JP2024035497A - 基板印刷システム - Google Patents

Abstract

【課題】 従来よりも簡易な動作で基板のピッチ及び角度を補正するための技術を提供する。【解決手段】 基板印刷システムは、テーブルに支持されている第１基板に対する第２基板の距離である第１ピッチを計測する第１ピッチ計測部と、第１基板に対する第２基板の傾きである角度を計測する角度計測部と、テーブルから第２基板を離す第１制御部と、テーブルから第２基板が離されている状態で、第１ピッチ及び角度のうちの少なくとも一方を補正する補正動作をアクチュエータに実行させる補正制御部と、補正動作が実行された後に、第２基板をテーブルに置く第２制御部と、第２制御部によって第２基板がテーブルに置かれた後に、２枚以上の基板の全てに対して、マスクを介した回路の印刷を実行する第３制御部と、を備える。【選択図】図６

Description

本明細書では、基板に対してマスクを介した回路の印刷を実行可能な印刷機を備える基板印刷システムに関する。

特許文献１には、複数枚の基板を所定の間隔で整列して保持する印刷テーブルを備えるスクリーン印刷機が開示されている。スクリーン印刷機は、上部吸着装置により１枚の基板を吸引して上昇させ、マスクに対する当該基板の位置と角度のズレを補正するズレ補正動作を実行する。そして、スクリーン印刷機は、印刷テーブルに保持されている複数枚の基板の全てに対してズレ補正動作を実行し、その後に、全ての基板に対して同時に印刷を行う。

特開２００９－２４８５５１号公報

特許文献１では、基板の全てに対してズレ補正動作が実行される。本明細書では、特許文献１に開示の技術よりも簡易な動作で基板のズレを補正するための技術を提供する。

本明細書で開示する基板印刷システムは、第１の方向に互いに並行に延びる２本以上のコンベアと、前記２本以上のコンベアのそれぞれによって搬送される基板を前記第１の方向と直交する第２の方向に横並びに支持するテーブルと、前記テーブルに支持された２枚以上の前記基板の全てに対して、マスクを介した回路の印刷を実行可能な印刷機であって、前記マスクには、２個以上のパターン孔が横並びに形成されており、前記２個以上のパターン孔のうちの一つは、前記２枚以上の基板の一つと対応している、前記印刷機と、前記テーブルに支持された前記基板を前記テーブルから離すことと、前記テーブルから離された前記基板を前記テーブルに置くことと、の双方を実行可能な機構と、前記基板の位置及び向きを調整可能なアクチュエータと、前記テーブルに支持されている前記２枚以上の基板のうちの第１基板に対する、前記２枚以上の基板のうちの第２基板の距離である第１ピッチを計測する第１ピッチ計測部と、前記テーブルに支持されている前記第１基板と前記第２基板を平面視したときの前記第１基板に対する前記第２基板の傾きである角度を計測する角度計測部と、前記第１ピッチ及び前記角度が計測された後に、前記機構を制御して、前記テーブルから前記第２基板を離す第１制御部と、前記テーブルから前記第２基板が離されている状態で、前記第１ピッチ及び前記角度のうちの少なくとも一方を補正して、前記２個以上のパターン孔のうち、前記第１基板に対応する第１パターン孔、及び、前記２個以上のパターン孔のうち、前記第２基板に対応する第２パターン孔に、前記第１基板及び前記第２基板の姿勢を適合させる補正動作を前記アクチュエータに実行させる補正制御部と、前記補正動作が実行された後に、前記機構を制御して、前記第２基板を前記テーブルに置く第２制御部と、前記第２制御部によって前記第２基板が前記テーブルに置かれた後に、前記印刷機を制御して、前記２枚以上の基板の全てに対して、前記マスクを介した回路の印刷を実行する第３制御部と、を備える。

上記の構成によれば、第２基板をテーブルから離すだけでよく、全ての基板をテーブルから離す必要がない。全ての基板をテーブルから離す必要がある特許文献１に開示の技術よりも簡易な動作で基板のズレであるピッチ及び角度の少なくとも一方を補正することができる。

基板印刷システムの斜視図を示す。 基板印刷システムのブロック図を示す。 マスクの平面図を示す。 基板印刷システムの平面図を示す。 基板のピッチ及び角度を補正する第１の工程を示す。 基板のピッチ及び角度を補正する第２の工程を示す。

以下に説明する実施例の主要な特徴を列記しておく。なお、以下に記載する技術要素は、それぞれ独立した技術要素であって、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。

（特徴１） 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの法線方向に沿った軸回りに回転可能に構成されており、前記補正制御部は、前記補正動作のうち、前記角度を補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の向きを適合させる動作を、前記アクチュエータに前記テーブルを前記軸回りに回転させることで実行してもよい。

上記の構成によれば、テーブルを軸回りに回転させて、基板の角度を補正することができる。

（特徴２） 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動可能に構成されており、前記補正制御部は、前記補正動作のうち、前記第１ピッチを補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の位置を適合させる動作を、前記アクチュエータに前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動させることで実行してもよい。

上記の構成によれば、テーブルを面方向に移動させて、基板のピッチを補正することができる。

（特徴３） 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの法線方向に沿った軸回りに回転可能であるとともに前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動可能に構成されており、前記補正制御部は、前記機構を利用することなく、前記アクチュエータのみを利用して、前記第１ピッチ及び前記角度の双方を補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の姿勢を適合させる前記補正動作を実行してもよい。

例えば、機構が基板をテーブルから離した状態で機構を回転又は移動させることでピッチ又は角度を補正することも可能である。しかし、上記の構成によれば、当該機構を利用することなく、テーブルのアクチュエータのみを利用してピッチ又は角度を補正することができる。

（特徴４） 前記基板印刷システムは、さらに、前記マスクに形成されている前記２個以上のパターン孔の前記第２の方向の距離である第２ピッチを計測する第２ピッチ計測部を備え、前記補正制御部は、前記第２ピッチ計測部によって計測された前記第２ピッチに基づいて、前記補正動作を前記アクチュエータに実行させてもよい。

上記の構成によれば、マスクに形成されている２個以上のパターン孔について実際に計測された第２ピッチを利用して、補正動作を正確に実行することができる。

（基板印刷システム２の構成；図１、２）
基板印刷システム２は、基板に対して回路の印刷を実行するシステムである。基板印刷システム２は、第１コンベア１０と、第２コンベア１２と、印刷機２０と、移動ロボット３０と、テーブル４０と、制御装置５０と、マスク搬送装置６０と、を備える。なお、図１の斜視図では、印刷機２０、制御装置５０、及び、マスク搬送装置６０の図示が省略されている。各図には、ＸＹＺ座標が記載されている。ＸＹ軸は、水平方向を示し、Ｚ軸は、垂直方向を示す。

第１コンベア１０及び第２コンベア１２は、基板をテーブル４０まで搬送する。第１コンベア１０と第２コンベア１２は、Ｙ軸方向に互いに並行に延びる。

テーブル４０は、第１コンベア１０及び第２コンベア１２の下方に位置する。テーブル４０は、第１基板バキューム４２と、第２基板バキューム４４と、アクチュエータ４６と、を備える。なお、図１では、アクチュエータ４６は、隠れて見えない。

第１基板バキューム４２は、第１コンベア１０の下方に配置され、第１コンベア１０によって搬送された基板を吸着して支持する。第２基板バキューム４４は、第２コンベア１２の下方に配置され、第２コンベア１２によって搬送された基板を吸着して支持する。テーブル４０は、第１基板バキューム４２及び第２基板バキューム４４を利用して、２本のコンベア１０及び１２のそれぞれによって搬送される基板をＸ軸方向に横並びに支持する。ここで、第１基板バキューム４２及び第２基板バキューム４４は、いわゆる、基板支持部材である。基板支持部材は、１枚以上の基板を下側から支持するための部材である。基板支持部材は、例えば、ブロック状の部材、又は、複数個のピンで構成される部材である。基板支持部材は、基板を吸着するバキューム機構を備えず、例えば、基板を把持する機構を備えるものであってもよい。バキューム機構を備える基板支持部材（例えば第１基板バキューム４２）が、基板を確実に保持するために有利である。

アクチュエータ４６は、テーブル４０をテーブル４０の法線方向（即ちＺ軸方向）に沿った軸回りに回転可能に構成される。法線方向に沿った軸は、例えば、テーブル４０の中心軸である。さらに、アクチュエータ４６は、テーブル４０をテーブル４０の面方向（即ちＸＹ方向）に沿って移動可能に構成されている。アクチュエータ４６は、例えば、電気モータ、空気圧又は油圧式のシリンダである。アクチュエータ４６によりテーブルの向き及び位置が調整される。

移動ロボット３０は、第１コンベア１０及び第２コンベア１２の上方に位置する。移動ロボット３０は、吸着ノズル３２と、カメラ３４と、を備える。移動ロボット３０は、吸着ノズル３２及びカメラ３４を、ＸＹ方向に移動させる。吸着ノズル３２は、Ｚ軸方向に移動し、テーブル４０に支持された基板を吸着する。吸着ノズル３２は、テーブル４０に支持された基板をテーブル４０から離すことと、テーブル４０から離された基板をテーブル４０に置くことと、の双方を実行可能である。カメラ３４は、移動ロボット３０の下方と移動ロボット３０の上方との双方を撮像可能である。

印刷機２０は、テーブル４０に支持された２枚の基板の全てに対して、後述するマスク７０を介した回路の印刷を実行可能である。印刷機２０は、テーブル４０の上方に位置する。マスク搬送装置６０は、テーブル４０の上方にマスク７０を搬送する装置である。

制御装置５０は、各部１０、１２、２０、３０、４０、及び、６０と電気的に接続されている。制御装置５０は、ＣＰＵとメモリを備える。制御装置５０は、各部１０、１２、２０、３０、４０、及び、６０を制御する。また、制御装置５０は、カメラ３４によって撮像された画像に対する画像解析も実行可能である。

（マスク７０の構成；図３）
マスク７０は、平板である。マスク７０には、第１パターン孔７２と、第２パターン孔７４と、がＸ方向で横並びに形成されている。図３及び後述する図５、６では、第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４が簡略化して描かれている。第１パターン孔７２は、複数個の孔で構成されており、当該複数個の孔は、第１基板バキューム４２に支持される基板上に印刷される回路のパターンを示す。第２パターン孔７４も、複数個の孔で構成されており、当該複数個の孔は、第２基板バキューム４４に支持される基板上に印刷される回路のパターンを示す。ピッチＰ３は、第１パターン孔７２と第２パターン孔７４との間のＸ軸方向に沿ったピッチを示す。

（基板の姿勢のずれ；図４）
テーブル４０に支持された２枚の基板に適切に回路を印刷するには、２枚の基板の姿勢（即ち位置及び向き）を、マスク７０の第１パターン孔７２と第２パターン孔７４に適合させる必要がある。しかし、図４に示すように、基板の姿勢がマスク７０と適合する姿勢からずれる場合がある。図４の例では、第２基板バキューム４４によって支持された基板６４が第１基板バキューム４２によって支持された基板６２からずれている。

例えば、基板６４が基板６２からずれている場合には、基板６２に対する基板６４のＸ軸方向の距離であるピッチＰ１とマスク７０のピッチＰ３との差分が第１閾値以上となる。第１閾値は、例えば、ピッチＰ３の数％（例えば１％）に設定される。当該差分が閾値以上であることは、ピッチＰ１が第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４に適合していないことを意味する。

また、例えば、基板６４が基板６２からずれている場合には、基板６２に対する基板６４のＹ軸方向の距離であるピッチＰ２が第２閾値以上となる。第２閾値は、例えば、数ｍｍ（例えば１ｍｍ）に設定される。マスク７０の第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４は、基板６２及び基板６４のＹ方向における中心がＸ軸方向で直線状に配置されることを前提に設計されている。このため、ピッチＰ２が第２閾値以上であることは、基板６２に対する基板６４のピッチＰ２が第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４に適合していないことを意味する。

また、例えば、基板６４が基板６２からずれている場合には、基板６２に対する基板６４の傾きである角度θが第３閾値以上となる。第３閾値は、例えば、数度（例えば１度）に設定される。マスク７０の第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４は、基板６２及び基板６４が互いに並行に配置されることを前提に設計されている。このため、角度θが第３閾値以上であることは、基板６２に対する基板６４の角度θが第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４に適合していないことを意味する。

本実施例では、図４のように２枚の基板が互いにずれている場合に、２枚の基板のずれを解消することを実現する。

（基板のずれの解消方法；図５、図６）
図５は、図４の状態をＹ軸方向に沿って見た図である。図５の状態において、最初に、制御装置５０は、マスク７０の第１パターン孔７２と第２パターン孔７４の間のピッチＰ３を計測する。具体的には、制御装置５０は、マスク搬送装置６０を制御して、マスク７０をテーブル４０の上方に移動させる。制御装置５０は、移動ロボット３０をマスク７０とテーブル４０の間に移動させる。移動ロボット３０のカメラ３４は、第２パターン孔７４のＸ軸正方向側の端部に位置するマーカ７４ａと、第１パターン孔７２のＸ軸正方向側の端部に位置するマーカ７２ａと、を含む画像を撮像する。制御装置５０は、マーカ７４ａとマーカ７２ａを含む画像を分析して、マーカ７４ａとマーカ７２ａとの間のＸ軸方向の距離をピッチＰ３として計測する。ここで、マーカ７２ａ及び７４ａは、例えば、情報コード（例えばバーコード）、又は、所定の形状の画像である。なお、変形例では、ピッチＰ３を計測する方法は、マーカ７２ａ及び７４ａを利用する方法に限らず、例えば、第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４の端辺を画像処理で検出し、両端辺の間の距離を計測する方法であってもよい。また、他の変形例では、制御装置５０は、マーカ７４ａを含む第１画像をカメラ３４に撮像させた後に、マーカ７２ａの下方まで移動ロボット３０を移動させ、マーカ７２ａを含む第２画像をカメラ３４に撮像させてもよい。そして、第１画像、第２画像、及び、マーカ７４ａとマーカ７２ａとの間の移動ロボット３０の移動距離を利用して、ピッチＰ３を算出してもよい。また、他の変形例では、制御装置５０は、Ｘ軸方向だけでなく、第１パターン孔７２と第２パターン孔７４の間のＹ軸方向のピッチを計測してもよく、当該ピッチを利用して、２枚の基板のずれを解消するための補正を行ってもよい。

続けて、制御装置５０は、基板６２及び基板６４の間のピッチＰ１及びＰ２、さらに、基板６２に対する基板６４の傾きである角度θを計測する。制御装置５０は、ピッチＰ３を計測する方法と同様に移動ロボット３０を移動させ、基板６２上に印字されているマーカ６２ａと基板６４上に印字されているマーカ６４ａを含む画像をカメラ３４に撮像させる。制御装置５０は、マーカ６２ａとマーカ６４ａを含む画像を分析する。制御装置５０は、マーカ６２ａとマーカ６４ａとの間のＸ軸方向の距離をピッチＰ１と、マーカ６２ａとマーカ６４ａとの間のＹ軸方向の距離をピッチＰ２として計測する。また、制御装置５０は、マーカ６２ａに対するマーカ６４ａの傾きである角度を角度θとして計測する。なお、変形例では、ピッチＰ１、Ｐ２、及び角度θを計測する方法は、マーカ６２ａ及び６４ａを利用する方法に限らず、例えば、基板６２及び基板６４の端辺を画像処理で検出し、Ｘ軸方向における両端辺の間の距離、Ｙ軸方向における両端辺の間の距離、及び、Ｙ軸方向における両端辺の間の角度を計測する方法であってもよい。なお、基板６２及び基板６４がマスク７０の第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４にずれなく位置合わせされた場合におけるマーカ６２ａとマーカ７２ａとの間の位置関係は、既知である。マーカ６４ａとマーカ７４ａとの間の位置関係についても、同様に、既知である。

本実施例では、ピッチＰ３の計測、並びに、ピッチＰ１、Ｐ２、及び、角度θの計測が順次に実行される。なお、変形例では、上記の２つの計測が同時に実行されてもよい。

続けて、制御装置５０は、移動ロボット３０を基板６４の上方に移動させ、図６に示すように、吸着ノズル３２に基板６４を吸着させ、第２基板バキューム４４から基板６４を離す。

続けて、制御装置５０は、アクチュエータ４６を制御して、ピッチＰ３とピッチＰ１との間の差分が第１閾値未満、及び、ピッチＰ２が第２閾値未満となるように、テーブル４０をＸＹ方向に沿って移動させる。これにより、基板６２及び基板６４の位置が第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４に適合するようにピッチＰ１及びピッチＰ２が補正される。

さらに、制御装置５０は、アクチュエータ４６を制御して、角度θが第３閾値未満となるように、テーブル４０をＺ軸回りに回転させる。これにより、基板６２及び基板６４の向きが第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４に適合するように角度θが補正される。

ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正する上記の動作が実行された後に、制御装置５０は、吸着ノズル３２を制御して、基板６４を第２基板バキューム４４に置く。第２基板バキューム４４は、基板６４を吸着して支持する。

続けて、制御装置５０は、マスク７０とテーブル４０との間の位置関係を補正する動作を実行する。具体的には、制御装置５０は、移動ロボット３０を移動させ、マスク７０の側に設けられているマスク側マーカと、テーブル４０の側に設けられているテーブル側マーカと、をカメラ３４に撮像させる。制御装置５０は、マスク側マーカを含む画像とテーブル側マーカを含む画像とを分析して、マスク側マーカとテーブル側マーカとの間のＸＹ方向における位置関係を算出する。ここで、マスク側マーカは、例えば、第１パターン孔７２のマーカ７２ａ、第２パターン孔７４のマーカ７４ａである。また、テーブル側マーカは、例えば、基板６２のマーカ６２ａ、基板６４のマーカ６４ａ、テーブル４０上に設けられているマーカ、コンベア１０及び１２のいずれかに設けられているマーカである。マスク７０がテーブル４０からずれることなく配置されている場合における、マスク側マーカとテーブル側マーカとの間の位置関係は、既知である。制御装置５０は、上記で算出した位置関係が既知の位置関係となるように、アクチュエータ４６を制御して、テーブル４０をＸＹ方向に沿って移動させる。これにより、マスク７０とテーブル４０との間の位置関係が補正され、パターン孔７２及び７４に基板６２及び６４の姿勢が適合する。

続けて、制御装置５０は、テーブル昇降装置（図示省略）を制御して、テーブル４０を上昇させ、基板６２及び６４をマスク７０に当接させる。そして、制御装置５０は、印刷機２０を制御して、２枚の基板６２及び６４の全てに対して、マスク７０を介した回路の印刷を実行する。

また、ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θのうちの少なくとも１つがずれている他のケースも想定される。この場合には、ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正する上記の動作のうち、ずれているパラメータ（例えばピッチＰ１）に対応する動作（例えばピッチＰ１を補正する動作）のみを実行し、他の動作（例えばピッチＰ２及び角度θを補正する動作）は、実行されなくてもよい。

（本実施例の効果）
本実施例によれば、２枚の基板６２及び６４の印刷を同時に実行することができる。コンベアが１本しかない第１比較例と比べて、基板に回路を印刷する工程を効率化することができる。また、２台の基板印刷システムを並べて１つのシステムを構成する第２比較例も想定される。第２比較例では、２台の基板印刷システムを設置するためのスペースが必要となる。これに対して、本実施例は、１つのテーブル４０に２本のコンベア１０及び１２を備える１台の基板印刷システム２である。本実施例は、第２比較例よりも狭いスペースで、２枚の基板の同時印刷を実現することができる。

また、本実施例の構成によれば、基板６４をテーブル４０から離すだけでよく、全ての基板６２及び６４をテーブル４０から離す必要がない。全ての基板６２及び６４を一枚ずつテーブル４０から離して、基板６２及び基板６４の姿勢を補正する構成と比較して、簡易な動作で基板のピッチ及び角度を補正することができる。

また、例えば、基板６４をテーブル４０から離した図６の状態において、移動ロボット３０を制御して、ピッチＰ１及びＰ２を補正するとともに、アクチュエータ４６を制御して、角度θを補正する第３比較例が想定される。さらに、例えば、図６の状態において、移動ロボット３０を制御して、角度θを補正するともに、アクチュエータ４６を制御して、ピッチＰ１及びＰ２を補正する第４比較例が想定される。これらに対して、本実施例では、移動ロボット３０を利用することなく、テーブル４０のアクチュエータ４６のみを利用して、ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正することができる。２種類の機構を利用する第３及び第４比較例と比べて、簡易なプログラムでピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正することができる。また、第４比較例では、移動ロボット３０がＺ軸回りに基板６４を回転させる回転機構を備える必要がある。これに対して、本実施例では、移動ロボット３０は回転機構を備える必要がない。なお、変形例では、上記の第３比較例及び第４比較例を採用してもよい。

また、マスク７０のピッチＰ３を計測しない比較例が想定される。本実施例では、実際に計測されたピッチＰ３を利用してピッチＰ１を補正する動作が実行されるので、ピッチＰ１を補正する動作を正確に実行することができる。また、上記の比較例では、例えば、ピッチＰ３はユーザによって入力される。本実施例では、ユーザはピッチＰ３を入力する必要がない。ユーザの利便性が向上する。なお、変形例では、上記の比較例を採用してもよく、「第２ピッチ計測部」を省略可能である。

（対応関係）
基板印刷システム２が、「基板印刷システム」の一例である。Ｙ軸方向、X軸方向が、それぞれ、「第１の方向」、「第２の方向」の一例である。第１コンベア１０及び第２コンベア１２が、「２本以上のコンベア」の一例である。印刷機２０、移動ロボット３０が、それぞれ、「印刷機」、「機構」の一例である。テーブル４０、アクチュエータ４６が、それぞれ、「テーブル」、「アクチュエータ」の一例である。マスク７０、第１パターン孔７２、第２パターン孔７４が、それぞれ、「マスク」、「第１パターン孔」、「第２パターン孔」の一例である。第１パターン孔７２及び第２パターン孔７４が、「２個以上のパターン孔」の一例である。基板６２、基板６４が、それぞれ、「第１基板」、「第２基板」の一例である。ピッチＰ１及びＰ２が、「第１ピッチ」の一例である。ピッチＰ３が、「第２ピッチ」の一例である。角度θが、「角度」の一例である。制御装置５０が、「角度計測部」、「第１ピッチ計測部」、「第２ピッチ計測部」、「第１制御部」、「補正制御部」、「第２制御部」、及び、「第３制御部」の一例である。ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正する動作及びマスク７０とテーブル４０との間の位置関係を補正する動作が、「補正動作」の一例である。

実施例で説明した画像処理装置に関する留意点を述べる。本明細書で開示する技術は、２本のコンベア１０及び１２を備える基板印刷システム２に限らず、３本以上のコンベアを備える基板印刷システムにも採用可能である。

ピッチＰ１、ピッチＰ２、及び、角度θを補正する動作は、全て、移動ロボット３０によって実行されてもよい。本変形例では、移動ロボット３０に備えられているアクチュエータが、「アクチュエータ」の一例である。

ピッチＰ１～Ｐ３を計測する方法は、カメラ３４を利用する方法以外の方法、例えば、赤外線センサを利用する方法により実現されてもよい。

また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。

２ ：基板印刷システム
１０ ：第１コンベア
１２ ：第２コンベア
２０ ：印刷機
３０ ：移動ロボット
３２ ：吸着ノズル
３４ ：カメラ
４０ ：テーブル
４２ ：第１基板バキューム
４４ ：第２基板バキューム
４６ ：アクチュエータ
５０ ：制御装置
６０ ：マスク搬送装置
６２ ：基板
６２ａ ：マーカ
６４ ：基板
６４ａ ：マーカ
７０ ：マスク
７２ ：第１パターン孔
７２ａ ：マーカ
７４ ：第２パターン孔
７４ａ ：マーカ
Ｐ１ ：ピッチ
Ｐ２ ：ピッチ
Ｐ３ ：ピッチ
θ ：角度

Claims (5)

1. 第１の方向に互いに並行に延びる２本以上のコンベアと、
   前記２本以上のコンベアのそれぞれによって搬送される基板を前記第１の方向と直交する第２の方向に横並びに支持するテーブルと、
   前記テーブルに支持された２枚以上の前記基板の全てに対して、マスクを介した回路の印刷を実行可能な印刷機であって、前記マスクには、２個以上のパターン孔が横並びに形成されており、前記２個以上のパターン孔のうちの一つは、前記２枚以上の基板の一つと対応している、前記印刷機と、
   前記テーブルに支持された前記基板を前記テーブルから離すことと、前記テーブルから離された前記基板を前記テーブルに置くことと、の双方を実行可能な機構と、
   前記基板の位置及び向きを調整可能なアクチュエータと、
   前記テーブルに支持されている前記２枚以上の基板のうちの第１基板に対する、前記２枚以上の基板のうちの第２基板の距離である第１ピッチを計測する第１ピッチ計測部と、
   前記テーブルに支持されている前記第１基板と前記第２基板を平面視したときの前記第１基板に対する前記第２基板の傾きである角度を計測する角度計測部と、
   前記第１ピッチ及び前記角度が計測された後に、前記機構を制御して、前記テーブルから前記第２基板を離す第１制御部と、
   前記テーブルから前記第２基板が離されている状態で、前記第１ピッチ及び前記角度のうちの少なくとも一方を補正して、前記２個以上のパターン孔のうち、前記第１基板に対応する第１パターン孔、及び、前記２個以上のパターン孔のうち、前記第２基板に対応する第２パターン孔に、前記第１基板及び前記第２基板の姿勢を適合させる補正動作を前記アクチュエータに実行させる補正制御部と、
   前記補正動作が実行された後に、前記機構を制御して、前記第２基板を前記テーブルに置く第２制御部と、
   前記第２制御部によって前記第２基板が前記テーブルに置かれた後に、前記印刷機を制御して、前記２枚以上の基板の全てに対して、前記マスクを介した回路の印刷を実行する第３制御部と、
   を備える、基板印刷システム。
2. 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの法線方向に沿った軸回りに回転可能に構成されており、
   前記補正制御部は、前記補正動作のうち、前記角度を補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の向きを適合させる動作を、前記アクチュエータに前記テーブルを前記軸回りに回転させることで実行する、請求項１に記載の基板印刷システム。
3. 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動可能に構成されており、
   前記補正制御部は、前記補正動作のうち、前記第１ピッチを補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の位置を適合させる動作を、前記アクチュエータに前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動させることで実行する、請求項１に記載の基板印刷システム。
4. 前記アクチュエータは、前記テーブルを前記テーブルの法線方向に沿った軸回りに回転可能であるとともに前記テーブルを前記テーブルの面方向に沿って移動可能に構成されており、
   前記補正制御部は、前記機構を利用することなく、前記アクチュエータのみを利用して、前記第１ピッチ及び前記角度の双方を補正して、前記第１パターン孔及び前記第２パターン孔に前記第１基板及び前記第２基板の姿勢を適合させる前記補正動作を実行する、請求項１に記載の基板印刷システム。
5. 前記基板印刷システムは、さらに、
   前記マスクに形成されている前記２個以上のパターン孔の前記第２の方向の距離である第２ピッチを計測する第２ピッチ計測部を備え、
   前記補正制御部は、前記第２ピッチ計測部によって計測された前記第２ピッチに基づいて、前記補正動作を前記アクチュエータに実行させる、請求項１から４のいずれか一項に記載の基板印刷システム。
   

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