1202)는, 지문을 인식해서 록의 해제 등을 행하는 생체인식부이어도 된다. 통신부를 갖는 전자기기는, 통신 기기라고 할 수도 있다. 전자기기는, 렌즈와, 촬상 소자를 구비함으로써 카메라 기능을 더 가져도 된다. 카메라 기능에 의해 촬상된 화상이 표시부(1201)에 표시된다. 전자기기로서는, 스마트폰, 노트북 등을 들 수 있다.
도9a 및 도9b는, 본 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 나타내는 모식도다. 도9a는, 텔레비젼 모니터나 PC(퍼스널 컴퓨터) 모니터 등의 표시장치다. 표시장치(1300)는, 하우징(1301)과, 표시부(1302)를 갖는다. 표시부(1302)에는, 본 발명에 따른 유기 디바이스가 사용되어도 된다.
표시장치(1300)는, 하우징(1301)과 표시부(1302)를 떠받치는 베이스(1303)를 더 가져도 된다. 베이스(1303)는, 도9a의 형태에 한정되지 않는다. 하우징(1301)의 아랫변이 베이스를 겸해도 된다.
하우징(1301) 및 표시부(1302)는, 절곡되어 있어도 된다. 그것의 곡률반경은, 5000mm 이상 6000mm 이하이어도 된다.
도9b는, 본 실시형태에 따른 표시장치의 다른 예를 나타낸 모식도다. 도9b의 표시장치(1310)는, 절곡가능하게 구성되고 있고, 소위 폴더블한 표시장치다. 표시장치(1310)는, 제1표시부(1311), 제2표시부(1312), 하우징(1313), 굴곡점(1314)을 갖는다. 제1표시부(1311)와 제2표시부는, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 가져도 된다. 제1표시부(1311)와 제2표시부(1312)는, 이음매가 없는 1매의 표시장치이어도 된다. 제1표시부(1311)와 제2표시부(1312)는, 굴곡점에서 나눌 수 있다. 제1표시부(1311), 제2표시부(1312)는, 각각 다른 화상을 표시해도 되고, 제1표시부(1311) 및 제2표시부(1312)에서 1개의 화상을 표시해도 된다.
도10a는, 본 실시형태에 따른 조명장치의 일례를 나타내는 모식도다. 조명장치(1400)는, 하우징(1401)과, 광원(1402)과, 회로기판(1403)을 가져도 된다. 광원(1402)은, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 갖고 있어도 된다. 조명장치(1400)는, 광원의 연색성을 향상시키기 위해서, 광학 필름(1404)을 가져도 된다. 또한, 조명장치(1400)는, 광원의 빛을 효과적으로 확산하기 위해서, 광확산부(1405)를 가져도 된다. 조명장치(1400)가 광확산부(1405)를 가짐으로써, 넓은 범위에 빛을 보내 줄 수 있다. 광학 필름(1404) 및 광확산부(1405)는, 조명의 광 출사측에 설치되어도 된다. 필요에 따라, 최외부에 커버를 설치해도 된다.
조명장치는, 예를 들면, 실내를 조명하는 장치다. 조명장치는 백색, 주백색, 기타 청색 내지 적색의 어느쪽의 색을 발광하는 것이어도 된다. 그것들을 조광하는 조광회로를 가져도 된다. 조명장치는, 전원회로를 가져도 된다. 전원회로는, 교류전압으로부터 직류전압으로 변환하는 회로이어도 된다. 또한, "백색"은, 색온도가 4200K이고, "주백색"은, 색온도가 5000K이다. 조명장치는 칼라필터를 가져도 된다.
본 실시형태에 따른 조명장치는, 방열부를 갖고 있어도 된다. 방열부는 장치 내의 열을 장치 외부로 방출하는 것이며, 열전도율이 큰 금속, 세라믹으로 이루어진다.
도10b는, 본 실시형태에 따른 이동체의 일례인 자동차의 모식도다. 이 자동차는 조명기구의 일례인 테일 램프를 갖는다. 자동차(1500)는, 테일 램프(1501)를 갖고, 브레이크 조작 등을 행했을 때에, 테일 램프가 점등하는 휴대이어도 된다. 자동차(1500)는, 차체(1503), 차체(1503)에 부착되어 있는 창문(1502)을 가져도 된다.
테일 램프(1501)는, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 가져도 된다. 테일 램프는, 광원을 보호하는 보호부재를 가져도 된다. 보호부재는 어느 정도 높은 강도를 갖고, 투명하면 재료는 상관없지만, 폴리카보네이트 등으로 구성되는 것이 바람직하다. 폴리카보네이트에 푸란 디카르복실산 유도체, 아크릴로니트릴 유도체 등을 혼합해도 된다.
본 실시형태에 따른 이동체는, 자동차, 선박, 항공기, 드론 등이어도 된다. 이동체는, 몸체와 이 몸체에 설치된 조명기구를 가져도 된다. 조명기구는, 몸체의 위치를 알리기 위해서 발광하고 있어도 된다.
전자기기 혹은 표시장치는, 예를 들면, 스마트 글래스, 헤드마운트 디스플레이, 스마트 콘택렌즈와 같은 웨어러블 디바이스로서 장착가능한 시스템에 적용할 수 있다. 전자기기는, 가시광을 광전변환가능한 촬상장치와, 가시광을 발광가능한 표시장치를 가져도 된다.
도11a 및 도11b는, 본 실시형태에 따른 안경(스마트 글래스)의 일례를 나타내는 모식도다. 도11a를 참조하여, 안경(1600)(스마트 글래스)을 설명한다. 안경(1600)은, 렌즈(1601)의 이면측에, 표시부를 갖는다. 이 표시부는, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 갖고 있어도 된다. 또한, 렌즈(1601)의 표면측에, CMOS센서나 SPAD와 같은 촬상장치(1602)가 설치되어 있어도 된다.
안경(1600)은, 제어장치(1603)를 더 구비한다. 제어장치(1603)는, 촬상장치(1602)와 표시부에 전력을 공급하는 전원으로서 기능한다. 또한, 제어장치(1603)는, 촬상장치(1602)와 표시부의 동작을 제어한다. 렌즈(1601)에는, 촬상장치(1602)나 표시부의 빛을 집광하기 위한 광학계가 형성되어 있다.
도11b를 참조하여, 안경(1610)(스마트 글래스)을 설명한다. 안경(1610)은, 제어장치(1612)를 갖고 있고, 제어장치(1612)에, 본 발명에 따른 유기 디바이스를 갖는 표시장치가 설치되어 있다. 제어장치(1612)는, 촬상장치(1602)에 이 하는 촬상장치를 더 갖고 있어도 된다. 렌즈(1611)에는, 제어장치(1612)로부터의 발광을 투영하기 위한 광학계가 형성되어 있고, 렌즈(1611)에는 화상이 투영된다. 제어장치(1612)는, 촬상장치 및 표시장치에 전력을 공급하는 전원으로서 기능하는 동시에, 촬상장치 및 표시장치의 동작을 제어한다. 제어장치는, 장착 차의 시선을 검지하는 시선 검지부를 가져도 된다. 시선의 검지는, 적외선을 사용해도 된다. 적외선발광부는, 표시 화상을 주시하고 있는 유저의 안구에 대하여 적외선을 발광한다. 발생한 적외광 중, 안구로부터의 반사광을, 수광소자를 갖는 촬상부가 검출함으로써 안구의 촬상 화상이 얻어진다. 평면 뷰에 있어서 적외발광부로부터 표시부에의 빛을 저감하는 저감 수단을 가짐으로써, 화상품위의 저하를 저감한다.
적외광의 촬영에 의해 얻어진 안구의 촬상 화상으로부터, 제어장치(1612)는 표시 화상에 대한 유저의 시선을 검출한다. 안구의 촬상 화상을 사용한 시선 검출에는, 임의의 공지의 수법을 적용할 수 있다. 일례로서, 각막에서의 조사 광의 반사에 의한 풀키니에 상에 근거한 시선 검출방법을 사용할 수 있다.
보다 구체적으로는, 동공 각막 반사법에 근거한 시선 검출 처리가 행해진다. 동공 각막 반사법을 사용하여, 안구의 촬상 화상에 포함되는 동공의 상과 풀키니에 상에 근거하여, 안구의 방향(회전각도)을 나타내는 시선 벡터가 산출됨으로써, 유저의 시선이 검출된다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 표시장치는, 수광소자를 갖는 촬상장치를 갖고, 촬상장치로부터의 유저의 시선 정보에 근거하여 표시장치의 표시 화상을 제어해도 된다.
더욱 구체적으로는, 표시장치는 시선 정보에 근거하여, 유저가 주시하는 제1 시야 영역과, 제1 시야 영역 이외의 제2 시야 영역을 결정한다. 제1 시야 영역, 제2 시야 영역은, 표시장치의 제어장치가 결정해도 되고, 외부의 제어장치가 결정한 것을 수신해도 된다. 표시장치의 표시 영역에 있어서, 제1 시야 영역의 표시 해상도를, 제2 시야 영역의 표시 해상도보다도 높게 제어해도 된다. 즉, 제2 시야 영역의 해상도를 제1 시야 영역보다도 낮게 해도 된다.
제1 표시 영역이나 우선도가 높은 표시 영역의 결정에는, 인공지능(AI)을 사용해도 된다. AI는, 안구의 화상과 이 화상의 안구가 실제로 보고 있었던 방향을 교사 데이터로 하여, 안구의 화상으로부터 시선의 각도, 시선 앞의 목적물까지의 거리를 추정하도록 구성된 모델이어도 된다. AI는, 표시장치, 촬상장치, 또는 외부장치가 가져도 된다. 외부장치가 AI를 갖는 경우에는, 외부를 촬상하는 촬상장치를 더 갖는 스마트 글래스에 바람직하게 적용할 수 있다. 스마트 글래스는, 촬상한 외부정보를 실시간으로 표시할 수 있다.
이상에 의해, 본 발명에 따른 유기 디바이스는, 전극의 파괴를 억제할 수 있다. 또한, 전극의 고저항화를 억제할 수 있다. 더구나, 본 발명은 전술한 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 전술한 실시형태는 적절히 변경, 조합이 가능하다.
또한, 본 발명은, 이하의 구성을 취할 수도 있다.
(구성1)
기판의 제1주면 위에 반사층, 제1전극, 유기층, 및 제2전극을 이 순서로 갖고, 상기 제1전극은, 제1영역, 제2영역, 제3영역과 제4영역을 갖고, 상기 제1영역은 상기 유기층에 접하고, 상기 제2영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 제3영역은 상기 기판에 대해 상기 제2영역의 경사보다도 작은 경사를 갖고, 상기 제4영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고 상기 기판에 대해 상기 제3영역의 경사보다도 큰 경사를 갖고, 상기 제1영역과 상기 제2영역이 서로 접하고, 상기 제2영역과 상기 제3영역이 서로 접하고, 상기 제3영역과 상기 제4영역이 서로 접하는 유기 디바이스.
(구성 2)
상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제3영역과 상기 제1주면의 거리가, 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1영역과 상기 제1주면의 거리보다도 큰 구성 1에 따른 유기 디바이스.
(구성 3)
상기 제3영역에 있어서, 상기 제1전극은 상기 기판과 평행한 구성 1 또는 2에 따른 유기 디바이스.
(구성 4)
상기 제3영역에 있어서, 상기 제1전극은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지는 구성 1 또는 2에 따른 유기 디바이스.
(구성 5)
상기 제1전극은, 상기 제4영역에 접하는 제5영역을 더 갖고, 상기 제5영역은 상기 반사층에 전기적으로 접속되어 있는 구성 1 내지 4 중 어느 한 개에 따른 유기 디바이스.
(구성 6)
상기 유기 디바이스는, 제1 화소와 제2 화소를 갖는 복수의 화소와, 상기 반사층과 상기 제1전극 사이에 배치된 절연층을 갖고, 상기 제1 화소가 갖는 상기 제1전극의 상기 제1영역에 있어서 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서의 상기 절연층의 두께가, 상기 제2 화소가 갖는 상기 제1전극의 상기 제1영역에 있어서 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서의 상기 절연층의 두께와 다른 구성 1 내지 5 중 어느 한 개에 따른 유기 디바이스.
(구성 7)
상기 제2영역의 높이는, 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서, 상기 제1영역에 있어서의 상기 제1전극의 하면으로부터 상기 제2영역에 있어서 가장 높은 위치에 놓인 상기 제1전극의 하면까지의 거리이고, 상기 제1 화소의 상기 제2영역의 상기 높이가 상기 제2 화소의 상기 제2영역의 상기 높이와 다른 구성 6에 따른 유기 디바이스.
(구성 8)
상기 제1전극은 투명 전극인 구성 1 내지 7 중 어느 한 개에 따른 유기 디바이스.
(구성 9)
상기 유기 디바이스는 제1 화소와 제2 화소를 포함하는 복수의 화소를 갖고, 상기 제1 화소가 갖는 상기 제1전극은 상기 제1영역, 상기 제2영역, 상기 제3영역, 및 상기 제4영역을 갖고, 상기 제2 화소가 갖는 상기 제1전극은 상기 제1영역, 제6영역 및 제7영역을 갖고, 상기 제6영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 제7영역은 상기 기판에 대한 상기 제6영역의 경사보다 작은 경사를 갖고, 상기 제6영역과 상기 제7영역이 서로 접하는 구성 1 내지 8 중 어느 한 개에 따른 유기 디바이스.
(구성 10)
빛을 수광하는 촬상 소자와, 상기 촬상 소자가 촬상한 화상을 표시하는 표시부를 갖고, 상기 표시부는 구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스인 광전 변환장치.
(구성 11)
구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와, 상기 표시부가 설치된 하우징을 갖는 표시장치.
(구성 12)
구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와, 상기 표시부가 설치된 하우징과, 상기 하우징에 설치되고 전자기기의 외부와 통신하는 통신부를 갖는 전자기기.
(구성 13)
구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스를 갖는 광원과, 상기 광원이 설치된 하우징을 갖는 조명장치.
(구성 14)
구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스를 갖는 조명기구와, 상기 조명기구가 설치된 몸체를 갖는 이동체.
(구성 15)
구성 1 내지 9 중 어느 한 개에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와, 상기 표시부의 빛을 집광하는 광학계와, 상기 표시부의 동작을 제어하는 제어장치를 갖는 웨어러블 디바이스.
본 발명에 따르면, 전극의 파괴가 쉽게 발생하지 않는 유기 디바이스를 제공할 수 있다.
예시적인 실시형태들을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 이러한 실시형태에 한정되지 않는다는 것은 자명하다. 이하의 청구범위의 보호범위는 가장 넓게 해석되어 모든 변형, 동등물 구조 및 기능을 포괄하여야 한다.

Claims (15)

  1. 기판의 제1주면 위에 반사층, 제1전극, 유기층, 및 제2전극을 이 순서로 갖고,
    상기 제1전극은, 제1영역, 제2영역, 제3영역과 제4영역을 갖고, 상기 제1영역은 상기 유기층에 접하고, 상기 제2영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 제3영역은 상기 기판에 대해 상기 제2영역의 경사보다도 작은 경사를 갖고, 상기 제4영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고 상기 기판에 대해 상기 제3영역의 경사보다도 큰 경사를 갖고,
    상기 제1영역과 상기 제2영역이 서로 접하고, 상기 제2영역과 상기 제3영역이 서로 접하고, 상기 제3영역과 상기 제4영역이 서로 접하는 유기 디바이스.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제3영역과 상기 제1주면의 거리가, 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1영역과 상기 제1주면의 거리보다도 큰 유기 디바이스.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 제3영역에 있어서, 상기 제1전극은 상기 기판과 평행한 유기 디바이스.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제3영역에 있어서, 상기 제1전극은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지는 유기 디바이스.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제1전극은, 상기 제4영역에 접하는 제5영역을 더 갖고,
    상기 제5영역은 상기 반사층에 전기적으로 접속되어 있는 유기 디바이스.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 디바이스는, 제1 화소와 제2 화소를 갖는 복수의 화소와, 상기 반사층과 상기 제1전극 사이에 배치된 절연층을 갖고,
    상기 제1 화소가 갖는 상기 제1전극의 상기 제1영역에 있어서 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서의 상기 절연층의 두께가, 상기 제2 화소가 갖는 상기 제1전극의 상기 제1영역에 있어서 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서의 상기 절연층의 두께와 다른 유기 디바이스.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 제2영역의 높이는, 상기 제1주면에 수직한 방향에 있어서, 상기 제1영역에 있어서의 상기 제1전극의 하면으로부터 상기 제2영역에 있어서 가장 높은 위치에 놓인 상기 제1전극의 하면까지의 거리이고,
    상기 제1 화소의 상기 제2영역의 상기 높이가 상기 제2 화소의 상기 제2영역의 상기 높이와 다른 유기 디바이스.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제1전극은 투명 전극인 유기 디바이스.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 디바이스는 제1 화소와 제2 화소를 포함하는 복수의 화소를 갖고,
    상기 제1 화소가 갖는 상기 제1전극은 상기 제1영역, 상기 제2영역, 상기 제3영역, 및 상기 제4영역을 갖고,
    상기 제2 화소가 갖는 상기 제1전극은 상기 제1영역, 제6영역 및 제7영역을 갖고, 상기 제6영역은 상기 기판으로부터 멀어지는 방향으로 경사지고, 상기 제7영역은 상기 기판에 대한 상기 제6영역의 경사보다 작은 경사를 갖고,
    상기 제6영역과 상기 제7영역이 서로 접하는 유기 디바이스.
  10. 빛을 수광하는 촬상 소자와,
    상기 촬상 소자가 촬상한 화상을 표시하는 표시부를 갖고,
    상기 표시부는 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스인 광전 변환장치.
  11. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와,
    상기 표시부가 설치된 하우징을 갖는 표시장치.
  12. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와,
    상기 표시부가 설치된 하우징과,
    상기 하우징에 설치되고 전자기기의 외부와 통신하는 통신부를 갖는 전자기기.
  13. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스를 갖는 광원과,
    상기 광원이 설치된 하우징을 갖는 조명장치.
  14. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스를 갖는 조명기구와,
    상기 조명기구가 설치된 몸체를 갖는 이동체.
  15. 청구항 1 내지 9 중 어느 한 항에 기재된 유기 디바이스를 갖는 표시부와,
    상기 표시부의 빛을 집광하는 광학계와,
    상기 표시부의 동작을 제어하는 제어장치를 갖는 웨어러블 디바이스.
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