JP2024053803A - 保護部材形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラステーブルの清掃を良好に実施できる保護部材形成装置を提供する。【解決手段】樹脂供給ノズル（１８３）によってガラステーブル（１６）の載置面（１６１）に液状樹脂（Ｍ）を供給させ、昇降機構（２１）によってウェーハ保持部（２０）を降下させ、ガラステーブルの載置面全面に液状樹脂を広げる。その後、紫外線照射ユニット（２３）によって液状樹脂を硬化させ、搬出機構（２７）によって液状樹脂が硬化した硬化済樹脂（Ｍ１）をガラステーブルの載置面から離間させ搬出する制御を行う。ガラステーブルから搬出する硬化済樹脂には、ガラステーブルの載置面に付着していたゴミ（Ｄ）が取り込まれ、硬化済樹脂の搬出によってガラステーブルの載置面を清掃する。【選択図】図８

Description

本発明は、保護部材形成装置に関する。

ウェーハに研削加工等を行う際に、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成する。かかる保護部材を形成する装置として、特許文献１に開示される装置が知られている。

特許文献１、２に開示される保護部材形成装置は、まず、ガラステーブルの上にシートを配置し、そのシートの上面中央に紫外線硬化型の液状樹脂を所定量供給する。次いで、液状樹脂を上からウェーハで押し込み、ウェーハの一方の面（下面）全面に液状樹脂を押し広げる。その後、ガラステーブルの下方に配置される紫外線照射ユニットによって、液状樹脂に紫外線を照射して硬化させ、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材を形成している。保護部材形成装置においては、ウェーハに対して保護部材の形成を実施する前に、部品交換等のメンテナンス作業が行われる。

特開２０２２－０４１４９４号公報 特開２０１７－１６８６１６号公報

上記保護部材形成装置では、ウェーハに対して保護部材を形成する際、メンテナンス作業等に起因してガラステーブルの上面にゴミが残る場合がある。このゴミによってガラステーブル上のシートが部分的に浮き上がり、ゴミがある部分の保護部材の厚みが薄くなる、という問題がある。ここで、ガラステーブルをエアブローしてゴミを除去する方法が考えられるが、この方法ではゴミが浮遊してからガラステーブル上にゴミが再度載ってしまったり、ガラステーブル以外の構造物にゴミが付着する、という問題がある。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ガラステーブルの清掃を良好に実施できる保護部材形成装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様の保護部材形成装置は、ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材形成装置であって、ウェーハを保持する保持面を下面に有する保持部と、保持部を昇降させる昇降機構と、保持面に対向配置したガラステーブルと、ガラステーブルの上面に紫外線硬化型の液状樹脂を供給する樹脂供給ノズルと、ガラステーブルの下方に配置し液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、ガラステーブルから硬化した樹脂を搬出する搬出機構と、制御部と、を備え、制御部は、樹脂供給ノズルによってガラステーブルの上面に所定量の液状樹脂を供給させることと、昇降機構によって保持部を降下させ保持面とガラステーブルの上面との間でガラステーブルの上面全面に液状樹脂を広げることと、紫外線照射ユニットによって液状樹脂を硬化させることと、搬出機構によって液状樹脂が硬化した樹脂をガラステーブルの上面から離間させ搬出することと、を制御し、ガラステーブルから搬出する樹脂には、少なくともガラステーブルの上面に付着していたゴミが取り込まれており、樹脂の搬出によってガラステーブルの上面を清掃する。

本発明の一態様にて、ガラステーブルの上面にシートを搬送するシート搬送機構を備え、制御部は、シート搬送機構によって液状樹脂の上にガラステーブルを覆う面積のシートを搬送することと、樹脂供給ノズルによってガラステーブルの上面に所定量の液状樹脂を供給させることと、昇降機構によって保持部を降下させ保持面でシートの上面を押しシートを介してガラステーブルの上面全面に液状樹脂を押し広げることと、紫外線照射ユニットによって液状樹脂が硬化した樹脂とシートとを一体化させることと、搬出機構によってシートと樹脂とを一体にガラステーブルの上面から離間させ搬出するとよい。

本発明の一態様にて、搬出機構は、樹脂の端を把持する把持部と、把持部を水平方向に移動させる移動機構とを備え、ガラステーブルの上面から硬化した樹脂を搬出するとよい。

本発明の一態様にて、搬出機構は、樹脂を巻いて、ガラステーブルの上面から樹脂を離間させる巻き取り部を備え、ガラステーブルの上面から硬化した樹脂を搬出するとよい。

本発明の一態様にて、搬出機構は、シートの端を把持する把持部と、把持部を水平方向に移動させる移動機構とを備え、ガラステーブルの上面から硬化した樹脂とシートとを一体的に搬出するとよい。

本発明の一態様にて、搬出機構は、シートを巻いて、ガラステーブルの上面から樹脂とシートとを一体に離間させる巻き取り部を備え、ガラステーブルの上面から硬化した樹脂とシートとを一体的に搬出するとよい。

本発明によれば、ガラステーブルの上面に液状樹脂を供給して硬化した樹脂を搬出機構で搬出するので、硬化した樹脂にガラステーブルの上面に付着していたゴミを取り込んでガラステーブルの清掃を良好に実施することができる。

実施の形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。 保護部材の形成におけるシート搬入工程を示す説明図である。 保護部材の形成における液状樹脂供給工程を示す説明図である。 保護部材の形成におけるウェーハ保持工程を示す説明図である。 保護部材の形成における押し広げ工程を示す説明図である。 保護部材の形成における硬化工程を示す説明図である。 ガラステーブルの清掃の各工程を示し、図７Ａは、液状樹脂供給工程を示す説明図、図７Ｂ及び図７Ｃは、押し広げ工程を示す説明図、図７Ｄは、硬化工程を示す説明図である。 図８Ａ及び図８Ｂは、ガラステーブルの清掃における搬出工程を示す説明図である。 図９Ａ及び図９Ｂは、第１変形例に係る搬出工程を示す説明図である。 図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２変形例に係る押し広げ工程を示す説明図である。

以下、添付図面を参照して、実施の形態に係る保護部材形成装置について説明する。図１は、実施の形態に係る保護部材形成装置の概略斜視図である。

各図に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向は互いに垂直な関係にある。Ｘ軸方向とＹ軸方向は略水平な方向であり、Ｚ軸方向は上下方向（鉛直方向）である。各図において、Ｘ軸方向を示す両矢線のうち、Ｘの文字が付されている側を装置の左方（紙面前方）とし、Ｘの文字が付されていない側を装置の右方（紙面後方）とする。Ｙ軸方向を示す両矢線のうち、Ｙの文字が付されている側を装置の前方（紙面左方）とし、Ｙの文字が付されていない側を装置の後方（紙面右方）とする。Ｚ軸方向を示す両矢線のうち、Ｚの文字が付されている側を上方とし、Ｚの文字が付されていない側を下方とする。

図１に示す保護部材形成装置１は、ウェーハＷの一方の面の全面に押し広げられた液状樹脂に外的刺激を付与して硬化させることによって樹脂層となる保護部材Ｈ（図６参照）を形成する装置の一例である。図１においては、保護部材形成装置１の外部筐体１０を破線で示し、外部筐体１０の内側の構成要素を透視した状態で表している。ウェーハＷのうち、保護部材形成装置１での処理時に上側を向く面を上面Ｗａとし、下側を向く面を下面Ｗｂとする。

ウェーハＷは、例えば、円柱状のシリコン等のインゴットから切り出した円板状のアズスライスウェーハである。なお、ウェーハＷは、デバイス形成前のアズスライスウェーハに限らず、デバイス形成後のデバイスウェーハ等でもよい。

保護部材形成装置１は、外部筐体１０のＹ軸方向の一端側（前方側の端部）に、カセット収容部１１を備えている。カセット収容部１１の内部には、複数枚のウェーハＷを収容可能なカセットＣが載置される。

カセット収容部１１のＹ軸方向の後方側の位置には、シートカットテーブル１４が設けられている。シートカットテーブル１４には、ウェーハＷに貼着される後述するシートＳをウェーハＷの外形に沿って切断するシートカッター１４１が設けられている。

シートカットテーブル１４に対してＸ軸方向の左側に、カセットＣに対してウェーハＷの搬入及び搬出を行う第１搬送機構１２が設けられている。第１搬送機構１２は、台座１２１上に支持されるロボットハンド１２２を備え、Ｘ軸方向への台座１２１の移動と、ロボットハンド１２２の動作とによって、カセット収容部１１に収容されたカセットＣと仮置きテーブル１３との間でのウェーハＷの搬送を行う。また、シートカットテーブル１４とカセット収容部１１に収容されたカセットＣとの間でのウェーハＷの搬送を行う。

保護部材形成装置１は、シートカットテーブル１４に対してＹ軸方向の後方側に基台１５を備えている。基台１５には、石英ガラス等の透光性材料からなるガラステーブル１６が設けられている。ガラステーブル１６は、円板状に形成されている。ガラステーブル１６の上面は、シートＳを載置するための平坦な載置面１６１になっている。そして、ガラステーブル１６を支持する支持テーブル１６２が設けられている。この支持テーブル１６２の上面には、吸引源（図示略）に接続されてシートＳを吸引する吸引孔１６３を４つ備えている。

ガラステーブル１６の載置面１６１上および支持テーブル１６２の上面にシートＳを搬送して載置するシート搬送機構１７を備える。シート搬送機構１７は、ロール状に巻かれたシートＳが支持されるシート供給部１７１と、Ｙ軸方向に移動可能なアーム１７２と、アーム１７２の側面に取り付けられたクランプ部１７３と、を備えている。シート搬送機構１７では、シート供給部１７１に支持されたロール状のシートＳをクランプ部１７３によって保持し、アーム１７２をＹ軸方向に移動させてシートＳを引っ張ることによって、ガラステーブル１６の載置面１６１上および支持テーブル１６２の上面にシートＳを載置する。そして、吸引源の動作によって４つの吸引孔１６３に吸引力を作用させ、支持テーブル１６２は、シートＳを保持する。

シートＳは透光性材料からなる。シートＳとして、例えば、ポリエチレンテレフタレート等で形成されたフィルム等を用いることができる。なお、これ以外の材質からなるシートＳを用いてもよい。

ガラステーブル１６の外周と支持テーブル１６２の内周との境には、吸引源（図示略）に接続される円環状の吸引孔１６４が形成されている。吸引源の動作によって吸引孔１６４に吸引力を作用させることにより、載置面１６１上に載置されたシートＳが載置面１６１に吸引保持される。

ガラステーブル１６の近傍には、載置面１６１上のシートＳの上面に所定量の液状樹脂Ｍ（図２参照）を供給する樹脂供給機構１８が設けられている。樹脂供給機構１８は、基台１５内に設けられたタンク１８４に接続するディスペンサ１８１と、ディスペンサ１８１から延びる接続管１８２が接続する樹脂供給ノズル１８３とを備える。

樹脂供給ノズル１８３は、アーム１７２の下部に設けられ、シート搬送機構１７によるアーム１７２のＹ軸方向の移動に応じて移動可能とされる。かかる移動によって、ガラステーブル１６と後述する保持テーブル２０１との間に樹脂供給ノズル１８３を位置付けた状態と、それらの間から樹脂供給ノズル１８３退避した状態とにセットすることができる。

タンク１８４に貯留された液状樹脂Ｍがディスペンサ１８１によって接続管１８２を経由して送られ、樹脂供給ノズル１８３から下方に向けて液状樹脂Ｍが供給（滴下）される。樹脂供給ノズル１８３からの液状樹脂Ｍの供給量は、ディスペンサ１８１によって調整可能である。

液状樹脂Ｍは、外的刺激によって硬化する性質を有する。本実施の形態では、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化型の液状樹脂Ｍを用いている。液状樹脂Ｍは、熱硬化型であってもよい。

保護部材形成装置１は、ガラステーブル１６の上方に配置されるウェーハ保持部（保持部）２０を備えている。ウェーハ保持部２０はコラム１９に支持され、コラム１９は、ガラステーブル１６に対してＹ軸方向の前方側の位置にて基台１５から上方へ突出して設けられている。コラム１９には、ウェーハ保持部２０をＺ軸方向へ移動（昇降）させて、ガラステーブル１６に対して接近及び離間させる昇降機構２１が設けられている。

昇降機構２１は、Ｚ軸方向に延びる一対のガイドレール２１１及びボールねじ２１２と、一対のガイドレール２１１に対してＺ軸方向に移動可能に支持された昇降テーブル２１３とを備えている。昇降機構２１は、モータ２１４の駆動力によってボールねじ２１２を回転させると、一対のガイドレール２１１に沿って昇降テーブル２１３がＺ軸方向に移動する。

ウェーハ保持部２０は昇降テーブル２１３により支持されており、昇降テーブル２１３に伴ってウェーハ保持部２０がＺ軸方向へ移動される。ウェーハ保持部２０は円板状の保持テーブル２０１を備えている。保持テーブル２０１の下面側には、円板状の多孔質部材２０２（図３参照）が設けられている。多孔質部材２０２の下面は、ガラステーブル１６の上方に位置するウェーハ保持面（保持面）２０３とされる。ウェーハ保持面２０３は、ガラステーブル１６の載置面１６１と略並行な面である。言い換えると、ガラステーブル１６は保持テーブル２０１のウェーハ保持面２０３に対向配置される。

多孔質部材２０２は、吸引路を介して吸引源（何れも図示略）に連通している。吸引源の動作によって多孔質部材２０２に吸引力が付与され、ウェーハ保持面２０３でウェーハＷの上面Ｗａが吸引保持される。

ウェーハ保持部２０は、荷重検知部２２を備えている。荷重検知部２２は、ウェーハＷの下面Ｗｂに加わる垂直方向（Ｚ軸方向）の荷重を検知することができる。

ガラステーブル１６の下方には、載置面１６１上のシートＳに滴下された液状樹脂Ｍに外的刺激を付与して硬化させる紫外線照射ユニット２３が配置されている。紫外線照射ユニット２３は、紫外線ＵＶを発することが可能な複数の紫外線照射部２３１（何れも図６参照）を備えており、透光性を有するガラステーブル１６及びシートＳを通じて液状樹脂Ｍに紫外線ＵＶを照射して硬化させる。紫外線照射部２３１に用いる光源はＬＥＤを用いてもよい。

基台１５に対してＸ軸方向の左側に、第２搬送機構２５が設けられている。第２搬送機構２５は、台座２５１上に支持されるロボットハンド２５２を備え、Ｙ軸方向への台座２５１の移動と、ロボットハンド２５２の動作とによって、仮置きテーブル１３とウェーハ保持部２０との間でのウェーハＷの搬送を行う。また、ガラステーブル１６とシートカットテーブル１４との間でのウェーハＷの搬送を行う。

保護部材形成装置１は、基台１５に対してＸ軸方向の後方側に設けられる搬出機構２７を更に備えている。搬出機構２７の構成については、ガラステーブル１６の清掃要領の説明と共に後述する。

保護部材形成装置１は、制御部４０によって統括的に制御される。制御部４０は、各種処理を実行するプロセッサと、各種パラメータやプログラム等を記憶する記憶部（メモリ）と、によって構成されている。制御部４０の記憶部には、制御プログラムの一部として、例えば、各種条件に基づき、搬出機構２７等の動作を制御するためのプログラムが記憶されている。

制御部４０は、機能ブロックとして、供給制御部４１、拡張制御部４２、硬化制御部４３、シート搬送制御部４４及び搬出制御部４５を備えている。これらの機能ブロックは、制御部４０における記憶部に記憶されたプログラムが実行されることによって実現される。なお、図１に示す制御部４０の機能ブロックは、本発明に関連する構成のみを示しており、それ以外の構成については省略している。

供給制御部４１は、樹脂供給機構１８におけるディスペンサ１８１の駆動量を制御し、樹脂供給ノズル１８３によってガラステーブル１６の上面やシートＳに対し所定量の液状樹脂Ｍを供給させる。

拡張制御部４２は、昇降機構２１によるウェーハ保持部２０の動作量、動作方向等を制御する。これにより、後述するようにウェーハ保持部２０の下降で液状樹脂Ｍを広げた状態（図５、図７Ｃ参照）にすることができる。

硬化制御部４３は、紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射を制御し、液状樹脂Ｍを硬化させる。

シート搬送制御部４４は、シート搬送機構１７におけるアーム１７２やクランプ部１７３の駆動を制御し、ガラステーブル１６の上面やウェーハ保持部２０のウェーハ保持面２０３にシートＳを搬送させる。

搬出制御部４５は、搬出機構２７等の駆動を制御し、液状樹脂Ｍが硬化した後述する硬化済樹脂Ｍ１やシートＳをガラステーブル１６の上面から離間して搬出させる。

なお、上述した各制御部４１～４５の機能は、制御部４０を構成するプロセッサやメモリ等の動作によって実現されるものであり、各制御部４１～４５が独立した電子部品で構成されていることを意味しているのではない。また、図１では、制御部４０と搬出機構２７との間の接続関係のみを模式的に示しているが、制御部４０は、搬出機構２７以外の保護部材形成装置１の各部に対しても、信号の送受が可能に接続されている。

続いて、本実施の形態の保護部材形成装置１による保護部材の形成について説明する。

図２は、保護部材の形成におけるシート搬入工程を示している。シート搬入工程では、シート搬送制御部４４を介してシート搬送機構１７が制御され、クランプ部１７３でシートＳの端部をクランプしてアーム１７２をＹ軸方向へ移動させ、シート供給部１７１からシートＳが引き出されてガラステーブル１６側へ搬送される。引き出されたシートＳは所定の長さでカットされる。シートＳはガラステーブル１６の載置面１６１上に載置され、吸引源の動作によって支持テーブル１６２の吸引孔１６３、１６４に吸引力を作用させてシートＳが吸引保持される。これにより、シートＳが載置面１６１に密着される。この段階での載置面１６１上のシートＳの面積は、ウェーハＷの下面Ｗｂの面積よりも大きい。なお、載置面１６１は、下面Ｗｂと同一面積である。

図３は、保護部材の形成における液状樹脂供給工程を示している。液状樹脂供給工程では、先のシート搬入工程によって載置面１６１上に載置されたシートＳの上方に、樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３が位置付けられる。かかる位置付けは、アーム１７２をＹ軸方向に移動するシート搬送機構１７にて実施される。

樹脂供給ノズル１８３の位置付け後、供給制御部４１を介してディスペンサ１８１が制御され、樹脂供給ノズル１８３に液状樹脂Ｍを送出して樹脂供給ノズル１８３からシートＳに向けて液状樹脂Ｍを滴下させる。樹脂供給ノズル１８３はガラステーブル１６の中央付近の上方に位置付けられ、樹脂供給ノズル１８３から滴下された液状樹脂Ｍは、ウェーハＷの面積よりも狭い範囲でシートＳの上面の中央付近に溜まった状態になる。

供給制御部４１は、ウェーハＷの大きさ等の情報に基づいてディスペンサ１８１を制御し、ウェーハＷの下面Ｗｂの全面に行き渡る量（所定量）の液状樹脂ＭをシートＳへ供給させる。所定量の液状樹脂Ｍの供給が完了したら、アーム１７２を移動させてガラステーブル１６の上方から樹脂供給ノズル１８３を退避させ、液状樹脂供給工程を完了する。

図４は、保護部材の形成におけるウェーハ保持工程を示している。図４は、ウェーハ保持工程にて、保持テーブル２０１にウェーハＷを保持させた状態を示している。ウェーハ保持工程では、第１搬送機構１２によって、保護部材Ｈ（図６参照）を形成する前のウェーハＷが、収容スペース１１１内のカセットＣから取り出される。その後、第２搬送機構２５にウェーハＷが受け渡され、ウェーハＷが保持テーブル２０１まで搬送される。保持テーブル２０１では、吸引源を動作させて多孔質部材２０２に吸引力を作用させ、ウェーハ保持面２０３にウェーハＷの上面Ｗａを吸引して保持する。

なお、ウェーハ保持工程の少なくとも一部を、シート搬入工程及び液状樹脂供給工程と並行して（同時に）行ってもよい。

図５は、保護部材の形成における押し広げ工程を示している。保持テーブル２０１に保持されたウェーハＷが、シートＳ上の液状樹脂Ｍの上方に対向して位置する状態（図４参照）になったら、図５に示す押し広げ工程に進む。押し広げ工程では、拡張制御部４２を介して昇降機構２１のモータ２１４が制御され、昇降テーブル２１３及び保持テーブル２０１を所定の送り速度で下降させる。

保持テーブル２０１の下降によって、ウェーハＷの下面Ｗｂがガラステーブル１６に接近して液状樹脂Ｍに接触する。そして、ウェーハＷの下面Ｗｂによって液状樹脂Ｍが押圧されて、液状樹脂ＭがウェーハＷの径方向に押し広げられる。ウェーハＷの下面Ｗｂが接触する前の液状樹脂ＭはシートＳの中央付近にまとまって位置しており（図４参照）、ウェーハＷから押圧されることにより、液状樹脂ＭはウェーハＷの外縁側に向けて広がる（図５参照）。

液状樹脂Ｍの広がり状態に応じて保持テーブル２０１の下降量を調整する場合、荷重検知部２２の検知結果に基づき拡張制御部４２にてモータ２１４を制御してもよい。

押し広げ工程が完了して、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を液状樹脂Ｍが覆う状態になったら、硬化工程に進む。図６は、保護部材の形成における硬化工程を示している。硬化工程では、硬化制御部４３を介して紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射が制御され、液状樹脂Ｍを硬化させる強度（波長）の紫外線ＵＶが、紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて照射される。紫外線照射部２３１から発した紫外線ＵＶは、ガラステーブル１６及びシートＳを透過して液状樹脂Ｍに達し、紫外線硬化樹脂である液状樹脂Ｍを硬化させる。液状樹脂Ｍが十分に硬化した状態になったら、紫外線照射ユニット２３からの紫外線ＵＶの照射を終了する。かかる液状樹脂Ｍの硬化によって、ウェーハＷの下面Ｗｂの全体を覆う保護部材Ｈが形成され、保護部材ＨによってウェーハＷの下面Ｗｂが保護される。

続いて、本実施の形態におけるガラステーブル１６の清掃要領について説明する。図７及び図８は、ガラステーブルの清掃における各工程を示している。図７Ａは、液状樹脂供給工程を示す説明図、図７Ｂ及び図７Ｃは、押し広げ工程を示す説明図、図７Ｄは、硬化工程を示す説明図である。図８Ａ及び図８Ｂは、搬出工程を示す説明図である。ここでは、清掃の前において、ガラステーブル１６の載置面１６１に微小な粒状或いは粉状のゴミＤが付着された状態とする。

ガラステーブル１６の清掃においては、保護部材Ｈの形成におけるシート搬入工程（図２参照）が省略され、図７Ａに示す液状樹脂供給工程が実施される。かかる液状樹脂供給工程は、ガラステーブル１６の載置面１６１上に樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３が位置付けられ、載置面１６１上にシートＳが載置されていない状態で、樹脂供給ノズル１８３から載置面１６１上に液状樹脂Ｍを滴下（供給）させる。滴下させる液状樹脂Ｍは、供給制御部４１によるディスペンサ１８１の制御により、載置面１６１全面に行き渡る所定量とされる。

図７Ａの液状樹脂供給工程の実施後、保護部材Ｈの形成におけるウェーハ保持工程（図４参照）が行われずに、図７Ｂ及び図７Ｃに示す押し広げ工程が実施される。押し広げ工程では、拡張制御部４２を介して昇降機構２１のモータ２１４が制御され、昇降テーブル２１３及び保持テーブル２０１を所定の送り速度で降下させる。また、ウェーハ保持部２０の多孔質部材２０２に連通するエア源２０６から、少量のエアを供給してウェーハ保持面２０３からエアを吹き出す状態が維持されるようにしてもよい。なお、ウェーハ保持部２０は、緻密体であってもよい。緻密体のウェーハ保持部２０は、ウェーハ保持面２０３に複数の吸引口と、内部に吸引口を吸引源に連通する吸引路とを形成する。

保持テーブル２０１の降下によって、ウェーハ保持面２０３をガラステーブル１６に接近させて液状樹脂Ｍに接触させつつ、ウェーハ保持面２０３によって液状樹脂Ｍが押圧される。これにより、ウェーハ保持面２０３とガラステーブル１６における載置面１６１との間で、液状樹脂Ｍがガラステーブル１６の径方向に沿って載置面１６１全面に押し広げられる。ウェーハ保持面２０３が接触する前の液状樹脂Ｍはガラステーブル１６における載置面１６１の中央付近にまとまって位置しており（図７Ｂ参照）、保持テーブル２０１により押圧されることで液状樹脂Ｍが載置面１６１の外縁側に向けて広がる（図７Ｃ参照）。液状樹脂Ｍの広がりによって、載置面１６１に付着したゴミＤが液状樹脂Ｍの下面側にて取り込まれるように一体化される。

液状樹脂Ｍの広がり状態に応じて保持テーブル２０１の下降量を調整する場合、荷重検知部２２の検知結果に基づき拡張制御部４２にてモータ２１４を制御してもよい。ウェーハ保持面２０３による液状樹脂Ｍの押圧中、ウェーハ保持面２０３からエアを吹き出されるので、多孔質部材２０２の内部に液状樹脂Ｍが進入することが抑制される。また、上記の吸引口からエアを噴出させ液状樹脂Ｍが進入すること防止するようにしてもよい。また、エアではなく、Ｎ２ガスを噴出するようにしてもよい。また、特開２０１４－０７８５５０に開示のように、保持テーブル２０１は、円環状の蛇腹筒を備え、ウェーハ保持面２０３による液状樹脂Ｍの押圧中に、蛇腹筒の内側に載置面１６１を収容させ、Ｎ２雰囲気内で液状樹脂Ｍを確実に硬化させるようにしてもよい。

図７Ｂ及び図７Ｃの押し広げ工程の実施後、図７Ｄに示す硬化工程が実施される。硬化工程では、硬化制御部４３を介して紫外線照射ユニット２３による紫外線ＵＶの照射が制御され、液状樹脂Ｍを硬化させる強度（波長）の紫外線ＵＶが紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて照射される。紫外線照射部２３１から発した紫外線ＵＶは、ガラステーブル１６を透過して液状樹脂Ｍに達し、紫外線硬化樹脂である液状樹脂Ｍが硬化して硬化済樹脂（樹脂）Ｍ１とされる。液状樹脂Ｍが十分に硬化して硬化済樹脂Ｍ１が形成された後、紫外線照射ユニット２３からの紫外線ＵＶの照射を終了する。硬化済樹脂Ｍ１が形成された後においても、硬化済樹脂Ｍ１にゴミＤが取り込まれた状態が保たれる。

その後、モータ２１４の駆動によって昇降テーブル２１３及びウェーハ保持部２０を上昇させる。これと同時に、多孔質部材２０２に連通するエア源２０６から押し広げ工程より相対的に多量となるエアを供給してウェーハ保持面２０３からエアが吹き出される。これにより、硬化済樹脂Ｍ１からウェーハ保持面２０３が離れつつ、硬化済樹脂Ｍ１がガラステーブル１６の載置面１６１に載った状態が維持される。

図７Ｄの硬化工程の実施後、図８Ａ及び図８Ｂに示す搬出工程が実施される。搬出工程には、搬出機構２７が用いられる。搬出機構２７は、硬化済樹脂Ｍ１の端を把持する把持部２７１と、把持部２７１を回転可能に支持しつつ鉛直方向に移動させる鉛直移動機構２７２と、把持部２７１及び鉛直移動機構２７２を水平方向に移動させる水平移動機構（移動機構）２７３とを備えている。各移動機構２７２、２７３は、詳細な図示説明は省略するが、シリンダやモータ、スライダ、ボールねじ等を用いた適宜な構造が採用される。

搬出工程は、搬出制御部４５を介して搬出機構２７が制御され、把持部２７１で硬化済樹脂Ｍ１の端部を把持させる（図８Ａ参照）。その後、鉛直移動機構２７２で把持部２７１を上昇させつつ、水平移動機構２７３により把持部２７１を水平方向に移動させる。これにより、図８Ｂに示すように、硬化済樹脂Ｍ１が端部から捲り上げられ、反転しながらガラステーブル１６の載置面１６１から離間して搬出される。かかる硬化済樹脂Ｍ１の搬出によって、載置面１６１に付着したゴミＤが硬化済樹脂Ｍ１に取り込まれた状態で除去され、載置面１６１を清掃することが可能となる。搬出後の硬化済樹脂Ｍ１は適宜な回収容器等に廃棄される。

上記実施の形態によれば、保護部材Ｈの形成で利用されるシートＳを用いずに載置面１６１に液状樹脂Ｍを供給して押し広げることで、載置面１６１に付着したゴミＤを硬化済樹脂Ｍ１に取り込んで除去することができる。これにより、エアブローのようにゴミＤが浮遊してからガラステーブル１６に再付着したり、ガラステーブル１６以外の構造物にゴミＤが付着したりすることを防止してガラステーブル１６の清掃を良好に実施することができる。

このように清掃できることで、保護部材Ｈの形成にて、ガラステーブル１６上のシートＳがゴミＤの付着位置にて部分的に浮き上がり、かかる付着位置にて保護部材Ｈの厚みが薄くなることを回避できる。その結果、保護部材Ｈを均一な厚みに形成可能となり、ウェーハＷの上面Ｗａを研削するときに、保護部材Ｈの厚みが薄い部分でウェーハＷが撓み変形することを防止できる。そして、かかる変形を防止しつつウェーハＷを研削することで、研削後のウェーハＷを精度良く均一な厚みにすることができる。

なお、シート搬送機構１７のアーム１７２に樹脂供給機構１８の樹脂供給ノズル１８３を設けた構成としたが、これに限られるものでない。例えば、樹脂供給ノズル１８３は、液状樹脂Ｍの吐出、供給だけに用いられるアーム等に設けてもよい。

また、上記実施の形態における搬出機構２７の構成は、ガラステーブル１６の載置面１６１から硬化済樹脂Ｍ１を搬出できる限りにおいて、種々の変更が可能であり、例えば、図９Ａ及び図９Ｂに示す構成に変更してもよい。図９Ａ及び図９Ｂは、第１変形例に係る搬出機構及び搬出工程を示す説明図である。

図９Ａの第１変形例における搬出機構５０は、ローラ状の巻き取り部５０１と、巻き取り部５０１を回転可能に支持しつつ水平方向に移動させる水平移動機構５０２とを備えている。巻き取り部５０１には、径方向の少なくとも１箇所に吸引口５０３が形成され、吸引口５０３は、吸引路５０４を介して吸引源５０５に接続されている。搬出機構５０は、吸引源５０５の動作によって吸引口５０３に吸引力を作用させて硬化済樹脂Ｍ１の端部を吸引して保持可能となる。

第１変形例での搬出工程は、巻き取り部５０１における吸引口５０３の形成位置と硬化済樹脂Ｍ１の端部とを位置合わせする。そして、吸引口５０３での吸引力を作用させて硬化済樹脂Ｍ１の端部を吸引保持しつつ、水平移動機構５０２により巻き取り部５０１を水平方向に移動して転動させる。これにより、図９Ｂに示すように、巻き取り部５０１により硬化済樹脂Ｍ１を巻くことができ、硬化済樹脂Ｍ１をガラステーブル１６の載置面１６１から離間して搬出可能となる。よって、図９の第１変形例によっても載置面１６１に付着したゴミＤが硬化済樹脂Ｍ１に取り込まれた状態で除去され、載置面１６１を清掃することが可能となる。

また、上記実施の形態における押し広げ工程では、保持テーブル２０１のウェーハ保持面２０３が液状樹脂Ｍに直接接触して押し広げたが、これに限られるものでない。例えば、押し広げ工程は、図１０Ａ及び図１０Ｂに示す第２変形例のように行ってもよい。図１０Ａ及び図１０Ｂは、第２変形例に係る押し広げ工程を示す説明図である。

図１０Ａの第２変形例におけるシート搬送機構１７は、実施の形態の構成に加え、シートＳを上面側から吸引保持するシート保持機構５１を更に備えている。シート保持機構５１は、シートＳの上面に接触するシート保持部５１１と、シート保持部５１１を水平方向に移動させる水平移動機構５１２とを備えている。シート保持部５１１の下面には、吸引孔（不図示）が形成され、かかる吸引孔は吸引路５１４を介して吸引源５１５に接続されている。シート保持機構５１は、吸引源５１５の動作によって吸引孔に吸引力を作用させてシートＳの上面を吸引して保持可能となる。

第２変形例では、上記実施の形態と同様に、樹脂供給ノズル１８３によってガラステーブル１６の載置面１６１に所定量の液状樹脂Ｍを供給させた状態とする（図７Ａ参照）。その後、押し広げ工程として、制御部４０によってシート搬送機構１７が制御され、シート保持部５１１によりシートＳが保持された状態で水平移動機構５１２が駆動される。これにより、液状樹脂Ｍの上にガラステーブル１６を覆う面積のシートＳが搬送される。

次いで、拡張制御部４２を介して昇降機構２１が制御され、図１０Ｂに示すように、保持テーブル２０１が降下することでウェーハ保持面２０３によりシートＳの上面が下方に押し込まれる。これにより、シートＳを介してガラステーブル１６の載置面１６１全面に液状樹脂Ｍが押し広げられる。かかる液状樹脂Ｍの広がりによって、載置面１６１に付着したゴミＤが上記実施の形態と同様に液状樹脂Ｍに取り込まれる。

続いて、硬化工程として、硬化制御部４３を介して紫外線照射ユニット２３が制御され、紫外線照射部２３１から載置面１６１に向けて紫外線ＵＶが照射されて液状樹脂Ｍが硬化し、硬化済樹脂Ｍ１とシートＳとが一体化される。

その後、搬出工程として、搬出制御部４５を介して上記実施の形態の搬出機構２７が制御され、実施の形態では硬化済樹脂Ｍ１だけを搬出したが、本変形例ではシートＳと硬化済樹脂Ｍ１とが一体的にガラステーブル１６の載置面１６１から離間されて搬出される。また、第１変形例の搬出機構５０も用いることができ、かかる搬出機構５０では、シートＳと硬化済樹脂Ｍ１とが一体的に巻き取り部５０１により巻き取られ、ガラステーブル１６の載置面１６１から離間して搬出可能となる。

なお、本発明の実施の形態は上記の実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。

以上説明したように、本発明の保護部材形成装置は、保護部材を形成するために利用されるガラステーブルの清掃を良好に実施することができる。

１ ：保護部材形成装置
１６ ：ガラステーブル
１６１ ：載置面
１７ ：シート搬送機構
１８３ ：樹脂供給ノズル
２０ ：ウェーハ保持部（保持部）
２０３ ：ウェーハ保持面（保持面）
２１ ：昇降機構
２３ ：紫外線照射ユニット
２７ ：搬出機構
２７１ ：把持部
２７３ ：水平移動機構（移動機構）
４０ ：制御部
５０ ：搬出機構
５０１ ：巻き取り部
Ｄ ：ゴミ
Ｈ ：保護部材
Ｍ ：液状樹脂
Ｍ１ ：硬化済樹脂（樹脂）
Ｓ ：シート
ＵＶ ：紫外線
Ｗ ：ウェーハ

Claims (6)

1. ウェーハの一方の面全面を保護する保護部材形成装置であって、
   ウェーハを保持する保持面を下面に有する保持部と、該保持部を昇降させる昇降機構と、該保持面に対向配置したガラステーブルと、該ガラステーブルの上面に紫外線硬化型の液状樹脂を供給する樹脂供給ノズルと、該ガラステーブルの下方に配置し該液状樹脂に紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、該ガラステーブルから硬化した樹脂を搬出する搬出機構と、制御部と、を備え、
   該制御部は、
   該樹脂供給ノズルによって該ガラステーブルの上面に所定量の該液状樹脂を供給させることと、該昇降機構によって該保持部を降下させ該保持面と該ガラステーブルの上面との間で該ガラステーブルの上面全面に該液状樹脂を広げることと、該紫外線照射ユニットによって該液状樹脂を硬化させることと、該搬出機構によって該液状樹脂が硬化した該樹脂を該ガラステーブルの上面から離間させ搬出することと、を制御し、
   該ガラステーブルから搬出する該樹脂には、少なくとも該ガラステーブルの上面に付着していたゴミが取り込まれており、該樹脂の搬出によって該ガラステーブルの上面を清掃する、保護部材形成装置。
2. 該ガラステーブルの上面にシートを搬送するシート搬送機構を備え、
   該制御部は、該シート搬送機構によって該液状樹脂の上に該ガラステーブルを覆う面積の該シートを搬送することと、該樹脂供給ノズルによって該ガラステーブルの上面に所定量の該液状樹脂を供給させることと、該昇降機構によって該保持部を降下させ該保持面で該シートの上面を押し該シートを介して該ガラステーブルの上面全面に該液状樹脂を押し広げることと、該紫外線照射ユニットによって該液状樹脂が硬化した該樹脂と該シートとを一体化させることと、該搬出機構によって該シートと該樹脂とを一体に該ガラステーブルの上面から離間させ搬出することと、を制御する請求項１記載の保護部材形成装置。
3. 該搬出機構は、該樹脂の端を把持する把持部と、該把持部を水平方向に移動させる移動機構とを備え、該ガラステーブルの上面から硬化した該樹脂を搬出する、請求項１記載の保護部材形成装置。
4. 該搬出機構は、該樹脂を巻いて、該ガラステーブルの上面から該樹脂を離間させる巻き取り部を備え、該ガラステーブルの上面から硬化した該樹脂を搬出する、請求項１記載の保護部材形成装置。
5. 該搬出機構は、該シートの端を把持する把持部と、該把持部を水平方向に移動させる移動機構とを備え、該ガラステーブルの上面から硬化した該樹脂と該シートとを一体的に搬出する、請求項２記載の保護部材形成装置。
6. 該搬出機構は、該シートを巻いて、該ガラステーブルの上面から該樹脂と該シートとを一体に離間させる巻き取り部を備え、該ガラステーブルの上面から硬化した該樹脂と該シートとを一体的に搬出する、請求項２記載の保護部材形成装置。

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