JP2023114800A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置 - Google Patents

液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置 Download PDF

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Abstract

【課題】液体吐出ヘッドの液体の吐出性能を従来に比して良好にする。
【解決手段】液体吐出ヘッド１は、液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板７０と、圧力室アクチュエータ基板７０を保持するフレーム部材８０とを備える。前記圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段２２１，２２０も備える。フレーム部材８０は、温度検知手段２２１，２２０を挿入し樹脂２１０を介して取り付ける穴２００を有する。樹脂２１０は、未硬化状態の、圧力室アクチュエータ基板７０に接している部分と２１１、硬化状態の他の部分２１２とを有する。
【選択図】図３

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、及び、液体を吐出する装置に関するものである。
従来、液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板と、圧力室アクチュエータ基板を保持するフレーム部材と、圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段と、を備え液体吐出ヘッドが知られている。
例えば、特許文献１には、係る液体吐出ヘッドであって、温度検知手段を圧力室アクチュエータ基板に取り付けときに温度検知手段を挿入する貫通穴をフレーム部材に設けた液体吐出ヘッドが記載されている。
ところが、特許文献１に開示の方法においては、温度検知手段を取り付け固定したときに液体吐出ヘッドの液体吐出性能が低下するおそれがあるという課題がある。本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、液体吐出ヘッドの液体吐出性能を向上させることを目的とする。
上述した課題を解決するために、本発明は、液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、前記圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板と、前記圧力室アクチュエータ基板を保持するフレーム部材と、前記圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段と、を備え、前記フレーム部材は、前記温度検知手段を挿入し樹脂を介して取り付ける穴を有し、前記樹脂は、未硬化状態の、前記圧力室アクチュエータ基板に接している部分と、硬化状態の他の部分とを有することを特徴とする。
本発明によれば、液体吐出ヘッドの液体の吐出性能を従来に比して良好に維持できる。
本実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視説明図。 同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図。 温度測定器の取り付け固定手順の説明図。 変形例に係る取り付け固定構造の説明図。 他の変形例に係る取り付け固定構造の説明図。 温度測定器と圧力室アクチュエータ基板の表面との距離の説明図。 貫通穴の内周面の形状の変形例の説明図。 実施形態のヘッドモジュールの分解斜視説明図。 実施形態のヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図。 実施形態における印刷装置の概略説明図。 印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図。 印刷装置の一例の要部平面説明図。 印刷装置の一例の要部側面説明図。 液体吐出ユニットの一例の要部平面説明図。 液体吐出ユニットの一例の正面説明図。
以下、本発明を、液体を吐出する装置に設けられる液体吐出ヘッドに適用した一実施形態について説明する。図１は本実施形態における液体吐出ヘッドの分解斜視説明図である。図２は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
本実施形態の液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０と、流路板（個別流路部材）２０と、振動板部材３０と、共通流路部材５０と、ダンパー部材６０と、フレーム部材８０と、駆動回路１０２を実装した基板（フレキシブル配線基板）１０１とを備えている。ノズル板１０を構成するノズル基板、個別流路部材２０及び振動板部材３０を構成するアクチュエータ基板、共通流路部材５０を構成するサブフレーム基板、及び、ダンパー部材６０を構成するダンパー基板は、いずれも単結晶Ｓｉウェハを基板材料とし、ＭＥＭＳや半導体デバイスの微細加工技術によって、Ｓｉウェハ上に複数のチップ（液体吐出ヘッド）を同時に作製し、チップ化後の各基板を接合して、圧力室アクチュエータ基板７０となる。この圧力室アクチュエータ基板７０はフレーム部材８０に接合されて保持される。
ノズル板１０には、液体を吐出する複数のノズルが設けられている。個別流路部材２０は、複数のノズルに各々連通する複数の圧力室（個別液室）と、複数の圧力室に各々通じる複数の個別供給流路と、複数の圧力室に各々通じる複数の個別回収流路とを形成している。１つの圧力室とこれに通じる個別供給流路及び個別回収流路とを併せて個別流路と称する。
振動板部材３０は、圧力室の変形可能な壁面である振動板を形成し、振動板には圧電素子が一体に設けられている。また、振動板部材３０には、個別供給流路に通じる供給側開口と、個別回収流路に通じる回収側開口とが形成されている。圧電素子は、電気機械変換素子であり、振動板を変形させて圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段である。
個別流路部材２０と振動板部材３０とは、部材として別部材であることに限定さるものではない。例えば、ＳＯＩ（Silicon On Insulator）基板を使用して個別流路部材２０及び振動板部材３０を同一部材で一体に形成することができる。つまり、シリコン基板上に、シリコン酸化膜、シリコン層、シリコン酸化膜の順に成膜されたＳＯＩ基板を使用し、シリコン基板を個別流路部材２０とし、シリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜とで振動板を形成することができる。この構成では、ＳＯＩ基板のシリコン酸化膜、シリコン層及びシリコン酸化膜の層構成が振動板部材３０となる。このように、振動板部材３０は個別流路部材２０の表面に成膜された材料で構成されるものを含む。
ダンパー部材６０は、共通供給流路支流の供給口と対面する（対向する）供給側ダンパーと、共通回収流路支流の回収口と対面する（対向する）回収側ダンパーとを有している。ダンパー部材６０のフレーム部材８０と接合される面部を構成するダンパー基板はシリコン基板である。
フレーム部材８０は、共通流路部材５０の共通供給流路につながる流路が図中上下に貫通し上面の開口が供給口８１になっている。共通流路部材５０の共通回収流路につながる流路も上下に貫通し上面の開口が回収口８２になっている。そして、フレーム部材８０を上下方向にダンパー部材６０の図中上面まで貫通する貫通穴２００が設けられている。この貫通穴２００は信号線２２０を有する温度検知手段としての温度測定器を挿入した状態で、接着剤樹脂２１０を充填して固定接合されるものである。
図３は温度測定器の取り付け固定手順の説明図である。図３（ａ）は温度測定器２２１（図３（ｂ）参照）を挿入した状態を示す斜視図、図３（ｂ）は本実施形態の貫通穴２００に樹脂２１０を充填して固定した状態の説明図、図３（ｃ）は比較例の説明図である。
接着剤樹脂として例えば紫外線硬化樹脂を用い、貫通穴２００に充填した樹脂に図中上方である表面側から紫外線を照射し、樹脂全体を硬化させたのが図３（ｃ）の比較例である。この比較例の取り付け固定構造では次のように液体吐出ヘッド１の液体吐出性能を低下させるおそれがあることが判明した。この固定構造は、接着剤を用いてコア部品である圧力室アクチュエータ基板７０に温度測定器２２１を直接取り付けることになる。これだと、取り付け固定段階での接着剤の硬化収縮や、液体吐出ヘッド１の高温環境下での運搬保管段階での昇温よる周囲部品との線膨張差が原因で、コア部品に応力がかかる。この応力により圧力室アクチュエータ基板７０の振動板部材３０の振動板の剛性が変化し、吐出特性が変わってしまう。この結果、液体吐出ヘッド１の液体吐出性能を低下させるおそれが生じるのである。
本実施形態の液体吐出ヘッド１では図３（ｂ）に示すように温度検知手段を挿入し樹脂を介して取り付ける穴としての貫通穴２００に充填した接着樹脂２１０は、未硬化状態の、圧力室アクチュエータ基板７０に接している部分２１１と、硬化状態である他の部分２１２とを有する。これによれば、圧力室アクチュエータ基板７０との接触面の接着剤（樹脂）が固まっていないことで、接着剤の硬化収縮および輸送時の熱ストレスによる部品同士の伸縮による応力が圧力室に伝わらない。そのため接着剤が硬化したことによる吐出特性へ影響を回避できる。
紫外線の透過性の悪いＵＶ硬化樹脂を使用することで、ある一定の深さまでしか紫外線が届かず、その深さまでしか樹脂が硬化しない。ＵＶ硬化樹脂は紫外線が当たった面から硬化し、紫外線透過率も落ちていくため、紫外線の照射時間を調整することである一定の深さまで硬化した状態を作ることができる。これにより、表面側の硬化した樹脂により圧力室アクチュエータ基板７０側の未硬化の樹脂は封止され、液体吐出ヘッド１として液体を吐出する装置で使用されるときも未硬化の流動性がある状態を維持する。紫外線に加え空気中の水分や酸素なども硬化に必要な樹脂であっても、表面側が硬化することにより、水分などの封止機能を発揮できる。
図３（ｂ）の固定構造における樹脂２１０は、流動性がある、圧力室アクチュエータ基板７０に接している部分２１１と、流動性のない他の部分２１２とを有するということもできる。また、樹脂２１０は、第一の硬度の、圧力室アクチュエータ基板７０に接している部分２１１と、第一の硬度よりも高い第二の硬度である他の部分２１２とを有するともいえる。硬化した樹脂は、未硬化の樹脂よりも硬度が高いためである。
図４は変形例に係る取り付け固定構造の説明図である。図４の例は、樹脂２１０において、圧力室アクチュエータ基板７０の面に接触している部分から反対側に向かって樹脂の硬度が徐々に高くなっている例である。硬度の変化を濃度変化で表している。
図５は他の変形例に係る取り付け固定構造の説明図である。図５（ａ）は縦断面での説明図、図５（ｂ）は平面図での説明図である。この例では、未硬化状態の、流動性がある、または、第一の硬度の、前記接している部分２１１が、温度測定器２２１の周囲（図中破線２１１ｂの内側のハッチング領域）を含む。また、前記接している部分２１１が圧力室アクチュエータ基板７０の面と当該面に接する貫通穴２００の内周面とでつくるエッジ部（図中破線２１１ａの外側のハッチング領域）を含むものである。
以上の領域（２１１ａ、２１１ｂ）の接着剤が硬化することで、圧力室アクチュエータ基板７０に強い応力がかかり、吐出特性に影響を及ぼすことがわかった。対象領域が未硬化等であれば吐出特性への影響は少ない。
図６は以上の各例における、温度測定器２２１と圧力室アクチュエータ基板７０の表面との距離の説明図である。図３の例を用いて距離Ｇの範囲を示している。この範囲は０～２ｍｍの範囲内に設定することが好ましい。０～２ｍｍの範囲内であれば正常にインク温度（圧力室アクチュエータ基板７０の温度）が測定できる。０～２ｍｍの範囲内で、圧力室アクチュエータ基板側に温度測定器が押し込まれていなければ圧力室アクチュエータ基板７０に応力がかからず吐出性能への影響はない。
図７は以上の各例における貫通穴２００の内周面２００ａの形状の変形例の説明図である。図３の例を用いた説明図である。貫通穴２００の内周面２００ａは、圧力室アクチュエータ基板７０から離れるほど開口断面積が大きくなるテーパ形状である。接着面積が狭くなるため圧力室アクチュエータ基板７０にかかる応力は小さくなり吐出性の上の影響も小さい。よって、より効果を発揮できる。
圧力室アクチュエータ基板の前記フレーム部材側の面部分、更に好ましくは積層されている多くの基板部分が、シリコン基板からなることが好ましい。シリコン基板は変形量が小さく、接着剤硬化による応力はよりアクチュエータ部に伝わりづらい。よって、より効果が発揮できる。
次に、本実施形態の液体吐出ヘッド１を備えるヘッドモジュールの一例について、図８及び図９を参照して説明する。
図８は、本実施形態のヘッドモジュールの分解斜視説明図である。
図９は、本実施形態のヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。
ヘッドモジュール１００は、液体を吐出する液体吐出ヘッド（以下、単に「ヘッド」ともいう。）１と、複数の液体吐出ヘッド１を保持するベース部材１０３と、複数の液体吐出ヘッド１のノズルカバー１５となるカバー部材１１３とを備えている。また、ヘッドモジュール１００は、放熱部材１０４と、複数の液体吐出ヘッド１に対して液体を供給する流路を形成しているマニホールド１０５と、フレキシブル配線部材１０１と接続するプリント基板（ＰＣＢ）１０６と、モジュールケース１０７とを備えている。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について、図１０及び図１１を参照して説明する。
図１０は、本実施形態における液体を吐出する装置としてのインクジェット記録装置である印刷装置の概略説明図である。
図１１は、本実施形態の印刷装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。
この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。
連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。
本実施形態の印刷装置５００では、ヘッドユニット５５０に、上述した本実施形態に係る２つのヘッドモジュール１００Ａ，１００Ｂを共通ベース部材５５２に備えている。
そして、ヘッドモジュール１００Ａ，１００Ｂの搬送方向と直交する方向における液体吐出ヘッド１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２で同じ色の液体を吐出する。同様に、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ｂ１、１Ｂ２を組とし、ヘッドモジュール１００Ｂのヘッド列１Ｃ１、１Ｃ２を組とし、ヘッド列１Ｄ１、１Ｄ２を組として、それぞれ所要の色の液体を吐出する。
次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について、図１２及び図１３を参照して説明する。
図１２は、本例の印刷装置の要部平面説明図である。
図１３は、本例の印刷装置の要部側面説明図である。
本例の印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッドである液体吐出ヘッド１及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。液体吐出ヘッド１は、液体循環装置と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。
この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１のノズル面をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。また、主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
このように構成した印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について、図１４を参照して説明する。
図１４は、本例の液体吐出ユニットの要部平面説明図である。
この液体吐出ユニット４４０は、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１で構成されている。
なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について、図１５を参照して説明する。
図１５は、本例の液体吐出ユニットの正面説明図である。
この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものとする。
なお、ここでは、「液体吐出ユニット」について、液体吐出ヘッドとの組み合わせで説明しているが、「液体吐出ユニット」には上述した液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールやヘッドユニットと上述したような機能部品、機構が一体化したものも含まれる。
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
１ ：液体吐出ヘッド
１Ａ１ ：ヘッド列
１Ａ２ ：ヘッド列
１Ｂ１ ：ヘッド列
１Ｂ２ ：ヘッド列
１Ｃ１ ：ヘッド列
１Ｃ２ ：ヘッド列
１Ｄ１ ：ヘッド列
１Ｄ２ ：ヘッド列
１０ ：ノズル板
１５ ：ノズルカバー
２０ ：個別流路部材
３０ ：振動板部材
５０ ：共通流路部材
６０ ：ダンパー部材
７０ ：圧力室アクチュエータ基板
８０ ：フレーム部材
８１ ：供給口
８２ ：回収口
１００ ：ヘッドモジュール
１００Ａ ：ヘッドモジュール
１００Ｂ ：ヘッドモジュール
１０１ ：フレキシブル配線部材
１０２ ：駆動回路
１０３ ：ベース部材
１０４ ：放熱部材
１０５ ：マニホールド
１０７ ：モジュールケース
１１３ ：カバー部材
２００ ：貫通穴
２００ａ ：内周面
２１０ ：接着樹脂
２１１ ：部分
２１２ ：部分
２２０ ：信号線
２２１ ：温度測定器
４０１ ：ガイド部材
４０３ ：キャリッジ
４０５ ：主走査モータ
４０６ ：駆動プーリ
４０７ ：従動プーリ
４０８ ：タイミングベルト
４１０ ：用紙
４１２ ：搬送ベルト
４１３ ：搬送ローラ
４１４ ：テンションローラ
４１６ ：副走査モータ
４１７ ：タイミングベルト
４１８ ：タイミングプーリ
４２０ ：維持回復機構
４２１ ：キャップ部材
４２２ ：ワイパ部材
４４０ ：液体吐出ユニット
４４１ ：ヘッドタンク
４４２ ：カバー
４４３ ：コネクタ
４４４ ：流路部品
４５６ ：チューブ
４９１Ａ ：側板
４９１Ｂ ：側板
４９１Ｃ ：背板
４９３ ：主走査移動機構
４９５ ：搬送機構
５００ ：印刷装置
５０１ ：搬入手段
５０３ ：案内搬送手段
５０５ ：印刷手段
５０７ ：乾燥手段
５０９ ：搬出手段
５１０ ：連続体
５１１ ：元巻きローラ
５５０ ：ヘッドユニット
５５２ ：共通ベース部材
５５９ ：搬送ガイド部材
５９１ ：巻取りローラ
Ｇ ：距離
特開２０２１－８４３７２号公報

Claims (9)

  1. 液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、前記圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板と、
    前記圧力室アクチュエータ基板を保持するフレーム部材と、
    前記圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段と、を備え、
    前記フレーム部材は、前記温度検知手段を挿入し樹脂を介して取り付ける穴を有し、
    前記樹脂は、未硬化状態の、前記圧力室アクチュエータ基板に接している部分と、硬化状態の他の部分とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、前記圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板と、
    前記圧力室アクチュエータ基板を保持するフレーム部材と、
    前記圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段と、を備え、
    前記フレーム部材は、前記温度検知手段を挿入し樹脂を介して取り付ける穴を有し、
    前記樹脂は、流動性がある、前記圧力室アクチュエータ基板に接している部分と、流動性のない他の部分とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
  3. 液体を吐出するノズルが通じる圧力室と、前記圧力室内の液体を加圧する圧力発生手段を含む圧力室アクチュエータ基板と、
    前記圧力室アクチュエータ基板を保持するフレーム部材と、
    前記圧力室アクチュエータ基板の温度を検知する温度検知手段と、を備え、
    前記フレーム部材は、前記温度検知手段を挿入し樹脂を介して取り付ける穴を有し、
    前記樹脂は、第一の硬度の、前記圧力室アクチュエータ基板に接している部分と、前記第一の硬度よりも高い第二の硬度の他の部分とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
  4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記温度検知手段は温度測定器と、該温度測定器から伸び出す信号線とを有し、
    前記未硬化状態の、前記流動性がある、または、前記第一の硬度の、前記接している部分は、前記温度測定器の周囲を含み、かつ、前記圧力室アクチュエータ基板の面と当該面に接する前記穴の内周面とでつくるエッジ部を含むことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記温度検知手段の前記圧力室アクチュエータ基板の面側の先端部は、前記圧力室アクチュエータ基板の面との距離が０～２ｍｍの範囲内であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  6. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記穴の内周面は、前記圧力室アクチュエータ基板から離れるほど開口断面積が大きくなるテーパ形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
    前記圧力室アクチュエータ基板の前記フレーム部材側の面部分は、シリコン基板からなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  8. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
  9. 請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項８に記載の液体吐出ユニットを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。
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