JP2024050512A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接合剤による液体吐出ヘッドの不具合を抑制する。【解決手段】複数の基板５０，６５を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、第一基板６５と、前記第一基板上の接合領域Ｂ１に付与された接合剤６７によって該第一基板に接合される薄板部材６６と、前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板５０とを有し、前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙Ｃが設けられている。【選択図】図１１

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置に関するものである。

従来、複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドが知られている。
例えば、特許文献１には、ノズル板と、流路基板と、共通液室部材と、ダンパ部材と、ダンパ室形成部材とが、互いに基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドが開示されている。流路基板には、ノズル板のノズルに通じる個別液室と、個別液室内の液体を加圧する圧力を発生する電気機械変換素子とが備わっている。ダンパ部材（薄板部材）は、ダンパ室形成部材（第一基板）と共通液室部材（第二基板）との間に挟み込むように設けられている。

従来の液体吐出ヘッドにおいて、共通液室部材にダンパ室形成部材を接合する前に、ダンパ室形成部材にダンパ部材を接合する場合がある。この場合、接合に用いられる接合剤が液体吐出ヘッドに不具合を生じさせることがあった。

上述した課題を解決するために、本発明は、複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、第一基板と、前記第一基板上の接合領域に付与された接合剤によって該第一基板に接合される薄板部材と、前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板とを有し、前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙が設けられていることを特徴とする。

本発明によれば、接合剤による液体吐出ヘッドの不具合を抑制することができる。

実施形態における液体吐出ヘッドの外観斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの断面斜視説明図。 同液体吐出ヘッドのフレーム部材を除いた分解斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの流路部分の断面斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの流路部分の拡大断面斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの流路部分の平面説明図。 実施形態におけるダンパ部材を示す斜視図。 ダンパフレーム基板上における接着剤付着領域を示す平面図。 従来の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。 実施形態の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。 実施形態における共通流路部材上の空隙を示す平面図。 共通流路部材に設けられる空隙の他の例を示す断面図。 変形例のダンパフレーム基板上における接着剤付着領域を示す平面図である。 変形例の共通流路部材上の空隙を示す平面図である。 変形例の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材と共通流路部材との接合部分を図１４の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図。 実施形態のヘッドモジュールの分解斜視説明図。 実施形態のヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図。 実施形態における印刷装置の概略説明図。 印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図。 印刷装置の一例の要部平面説明図。 印刷装置の一例の要部側面説明図。 液体吐出ユニットの一例の要部平面説明図。 液体吐出ユニットの一例の正面説明図。 ２種類の接着剤を用いて接合する場合の一例を示す説明図。 本発明の実施形態に係る電極の製造装置の一例を示す模式図である。

以下、本発明を、液体を吐出する装置に設けられる液体吐出ヘッドに適用した一実施形態について説明する。
図１は、本実施形態における液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
図２は、同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。
図３は、同液体吐出ヘッドの断面斜視説明図である。
図４は、同液体吐出ヘッドのフレーム部材を除いた分解斜視説明図である。
図５は、同液体吐出ヘッドの流路部分の断面斜視説明図である。
図６は、同液体吐出ヘッドの流路部分の拡大断面斜視説明図である。
図７は、同液体吐出ヘッドの流路部分の平面説明図である。

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０、個別流路部材である流路板２０、振動板部材３０、共通流路部材５０、ダンパ部材６０、フレーム部材８０、駆動回路１０２を実装したフレキシブル配線基板１０１を備えている。

ノズル板１０を構成するノズル基板、流路板２０及び振動板部材３０を構成する基板、共通流路部材５０を構成するサブフレーム基板、及びダンパ部材６０を構成するダンパ基板は、いずれも単結晶Ｓｉウェハを基板材料としている。これらの基板は、ＭＥＭＳや半導体デバイスの微細加工技術によってＳｉウェハ上に複数のチップ（液体吐出ヘッド）を同時に作製し、チップ化後の各基板を接合して液体吐出ヘッド１となる。

図４及び図５に示すように、ノズル板１０には、液体（液滴）を吐出する複数のノズル１１が設けられている。複数のノズル１１は二次元状にマトリクス配置されている。

図５及び図６に示すように、流路板２０は、複数のノズル１１にそれぞれ連通する複数の個別液室である圧力室２１と、複数の圧力室２１にそれぞれ通じる複数の個別供給流路２２と、複数の圧力室２１にそれぞれ通じる複数の個別回収流路２３とを有している。図７に示すように、一つの圧力室２１とこれに通じる個別供給流路２２及び個別回収流路２３とを併せて個別流路２５という。

振動板部材３０は、アクチュエータ基板であり、圧力室２１の変形可能な壁面である振動板３１を形成し、振動板３１には圧電素子４０が一体に設けられている。また、振動板部材３０には、個別供給流路２２に通じる供給側開口３２と、個別回収流路２３に通じる回収側開口３３とが形成されている。圧電素子４０は、電気機械変換素子であり、振動板３１を変形させて圧力室２１内の液体を加圧する圧力発生手段である。

なお、流路板２０と振動板部材３０とは、互いに別部材であることに限定されるものではない。例えば、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板を使用して流路板２０及び振動板部材３０を同一部材で一体に形成することができる。つまり、シリコン基板上に、シリコン酸化膜、シリコン層、シリコン酸化膜の順に成膜されたＳＯＩ基板を使用し、シリコン基板を流路板２０とし、シリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜とで振動板３１を形成することができる。この構成では、ＳＯＩ基板のシリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜の層構成が振動板部材３０となる。このように、振動板部材３０は流路板２０の表面に成膜された材料で構成されるものを含む。

共通流路部材５０は、液体流路基板であり、２以上の個別供給流路２２に通じる複数の共通供給流路支流５２と、２以上の個別回収流路２３に通じる複数の共通回収流路支流５３とを、ノズル１１の第２方向Ｓに交互に隣接して形成している。共通流路部材５０には、個別供給流路２２の供給側開口３２と共通供給流路支流５２を通じる供給口５４となる貫通孔と、個別回収流路２３の回収側開口３３と共通回収流路支流５３を通じる回収口５５となる貫通孔とが形成されている。

また、共通流路部材５０は、複数の共通供給流路支流５２に通じる１または複数の共通供給流路本流５６と、複数の共通回収流路支流５３に通じる１または複数の共通回収流路本流５７とを形成している。

ダンパ部材６０は、共通供給流路支流５２の供給口５４と対面する（対向する）供給側ダンパ６２と、共通回収流路支流５３の回収口５５と対面する（対向する）回収側ダンパ６３とを有している。

共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３は、同じ部材である共通流路部材５０に交互に並べて配列された溝部を薄板部材であるダンパとしてのダンパ板６６で封止することにより構成している。そして、共通供給流路支流５２と対応するダンパ板６６によって供給側ダンパ６２が、共通回収流路支流５３と対応するダンパ板６６によって回収側ダンパ６３がそれぞれ構成される。

なお、ダンパ板６６としては、有機溶剤に強い金属薄膜または無機薄膜を用いることが好ましく、その厚みは１０［μｍ］以下が好ましい。また、ダンパ板６６は複数層からなる積層構造を有するのが好ましい。また、ダンパ板６６は、ダンパとして必要な機能を満たすうえで、コンプライアンスが７×１０^－１７［ｍ／Ｎ］以上であり、ヤング率が３［ＧＰａ］以上２００［ＧＰａ］以下であり、厚みが２［μｍ］以上１０［μｍ］以下であるのが好ましい。

本実施形態の液体吐出ヘッド１には、ノズル１１からの液体吐出時に生じる液体流路（例えば個別供給流路２２）の圧力変動が、他のノズル１１からの液体吐出に与える影響（例えばクロストーク）を抑制するために、ダンパ部材６０が設けられている。ダンパ部材６０が適切にダンパ機能を発揮することで、液体吐出時の振動（圧力変動）が液体を介して伝播して、隣接するノズルの液体吐出に影響するというクロストークの発生を抑制でき、各ノズル１１からの液体吐出精度を安定させることができる。

図８は、本実施形態におけるダンパ部材６０を示す斜視図である。
図８に示すように、ダンパ部材６０は、矩形板状の部材からなるダンパ保持基板としてのダンパフレーム基板６５から主に構成され、ダンパフレーム基板６５には、その長辺に沿って、共通流路部材５０の共通供給流路本流５６と共通回収流路本流５７とに連通する貫通孔６１Ａ，６１Ｂが形成されている。ダンパフレーム基板６５の貫通孔６１Ａ，６１Ｂに挟まれた領域に供給側ダンパ６２及び回収側ダンパ６３が形成され、これによりダンパ部材６０が構成されている。

次に、従来の液体吐出ヘッドの不具合について説明する。
図９は、ダンパフレーム基板６５上における接着剤付着領域を示す平面図である。
図１０は、従来の液体吐出ヘッドにおけるダンパ部材６０と共通流路部材５０との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図である。

液体吐出ヘッドの吐出性能を悪化させる要因は種々存在するが、本発明者らの研究の結果、ダンパフレーム基板６５とダンパ板６６との接合に用いられる接合剤が、液体吐出ヘッドの吐出性能を悪化させる新たな要因になり得ることを見出した。

詳しく説明すると、第一基板であるダンパフレーム基板６５と第二基板である共通流路部材５０とを接合するにあたり、事前に、これらの間に挟み込むダンパ板６６をダンパフレーム基板６５に接合する。この接合では、まず、ダンパフレーム基板６５上の接合領域である第一接着剤付与領域Ｂ１上に接合剤としての光硬化性樹脂であるＵＶ接着剤６７を付与して、ダンパフレーム基板６５にダンパ板６６を接合する。このとき、第一接着剤付与領域Ｂ１上のＵＶ接着剤６７に紫外線を照射することでＵＶ接着剤６７が硬化され、ダンパフレーム基板６５とダンパ板６６とが接合される。この接合時にＵＶ接着剤６７が変形して硬化し、この変形して硬化した接合剤がダンパ板６６を図１０に示すように凸状に局所変形させることが確認された。

この接合後のダンパ部材６０は、ダンパフレーム基板６５上の第二接着剤付与領域Ｂ２上に第二接合剤としての光硬化性樹脂であるＵＶ接着剤６８が付与され、共通流路部材５０と接合される。具体的には、ダンパフレーム基板６５に接合されたダンパ板６６において、ダンパフレーム基板６５上の第二接着剤付与領域Ｂ２と対向する部分には切り欠き又は貫通孔が形成され、第二接着剤付与領域Ｂ２のＵＶ接着剤６８はダンパフレーム基板６５と共通流路部材５０とを直接的に接合する。

このとき、共通流路部材５０とダンパフレーム基板６５との間に挟み込まれるダンパ板６６が上述のように凸状に局所変形していると、共通流路部材５０には、ダンパ板６６の凸状部分６６ａにより局所的な外力が加わることになる。その結果、共通流路部材５０が変形し、これにより圧電素子４０やその周辺の構造を変形させてしまい、吐出性能に影響を及ぼすという不具合が生じる。

ダンパ部材６０のダンパ板６６は、変形硬化したＵＶ接着剤６７の変形に倣って変形し得る程度に薄く柔らかい部材である。ただし、ダンパ板６６は、硬化前のＵＶ接着剤６７に接触する段階では凸状に局所変形せず、ＵＶ接着剤６７が硬化するにあたって変形（収縮等）することで、この変形に倣って凸状に局所変形するものと考えられる。また、ＵＶ接着剤６７の塗布量が狙いの量よりも多くなった場合、あるいは、通常の量でも塗布位置がずれる等によりダンパフレーム基板６５の表面にＵＶ接着剤６７が乗り上げた場合などにおいて、凸状に局所変形することも考えられる。なお、共通流路部材５０は、ダンパ部材６０のダンパフレーム基板６５の第二接着剤付与領域Ｂ２との間をＵＶ接着剤６８によって接合される。この接合時にも、ＵＶ接着剤６８が硬化するにあたって変形（収縮等）しようとするものと考えられるが、共通流路部材５０が十分な剛性を備えていることから、吐出性能に影響を及ぼすほどの局所的な外力が共通流路部材５０に加わることはない。

図１１は、本実施形態の液体吐出ヘッド１におけるダンパ部材６０と共通流路部材５０との接合部分を図９の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図である。
図１２は、本実施形態における共通流路部材５０上の空隙Ｃを示す平面図である。
図１１に示すように、本実施形態の共通流路部材５０には、ダンパ板６６を介してダンパフレーム基板６５の第一接着剤付与領域Ｂ１と対向する領域に空隙Ｃが設けられている。これにより、ＵＶ接着剤６７によってダンパ板６６に凸状部分６６ａが生じても、その凸状部分６６ａは、図１１に示すように共通流路部材５０の空隙Ｃ内に収まる。その結果、ＵＶ接着剤６７によって生じる凸状部分６６ａによる共通流路部材５０への局所的な外力を小さく抑えることができ、当該凸状部分６６ａによって共通流路部材５０が変形することによって生じる吐出性能の悪化を抑制することができる。

本実施形態における空隙Ｃは、基板面方向（基板厚み方向に対して直交する方向）において、圧電素子４０から外れた領域に設けられている。具体的には、ダンパフレーム基板６５の第一接着剤付与領域Ｂ１は、図９に示すように、圧電素子４０や流路などが配置される圧電素子・流路配置領域Ｄ（図９参照）から外れた領域に設けられているので、この第一接着剤付与領域Ｂ１に対向するように設けられる空隙Ｃも圧電素子・流路配置領域Ｄから外れた領域に設けられる。そのため、本実施形態のような空隙Ｃを設けても、圧電素子４０や流路などの配置に影響を与えることはない。

ところで、ダンパフレーム基板６５の第一接着剤付与領域Ｂ１を、圧電素子４０や流路などの吐出性能に影響を与える構造部分（圧電素子・流路配置領域Ｄなど）から十分に離れた位置に配置すれば、凸状部分６６ａによる共通流路部材５０への局所的な外力が加わっても、吐出性能の悪化が抑制される。しかしながら、この場合、液体吐出ヘッド１のサイズが大きくなってしまい、液体吐出ヘッド１を大型化させることになる。したがって、本実施形態は、液体吐出ヘッド１を大型化させることなく、ＵＶ接着剤６７によって生じる凸状部分６６ａに起因した吐出性能の悪化を抑制することができるものである。

また、本実施形態では、図１１に示すように、共通流路部材５０の空隙Ｃが、ＵＶ接着剤６７の付与され得る領域である第一接着剤付与領域Ｂ１の全域に対向するように、第一接着剤付与領域Ｂ１と同じか又はこれよりも大きく形成されている。そのため、ＵＶ接着剤６７によって生じる凸状部分６６ａの全体を空隙Ｃ内に収めることができ、凸状部分６６ａによる共通流路部材５０への局所的な外力を最小限に抑えることができる。したがって、ＵＶ接着剤６７によって生じる凸状部分６６ａに起因した吐出性能の悪化をより確実に抑制することができる。

もちろん、本発明は、図１３に示すように、共通流路部材５０の空隙Ｃ'が第一接着剤付与領域Ｂ１の一部だけに対向するように設けられる構成を排除するものではない。図１３に示す構成であっても、空隙Ｃ'が設けられていない従来と比較して、凸状部分６６ａによる共通流路部材５０への局所的な外力を小さく抑えることができ、吐出性能の悪化を抑制することができる。

また、本実施形態において、共通流路部材５０に設けられる空隙Ｃは、この共通流路部材５０に形成される液体流路である共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３の深さと同じ深さで形成されている。これにより、空隙Ｃは、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３と同じプロセスで形成することができ、製造工程を簡略化できる。

また、本実施形態では、第一接着剤付与領域Ｂ１に付与される接合剤として光硬化性樹脂であるＵＶ接着剤６７を採用しているため、接合のためには、ダンパフレーム基板６５とダンパ板６６とを重ね合わせた状態で、ダンパフレーム基板６５の第一接着剤付与領域Ｂ１上に付与したＵＶ接着剤６７に対して外部から光（紫外線）を照射する必要がある。そのため、本実施形態の第一接着剤付与領域Ｂ１は、図９に示すように、ダンパフレーム基板６５の端部領域に形成されている。より詳しくは、長尺なダンパフレーム基板６５の短辺に隣接するように第一接着剤付与領域Ｂ１が形成されている。

また、本実施形態では、平面視において、第一接着剤付与領域Ｂ１およびこれに対応する空隙Ｃの形状は矩形状あるいは四角形状であるが、例えば円形状や多角形状のような他の形状であってもよい。ただし、第一接着剤付与領域Ｂ１上のＵＶ接着剤６７に十分な光を外部から照射するため、第一接着剤付与領域Ｂ１の平面視形状は、ダンパフレーム基板６５の端部（短辺）に向かって広がる形状であるのが好ましい。

また、第一接着剤付与領域Ｂ１の平面視形状は、製造工程を簡易なものとする観点から、ＵＶ接着剤６７を円形に塗布できる形状であることが好ましい。

〔変形例〕
次に、本実施形態の液体吐出ヘッド１のダンパ部材６０と共通流路部材５０との接合部分についての変形例を説明する。
図１４は、本変形例のダンパフレーム基板６５上における接着剤付着領域を示す平面図である。
図１５は、本変形例の共通流路部材５０上の空隙Ｃを示す平面図である。
図１６は、本変形例の液体吐出ヘッド１におけるダンパ部材６０と共通流路部材５０との接合部分を図１４の符号Ａ－Ａ'に沿って切断したときの断面図である。

本変形例の共通流路部材５０には、図１５及び図１６に示すように、ダンパ板６６を介してダンパフレーム基板６５の第一接着剤付与領域Ｂ１と対向する領域に、空隙Ｃが共通流路部材５０の所定方向（例えば共通流路部材５０の短手方向）の全域にわたって設けられている。これにより、ＵＶ接着剤６７によってダンパ板６６に凸状部分６６ａが生じても、その凸状部分６６ａは、図１６に示すように共通流路部材５０の空隙Ｃ内に収まる。その結果、本変形例においても、ＵＶ接着剤６７によって生じる凸状部分６６ａによる共通流路部材５０への局所的な外力を小さく抑えることができ、当該凸状部分６６ａによって共通流路部材５０が変形することによって生じる吐出性能の悪化を抑制することができる。

また、本変形例では、空隙Ｃが共通流路部材５０の短手方向（図１５中左右方向）の全域にわたって設けられているため、上述した実施形態の共通流路部材５０に存在していた隔壁５０ａ（図１１及び図１２参照）が存在しない。このような隔壁５０ａは構造的に脆い部分であるため、このような隔壁５０ａが存在する共通流路部材５０は破損しやすい。本変形例によれば、このような隔壁５０ａが共通流路部材５０に存在しないため、破損しにくい共通流路部材５０を得ることができる。

また、本変形例では、ダンパフレーム基板６５上の接合領域である第一接着剤付与領域Ｂ１は、図１６に示すように、上述した実施形態と同じく、ダンパフレーム基板６５の基板面から凹んだ凹部内に設けられているが、ダンパフレーム基板６５上の第二の接合領域である第二接着剤付与領域Ｂ２は、凹部内ではなく、ダンパフレーム基板６５の基板面に設けられている。

第二接着剤付与領域Ｂ２もダンパフレーム基板６５の凹部内に設けられていた上述の実施形態では、図９及び図１１に示すように、ダンパフレーム基板６５において第一接着剤付与領域Ｂ１が設けられる凹部と第二接着剤付与領域Ｂ２が設けられる凹部との間に隔壁６５ａが形成されることになる。このような隔壁６５ａは構造的に脆い部分であるため、このような隔壁６５ａが存在するダンパフレーム基板６５は破損しやすい。本変形例によれば、図１４及び図１６に示すように、ダンパフレーム基板６５に隔壁６５ａが存在させずに済むため、破損しにくいダンパフレーム基板６５を得ることができる。

次に、上述した各液体吐出ヘッド１を備えた液体吐出ユニットについて説明する。
図１７、図１８に示すように液体吐出ユニット１００は、液体吐出ヘッド１、複数の液体吐出ヘッド１を保持するベース部材１０３、液体吐出ヘッド１のノズルカバーとなるカバー部材１１３を備えている。さらに液体吐出ユニット１００は、放熱部材１０４、複数の液体吐出ヘッド１に対して液体を供給する流路を形成しているマニホールド１０５、フレキシブル配線基板１０１に接続されるプリント基板（ＰＣＢ）１０６、モジュールケース１０７を備えている。

次に、上述した各液体吐出ヘッド１を備えた液体を吐出する装置について説明する。
図１９、図２０に示すように、液体を吐出する装置である印刷装置５００は、被記録媒体である連続体５１０を搬入する搬入手段５０１、搬入手段５０１によって搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に向けて案内搬送する案内搬送手段５０３を備えている。また印刷装置５００は、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷動作を行う印刷手段５０５、液体が付着した連続体５１０を乾燥させる乾燥手段５０７、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９等を備えている。

連続体５１０は、搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９がそれぞれ有するローラによって案内及び搬送され、搬出手段５０９の巻き取りローラ５９１に巻き取られる。連続体５１０は、印刷手段５０５において搬送ガイド部材５５９上を液体吐出ユニットであるヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。

印刷装置５００は、ヘッドユニット５５０に上述した液体吐出ユニット１００Ａ，１００Ｂを備えており、各液体吐出ユニット１００Ａ，１００Ｂはそれぞれ共通ベース部材５５２上に設けられている。
各液体吐出ユニット１００Ａ，１００Ｂは、連続体搬送方向と直交する方向における液体吐出ヘッド１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、液体吐出ユニット１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２の組で同じ色の液体を吐出する。同様に、液体吐出ユニット１００Ａのヘッド列１Ｂ１，１Ｂ２の組、液体吐出ユニット１００Ｂのヘッド列１Ｃ１，１Ｃ２の組、液体吐出ユニット１００Ｂのヘッド列１Ｄ１，１Ｄ２の組で、それぞれ所望の色の液体を吐出する。

次に、液体を吐出する装置である印刷装置の他の例を図２１及び図２２に基づいて説明する。
液体を吐出する装置としての印刷装置４００はシリアル型印刷装置であり、主走査移動機構４９３によってキャリッジ４０３が主走査方向に向けて往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を有している。ガイド部材４０１は左右の側板４９１Ａ，４９１Ｂに掛け渡されており、キャリッジ４０３を移動可能に保持している。キャリッジ４０３は、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７との間に掛け渡されたタイミングベルト４０８を介して、主走査モータ４０５の駆動力を伝達されて主走査方向に往復移動される。

キャリッジ４０３には、液体吐出ヘッド１及びヘッドタンク４４１を一体的に有する液体吐出ユニット４４０が搭載されている。ここで液体吐出ヘッド１は、例えばイエロ（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、液体吐出方向を下方とした状態で装着されている。液体吐出ヘッド１は、液体循環装置と接続されており、液体吐出ヘッド１には所望の色の液体が循環供給される。

印刷装置４００は、被記録媒体である用紙４１０を搬送する搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動する副走査モータ４１６を有している。無端状ベルトである搬送ベルト４１２は搬送ローラ４１３とテンションローラ４１４との間に掛け渡されており、用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１に対向する位置で搬送する。吸着は、静電吸着あるいはエア吸引等によって実施される。搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６の駆動力をタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して伝達されることにより、副走査方向に周回移動される。

キャリッジ４０３の主走査方向の一方側であって搬送ベルト４１２の側方には、液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１ノズル面をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２等で構成されている。また、主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

上述した構成の印刷装置４００では、用紙４１０が搬送ベルト４１２によって吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動により用紙４１０が副走査方向に搬送される。このとき、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させつつ画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

次に、上述した液体吐出ユニット４４０を図２３に基づいて説明する。
液体吐出ユニット４４０は、液体を吐出する装置である印刷装置４００を構成している各部材のうち、各側板４９１Ａ，４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３、キャリッジ４０３、液体吐出ヘッド１等によって構成されている。
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、上述した維持回復機構４２０をさらに取り付けた液体吐出ユニットを構成することも可能である。

次に、液体吐出ユニットの他の例を、図２４に基づいて説明する。
図２４に示す液体吐出ユニット４５０は、流路部品４４４が取り付けられた液体吐出ヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６を有している。流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されており、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。なお、流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含む構成も可能である。

上述した液体吐出ヘッド１を含む、液体吐出ユニット１００，１００Ａ，１００Ｂ，４４０，４５０、及び液体を吐出する装置である印刷装置４００，５００では、上述した液体吐出ヘッド１における作用効果と同様の作用効果を得ることができる。

本発明において、使用される液体はヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく特に限定されないが、常温・常圧下において、または加熱・冷却により粘度が３０［ｍＰａ・ｓ］以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やタンパク質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、これ等を含む溶液や懸濁液やエマルション等である。これ等は、例えばインクジェット用インク、表面処理液、三次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギ発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体等の電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極とからなる静電アクチュエータ等を使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたもの等が含まれる。
ここで一体化とは、例えば液体吐出ヘッドと機能部品や機構が、締結、接着、係合等によって互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと機能部品や機構が互いに着脱可能であってもよい。

液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクとが一体化されているもの、両者がチューブ等で互いに接続されて一体化されているものがある。ここで、これ等の液体吐出ユニットの液体吐出ヘッドとヘッドタンクとの間に、フィルタを含むユニットを追加することも可能である。

また液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジとが一体化されているもの、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構とが一体化されているものがある。また液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させ、液体吐出ヘッドと走査移動機構とが一体化されているものがある。

液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構とが一体化されているものがある。また液体吐出ユニットとして、ヘッドタンクまたは流路部品が取り付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続され、液体吐出ヘッドと供給機構とが一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。供給機構は、チューブ単体及び装填部単体も含むものとする。

本発明では、液体吐出ユニットについて液体吐出ヘッドとの組み合わせで説明しているが、液体吐出ユニットには上述した液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールやヘッドユニットと上述したような機能部品や機構が一体化されたものも含まれる。

液体を吐出する装置には、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、ヘッドモジュール、ヘッドユニット等を備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけではなく、液体を気体中や液体中に向けて吐出する装置も含まれる。

液体を吐出する装置は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に関わる手段、その他の前処理装置や後処理装置等にも含むことができる。例えば液体を吐出する装置としては、インクを吐出させて被記録媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出する立体造形装置（三次元造形装置）が挙げられる。

また液体を吐出する装置は、吐出された液体によって文字や図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体では意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上述した液体が付着可能なものとは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するものや付着して浸透するもの等を意味する。具体例としては、用紙、フィルム、布等の被記録媒体、電子基板、圧電素子等の電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セル等の媒体が挙げられ、特に限定しない限り液体が付着する全てのものが含まれる。液体が付着可能なものの材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等、液体が一時的でも付着可能であれば、どのような材質のものであってもよい。

液体を吐出する装置には、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する構成を含むが、異動する対象は何れか一方には限定されない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置が共に含まれる。

また、液体を吐出する装置としては他にも、用紙の表面を改質する等の目的で用紙の表面に処理液を塗布するために用紙表面に対して処理液を吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置等が挙げられる。

また、本発明に係る「液体を吐出する装置」には、電極及び電気化学素子の製造装置も含まれる。以下、電極の製造装置について説明する。

図２６は、本発明の実施形態に係る電極の製造装置の一例を示す模式図である。
電極の製造装置は、液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールを用いて液体組成物を吐出することにより電極材料を有する層を含む電極を製造する装置である。

図２６に示される電極の製造装置が備える吐出手段は、上述した実施形態（変形例を含む）に係る液体吐出ヘッド１を含むヘッドモジュールである。ヘッドモジュールが有する液体吐出ヘッド１から液体組成物が吐出されることにより、対象物上に液体組成物が付与され、液体組成物層が形成される。対象物（以下、「吐出対象物」と称することがある。）としては、電極材料を含む層が形成される対象であれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、対象物として、電極基体（集電体）、活物質層、固体電極材料を含む層などが挙げられる。また、対象物は、電極基体（集電体）上に活物質を含む電極合材層であってもよい。また、吐出手段及び吐出工程は、吐出対象物に対して電極材料を有する層を形成することが可能であれば、液体組成物を直接的に吐出することにより電極材料を有する層を形成する手段及び工程であってもよい。また、吐出手段及び吐出工程は、液体組成物を間接的に吐出することにより電極材料を有する層を形成する手段及び工程であってもよい。

電極合材層の製造装置に含まれるその他の構成としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。また、電極合材層の製造方法に含まれるその他の工程も、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、電極合材層の製造装置及び製造方法に含まれる構成及び工程として、加熱手段及び加熱工程などが挙げられる。

電極合材層の製造装置に含まれる加熱手段は、吐出手段により吐出された液体組成物を加熱する手段である。また、電極合材層の製造方法に含まれる加熱工程は、吐出工程において吐出された液体組成物を加熱する工程である。液体組成物を加熱することにより、液体組成物層を乾燥させることができる。

ここで、電極の製造装置の一例として、電極基体（集電体）上に活物質を含む電極合材層を形成する電極の製造装置を説明する。
図２６に示されるように、電極の製造装置は、吐出対象物を有する印刷基材７０４上に液体組成物を付与して液体組成物層を形成する工程を含む吐出工程部１１０と、液体組成物層を加熱して電極合材層を得る加熱工程を含む加熱工程部１３０とを備える。

電極の製造装置は、印刷基材７０４を搬送する搬送部７０５を備える。搬送部７０５は、吐出工程部１１０、加熱工程部１３０の順に印刷基材７０４をあらかじめ設定された速度で搬送する。活物質層などの吐出対象物を有する印刷基材７０４の製造方法としては、特に制限はなく、公知の方法を適宜選択することができる。吐出工程部１１０は、印刷基材７０４上に液体組成物を付与する付与工程を実現する液体吐出ヘッド１と、液体組成物７０７を収容する収容容器１１１と、収容容器１１１に収容される液体組成物７０７を液体吐出ヘッド１に供給する供給チューブ１１２とを備える。

吐出工程部１１０においては、液体吐出ヘッド１から液体組成物７０７が吐出され、印刷基材７０４上に液体組成物７０７が付与されて、液体組成物層が薄膜状に形成される。なお、収容容器１１１は、電極合材層の製造装置と一体化した構成であってもよいし、電極合材層の製造装置から取り外し可能な構成であってもよい。また、収容容器１１１は、電極合材層の製造装置と一体化した収容容器、又は、電極合材層の製造装置から取り外し可能な収容容器に添加するために用いられる容器であってもよい。

収容容器１１１及び供給チューブ１１２は、液体組成物７０７を安定して収容及び供給できるものであれば任意に選択可能である。

加熱工程部１３０においては、液体組成物層に残存する溶媒を加熱して除去する溶媒除去工程が行われる。詳しくは、液体組成物層に残存する溶媒が、加熱工程部１３０の加熱装置７０３によって加熱されて乾燥することにより、液体組成物層から溶媒が除去される。これにより、電極合材層が形成される。また、加熱工程部１３０における溶媒除去工程は、減圧下で行われてもよい。

加熱装置７０３としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。例えば、加熱装置７０３として、基板加熱、ＩＲヒータ、温風ヒータなどが挙げられる。また、加熱装置７０３は、基板加熱、ＩＲヒータ、温風ヒータの少なくとも２つを組み合わせたものであってもよい。また、加熱温度及び加熱時間に関しては、液体組成物７０７に含まれる溶媒の沸点又は形成膜厚に応じて適宜選択可能である。

本発明の実施形態に係る電極の製造装置を用いることにより、吐出対象物の狙ったところに液体組成物を吐出することができる。電極合材層は、例えば、電気化学素子の構成の一部として、好適に用いることができる。電気化学素子における電極合材層以外の構成としては、特に制限はなく、公知のものを適宜選択することができる。例えば、電極合材層以外の構成として、正極、負極、セパレータなどが挙げられる。

以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明はかかる特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。本発明の実施の形態に記載された効果は、本発明から生じる最も好適な効果を例示したに過ぎず、本発明による効果は、本発明の実施の形態に記載されたものに限定されるものではない。

以上に説明したものは一例であり、次の態様毎に特有の効果を奏する。
［第１態様］
第１態様は、複数の基板（例えば、ノズル板１０、流路板２０及び振動板部材３０、共通流路部材５０、ダンパ部材６０のダンパフレーム基板６５等）を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッド１であって、第一基板（例えばダンパフレーム基板６５）と、前記第一基板上の接合領域（例えば第一接着剤付与領域Ｂ１）に付与された接合剤（例えばＵＶ接着剤６７）によって該第一基板に接合される薄板部材（例えばダンパ板６６）と、前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板（例えば、振動板部材３０、共通流路部材５０など）とを有し、前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙Ｃ，Ｃ'が設けられていることを特徴とするものである。
液体吐出ヘッドの吐出性能を悪化させる要因は種々存在するが、本発明者らの研究の結果、接合に用いられる接合剤が液体吐出ヘッドの吐出性能を悪化させる新たな要因になり得ることを見出した。詳しくは、ダンパ室形成部材などの第一基板と共通液室部材などの第二基板とを接合する前に、第一基板上の接合領域に付与された接合剤によってダンパ部材などの薄板部材を第一基板に接合させることがある。この接合時において、第一基板と薄板部材との間の接合剤が変形して硬化し、薄い薄板部材を接合剤が凸状に局所変形させることが確認された。その結果、第一基板との間に薄板部材を挟み込んだ状態で接合される第二基板には、薄板部材の凸状部分により局所的な外力が加わり、これにより第二基板が変形して液体吐出ヘッドの吐出性能の悪化などの不具合が生じ得る。
本態様によれば、第二基板には、薄板部材を介して第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙が設けられている。これにより、接合剤によって薄板部材が凸状に変形しても、その凸状部分は第二基板の空隙内に収まり、第二基板に加わる局所的な外力を抑えることができる。その結果、接合剤による薄板部材の凸状部分によって第二基板が変形することによって生じていた不具合を抑制することができる。

なお、基板同士を接合する際や基板と薄板部材とを接合する際には、２種以上の接合剤（接着剤）を使用してもよい。例えば、仮接合のためにＵＶ接着剤を用い、本接合には熱硬化性のエポキシ系の接着剤を用いてもよい。この場合、例えば、図２５に例示するように、接合対象の一方である基板７０の基板面の大部分に熱硬化性のエポキシ接着剤６９ｂを塗布するとともに、ＵＶ接着剤６９ａを当該基板面の四隅に塗布する。その後、接合対象の他方である基板又は薄板部材を重ね合わせ、その状態でＵＶ照射し、先に四隅のＵＶ接着剤６９ａを硬化させて接合を行う。この接合を「仮接合」としても良い。その後、加圧した状態で加熱することでエポキシ接着剤６９ｂを熱硬化させて、２つの接合対象を互いに完全に接合させる。この接合を「本接合」としても良い。この加圧した状態で加熱して熱硬化する際に、前記２つの接合対象間で位置ずれが生じるおそれがあるが、熱硬化前にＵＶ接着剤を硬化させて仮接合しておくことで仮止めされ、位置ずれを回避することができる。

［第２態様］
第２態様は、第１態様において、前記第二基板は、圧力室２１内の液体をノズル１１から吐出するために駆動する電気機械変換素子（例えば圧電素子４０）を保持するアクチュエータ基板（例えば振動板部材３０）を含むことを特徴とするものである。
本態様では、接合剤による薄板部材の凸状部分によって第二基板が局所的な外力が加わったとき、第二基板に含まれるアクチュエータ基板が変形して、電気機械変換素子やその周辺の構造が変形してしまい、液体吐出ヘッドの吐出性能の悪化が生じやすい。本態様によれば、このように接合剤による薄板部材の凸状部分によって液体吐出ヘッドの吐出性能が悪化しやすい液体吐出ヘッドにおいて、吐出性能の悪化を抑制することができる。

［第３態様］
第３態様は、第２態様において、前記空隙は、基板面方向において、前記電気機械変換素子から外れた領域に設けられていることを特徴とするものである。
これによれば、アクチュエータ基板を含む第二基板に空隙を設けても、電気機械変換素子の配置などに影響を与えることはない。

［第４態様］
第４態様は、第２又は第３態様において、前記薄板部材は、ダンパ（例えばダンパ板６６）であり、前記第一基板は、ダンパ保持基板（例えばダンパフレーム基板６５）であることを特徴とするものである。
これによれば、ダンパ保持基板にダンパを接合する際の接合剤によってダンパに凸状部分が生じても、当該凸状部分による第二基板の変形を抑制し、上述した不具合の発生を抑制することができる。

［第５態様］
第５態様は、第１乃至第４態様のいずれかにおいて、前記空隙は、前記接合領域の全域に対向するように設けられていることを特徴とするものである。
これによれば、接合剤によって生じる薄板部材の凸状部分の全体が空隙内に収まることができるので、当該凸状部分による第二基板への局所的な外力を最小限に抑えることができ、当該凸状部分に起因した不具合をより確実に抑制することができる。

［第６態様］
第６態様は、第１乃至第５態様のいずれかにおいて、前記空隙は、前記第二基板の所定方向（例えば第二基板の短手方向）全域にわたって設けられていることを特徴とするものである。
これによれば、構造的に脆い部分となる隔壁５０ａを第二基板に設けることを回避しやすく、第二基板が破損しにくい液体吐出ヘッドを得ることができる。

［第７態様］
第７態様は、第１乃至第６態様のいずれかにおいて、前記第一基板上の接合領域（例えば第一接着剤付与領域Ｂ１）は、前記第一基板の基板面から凹んだ凹部内に設けられ、前記第二基板と第二接合剤（例えばＵＶ接着剤６８）によって接合される前記第一基板上の第二の接合領域（例えば第二接着剤付与領域Ｂ２）は、前記第一基板の基板面に設けられることを特徴とするものである。
これによれば、構造的に脆い部分となる隔壁６５ａを第一基板に設けることを回避しやすく、第一基板が破損しにくい液体吐出ヘッドを得ることができる。

［第８態様］
第８態様は、第１乃至第７態様のいずれかにおいて、前記接合剤は、光硬化性樹脂であることを特徴とするものである。
光硬化性樹脂は、その硬化時の収縮などによって凸状に変形し、薄板部材に凸状部分を生じさせ得る。本態様によれば、光硬化性樹脂によって薄板部材に生じる凸状部分に起因した不具合を抑制することができる。

［第９態様］
第９態様は、第８態様において、前記接合領域は、前記第一基板の端部領域に形成されていることを特徴とするものである。
これによれば、接合領域に付与された光硬化性樹脂に対し、第一基板の当該端部側から外部からの光を照射して接合を行うことができる。

［第１０態様］
第１０態様は、第１乃至第９態様のいずれかにおいて、前記第二基板は、前記薄板部材と隣接する液体流路基板（例えば共通流路部材５０）を含み、前記空隙は、前記液体流路基板に形成される液体流路（例えば共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３）の深さと同じ深さで該液体流路基板に設けられていることを特徴とするものである。
これによれば、空隙を第二基板に形成するにあたり、この第二基板に形成される液体流路と同じプロセスで空隙を形成することができ、製造工程を簡略化できる。

［第１１態様］
第１１態様は、第１乃至第１０態様のいずれかにおいて、前記第一基板及び前記第二基板は、前記薄板部材に形成される切り欠き又は貫通孔を介して、第二接合剤によって互いに接合されることを特徴とするものである。
これによれば、薄板部材を介さずに第一基板と第二基板とを第二接合剤によって互いに接合することができる。

［第１２態様］
第１２態様は、液体吐出ユニットであって、第１乃至第１１態様のいずれかの液体吐出ヘッドを含むことを特徴とするものである。
これによれば、接合剤による液体吐出ヘッドの不具合が抑制された液体吐出ユニットを提供することができる。

［第１３態様］
第１３態様は、液体を吐出する装置であって、第１乃至第１１態様のいずれかの液体吐出ヘッドを備えることを特徴とするものである。
これによれば、接合剤による液体吐出ヘッドの不具合が抑制された液体を吐出する装置を提供することができる。

１ ：液体吐出ヘッド
１０ ：ノズル板
１１ ：ノズル
２０ ：流路板
２１ ：圧力室
２２ ：個別供給流路
２３ ：個別回収流路
２５ ：個別流路
３０ ：振動板部材
３１ ：振動板
３２ ：供給側開口
３３ ：回収側開口
４０ ：圧電素子
５０ ：共通流路部材
５２ ：共通供給流路支流
５３ ：共通回収流路支流
５４ ：供給口
５５ ：回収口
５６ ：共通供給流路本流
５７ ：共通回収流路本流
６０ ：ダンパ部材
６１Ａ，６１Ｂ：貫通孔
６２ ：供給側ダンパ
６３ ：回収側ダンパ
６５ ：ダンパフレーム基板
６６ ：ダンパ板
６６ａ ：凸状部分
６７，６８，６９ａ：ＵＶ接着剤
６９ｂ ：エポキシ接着剤
７０ ：接合対象基板
８０ ：フレーム部材
１００ ：液体吐出ユニット
１１０ ：吐出工程部
１１１ ：収容容器
１１２ ：供給チューブ
１３０ ：加熱工程部
４００ ：印刷装置
４４０，４５０：液体吐出ユニット
５００ ：印刷装置
７０３ ：加熱装置
７０４ ：印刷基材
７０５ ：搬送部
７０７ ：液体組成物
Ｂ１ ：第一接着剤付与領域
Ｂ２ ：第二接着剤付与領域
Ｃ，Ｃ' ：空隙
Ｄ ：流路配置領域

特開２０１６－１３０００２号公報

Claims (13)

1. 複数の基板を基板厚み方向に重ねて接合された液体吐出ヘッドであって、
   第一基板と、
   前記第一基板上の接合領域に付与された接合剤によって該第一基板に接合される薄板部材と、
   前記第一基板との間に前記薄板部材を挟み込んだ状態で前記第一基板と接合される第二基板とを有し、
   前記第二基板には、前記薄板部材を介して前記第一基板の前記接合領域と対向する領域に空隙が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記第二基板は、圧力室内の液体をノズルから吐出するために駆動する電気機械変換素子を保持するアクチュエータ基板を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記空隙は、基板面方向において、前記電気機械変換素子から外れた領域に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
4. 請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記薄板部材は、ダンパであり、
   前記第一基板は、ダンパ保持基板であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
5. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記空隙は、前記接合領域の全域に対向するように設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
6. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記空隙は、前記第二基板の所定方向全域にわたって設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
7. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記第一基板上の接合領域は、前記第一基板の基板面から凹んだ凹部内に設けられ、
   前記第二基板と第二接合剤によって接合される前記第一基板上の第二の接合領域は、前記第一基板の基板面に設けられることを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記接合剤は、光硬化性樹脂であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
9. 請求項８に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
   前記接合領域は、前記第一基板の端部領域に形成されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記第二基板は、前記薄板部材と隣接する液体流路基板を含み、
    前記空隙は、前記液体流路基板に形成される液体流路の深さと同じ深さで該液体流路基板に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
11. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記第一基板及び前記第二基板は、前記薄板部材に形成される切り欠き又は貫通孔を介して、第二接合剤によって互いに接合されることを特徴とする液体吐出ヘッド。
12. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
13. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。

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