JP2007189142A - フレキシブル基板の貼付け方法および同装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送用治具に対するフレキシブル基板の実質的な貼付け精度を向上させる。
【解決手段】移動可能なヘッド２０により供給部４にあるフレキシブル基板６（ＦＰＣ６）を吸着して一旦仮置きテーブル３６上に仮置きし、この仮置きしたＦＰＣ６をカメラ３２により撮像した後、ヘッド２０によりＦＰＣ６を再度吸着するとともに、当該再吸着時のヘッド２０の位置情報とカメラ３２による撮像画像とに基づきヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差を求め、再吸着したＦＰＣ６を搬送用治具Ｊ上に搬送して貼付けるとともに、この貼付けの際に前記吸着誤差に応じた補正を行うようにした。
【選択図】図１

Description

本発明は、フレキシブル基板を搬送用治具に貼付ける貼付け方法および貼付け装置に関するものである。

従来から、可撓性のあるフレキシブル基板（以下、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）という）の製造において、ＦＰＣをプレート状の搬送用治具に貼付けた状態で搬送しながら半田ペーストの印刷などの各種処理を施すことが行われている。

搬送用治具へのＦＰＣの貼付け作業は、例えば特許文献１に開示されるような貼付け装置によって自動化されおり、この装置では、トレイに載せて供給されるＦＰＣを移動可能なヘッドにより吸着し、搬送用治具上に搬送して貼付けるように構成されている。

なお、搬送用治具上には、複数のＦＰＣを並べた状態で貼り付けることが求められるため、この貼付け装置では、ヘッドによるＦＰＣの吸着後、このＦＰＣをその下面側（吸着面の反対側）から画像認識することによりＦＰＣの吸着ズレ（吸着誤差）を検出し、この誤差に応じて貼付け補正を行うように構成されている。
特開２００５−２１０００３号公報

ところで、ＦＰＣは周知の通り積層構造を有しており、その下面（搬送用治具に対する貼付け面側）と上面との間には製造課程で位置ずれ（下面側の層と上面側の層との間の位置ずれ；以下、積層誤差と称す）が生じている場合がある。そのため、例えば貼付け装置においてＦＰＣの下面に形成されたマークを画像認識し、吸着誤差を補正した上で手搬送用治具上に貼り付けたとしても、積層誤差がある結果、基板上面に対する次工程の処理にズレ（誤差）が生じることが考えられる。例えば、半田ペーストの印刷などの処理では印刷ズレが生じることが考えられる。

そこで、ＦＰＣの製造工程において積層誤差を高い精度で管理することが求められるが、これにも製造コスト等との関係で自ずと限界がある。

本発明は、上記の事情に鑑み、搬送用治具に対するフレキシブル基板の実質的な貼付け精度を向上させることを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明のフレキシブル基板の貼付け方法は、 移動可能な基板吸着用のヘッドにより基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着し、このフレキシブル基板を、搬送用治具の貼付け面に貼付ける方法であって、前記ヘッドにより前記基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着して一旦仮置きテーブル上に仮置きし、この仮置きしたフレキシブル基板を画像認識した後、前記ヘッドによりフレキシブル基板を再度吸着するとともに、当該再吸着時のヘッドの位置情報と前記画像認識結果とに基づき前記ヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求め、再吸着したフレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるとともに、この貼付けの際に前記吸着誤差に応じた補正を行うようにしたものである（請求項１）。

この貼付け方法では、フレキシブル基板の上面を基準としてヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求め、この吸着誤差を補正して搬送用治具へフレキシブル基板の貼付けを行う、つまり、上記の通り上面を基準としてフレキシブル基板の貼付けを行うため、フレキシブル基板に積層誤差がある場合でも、その後の処理を適切に進めることが可能となる。

また、本発明のフレキシブル基板の貼付け方法は、移動可能な基板吸着用のヘッドにより基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着し、このフレキシブル基板を、搬送用治具の貼付け面に貼付ける方法であって、前記ヘッドにより前記基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着して一旦仮置きテーブル上に仮置きし、この仮置きしたフレキシブル基板を画像認識して前記仮置きテーブルに対するフレキシブル基板の位置誤差を求めた後、前記ヘッドによりフレキシブル基板を再度吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるとともに、ヘッドによるフレキシブル基板の前記再吸着時に、前記位置誤差に応じて吸着位置補正を行うようにしたものである（請求項２）。

この貼付け方法では、フレキシブル基板の上面を基準として仮置きテーブルに対するフレキシブル基板の位置誤差を求め、ヘッドによる再吸着時にこの位置誤差を補正して搬送用治具へのフレキシブル基板の貼付けを行う、つまりこの場合も、実質的には基板上面を基準としたフレキシブル基板の貼付けを行うこととなる。そのため、請求項１の方法と同様、フレキシブル基板に積層誤差がある場合でも、その後の処理を適切に進めることが可能となる。

なお、請求項１及び２の記載において「フレキシブル基板を画像認識」するとは、フレキシブル基板を撮像し、その画像中のフレキシブル基板の輪郭、同基板に形成される回路パターン又はマーク等に基づきフレキシブル基板の位置や向きを認識することを意味する。

この方法においては、前記仮置きテーブル上にフレキシブル基板を負圧吸着した状態で画像認識を行うのが好適である（請求項３）。

この方法によると、フレキシブル基板の不意な移動（ズレ）を防止することができる。そのため、撮像手段による撮像後、ヘッドによる再吸着までの間にフレキシブル基板が移動するのを有効に防止して、画像から求められる誤差（吸着誤差、又は位置誤差）の信頼性を高めることができる。

一方、本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置は、フレキシブル基板の供給部と、移動可能な基板吸着用のヘッドとを備え、このヘッドにより前記供給部からフレキシブル基板を吸着して搬送用治具の貼付け面に貼付ける装置において、フレキシブル基板を仮置きする仮置きテーブルと、この仮置きテーブル上に置かれたフレキシブル基板を撮像する撮像手段と、前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に一旦仮置きし、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるべく前記ヘッドを駆動制御する制御手段と、仮置きされたフレキシブル基板を再吸着する際の前記ヘッドの位置情報と前記撮像手段により撮像された画像とに基づき、再吸着後の前記ヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求める誤差演算手段とを備え、前記制御手段が、前記貼付け面にフレキシブル基板を貼付ける際には、前記誤差演算手段により求められた吸着誤差に応じてフレキシブル基板の貼付け位置を補正すべく前記ヘッドを駆動制御するように構成されているものである（請求項４）。

これらの貼付け装置によると、制御手段による制御に基づきヘッドがフレキシブル基板を供給部から吸着して仮置きテーブル上に仮置きし、撮像手段による撮像の後、再度当該フレキシブル基板を吸着して搬送用治具に貼付ける。そして、この貼付けの際、撮像手段による撮像画像に基づき求められた吸着誤差を是正するように制御手段によりヘッドが制御される。従って、請求項１に係る貼付け方法を好適に実施することが可能となる。

また、本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置は、フレキシブル基板の供給部と、移動可能な基板吸着用のヘッドとを備え、このヘッドにより前記供給部からフレキシブル基板を吸着して搬送用治具の貼付け面に貼付ける装置において、フレキシブル基板を仮置きする仮置きテーブルと、この仮置きテーブル上に置かれたフレキシブル基板を撮像する撮像手段と、前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に一旦仮置きし、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるべく前記ヘッドを駆動制御する制御手段と、前記撮像手段により撮像された画像に基づき仮置きテーブルに対するフレキシブル基板の位置誤差を求める誤差演算手段とを備え、前記制御手段が、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着する際に、前記誤差演算手段により求められた位置誤差に応じて吸着位置を補正すべく前記ヘッドを駆動制御するように構成されているものである（請求項５）。

この貼付け装置によると、制御手段による制御に基づきヘッドがフレキシブル基板を供給部から吸着して仮置きテーブル上に仮置きし、撮像手段による撮像の後、再度当該フレキシブル基板を吸着して搬送用治具に貼付ける。そして、再吸着の際には、撮像手段による撮像画像に基づき求められた位置誤差を是正するように制御手段によりヘッドが制御される。従って、請求項２に係る貼付け方法を好適に実施することが可能となる。

なお、請求項４及び５の記載において「撮像手段による撮像結果（と）に基づき…誤差を求める」とは、その画像中のフレキシブル基板の輪郭、同基板に形成される回路パターン又はマーク等に基づきフレキシブル基板の位置や向きを認識することにより誤差（吸着誤差、又は位置誤差）を求める趣旨である。

なお、上記の貼付け装置においては、仮置きテーブルが、載置されたフレキシブル基板をその載置面側から負圧吸着した状態で保持するように構成されているのが好ましい（請求項６）。

この構成によれば、フレキシブル基板の不意な移動（ズレ）を防止することができるため、撮像手段による撮像後、ヘッドによる再吸着までの間にフレキシブル基板が移動するのを有効に防止して、誤差演算手段により求められる誤差の信頼性を高めることが可能となる。

また、上記の貼付け装置においては、複数の前記ヘッドを有するのが好適であり（請求項７）、この場合には、さらに複数の基板を同時に仮置き可能な前記仮置きテーブルを備えているのが好適である（請求項８）。

この構成によると、供給部から搬送用治具上へ複数のフレキシブル基板を同時に搬送しつつ貼付けることが可能となるため、当該貼付け作業をより効率的に行うことが可能となる。

また、上記の貼付け装置においては、前記ヘッドとして、前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に仮置きする第１ヘッドと、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を吸着して搬送用治具に貼付ける第２ヘッドとを有し、前記制御手段が、前記供給部において供給されるフレキシブル基板を搬送用治具に貼付けるべくこれら第１および第２ヘッドを駆動制御するものであるのが好適である（請求項９）。

この構成では、第１および第２ヘッドが連携することにより、供給部におけるフレキシブル基板の吸着から搬送用治具への貼付けまでの一連の作業が行われる。この構成によれば、供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に仮置きする前半の作業と、基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を吸着して搬送用治具に貼付ける後半の作業とを分担して実施することが可能となり、これによって上記一連の作業を効率的に進めることが可能となる。

また、上記貼付け装置においては、前記撮像手段を第１撮像手段としたときに、これとは別に、前記ヘッドに吸着されたフレキシブル基板を前記ヘッドによる吸着面とは反対側から撮像する第２撮像手段をさらに備え、前記誤差演算手段は、第１撮像手段によりフレキシブル基板が撮像された場合には当該画像基づき前記誤差を求める一方、第２撮像手段によりフレキシブル基板が撮像された場合には当該画像基づきヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求めるように構成され、さらに前記制御手段が、フレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に仮置きし、第１撮像手段による基板撮像後に当該フレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して貼付ける第１モード、又はフレキシブル基板を吸着して第２撮像手段による撮像位置に配置し、当該撮像手段による基板撮像後に当該フレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して貼付ける第２モードの何れかのモードをフレキシブル基板の種類に応じて実行させ、かつ第１モード実行時には、第１撮像手段による撮像画像に基づき求められる前記誤差に応じて前記ヘッドを駆動制御する一方、第２モード実行時には、第２撮像手段による撮像画像に基づき求められる前記誤差に応じて前記ヘッドを駆動制御するように構成されているのが好適である（請求項１０）。

この構成によれば、制御手段による制御に基づき、例えば積層誤差の許容値が特定値よりも大きいフレキシブル基板については第１モードを実行し、積層誤差の許容値が特定値以下のフレキシブル基板については第２モードを実行することにより効率的に貼付け作業を進めることが可能となる。つまり、積層誤差から見て上面側基準で貼付けることが必要なレベルのものだけ仮置きテーブル上に仮置きして画像認識を行うことで、フレキシブル基板の貼付け精度を確保しつつ効率的に貼付け作業を進めることが可能となる。

なお、請求項６に記載のフレキシブル基板の貼付け装置においては、前記ヘッドによる基板吸着用の負圧の圧力を検出する第１圧力検出手段と、前記仮置きテーブルによる基板吸着用の負圧の圧力を検出する第２圧力検出手段と、前記両検出手段による検出値に基づき前記ヘッドによるフレキシブル基板の吸着不良を検知する吸着不良検知手段とを有するものであるのが好適である（請求項１１）。

この構成によると、例えば、複数枚のフレキシブル基板を吸着した多重吸着状態を含む吸着不良状態などを検知することが可能となるため、搬送用治具に対するフレキシブル基板の貼付けミスを未然に防止することが可能となる。

本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法および貼付け装置によると、フレキシブル基板の上面をヘッドにより吸着して搬送しつつ搬送用治具に貼付けるようにしながらも、フレキシブル基板を、その上面を基準として正確に搬送用治具に貼付けることができる。

従って、製造時の寸法公差との関係で積層誤差が比較的大きいフレキシブル基板を搬送用治具に貼付ける場合であっても実質的な貼付け精度を向上させることができ、その結果、その後の作業、例えば半田ペーストの印刷処理などの処理をより精度良く行うことができるようになる。

本発明の第１の実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は、本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置を平面図で概略的に示している。この図に示すように、貼付け装置の基台１上には、コンベア２が配置され、後記フレキシブル基板６を貼付けるための貼付け面をもつ搬送用治具Ｊがこのコンベア２上を搬送されて所定の貼付け作業位置（図示の位置）で停止されるとともに、図外の治具保持手段により保持されるようになっている。なお、以下の説明では、コンベア２の方向をＸ軸方向、水平面上でこれと直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸およびＹ軸に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることにする。

コンベア２の側方（図１では下側）には基板の供給部４が配置されている。この供給部４には、フレキシブル基板６（以下、ＦＰＣ６という）をマトリックス状に並べて収納したトレイ５が載置されており、後述するヘッドユニット１０によりこのトレイ５からＦＰＣ６が一枚ずつ取出されるようになっている。

基台１の上方には、ＦＰＣ６を搬送するためのヘッドユニット１０が装備されている。このヘッドユニット１０は、トレイ５からＦＰＣ６を吸着して搬送用治具Ｊ上に搬送し得るように、一定の領域内でＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動可能とされている。

すなわち、基台１上には、前記コンベア２を挟んでその両側に配置され、かつＸ軸方向に延びる一対の固定レール１２と、これら固定レール１２に沿って設けられ、Ｘ軸サーボモータ１３により回転駆動されるボールねじ軸１４とが配設され、ヘッドユニット１０の支持部材１１が両固定レール１２に移動可能に装着され、この支持部材１１に設けられたナット部材１５が上記ボールねじ軸１４に螺合している。また、前記支持部材１１には、Ｙ軸方向のガイドレール（図示省略）と、Ｙ軸サーボモータ１６により駆動されるボールねじ軸１７とが配設され、上記ガイドレールにヘッドユニット１０が移動可能に保持され、このヘッドユニット１０に設けられたナット部材１８がボールねじ軸１７に螺合している。そして、Ｘ軸サーボモータ１３の作動により前記支持部材１１がＸ軸方向に移動する一方、Ｙ軸サーボモータ１６の作動によりヘッドユニット１０が支持部材１１に対してＹ軸方向に移動するようになっている。

ヘッドユニット１０には、図２および図３に示すように、Ｚ軸方向に延びる軸状のヘッド２０が搭載されている。このヘッド２０は、ヘッドユニット１０のフレーム１０ａに対してＺ軸方向の移動（昇降）及び中心軸（Ｒ軸）回りの回転が可能に支持されており、サーボモータにより駆動されるようになっている。

具体的に説明すると、フレーム１０ａには水平方向に突出するヘッド支持部２２が設けられ、このヘッド支持部２２に対してヘッド２０がベアリング等を介してＺ軸方向の移動およびＲ軸回りの回転が可能な状態で支持されている。また、Ｚ軸方向に延び、かつＺ軸サーボモータ２６により回転駆動されるボールねじ軸２７が前記フレーム１０ａに設けられ、このボールねじ軸２７に可動フレーム２４が螺合装着されるとともに、この可動フレーム２４が前記ヘッド２０の上端部位に固定されている。そして、可動フレーム２４にＲ軸サーボモータ２８が搭載されるとともに、このモータ２８の出力軸とヘッド２０のうちこの出力軸に対応する位置にそれぞれプーリ（図示省略）が装着され、これらプーリに亘って駆動ベルト２９が装着されている。この構成により、Ｚ軸サーボモータ２６の作動に伴いヘッド２０が可動フレーム２４と一体にＺ軸方向に移動し、また、Ｒ軸サーボモータ２８の作動に伴いヘッド２０がＲ軸回りに回転するようになっている。

ヘッド２０の先端には吸着パッド２１が装着されている。このパッド２１は、ヘッド２０の内部通路および負圧供給管３０を通じて図外の負圧供給源に連通接続されており、後述するＦＰＣ６の貼り付け作業時には、このパッド２１によりＦＰＣ６を負圧吸着するようになっている。パッド２１の具体的な構成は本発明により限定されるものではないが、例えば複数の負圧供給孔が形成された略フラットな吸着面（図２及び図３では下面）をもち、この吸着面によりＦＰＣ６を面吸着するように構成されている（図２，図３はパッド２１によりＦＰＣ６を吸着した状態を示している）。

なお、負圧供給管３０のうちヘッド２０の近傍には、第１圧力センサ３１（本発明に係る第１圧力検出手段に相当する）が介設されており、貼付け装置の稼動中は、この圧力センサ３１により負圧供給管３０内の圧力が検出され、後述するコントローラ５０にその検出信号が出力されるようになっている。

ヘッドユニット１０には、さらに搬送用治具Ｊに形成される位置確認用のマーク（フィデューシャルマーク；以下ＦＩＤマークという）を撮像するとともに後述する仮置きテーブル３６上に仮置きされるＦＰＣ６を撮像するためのカメラ３２が搭載されている。

このカメラ３２は、ＣＣＤエリアセンサ等の撮像素子をもつカメラ本体３２ａと照明装置３２ｂ等から構成され、ヘッドユニット１０のフレーム１０ａに下向きに固定されており、ＦＰＣ６の貼付け作業時には、搬送用治具Ｊ上のＦＩＤマーク等を撮像してその画像信号を後記コントローラ５０に出力するようになっている。

一方、前記基台１上であって前記供給部４の側方には、さらにＦＰＣ６の仮置きテーブル３６が設けられている。

この仮置きテーブル３６は、図４（ａ）（ｂ）に示すように、凹部３６ａをもつテーブル本体の前記凹部３６ａに、例えば発泡樹脂等の多孔質部材３７を嵌め込むことにより当該多孔質部材３７により略フラットなＦＰＣ６の載置面３８を形成したものである。

前記凹部３６ａは、テーブル本体に形成される通路３６ｂおよび負圧供給管４０を通じて図外の負圧供給源に連通接続されており、これにより前記載置面３８に載置（仮置き）されるＦＰＣ６を負圧吸着するようになっている。なお、載置面３８には、同図に示すようにその中心部にＦＰＣ６よりやや大きめの開口部３９ａを形成した無通気性のマスクシート３９が取付けられており、このように載置面３８のうちその中心部分、つまりＦＰＣ６を載置する部分のみを開放してそれ以外の部分を塞ぐことにより、供給される負圧をＦＰＣ６に集中させて確実にＦＰＣ６を吸着保持するように構成されている。

また、負圧供給管４０のうちテーブル本体の近傍には、第２圧力センサ４１（本発明に係る第２圧力検出手段に相当する）が介設されており、貼付け装置の稼動中は、この圧力センサ４１により負圧供給管４０内の圧力が検出され、後述するコントローラ５０にその検出信号が出力されるようになっている。

図１に戻って、上記のように構成された貼付け装置には、その動作を統括的に制御するコントローラ５０が設けられている。

このコントローラ５０は、論理演算を実行する周知のＣＰＵ、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭおよび装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭ等から構成されており、その機能構成として主制御手段５１、画像処理手段５２、吸着誤差演算手段５３および吸着不良検知手段５４等を含んでいる。

主制御手段５１は、貼付け装置全体の動作を統括的に制御するもので、予め記憶されたプログラムに従ってヘッドユニット１０やこれに搭載されるヘッド２０等を作動させるべく前記各サーボモータ１３，１６，２６，２８や負圧供給管３０，４０に介設される図外の電磁開閉バルブ等の駆動を制御するものである。基本的には、供給部４からＦＰＣ６を吸着して仮置きテーブル３６上に一旦仮置きし、カメラ３２によりこのＦＰＣ６を撮像した後、再度このＦＰＣ６をヘッド２０により吸着して搬送用治具Ｊ上に搬送して貼付けるべく前記ヘッド２０等の駆動を制御する。

画像処理手段５２は、前記カメラ３２により撮像された画像に所定の処理を施すことにより画像認識に適した画像データを生成するものである。

吸着誤差演算手段５３（本発明に係る誤差演算手段に相当する）は、カメラ３２により撮像される画像のうち仮置きテーブル３６に仮置きされたＦＰＣ６の画像データに基づいて、より詳しくは当該画像データのうちＦＰＣ６の表面（上面）に形成される一対のマーク６ａ（フィデューシャルマーク；図４（ａ）に示す；以下ＦＩＤマーク６ａという）の画像に基づき、ヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差を演算するもので、主制御手段５１は、この吸着誤差に応じた補正量を演算し、搬送用治具ＪへのＦＰＣ６の貼付け時にはこの補正量に基づいてヘッドユニット１０等を駆動制御することにより吸着誤差補正を行うようになっている。すなわち、この実施形態では、主に主制御手段５１が本発明に係る制御手段に相当する。

吸着不良検知手段５４は、前記圧力センサ３１，４１による検出圧力値と予め記憶されている規定値とを比較することによりヘッド２０によるＦＰＣ６の吸着不良、例えば吸着ミス（未吸着）やＦＰＣ６の多重（二重）吸着を検知するもので、吸着不良検知手段５４により吸着不良が検知された場合には、主制御手段５１は、後述するような所定のリカバリー処理を実行すべく前記ヘッド２０等を駆動制御するようになっている。

次に、上記コントローラ５０によるＦＰＣ６の貼付け動作制御について図５〜図７のフローチャートに基づいて説明する。

この制御では、まず、コンベア２を作動させ、搬送用治具Ｊを作業位置に搬入して位置決めするとともに、ヘッドユニット１０を搬送用治具Ｊ上に移動させることにより搬送用治具Ｊ上に形成されるＦＩＤマークを前記カメラ３２により撮像させる（ステップＳ１）。これより当該マークの画像データに基づきＸ−Ｙ座標軸上における搬送用治具Ｊの位置を検出する。

次いで、ヘッドユニット１０を移動させてヘッド２０を供給部４のトレイ５上に配置し、ヘッド２０（パッド２１）をＦＰＣ６の高さ位置まで下降させるとともにヘッドバキュームをＯＮし（パッド２１への負圧供給を開始し）、その後、ヘッド２０を元の高さ位置にリセットしてＦＰＣ６をトレイ５からピックアップする（ステップＳ２〜Ｓ４）。

この吸着動作後、ヘッドバキューム圧（圧力センサ３１の検出値）が予め設定された規定値以上か否かを判断する（ステップＳ５）。ここでＮＯと判断した場合には、さらにリトライ回数が所定値以上か否かを判断し（ステップＳ２１）、ここでＮＯと判断した場合にはステップＳ３にリターンして再度ＦＰＣ６の吸着動作を実行する。一方、ステップＳ２１でＹＥＳと判断した場合には、例えば貼付け装置を停止させ、図外の報知手段を作動させてオペレータに所定のエラー出力を行う（ステップＳ２２）。すなわち、ＦＰＣ６の吸着が適切に行われた場合には、パッド２１の負圧供給孔が塞がれてヘッドバキューム圧が規定値以上になるため、ヘッドバキューム圧が規定値以上とならない場合（ステップＳ５でＮＯの場合）には、吸着不良（吸着ミス）が発生したものとして規定回数だけＦＰＣ６の吸着動作を再実行（リトライ）する。

これに対してステップＳ５でＹＥＳと判断した場合には、ヘッドユニット１０を移動させて吸着したＦＰＣ６を仮置きテーブル３６上に仮置きする。具体的には、ヘッド２０を仮置きテーブル３６上に配置し、ヘッド２０（パッド２１）を載置面３８の高さ位置まで下降させてヘッドバキュームを弱め（パッド２１への供給負圧を弱め）、その後、テーブルバキュームをＯＮ（仮置きテーブル３６への負圧の供給を開始）するとともにヘッド２０を元の高さ位置にリセットする（ステップＳ６〜Ｓ８）。これによりＦＰＣ６を仮置きテーブル３６上に仮置きする。

この仮置き動作の後、テーブルバキューム圧（圧力センサ４１の検出値）が予め設定された規定値以上か否かを判断し（ステップＳ９）、ここでＮＯと判断した場合には、仮置きにミスが発生したものとして規定回数だけＦＰＣ６の仮置き動作を再度実行し、規定回数だけこの動作を繰り返してもテーブルバキューム圧が規定値以上にならない場合には（ステップＳ２３でＹＥＳ）、貼付け装置を停止させ、図外の報知手段を作動させてオペレータに所定のエラー出力を行う（ステップＳ２４）。すなわち、ＦＰＣ６の仮置きが適切に行われた場合には、仮置きテーブル３６（載置面３８）の負圧供給孔が塞がれてテーブルバキューム圧が規定値以上となるため、テーブルバキューム圧が規定値以上とならない場合には、仮置きミスが発生したものとして規定回数だけＦＰＣ６の仮置き動作を再実行（リトライ）する。

一方、ステップＳ９でＹＥＳと判断した場合には、ヘッドバキューム圧が予め設定された規定値以下か否かを判断し（ステップＳ１０）、ここでＮＯと判断した場合には、ヘッドユニット１０を移動させてヘッド２０を図外の廃棄部上方に配置した後、ヘッドバキュームをＯＦＦして（ヘッド２０への負圧供給を停止させて）ＦＰＣ６を廃棄する（ステップＳ２５）。つまり、ステップＳ９でＹＥＳと判断した後、ステップＳ１０でＮＯと判断する場合とは、要するに複数のＦＰＣ６をヘッド２０が同時に吸着するいわゆる多重吸着が発生し、これによって仮置きテーブル３６およびヘッド２０の双方にＦＰＣ６が存在する場合である。従って、この場合にはヘッド２０に残っているＦＰＣ６を廃棄部に廃棄するようにしている。

次に、ヘッドユニット１０を移動させてヘッド２０を再度仮置きテーブル３６上に配置し、ヘッド２０（パッド２１）を載置面３８の高さ位置まで下降させてヘッドバキュームをＯＮし、その後、テーブルバキュームを弱めて（テーブル３６への供給負圧を弱めて）ヘッド２０を元の高さ位置にリセットする（ステップＳ２６〜Ｓ２８）。

これにより仮置きテーブル３６上にあるＦＰＣ６を吸着した後、テーブルバキューム圧が規定値以下か否かを判断し（ステップＳ２９）、ここでＹＥＳと判断した場合にはさらにヘッドバキューム圧が規定値以上か否かを判断する（ステップＳ３０）。そして、ここでＹＥＳと判断した場合には、ヘッドユニット１０を廃棄部に移動させてＦＰＣ６を廃棄した後（ステップＳ３１）、ステップＳ２にリターンしてＦＰＣ６の吸着をやり直す。つまり、多重吸着が発生した場合、ＦＰＣ６は不安定な状態で供給部４から搬送されていることが多く、仮置きテーブル３６上に不適切な状態で仮置きされている可能性がある。そのため、この場合には当該ＦＰＣ６を廃棄する。

なお、当実施形態では、このように仮置きテーブル３６上の当該ＦＰＣ６を廃棄するようにしているが、勿論、当該ＦＰＣ６を有効なものとして取り扱うようにしてもかまわない。この場合には、例えばステップＳ２５の処理後、後述するステップＳ１１に移行するようにすればよい。

これに対してステップＳ２９，Ｓ３０でＮＯと判断した場合には、貼付け装置を停止させ、図外の報知手段を作動させてオペレータに所定のエラー出力を行う（ステップＳ３２，３３Ｓ）。例えば、ステップＳ２９でＮＯと判断する場合には、仮置きテーブル３６上にさらにＦＰＣ６が残っている等、想定外のトラブルが発生している可能性があり、またステップＳ３０でＮＯと判断する場合には、一旦吸着したＦＰＣ６が脱落する等のトラブルが発生している可能性があるため、この場合にはオペレータに所定のエラー出力を行う。

一方、ステップＳ１０でＹＥＳと判断した場合には、ヘッドユニット１０を移動させてカメラ３２を仮置きテーブル３６上に配置し、ＦＰＣ６表面に形成される２つのＦＩＤマーク６ａを順次撮像し、それらの画像データに基づいて吸着誤差演算手段５３により再吸着後のヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差（吸着ズレ量）を演算する（ステップＳ１１，Ｓ１２）。例えば吸着誤差演算手段５３は、画像データに基づき両マーク６ａを結んだ線分およびその中心位置からＦＰＣ６のＸ−Ｙ座標軸上での位置および傾きを求め、その結果と、仮置きテーブル３６上のＦＰＣ６を再度吸着する際の予め設定されたヘッド２０の位置情報、具体的にはヘッド２０の座標位置および回転角度（Ｒ軸周りの回転角度）とに基づき、再吸着後のヘッド２０に対するＦＰＣ６のＸ軸、Ｙ軸、およびＲ軸（ヘッド２０の軸回り）方向の吸着誤差を演算する。

次いで、ヘッド２０を仮置きテーブル３６上に配置し、ヘッド２０（パッド２１）を載置面３８の高さ位置まで下降させてヘッドバキュームをＯＮし、その後、テーブルバキュームをＯＦＦするとともにヘッド２０を元の高さ位置にリセットすることにより、仮置きテーブル３６上のＦＰＣ６をヘッド２０により再度吸着する（ステップＳ１３，Ｓ１４）。この際、ヘッド２０は、予め設定されている上記位置情報に基づいて駆動制御されることとなる。つまり、ＦＰＣ６を一旦仮置きテーブル３６上に仮置きして撮像し、その画像データと、予め設定されているヘッド２０の上記位置情報に基づいてヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差を求め、その後、前記ヘッド２０により実際に上記位置情報に基づいて仮置きされたＦＰＣ６を吸着することにより、結果的にＦＰＣ６のヘッド２０に対する吸着誤差を当該ＦＰＣ６の上面側からの画像認識に基づいて求めるようになっている。

ＦＰＣ６の再吸着が完了すると、ヘッドバキューム圧が予め設定された規定値以上か否かを判断し（ステップＳ１５）、ここでＮＯと判断した場合には、吸着不良（吸着ミス）が発生したものとして規定回数だけＦＰＣ６の吸着動作を再度実行し、規定回数だけこの動作を繰り返しても圧力センサ３１の検出値が規定値以上にならない場合には（ステップＳ３４でＹＥＳ）、貼付け装置を停止させ、図外の報知手段を作動させてオペレータに所定のエラー出力を行う（ステップＳ３５）。

これに対してステップＳ１５でＹＥＳと判断した場合には、ヘッドユニット１０を移動させてＦＰＣ６を搬送用治具Ｊ上に配置し、ヘッド２０（パッド２１）を搬送用治具Ｊの高さ位置まで下降させてＦＰＣ６を貼付け面に押し付けるとともにヘッドバキュームをＯＦＦし、その後ヘッド２０を元の高さ位置にリセットする（ステップＳ１６〜Ｓ１８）。これによりＦＰＣ６を搬送用治具Ｊ上に貼付ける。この際、ステップＳ１で求めた搬送用治具Ｊの位置およびステップＳ１２で求めたＦＰＣ６の吸着誤差に応じてヘッド２０（ヘッドユニット１０）を駆動制御することにより搬送用治具Ｊ上の所定位置に正確にＦＰＣ６を貼付ける。

こうして貼付け動作が完了すると、搬送用治具Ｊに対する所要数のＦＰＣ６の貼付けが完了したか否かを判断し（ステップＳ１９）、ここでＮＯと判断した場合には、ステップＳ２にリターンして上記の貼付け動作を繰り返す。そして、最終的にここでＹＥＳと判断すると、当該搬送用治具Ｊを搬出して本フローチャートを終了する。

以上説明したように、本発明に係る貼付け装置では、ＦＰＣ６を一旦仮置きテーブル３６上に仮置きしてカメラ３２により撮像した後、ＦＰＣ６を再度ヘッド２０によって吸着してから搬送用治具Ｊ上に貼付けるとともに、カメラ３２により撮像した画像データと再吸着時のヘッド２０の位置情報とに基づいてヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差を求め、この吸着誤差に応じて貼り付け補正を行うように構成したので、ヘッド２０によりＦＰＣ６の上面を吸着して供給部４から搬送用治具Ｊ上に搬送して貼付けるようにしながも、その上面を基準としてＦＰＣ６を正確に搬送用治具に貼付けることができる。従って、寸法公差との関係で積層誤差が比較的大きいＦＰＣ６を搬送用治具Ｊに貼付ける場合であっても、実質的な貼付け精度を向上させることができ、その結果、その後の作業、例えば半田ペーストの印刷処理などの処理を精度良く行うことができるようになる。

特に、この装置では、仮置きテーブル３６上に仮置きした状態でＦＰＣ６をカメラ３２により撮像するが、上記の通り、ＦＰＣ６を負圧吸着した状態で保持するように仮置きテーブル３６が構成されているのでＦＰＣ６の不意な移動（ズレ）を確実に防止することができる。しかも、ＦＰＣ６の再吸着時には、ヘッド２０（パッド２１）をＦＰＣ６に押し付け、ＦＰＣ６をパッド２１により吸着した状態で仮置きテーブル３６側の負圧を弱めてＦＰＣ６を仮置きテーブル３６から切り離すように構成されているので、カメラ３２によるＦＰＣ６の撮像後、ヘッド２０による再吸着までの間のＦＰＣ６の不意な移動（ズレ）を確実に防止することができる。従って、例えば仮置きテーブル３６上にＦＰＣ６を負圧吸着することなく単に載置するだけの場合と比較すると、求められる吸着誤差の信頼性が向上し、その分、搬送用治具Ｊに対するＦＰＣ６の貼付けを正確に行うことができるという利点がある。

また、この装置では、上記のようにヘッド２０に対する負圧供給系に圧力センサ３１を設ける一方、仮置きテーブル３６に対する負圧供給系に圧力センサ４１を設け、これら両センサ３１，４１の検出値を吸着不良検知手段５４により監視することによりヘッド２０によるＦＰＣ６の吸着ミスや仮置きテーブル３６に対するＦＰＣ６の仮置きミスを検知するようにしているので、当該吸着ミス等に起因する搬送用治具Ｊに対するＦＰＣ６の貼付け不良の発生を未然に防止することができる。特に、この装置では、供給部４から複数のＦＰＣ６を同時に吸着して仮置きテーブル３６上に搬送する多重吸着を検知するように構成されているので（ステップＳ１０，Ｓ２５〜Ｓ３０）、当該多重吸着に起因したＦＰＣ６の貼付け不良の発生を未然に防止できるという利点もある。

また、この装置では、上記の通り搬送用治具Ｊに形成されるＦＩＤマークと、仮置きテーブル３６に仮置きされたＦＰＣ６のＦＩＤマーク６ａを、ヘッドユニット１０に搭載した共通のカメラ３２で撮像するように構成されているので、両マークの撮像手段を共通化した合理的な構成が達成されるという利点もある。

次に、本発明に係る貼付け装置の第２の実施形態について説明する。

第２の実施形態は、基本的には第１の実施形態と共通しているが、以下の点で、コントローラ５０の機能構成が第１の実施形態のものと相違している。

すなわち、第２の実施形態の吸着誤差演算手段５３は、カメラ３２により撮像される画像のうち仮置きテーブル３６に仮置きされたＦＰＣ６のＦＩＤマーク６ａの画像に基づいて仮置きテーブル３６に対するＦＰＣ６の位置誤差（Ｘ軸、Ｙ軸およびＲ軸方向の位置誤差）を演算するように構成されており、主制御手段５１は、この位置誤差に応じた補正量を演算し、ＦＰＣ６の再吸着時に、この補正量に基づいてヘッドユニット１０等を駆動制御することにより吸着位置補正を行うようになっている。

第２の実施形態におけるコントローラ５０の貼付け動作制御も、基本的には図５〜図７のフローチャートに準じて行われるが、第２の実施形態では、ステップＳ１２において、ＦＩＤマーク６ａの画像データに基づいて仮置きテーブルテーブル３６に対するＦＰＣ６の位置誤差（位置ズレ量）を演算し、ステップＳ１３，Ｓ１４において、ＦＰＣ６をヘッド２０により再吸着するとともに、この吸着の際にステップＳ１２で求めたＦＰＣ６の位置誤差に応じてヘッド２０（ヘッドユニット１０）を駆動制御するようになっている。そして、ステップＳ１６〜１８の処理では、第１の実施形態のような吸着誤差補正を行うことなく、ヘッド２０を目標位置（Ｘ軸、Ｙ軸およびＲ軸方向の所定位置）に移動させて下降させることにより搬送用治具Ｊ上にＦＰＣ６を貼付けるようになっている。

つまり、第１の実施形態が、仮置きしたＦＰＣ６の画像データに基づいてヘッド２０に対するＦＰＣ６の吸着誤差を求め、搬送用治具ＪへのＦＰＣ６の貼付けの際にその吸着誤差を補正するのに対し、第２の実施形態では、同画像データに基づき仮置きテーブル３６に対するＦＰＣ６の位置誤差を求め、ヘッド２０による再吸着の際にこの位置誤差に応じた吸着位置補正を行うことにより予め吸着誤差の無い理想的な状態でＦＰＣ６を吸着してから搬送用治具Ｊ上に貼付けるように構成されている。

このような第２の実施形態も、方法は異なるものの、結果的には第１の実施形態と同様にＦＰＣ６の上面を基準として搬送用治具Ｊに貼付けることができる。従って、第１の実施形態と同様、ＦＰＣ６の上面をヘッド２０により吸着して搬送、貼付けを行うようにしながも、上面を基準としてＦＰＣ６を搬送用治具Ｊに正確に貼付けることができる。

なお、ここでの説明では、ヘッド２０によるＦＰＣ６の再吸着の際に、仮置きテーブル３６に対するＦＰＣ６の位置誤差の全部、つまりＸ軸、Ｙ軸およびＲ軸方向の位置誤差の全部に応じた吸着位置補正を行うようにしているが、例えば、ヘッド２０によるＦＰＣ６の再吸着時にはＸ軸およびＹ軸方向の位置誤差についてのみ吸着位置補正を行い、搬送用治具Ｊ上へのＦＰＣ６の貼付けの際に、ヘッド２０を目標位置（Ｘ軸およびＹ軸方向の所定位置）に配置しつつＲ軸方向の位置補正を行う（貼付け位置補正を行う）ようにしてもよい。

次に、本発明に係る貼付け装置の第３の実施形態について図８を用いて説明する。

なお、第３の実施形態に係る貼付け装置も、その基本構成や動作は第１の実施形態の装置と共通するため、共通する部分については同一符号を付して説明を省略し、以下に相違点についてのみ詳細に説明することにする（この点は、後に説明する第４〜６の実施形態の説明についても同様である）。

同図に示すように、第３の実施形態の貼付け装置は、ヘッドユニット１０に複数のヘッド２０が搭載されており、図示の例では、２つのヘッド２０がＹ軸方向に横並びに搭載されている。各ヘッド２０は、ヘッドユニット１０の駆動により一体にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する一方、フレーム１０ａに対してそれぞれ個別にＺ軸方向およびＲ軸方向の移動が可能となっている。また、基台１上には、これらヘッド２０の配列に対応する２つの仮置きテーブル３６がＹ軸方向に横並びに配設されている。

この第３の実施形態の貼付け装置では、主制御手段５１の制御に基づき、各ヘッド２０によりそれぞれ供給部４からＦＰＣ６をピックアップし、２つのＦＰＣ６を同時に仮置きテーブル３６上に搬送してカメラ３２により順次これらＦＰＣ６を撮像した後、これらＦＰＣ６を各ヘッド２０に再吸着して同時に搬送用治具Ｊ上に搬送して貼付けるように構成されている。

このような第３の実施形態の貼付け装置によると、供給部４から搬送用治具Ｊ上へ２つのＦＰＣ６を同時に搬送しつつ貼付けることが可能となるため、当該貼付け作業を効率的に行うことができるという利点がある。

なお、同図では、２つのヘッド２０をヘッドユニット１０に搭載し、これに対応する２つの仮置きテーブル３６を基台１上に設けた例を示しているが、勿論、ヘッド２０および仮置きテーブル３６の数は３つ、あるいはそれを超える数であってもよい。

また、各ヘッド２０に対応した数の仮置きテーブル３６を設ける以外に、ヘッド２０の数に対応する複数枚のＦＰＣ６を同時に仮置きできる共通の仮置きテーブル３６を設けるようにしてもよい。また、一枚のＦＰＣ６を仮置きできる仮置きテーブル３６を共通使用し、各ヘッド２０により吸着したＦＰＣ６を順次仮置きテーブル３６上に置き換えながらカメラ３２によりＦＰＣ６を撮像するようにしてもよい。

次に、本発明に係る貼付け装置の第４の実施形態について図９を用いて説明する。

同図に示すように、第４の実施形態の貼付け装置では、第１の実施形態の貼付け装置において前記ヘッドユニット１０が、仮置きテーブル３６からＦＰＣ６を再吸着して搬送用治具Ｊ上に貼付ける貼付け専用のヘッドユニット１０として構成されている。そしてこれとは別に、供給部４からＦＰＣ６をピックアップして仮置きテーブル３６上に仮置きする仮置き専用のヘッドユニット１０Ａが設けられている。

このヘッドユニット１０Ａ（第１ヘッドユニット１０Ａという）の構成、およびこの第１ヘッドユニット１０Ａの駆動機構は、基本的には前記ヘッドユニット１０（第２ヘッドユニット１０という）のものと共通している。同図中では、第２ヘッドユニット１０の対応する駆動機構等の符号に「Ａ」を付した符号で第１ヘッドユニット１０Ａの駆動機構を示している。

すなわち、供給部４を挟んでＸ軸方向に延びる一対の固定レール１２Ａと、これと平行に配設されてＸ軸サーボモータ１３Ａにより駆動されるボールねじ軸１４Ａとが設けられ、前記固定レール１２Ａに支持部材１１Ａが移動可能に装着されるとともにこの支持部材１１Ａに設けられるナット部材１５Ａがボールねじ軸１４Ａに螺合している。そして、支持部材１１ＡにＹ軸方向のガイドレール（図示省略）とＹ軸サーボモータ１６Ａにより駆動されるボールねじ軸１７Ａとが配設され、上記ガイドレールにヘッドユニット１０Ａが移動可能に支持され、このヘッドユニット１０Ａに設けられたナット部材１８Ａがボールねじ軸１７Ａに螺合している。この構成により、両サーボモータ１３Ａ，１６Ａの作動により第１ヘッドユニット１０ＡがＸ−Ｙ平面上で移動可能に設けられている。

第１ヘッドユニット１０Ａには、パッド２１Ａをもつヘッド２０Ａ（本発明に係る第１吸着ヘッド）が搭載され、このヘッド２０Ａが、Ｚ軸サーボモータ２６ＡおよびＲ軸サーボモータ（図示省略）の作動によりＺ軸およびＲ軸方向に移動可能に設けられている。なお、この第１ヘッドユニット１０Ａにはカメラ３２は設けられていない。

この第４の実施形態の貼付け装置では、主制御手段５１の制御に基づき、まず第１ヘッドユニット１０Ａのヘッド２０Ａにより供給部４からＦＰＣ６をピックアップして仮置きテーブル３６上に仮置きする。そして、このＦＰＣ６を第２ヘッドユニット１０に搭載されたカメラ３２で撮像した後、同ユニット１０のヘッド２０（本発明に係る第２吸着ヘッド）により吸着して搬送用治具Ｊ上に搬送して貼付けるようになっている。つまり、供給部４からのＦＰＣ６の取り出し、仮置きテーブル３６への仮置き、撮像、搬送用治具Ｊへの貼付けといった一連のＦＰＣ６の貼付け作業を、第１ヘッドユニット１０Ａと第２ヘッドユニット１０とが連携して行うように構成されている。

このような第４の実施形態の装置によると、供給部４からＦＰＣ６を吸着して仮置きテーブル３６上に仮置きする前半の作業と、ＦＰＣ６を撮像して搬送用治具Ｊに貼付ける後半の作業とをタイミングをずらして並行して実施することが可能となるため、当該貼付け作業を効率的に行うことができるという利点がある。なお、この第４の実施形態の装置では、吸着誤差演算手段５３は、第２ヘッドユニット１０のヘッド２０により仮置きされたＦＰＣ６を再吸着する際の当該ヘッド２０の座標位置および回転角度に基づき吸着誤差を演算する。

ところで、この第４の実施形態では、例えば第３の実施形態と同様に、第１ヘッドユニット１０Ａおよび第２ヘッドユニット１０にそれぞれ複数のヘッド２０Ａ，２０を搭載し、基台１上にこれらに対応する複数の仮置きテーブル３６を設けるようにしてもよい。これによればＦＰＣ６の貼付け作業をより一層効率的に進めることが可能となる。

また、この第４の実施形態では、例えば図１０に示すように、第２ヘッドユニット１０を支持する支持部材１１の高さを第１ヘッドユニット１０Ａの上端よりも上方に配置するのが好ましい。この構成によれば、第２ヘッドユニット１０が、第１ヘッドユニット１０Ａの支持部材１１Ａよりもコンベア２側にある限り、第２ヘッドユニット１０の支持部材１１と第１ヘッドユニット１０ＡとがＸ軸方向に互いに干渉することがなく、そのため、両ヘッドユニット１０Ａ，１０のＸ軸方向の可動エリアを拡大することが可能となる。具体的には、例えば各ヘッドユニット１０Ａ，１０の支持部材１１Ａ，１１の高さが等しい場合には、両支持部材１１Ａ，１１がＸ軸方向に互いに干渉するため、図９の実線に示すように、仮置きテーブル側方の限られたスペースを作業位置としてここに搬送用治具Ｊを位置決めして貼付け作業を行う必要があるが、図１０に示す構成によると、両支持部材１１Ａ，１１がＸ軸方向に互いに干渉することがないため、例えば図９の一点鎖線に示すような広い範囲を作業位置として搬送用治具Ｊへの貼付け作業を行うことができる。そのため、コンパクトな装置構成でより大型の搬送用治具Ｊに対してＦＰＣ６の貼付け作業を行うことが可能になるという利点がある。

なお、図１０に示す例では、第２ヘッドユニット１０を支持する支持部材１１の高さ位置を第１ヘッドユニット１０Ａの上端よりも上方に配置しているが、勿論、仮置きテーブル３６の具体的な配置等との関係に応じて逆の構成を採用するようにしてもよい。

次に、本発明に係る貼付け装置の第５の実施形態について図１１を用いて説明する。

同図に示すように、第５の実施形態の貼付け装置では、コンベア２を挟んでその両側（Ｙ軸方向両側）にそれぞれ供給部４が設けられ、各供給部４からそれぞれＦＰＣ６をピックアップして搬送用治具Ｊ上に貼付ける２つのヘッドユニット１０，１０が設けられた構成となっている。各ヘッドユニット１０，１０は、共通の固定レール１２に支持され、かつＸ軸サーボモータ１３の作動によりＸ軸方向に別個独立に移動する支持部材１１にそれぞれ支持されており、各支持部材１１に搭載されるＹ軸サーボモータ１６の作動によりそれぞれＹ軸方向に別個独立に移動するように設けられている。

つまり、上述した第４の実施形態の貼付け装置が、供給部４からのＦＰＣ６の取り出し、仮置きテーブル３６への仮置き、撮像、搬送用治具Ｊへの貼付けといったＦＰＣ６の一連の貼付け作業を２つのヘッドユニット１０Ａ，１０が分担して行うのに対して、この第５の実施形態の装置では、一連の貼付け作業を２つのヘッドユニット１０，１０がそれぞれ個別独立に、かつ例えば半サイクルだけずれたタイミングで行うように構成されている。

このような第５の実施形態の装置によると、搬送用治具Ｊに対するＦＰＣ６の一連の貼付け作業を２つのヘッドユニット１０，１０で交互に行うため、当該貼付け作業を効率的に進めることができる。

次に、本発明に係る貼付け装置の第６の実施形態について図１を用いて説明する。

第６の実施形態の貼付け装置は、第１の実施形態のものに、さらにヘッド２０により吸着されたＦＰＣ６をその下面側から撮像するカメラ４５（図１中に一点鎖線で示す）が基台１上に設けられた構成となっている。このカメラ４５（第２カメラ４５という；本発明に係る第２撮像手段に相当する）は、詳しく図示していないが、ヘッドユニット１０に搭載される前記カメラ３２（第１カメラ３２という；本発明に係る第１撮像手段に相当する）と同様に、ＣＣＤエリアセンサ等の撮像素子をもつカメラ本体および照明装置等から構成されており、基台１上に上向きに固定されている。そして、ＦＰＣ６の貼付け作業時には、ヘッド２０（パッド２１）に吸着保持されたＦＰＣ６をその下面側、つまりパッド２１の吸着面とは反対側から撮像してその画像信号をコントローラ５０に出力するようになっている。

なお、コントローラ５０には、ＦＰＣ６に関するデータとして、第１カメラ３２又は第２カメラ４５のいずれでＦＰＣ６を撮像するかをＦＰＣ６の種類に応じて定めたテーブルデータが予め記憶されている。例えばこのテーブルデータは、積層誤差の許容値（寸法誤差）が特定値以上であるＦＰＣ６（第１種ＦＰＣという）は第１カメラ３２で、前記許容値が特定値未満であって、かつその下面に一対のフィデューシャルマーク（ＦＩＤマーク）が形成されるＦＰＣ６（第２種ＦＰＣという）については第２カメラ４５でそれぞれＦＰＣ６を撮像するようにＦＰＣ６の種類に応じてカメラの種類が定められている。

また、吸着誤差演算手段５３は、第１カメラ３２によりＦＰＣ６の撮像が行われた場合にはその画像データに基づいてＦＰＣ６の吸着誤差を演算し、第２カメラ４５によりＦＰＣ６の撮像が行われた場合にはその画像データに基づいてＦＰＣ６の吸着誤差をそれぞれ演算するように構成されている。なお、第２カメラ４５によりＦＰＣ６を撮像する場合には、吸着誤差演算手段５３は、例えば画像データに基づき両ＦＩＤマークを結んだ線分の傾き、同線分の中心位置、撮像時のヘッド２０と第２カメラ４５との相対的な位置関係（既知の位置情報）およびヘッド２０の回転角度等に基づきヘッド２０に対するＦＰＣ６のＸ軸、Ｙ軸、およびＲ軸方向の吸着誤差を演算するようになっている。

この第６の実施形態の貼付け装置では、主制御手段５１の制御に基づき、以下の第１および第２モードの何れかに従ってＦＰＣ６の貼付け作業を進める。

まず、貼付け対象となるＦＰＣ６が第１種ＦＰＣである場合には、第１モードを実行する。この第１モードは、仮置きテーブル３６上にＦＰＣ６を仮置きし、第１カメラ３２によりＦＰＣ６をその上面側から撮像した後に搬送用治具Ｊ上にＦＰＣ６を貼付けるモードであって、この場合には、先に説明した図５〜図７のフローチャートに従ってＦＰＣ６の貼付け作業を進める。

これに対してＦＰＣ６が第２種ＦＰＣである場合には、第２モードを実行する。この第２モードでは、ヘッド２０により供給部４から取り出したＦＰＣ６を第２カメラ４５上方の所定の撮像位置に配置し、ここでその下面側からＦＰＣ６の撮像を行った後、搬送用治具Ｊ上にＦＰＣ６を搬送して貼付ける。

このような第６の実施形態によると、仮置きテーブル３６上にＦＰＣ６を仮置きして画像認識を行う動作を必要最小限に抑えることが可能となり、その結果、ＦＰＣ６の貼付け作業を、その精度を確保しつつ効率的に進めることが可能となる。すなわち、第１モードと第２モードとを比較すると、第２モードでは、仮置きテーブル３６上に一旦ＦＰＣ６を仮置きする必要がない分、ＦＰＣ６の取り出しから搬送用治具Ｊへの貼付けまでの一連の作業を第１モードに比べて素早く行うことができる。他方、上記のような第２種ＦＰＣについては積層誤差が小さいため、ＦＰＣ６を下面側から撮像して貼付け補正を行うようにしても、ＦＰＣ６を上面側から撮像して貼付け補正する場合と遜色ないレベルで精度よく貼付けることが可能となる。従って、ＦＰＣ６の種類に応じて上記のように第１モードと第２モードとを選択的に実行することにより、仮置きテーブル３６上にＦＰＣ６を仮置きして画像認識を行う動作（第１モード）を必要最小限に抑えることができ、その結果、ＦＰＣ６の貼付け精度を確保しつつ効率的に貼付け作業を進めることができるようになる。

なお、以上説明した第１〜第６の実施形態に係るＦＰＣ６の貼付け装置は、本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置（本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法を使用可能な貼付け装置）の好ましい実施の形態の例示であって、具体的な貼付け方法、あるいは貼付け装置の具体的な構成は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、上記の各実施形態では、ＦＰＣ６を撮像し、これに形成されたＦＩＤマーク６ａの認識に基づいてＦＰＣ６の吸着誤差を求めるようにしているが、勿論、ＦＰＣ６の輪郭、ＦＰＣ６に含まれる回路パターン等の形状的特長に基づいてＦＰＣ６の吸着誤差を求めるようにしてもよい。

また、第３〜第６の実施形態の構成（方法）は、第２の実施形態の構成に対しても適用可能であることは言うまでもない。なお、第６の実施形態の構成を第２の実施形態の貼付け装置に適用する場合には、例えば、第１カメラ３２による撮像画像データに基づいて仮置きテーブル３６に対するＦＰＣ６の位置誤差を演算するようにすればよく、また、第１モードでは、仮置きテーブル３６上のＦＰＣ６を第１カメラ３２により撮像して前記位置誤差を演算した後、ヘッド２０によりＦＰＣ６を再吸着して搬送用治具Ｊ上に貼付けるとともに、この再吸着の際に前記位置誤差に応じた吸着位置補正を行うようにすればよい。

本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置（本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法を実施可能な貼付け装置）の第１の実施形態（コントローラを含む）を示す平面略図である（第６の実施形態の構成を含む）。 ヘッドユニットの構成を示す正面略図である。 ヘッドユニットの構成を示す側面略図である。 （ａ）は仮置きテーブルを示す平面略図、（ｂ）は同縦断面略図である。 コントローラによるフレキシブル基板の貼付け動作制御の一例を示すフローチャートである。 コントローラによるフレキシブル基板の貼付け動作制御の一例を示すフローチャートである。 コントローラによるフレキシブル基板の貼付け動作制御の一例を示すフローチャートである。 本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置（本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法を実施可能な貼付け装置）の第３の実施形態を示す平面略図である。 本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置（本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法を実施可能な貼付け装置）の第４の実施形態を示す平面略図である。 第４の実施形態に係るフレキシブル基板の貼付け装置におけるヘッドユニット部分の構成例を示す側面略図である。 本発明に係るフレキシブル基板の貼付け装置（本発明に係るフレキシブル基板の貼付け方法を実施可能な貼付け装置）の第５の実施形態を示す平面略図である。

符号の説明

４ 供給部
５ トレイ
６ フレキシブル基板（ＦＰＣ）
１０ ヘッドユニット
２０ ヘッド
２１ パッド
３６ 仮置きテーブル
５０ コントローラ
５１ 主制御手段
５２ 画像処理手段
５３ 吸着誤差演算手段
５４ 吸着不良検知手段
Ｊ 搬送用治具

Claims (11)

1. 移動可能な基板吸着用のヘッドにより基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着し、このフレキシブル基板を、搬送用治具の貼付け面に貼付ける方法であって、
   前記ヘッドにより前記基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着して一旦仮置きテーブル上に仮置きし、この仮置きしたフレキシブル基板を画像認識した後、前記ヘッドによりフレキシブル基板を再度吸着するとともに、当該再吸着時のヘッドの位置情報と前記画像認識結果とに基づき前記ヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求め、再吸着したフレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるとともに、この貼付けの際に前記吸着誤差に応じた補正を行うことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け方法。
2. 移動可能な基板吸着用のヘッドにより基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着し、このフレキシブル基板を、搬送用治具の貼付け面に貼付ける方法であって、
   前記ヘッドにより前記基板供給位置にあるフレキシブル基板を吸着して一旦仮置きテーブル上に仮置きし、この仮置きしたフレキシブル基板を画像認識して前記仮置きテーブルに対するフレキシブル基板の位置誤差を求めた後、前記ヘッドによりフレキシブル基板を再度吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるとともに、ヘッドによるフレキシブル基板の前記再吸着時に、前記位置誤差に応じて吸着位置補正を行うことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け方法。
3. 請求項１又は２に記載のフレキシブル基板の貼付け方法において、
   前記仮置きテーブル上にフレキシブル基板を負圧吸着した状態で画像認識を行うことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け方法。
4. フレキシブル基板の供給部と、移動可能な基板吸着用のヘッドとを備え、このヘッドにより前記供給部からフレキシブル基板を吸着して搬送用治具の貼付け面に貼付ける装置において、
   フレキシブル基板を仮置きする仮置きテーブルと、
   この仮置きテーブル上に置かれたフレキシブル基板を撮像する撮像手段と、
   前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に一旦仮置きし、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるべく前記ヘッドを駆動制御する制御手段と、
   仮置きされたフレキシブル基板を再吸着する際の前記ヘッドの位置情報と前記撮像手段により撮像された画像とに基づき、再吸着後の前記ヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求める誤差演算手段とを備え、
   前記制御手段は、前記貼付け面にフレキシブル基板を貼付ける際には、前記誤差演算手段により求められた吸着誤差に応じてフレキシブル基板の貼付け位置を補正すべく前記ヘッドを駆動制御する
   ことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
5. フレキシブル基板の供給部と、移動可能な基板吸着用のヘッドとを備え、このヘッドにより前記供給部からフレキシブル基板を吸着して搬送用治具の貼付け面に貼付ける装置において、
   フレキシブル基板を仮置きする仮置きテーブルと、
   この仮置きテーブル上に置かれたフレキシブル基板を撮像する撮像手段と、
   前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に一旦仮置きし、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着して搬送用治具上に搬送して前記貼付け面に貼付けるべく前記ヘッドを駆動制御する制御手段と、
   前記撮像手段により撮像された画像に基づき仮置きテーブルに対するフレキシブル基板の位置誤差を求める誤差演算手段とを備え、
   前記制御手段は、仮置きした前記フレキシブル基板を再吸着する際に、前記誤差演算手段により求められた位置誤差に応じて吸着位置を補正すべく前記ヘッドを駆動制御する
   ことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
6. 請求項４又は５に記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
   前記仮置きテーブルは、仮置きされる前記フレキシブル基板を負圧吸着するものであることを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
7. 請求項４又は５に記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
   複数の前記ヘッドを有することを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
8. 請求項７に記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
   複数の基板を同時に仮置き可能な前記仮置きテーブルを備えていることを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
9. 請求項４又は５に記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
   前記ヘッドとして、前記供給部からフレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に仮置きする第１ヘッドと、前記撮像手段による基板撮像後、仮置きした前記フレキシブル基板を吸着して搬送用治具に貼付ける第２ヘッドとを有し、
   前記制御手段は、前記供給部において供給されるフレキシブル基板を搬送用治具に貼付けるべくこれら第１および第２ヘッドを駆動制御する
   ことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
10. 請求項４乃至８の何れかに記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
    前記撮像手段を第１撮像手段としたときに、これとは別に、前記ヘッドに吸着されたフレキシブル基板を前記ヘッドによる吸着面とは反対側から撮像する第２撮像手段をさらに備え、
    前記誤差演算手段は、第１撮像手段によりフレキシブル基板が撮像された場合には当該画像基づき前記誤差を求める一方、第２撮像手段によりフレキシブル基板が撮像された場合には当該画像基づきヘッドに対するフレキシブル基板の吸着誤差を求めるように構成され、
    前記制御手段は、フレキシブル基板を吸着して前記仮置きテーブル上に仮置きし、第１撮像手段による基板撮像後に当該フレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して貼付ける第１モード、又はフレキシブル基板を吸着して第２撮像手段による撮像位置に配置し、当該撮像手段による基板撮像後に当該フレキシブル基板を搬送用治具上に搬送して貼付ける第２モードの何れかのモードをフレキシブル基板の種類に応じて実行させ、かつ第１モード実行時には、第１撮像手段による撮像画像に基づき求められる前記誤差に応じて前記ヘッドを駆動制御する一方、第２モード実行時には、第２撮像手段による撮像画像に基づき求められる前記誤差に応じて前記ヘッドを駆動制御する
    ことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。
11. 請求項６に記載のフレキシブル基板の貼付け装置において、
    前記ヘッドによる基板吸着用の負圧の圧力を検出する第１圧力検出手段と、前記仮置きテーブルによる基板吸着用の負圧の圧力を検出する第２圧力検出手段と、前記両検出手段による検出値に基づき前記ヘッドによるフレキシブル基板の吸着不良を検知する吸着不良検知手段とを有する
    ことを特徴とするフレキシブル基板の貼付け装置。

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