JP2024029450A - スクライブヘッドおよびスクライブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成により安定的かつ確実にカッターホイールをロックすることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。【解決手段】スクライブヘッド１０は、ベース部材１１０と、上下動可能にベース部材１１０に支持された支持部材２１０と、回転軸Ｒ１０について回転可能に支持部材２１０に支持された先細り形状のホルダ２４０と、回転軸Ｒ１０から離間してホルダ２４０の下面に保持されたカッターホイール２５１ａと、支持部材２１０に上下動可能に支持されたガイドシャフト２２１と、ガイドシャフト２２１を上方向に付勢するバネ２２２と、ガイドシャフト２２１の下端に設けられ、バネ２２２からの付勢によりホルダ２４０の外側面２４１ａに圧接される圧接面２３１ａを有する押圧部材２３０と、ベース部材１１０に設けられ、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに対向する下面１１０ａと、を備える。【選択図】図９

Description

本発明は、基板にスクライブラインを形成するためのスクライブヘッドおよび当該スクライブヘッドを備えたスクライブ装置に関する。

従来、ウエハー等の被加工物にスクライブラインを形成するスクライブ装置が知られている。以下の特許文献１には、圧力をシリンダ室内に供給することにより、ピストンロッドを付勢部材の付勢力に抗して下方に押し、スクライブ刃ユニットを揺動しないようにロックするスクライブ装置が記載されている。

特許第４８４１９３３号公報

上記特許文献１に記載のスクライブ装置では、スクライブ刃をロックするための構成として、シリンダ室と、シリンダ室に配置されたピストンと、シリンダ室に空気を供給するための圧力エアー供給源とが必要となるため、ロックのための構造が複雑となる。また、圧力エアー供給源からの空気圧によりピストンロッドの下面を支持軸の上面に圧接させる構成であるため、ロックの安定性および信頼性が低い。

かかる課題に鑑み、本発明は、簡易な構成により安定的かつ確実にカッターホイールをロックすることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様は、スクライブヘッドに関する。本態様に係るスクライブヘッドは、スクライブ装置側の昇降機構により昇降されるベース部材と、所定範囲において上下動可能に前記ベース部材に支持された支持部材と、回転軸について回転可能に前記支持部材に支持された先細り形状のホルダと、前記回転軸から離間して前記ホルダの下面に保持されたカッターホイールと、前記支持部材に上下動可能に支持されたガイドシャフトと、前記ガイドシャフトを上方向に付勢する付勢部材と、前記ガイドシャフトの下端に設けられ、前記付勢部材からの付勢により前記ホルダの外側面に圧接される圧接面を有する押圧部材と、前記ベース部材に設けられ、前記支持部材が前記所定範囲の下限に位置づけられた状態において前記ガイドシャフトの上端に所定の距離で対向する対向面と、を備える。

本態様に係るスクライブヘッドによれば、支持部材が所定範囲の下限に位置づけられた状態において、スクライブ装置側の昇降機構によりベース部材を下降させると、カッターホイールが被当接面に当接する。その後、さらにベース部材を下降させると、カッターホイールの下降が被当接面により規制されるため、支持部材、ホルダ、ガイドシャフトおよび押圧部材は下降せず、ベース部材のみが下降する。これにより、ガイドシャフトの上端とベース部材の対向面との距離が縮まり、やがて当接する。この状態からさらにベース部材を下降させると、ガイドシャフトの上端が対向面に押されて、ガイドシャフトが付勢部材の付勢に抗して下方に移動する。このとき、押圧部材がガイドシャフトとともに下方に移動し、押圧部材の圧接面がホルダの外側面から離間する。これにより、ホルダは回転軸について回転可能となり、ホルダに保持されたカッターホイールも回転可能となる。また、上記の工程とは逆に、ベース部材を上昇させることで、押圧部材の圧接面がホルダの外側面に圧接され、ホルダおよびカッターホイールがロックされる。

このように、本態様に係るスクライブヘッドによれば、ガイドシャフト、付勢部材および押圧部材を追加するのみの簡素な構成により、ホルダおよびカッターホイールのロックおよび非ロックを切り替えることができる。また、押圧部材の圧接面を先細りのホルダの外側面に面接触により圧接させてロックが行われるため、安定的かつ確実に、ホルダおよびカッターホイールをロックできる。さらに、ベース部材を昇降させるといった極めて簡単な制御により、ホルダおよびカッターホイールのロックおよび非ロックを切り替えることができる。このため、非ロック状態でカッターホイールを走行させながらスクライブヘッドを上昇させることにより、ホルダおよびカッターホイールをロックでき、カッターホイールをロック直前の直線走行可能な状態に正確にロックできる。

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ベース部材は、ブロック形状を有し、前記支持部材および前記ガイドシャフトは、前記ベース部材の下方に配置され、前記対向面は、前記ベース部材の下面である。

この構成によれば、支持部材およびガイドシャフトがベース部材の下方に配置されるため、ベース部材、支持部材およびガイドシャフトからなる構造体をコンパクトにできる。また、ベース部材の下面が対向面に共用されるため、この構造体の構成を簡素にできる。

本態様に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダの前記外側面は、平面視において略円形状であり、下方に向かうにつれて径が小さくなっており、前記押圧部材は、前記ホルダが上方から挿入される円形の開口を有し、前記開口の径を前記ホルダの外側面と同様に下方に向かうにつれて小さくすることにより、前記開口の内周面に前記圧接面が形成されている。

この構成によれば、ホルダの外側面の径および押圧部材の開口の径を調整することにより、ロック機構を実現できる。よって、ロック機構の構成を簡素にできる。

この場合、前記ホルダは、円錐体の外側面の一部を平坦に切り欠いた形状を含む。

この構成によれば、外側面の切り欠き量によって、ホルダの外側面と圧接面との接触面積を調整でき、ロックの保持力を調整できる。これにより、スクライブ動作時に、不意に大きなトルクがカッターホイールに掛かったとしても、ホルダの外側面が圧接面に対して滑ってカッターホイールがトルクの方向に回動し、カッターホイールに破損が生じることを抑制できる。

本態様に係るスクライブヘッドは、空気圧により前記支持部材を駆動して前記カッターホイールに荷重を付与するヘッド駆動部を備える。

この構成によれば、支持部材がヘッド駆動部に機械的に固定された構成でないため、カッターホイールが被当接面に当接した後、さらにベース部材を下降させた場合に、支持部材に対してベース部材を円滑に下降させることができる。よって、ベース部材の昇降によるカッターホイールのロックおよび非ロックの切り替えを円滑に行うことができる。

本発明の第２の態様は、スクライブ装置に関する。本態様に係るスクライブ装置は、上記第１の態様に係るスクライブヘッドと、前記昇降機構と、前記昇降機構とともに前記スクライブヘッドをスクライブ方向に移送する移送機構と、前記昇降機構および前記移送機構を制御する制御部と、を備える。前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御として、前記カッターホイールが被接触面に接触するまで前記ベース部材を下降させた後、さらに、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触が解除されるまで、前記ベース部材を下降させる制御を実行する。

本態様に係るスクライブ装置によれば、ベース部材を下降させるといった極めて簡単な制御により、カッターホイールのロックを解除できる。

本態様に係るスクライブ装置において、前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する。

ロックの解除状態では、カッターホイールが被接触面に押し付けられているため、この状態からスクライブヘッドをスクライブ方向に移送することで、カッターホイールをスクライブ方向に直進させることができ、カッターホイールの稜線をスクライブ方向に平行にできる。このとき、スクライブヘッドをスクライブ方向に移送させつつホルダの外側面と圧接面とが接触するまでベース部材を上昇させることにより、カッターホイールの稜線がスクライブ方向に平行である状態を維持したまま、カッターホイールをロックできる。よって、その後、このロック状態によりスクライブ動作を行うことで、スクライブ軌跡の直線性を高精度に維持できる。

この場合、前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させ、その後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する。

この構成によれば、スクライブヘッドがスクライブ方向に移送されることにより、カッターホイールを確実にスクライブ方向に直進させることができる。そして、この状態から、さらに、スクライブヘッドをスクライブ方向に移送させつつホルダの外側面と圧接面とが接触するまでベース部材を上昇させることにより、カッターホイールの稜線がスクライブ方向に平行である状態を維持したまま、カッターホイールをロックできる。

本態様に係るスクライブ装置は、前記カッターホイールが被接触面に接触したことを検出するセンサを備え、前記制御部は、前記センサからの出力に基づいて前記カッターホイールが被接触面に接触したことが検出された位置から所定量だけ前記ベース部材を下降させることにより、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触を解除する。

この構成によれば、円滑かつ正確に、カッターホイールのロックを解除できる。

この場合、前記センサは、前記カッターホイールに付与される荷重を検出するためのロードセルである。

この構成によれば、ロードセルがセンサに共用されるため、スクライブ装置の構成の簡素化およびコストの低減を実現できる。

以上のとおり、本発明によれば、簡易な構成により安定的かつ確実にカッターホイールをロックすることが可能なスクライブヘッドおよびスクライブ装置を提供することができる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の１つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１は、実施形態に係る、スクライブ装置の構成を模式的に示す側面図である。 図２（ａ）は、実施形態に係る、スクライブテーブルの載置面にフレームユニットが載置された状態を示す平面図である。図２（ｂ）は、実施形態に係る、図２（ａ）のＡ－Ａ位置におけるフレームユニット、スクライブテーブルおよびテスト基板の断面図である。 図３は、実施形態に係る、スクライブヘッドの構成を示す斜視図である。 図４は、実施形態に係る、スクライブヘッドを、カッターホイールの中央位置でＹ－Ｚ平面に平行な平面により切断した断面を示す図である。 図５は、実施形態に係る、スクライブヘッドを、シャフトの中央位置でＸ－Ｚ平面に平行な平面により切断した断面を示す図である。 図６は、実施形態に係る、ベース部材およびベース部材に収容される各部の構成を示す斜視図である。 図７は、実施形態に係る、支持部材、ホルダおよび押圧部材の構成を示す斜視図である。 図８は、実施形態に係る、押圧部材を支持部材に設置するための構成を示す斜視図である。 図９は、実施形態に係る、カッターホイールの位置でＸ－Ｚ平面に平行な面によりスクライブヘッドを切断したときの断面の一部を示す図である。 図１０（ａ）は、実施形態に係る、ボールによってピンが上下に押し出されることを模式的に示す側面図である。図１０（ｂ）は、実施形態に係る、シャフトが軸受に対して上下に移動することを模式的に示す側面図である。 図１１は、実施形態に係る、スクライブ装置の構成を示すブロック図である。 図１２（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、スクライブヘッドの原点出し動作を模式的に示す側面図である。 図１３（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、ホルダの回転位置調整を模式的に示す側面図である。 図１４（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、ホルダの回転位置調整を模式的に示す側面図である。 図１５（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、ホルダの回転位置調整を模式的に示す側面図である。 図１６（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、被加工物に対するスクライブ動作を模式的に示す側面図である。 図１７（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る、被加工物に対するスクライブ動作を模式的に示す側面図である。 図１８は、実施形態に係る、原点出し処理を示すフローチャートである。 図１９は、実施形態に係る、ホルダの回転位置調整処理を示すフローチャートである。 図２０は、実施形態に係る、スクライブ処理を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。便宜上、各図には、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸正方向およびＺ軸負方向は、それぞれ、鉛直上方向および鉛直下方向であり、Ｘ軸正方向は、スクライブ動作時にスクライブヘッドが移送される方向である。

図１は、スクライブ装置１の構成を模式的に示す側面図である。

図１に示すように、スクライブ装置１は、Ｙ軸方向に移動可能な移動台２を備える。移動台２は、Ｙ軸方向に延びるボールネジ３と螺合している。また、移動台２は、Ｙ軸方向に延びる一対の案内レール４によってＹ軸方向に移動可能に支持されている。モータ（図示せず）の駆動によりボールネジ３が回転することで、移動台２が、一対の案内レール４に沿ってＹ軸方向に移動する。

移動台２には、回転機構５を介して、スクライブテーブル６が設置されている。回転機構５は、モータを備え、Ｚ軸に平行な回転軸についてスクライブテーブル６を回転させる。スクライブテーブル６の上面（載置面６１）には、フレームユニット２０を吸着するための吸着構造が設けられている。フレームユニット２０および吸着構造の構成は、追って、図２（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。

さらに、スクライブ装置１は、一対の支柱７ａ、７ｂと、支柱７ａ、７ｂに支持された移送機構８と、を備える。移送機構８は、昇降機構９とともにスクライブヘッド１０およびカメラ１１をＸ軸方向に移送する。移送機構８は、Ｘ軸方向に延びるボールネジおよびガイドレールと、ボールネジを駆動するモータと、支持板とを備える。支持板は、ボールネジと螺合するとともに、ガイドレールによってＸ軸方向に案内される。昇降機構９は、支持板に装着される。移送機構８のモータが駆動されると、支持板とともに昇降機構９がＸ軸方向に移送される。移送機構８は、支持板および昇降機構９をＸ軸方向に略揺らぎなく精緻に直線移送可能に構成されている。

昇降機構９は、スクライブヘッド１０およびカメラ１１をＺ軸方向に昇降させる。昇降機構９は、Ｚ軸方向に延びるボールネジおよびガイドレールと、ボールネジを駆動するモータと、支持板９ａと、を備える。支持板９ａは、ボールネジに螺合するとともに、ガイドレールによってＺ軸方向に案内される。スクライブヘッド１０およびカメラ１１は、支持板９ａの前面に装着されている。昇降機構９のモータが駆動されると、支持板９ａとともにスクライブヘッド１０およびカメラ１１がＺ軸方向に昇降される。

スクライブヘッド１０の下端には、カッターホイール２５１ａを保持したホルダユニット２５１が装着される。カメラ１１は、撮像方向が下向きとなるように支持板９ａに設置される。カメラ１１は、移送機構８および昇降機構９により所定の撮像位置に位置づけられた状態で、スクライブテーブル６の上面（載置面６１）に保持されたフレームユニット２０を撮像する。カメラ１１によって撮像された画像は、Ｚ軸方向に平行な回転軸周りの回転方向およびＹ軸方向におけるフレームユニット２０の位置調整（アラインメント）に用いられる。

図２（ａ）は、スクライブテーブル６の載置面６１にフレームユニット２０が載置された状態を示す平面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ－Ａ位置におけるフレームユニット２０、スクライブテーブル６およびテスト基板６６の断面図である。便宜上、図２（ａ）には、フレームリング２１、被加工物２３およびテスト基板６６にハッチングが付されており、隙間２０ａにおいてテープの奥が透視された状態が示されている。

図２（ａ）、（ｂ）に示すように、フレームユニット２０は、フレームリング２１と、テープ２２と、被加工物２３と、を備える。フレームリング２１は、金属材料により構成された一定厚みの板状の部材である。フレームリング２１は、平面視において、中央に円形の開口２１ａを有するリング状の形状を有する。

テープ２２は、フレームリング２１の下面に貼り付けられ、フレームリング２１の開口２１ａを下側から覆う。テープ２２は、たとえば樹脂材料により構成される。被加工物２３は、フレームリング２１の開口２１ａから露出したテープ２２の上面に貼り付けられる。

被加工物２３は、たとえば、ウエハーである、被加工物２３が、ガラス基板等の他の部材であってもよい。被加工物２３は、平面視において、開口２１ａより径が小さい円板状の形状を有する。被加工物２３は、開口２１ａと略同心になるように、テープ２２の上面に貼り付けられる。これにより、被加工物２３は、テープ２２によってフレームリング２１の開口２１ａに固定される。この状態において、開口２１ａの内周と被加工物２３の外周との間に、リング状の隙間２０ａが生じる。隙間２０ａの径方向の幅は、全周に亘って略一定である。

スクライブテーブル６は、平面視において、略正方形の形状を有する。スクライブテーブル６は、ＳＵＳ等の金属材料からなっている。載置面６１には、中心に対して対称な位置に、４つの円形の凹部６２が形成されている。フレームユニット２０は、フレームリング２１が４つの凹部６２に略均等に掛かるように、載置面６１に載置される。この状態において、フレームユニット２０の隙間２０ａの下方に、スクライブテーブル６の載置面６１に沿って形成された溝６３が位置づけられる。溝６３のＹ軸正側の端部には、スクライブテーブル６を貫通する孔６４が形成されており、孔６４のＺ軸負側の端部は、図示しない配管を介して圧力付与部３０５（図１１参照）に接続されている。溝６３のＹ軸負側の端部には、溝６３がない隙間６５が形成されている。

被加工物２３に対するスクライブラインの形成工程では、スクライブ動作に先立ち、溝６３内の空気が、孔６４を介して圧力付与部３０５により吸引される。これにより、溝６３内部に位置づけられたテープ２２にテンションが加えられ、被加工物２３の下側のテープ２２が、スクライブテーブル６の載置面６１に密着する。このとき、テープ２２は、孔６４から隙間６５に向かって順に密着していくため、被加工物２３下側のテープ２２と載置面６１との間に生じた空気が、隙間６５から円滑に脱気される。こうして、フレームユニット２０が、スクライブテーブル６の載置面６１に吸着固定される。

載置面６１においてフレームユニット２０の外側には、２つのテスト基板６６が配置されている。図２（ａ）に示すように、Ｙ軸負側のテスト基板６６はＸ軸方向に延びた形状であり、Ｘ軸負側のテスト基板６６は、Ｙ軸方向に延びた形状である。図２（ｂ）に示すように、テスト基板６６は、上面が載置面６１の上面に一致するよう、載置面６１に形成された凹部に設置されている。２つのテスト基板６６は、スクライブテーブル６がＺ軸まわりに回転することに合わせて回転する。

テスト基板６６は、後述するホルダ２４０の回転位置調整の際に用いられる。ホルダ２４０の回転位置調整の際には、２つのテスト基板６６のうち、フレームユニット２０のＹ軸負側に位置づけられたテスト基板６６が用いられる。回転位置調整については、追って図１３（ａ）～図１５（ｂ）を参照して説明する。

次に、スクライブヘッド１０の構成について説明する。

図３は、スクライブヘッド１０の構成を示す斜視図である。

板部材１０１は、Ｘ－Ｚ平面に平行な平板形状を有しており、昇降機構９の支持板９ａ（図１参照）に設置されている。ブラケット１０２は、水平面（Ｘ－Ｙ平面）に平行な平板形状を有している。ブラケット１０２のＹ軸負側の端部は、板部材１０１に設置されており、ブラケット１０２のＹ軸正側近傍の端部は、軸部材１０３を介してベース部材１１０の上面に設置されている。

ブラケット１０２の上面にはロードセル１０４が設置されている。ロードセル１０４は、ロードセル１０４の上面に設けられた受け部１０４ａに対して荷重が付与されると、付与された荷重を電気信号に変換し、荷重に応じた電気信号を出力する。ブラケット１０２のＹ軸正側の端部には、管１０５、１０６が設置されている。管１０５の一方の端部は、図示しない配管を介して圧力付与部３０５（図１１参照）に接続されており、管１０５の他方の端部は、管１０６の一方の端部に接続されている。管１０６の他方の端部は、図示しない配管を介して管１３２に接続される。

ベース部材１１０は、ブロック形状を有しており、上面および下面は水平面に平行であり、側面はＸ－Ｚ平面またはＹ－Ｚ平面に平行である。ベース部材１１０のＹ軸負側の面は、板部材１０１に設置されている。ベース部材１１０は、板部材１０１を介して、スクライブ装置１側の昇降機構９により昇降される。

ベース部材１１０のＹ軸正側の面には、管１２１～１２４が設置されている。管１２１、１２２の一方の端部は、それぞれ、図示しない配管を介して圧力付与部３０５（図１１参照）に接続されており、他方の端部は、それぞれ、ベース部材１１０の２つの孔１１６（図６参照）に接続されている。管１２３、１２４の一方の端部は、圧力付与部３０５（図１１参照）に接続されており、他方の端部は、それぞれ、ベース部材１１０の２つの孔１１７（図６参照）に接続されている。

ベース部材１１０のＸ軸正側の面には、下方向に延びた板部材１３１が設置されている。板部材１３１の下端には、管１３２およびノズル１３３が設置されている。管１３２の一方の端部は、図示しない配管を介して管１０６に接続されており、管１０６の他方の端部は、ノズル１３３に接続されている。圧力付与部３０５（図１１参照）から管１０５、１０６、１３２を介してノズル１３３に空気が供給されることにより、ノズル１３３の先端からホルダユニット２５１近傍に空気が吹き付けられる。これにより、被加工物２３のスクライブ時に、ホルダユニット２５１近傍の破片等が吹き飛ばされるため、スクライブを適正に行うことができる。

ベース部材１１０には、上下方向にベース部材１１０を貫通する２つの筒孔１１５（図６参照）が形成されている。２つの筒孔１１５は、Ｘ軸方向に所定の間隔をあけて並んでいる。２つの筒孔１１５に、それぞれ、２つの軸受１４０が設置されている。２つの軸受１４０には、それぞれ、２つのシャフト２０１が通されている。２つのシャフト２０１の上端および下端は、それぞれ、ベース部材１１０から上下にはみ出している。

２つのシャフト２０１の上端は、板部材２０２に設置されている。板部材２０２は、水平面に平行な平板形状を有している。板部材２０２の上面には、Ｚ軸正方向に延びた２つの軸部材２０３（図３、５参照）が設置されている。ブリッジ部材２０４は、２つの軸部材２０３の上端に架けられている。ブリッジ部材２０４の下面には、押込部材２０５が設置されており、押込部材２０５は、ロードセル１０４の受け部１０４ａの真上に位置付けられている。

２つのシャフト２０１の下端は、支持部材２１０に設置されている。支持部材２１０は、ブロック形状を有しており、上面および下面は水平面に平行であり、側面はＸ－Ｚ平面またはＹ－Ｚ平面に平行である。支持部材２１０には、３つのガイドシャフト２２１および３つのバネ２２２が設置されている（図３、８参照）。３つのガイドシャフト２２１は、それぞれ、３つのバネ２２２を介して支持部材２１０に上下移動可能に支持されており、３つのバネ２２２により上方向に付勢されている。３つのガイドシャフト２２１の上端２２１ｃ（図８参照）は、ベース部材１１０の下面１１０ａに対向している。

３つのガイドシャフト２２１の下端は、押圧部材２３０に設置されている。ガイドシャフト２２１がバネ２２２により上方向に付勢されることにより、押圧部材２３０も、上方向に付勢されている。支持部材２１０の下端には、ホルダ２４０が装着されている。ホルダ２４０は、押圧部材２３０によって上方向に支持されている。ホルダ２４０の下部には、ホルダユニット２５１が設置されている。ホルダユニット２５１は、下端にカッターホイール２５１ａ（図４、５参照）を備える。

図４は、スクライブヘッド１０を、カッターホイール２５１ａの中央位置でＹ－Ｚ平面に平行な平面により切断した断面を示す図である。

支持部材２１０の中央には、支持部材２１０を上下に貫通する開口２１１が形成されている。ホルダ２４０は、開口２１１内に設置された２つの軸受２６１により、Ｚ軸方向について回転可能に支持されている。ホルダユニット２５１の下端には、Ｘ軸方向にスクライブラインを形成するためのカッターホイール２５１ａが設置されている。カッターホイール２５１ａは、Ｙ軸方向について回転可能にホルダユニット２５１に支持されている。

流路１１１、１１２は、ベース部材１１０のＹ軸正側の面から、ベース部材１１０のＹ軸負側の端部近傍まで、Ｙ軸方向に沿って延びている。流路１１１、１１２のＹ軸正側の端部は、それぞれ、２つの孔１１６（図６参照）に繋がっており、２つの孔１１６に設置された管１２１、１２２に接続されている。ベース部材１１０のＹ軸負側の端部近傍には、上下方向に所定の間隔をあけて筒孔１１３、１１４が形成されている。筒孔１１３は、ベース部材１１０の上面から上方に開放されており、筒孔１１４は、ベース部材１１０の下面１１０ａから下方に開放されている。筒孔１１３、１１４の内側面は、Ｚ軸方向に延びた筒形状を有している。流路１１１、１１２のＹ軸負側の端部は、それぞれ、筒孔１１３、１１４のＹ軸正側の内側面に繋がっている。

筒孔１１３には、Ｚ軸方向に延びた筒形状の筒部材１５２が設置されている。筒部材１５２には、筒部材１５２を上下に貫通する受け孔１５２ａが形成されており、受け孔１５２ａは、Ｚ軸方向に延びた筒形状を有している。受け孔１５２ａには、球形状のボール１５１が配置されている。受け孔１５２ａの径は、Ｚ軸方向に一定であり、ボール１５１の径よりも僅かに大きい。

ボール１５１の上方において、板部材２０２の下面には、ピン１５３が設置されており、ピン１５３の下端とボール１５１の上端とが対向している。管１２１から流路１１１を通って受け孔１５２ａに空気が供給されると、ボール１５１が空気によって上方向に押し出される。これにより、ボール１５１の上端がピン１５３を押し上げ、ピン１５３と一体的に板部材２０２、２つのシャフト２０１および支持部材２１０が上方向に移動する。また、支持部材２１０が上方向に移動することにより、支持部材２１０により支持されたホルダ２４０およびホルダユニット２５１も上方向に移動する。

ボール１５１、受け孔１５２ａおよび流路１１１は、カッターホイール２５１ａに荷重を付与するヘッド駆動部Ｄ１を構成する。ヘッド駆動部Ｄ１は、ボール１５１を上方向に移動させることにより、ホルダユニット２５１およびカッターホイール２５１ａを上方向に移動させる。これにより、ヘッド駆動部Ｄ１は、カッターホイール２５１ａに付与する荷重を減少させる方向に規定する。

筒孔１１４には、Ｚ軸方向に延びた筒形状の筒部材１６２が設置されている。筒部材１６２には、筒部材１６２を上下に貫通する受け孔１６２ａが形成されており、受け孔１６２ａは、Ｚ軸方向に延びた筒形状を有している。受け孔１６２ａには、球形状のボール１６１が配置されている。受け孔１６２ａの径は、Ｚ軸方向に一定であり、ボール１６１の径よりも僅かに大きい。

ボール１６１の下方において、支持部材２１０の上面には、孔２１４（図７参照）にピン１６３が設置されており、ピン１６３の上端とボール１６１の下端とが対向している。管１２２から流路１１２を通って受け孔１６２ａに空気が供給されると、ボール１６１が空気によって下方向に押し出される。これにより、ボール１６１の下端がピン１６３を押し下げ、ピン１６３と一体的に支持部材２１０が下方向に移動する。また、支持部材２１０が下方向に移動することにより、支持部材２１０により支持されたホルダ２４０およびホルダユニット２５１も下方向に移動する。

ボール１６１、受け孔１６２ａおよび流路１１２は、カッターホイール２５１ａに荷重を付与するヘッド駆動部Ｄ２を構成する。ヘッド駆動部Ｄ２は、ボール１６１を下方向に移動させることにより、ホルダユニット２５１およびカッターホイール２５１ａを下方向に移動させる。これにより、ヘッド駆動部Ｄ２は、カッターホイール２５１ａに付与する荷重を増加させる方向に規定する。

図５は、スクライブヘッド１０を、シャフト２０１の中央位置でＸ－Ｚ平面に平行な平面により切断した断面を示す図である。

軸受１４０は、ベース部材１１０に形成された筒孔１１５に設置されている。筒孔１１５は、筒形状を有し、ベース部材１１０を上下に貫通する孔である。シャフト２０１は、軸受１４０に形成された開口１４１内に収容されている。開口１４１は、筒形状を有し、軸受１４０を上下に貫通する孔である。開口１４１の径は、Ｚ軸方向に一定であり、シャフト２０１の径よりも僅かに大きい。シャフト２０１の上端は、ネジ２０６により板部材２０２に設置されており、シャフト２０１の下端は、ネジ２０７により支持部材２１０に設置されている。

板部材１０１、ベース部材１１０、ブラケット１０２およびロードセル１０４は、図１に示した昇降機構９による支持板９ａの上下移動に応じて、一体的に上下に移動する。一方、ピン１５３（図４参照）、板部材２０２、２本の軸部材２０３、ブリッジ部材２０４、押込部材２０５、２本のシャフト２０１、支持部材２１０およびピン１６３（図４参照）は、ヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２によるピン１５３、１６３の上下移動に応じて、一体的に上下に移動する。すなわち、ピン１５３、板部材２０２、２本の軸部材２０３、ブリッジ部材２０４、押込部材２０５、２本のシャフト２０１、支持部材２１０およびピン１６３は、所定範囲において上下動可能にベース部材１１０に支持されている。

図６は、ベース部材１１０およびベース部材１１０に収容される各部の構成を示す斜視図である。

軸受１４０の外側面は、アルミにより構成されており、軸受１４０のＹ軸正側には、孔１４２が形成されている。軸受１４０に形成された開口１４１の内側面は、多孔質（ポーラス）素材により構成されており、孔１４２と、多孔質素材に形成された多数の孔とが繋がっている。軸受１４０は、ベース部材１１０の筒孔１１５内に設置される。これにより、ベース部材１１０のＹ軸正側の面に形成された孔１１７と、軸受１４０の孔１４２とが接続される。そして、開口１４１にシャフト２０１が通される。管１２３、１２４（図３参照）を介して２つの孔１１７に空気が供給されると、開口１４１の内側面に形成された多数の孔から、開口１４１の中心軸に向かって空気が吹き出る。これにより、シャフト２０１が開口１４１の内側面に接触することなく、上下に移動可能となる。

ベース部材１１０の上面に形成された筒孔１１３には、上から筒部材１５２が設置され、筒部材１５２の受け孔１５２ａに、ボール１５１が配置される。組み立て後において、上述したように、ボール１５１の上端は、ピン１５３の下端に位置づけられる。同様に、ベース部材１１０の下面に形成された筒孔１１４には、下から筒部材１６２が設置され、筒部材１６２の受け孔１６２ａに、ボール１６１が配置される。組み立て後において、上述したように、ボール１６１の下端は、ピン１６３の上端に位置づけられる。

図７は、支持部材２１０、ホルダ２４０および押圧部材２３０の構成を示す斜視図である。

支持部材２１０には、中央に形成された開口２１１に加えて、２つの凹部２１２と、３つの開口２１３と、孔２１４とが形成されている。凹部２１２は、シャフト２０１の下端が嵌る形状を有している。凹部２１２の下面には、支持部材２１０を上下に貫通する孔２１２ａが形成されている。３つの開口２１３は、支持部材２１０を上下に貫通しており、押圧部材２３０の３つの孔２３２に対向する位置に形成されている。３つの開口２１３の下端から、それぞれ、３つのネジ受け２７１が嵌め込まれる。

ホルダ２４０は、円錐台部２４１と、円錐台部２４１の上面から上方向に延びた軸部２４２と、を備える。円錐台部２４１は、先端（下端）に向かうにつれて細くなった先細り形状を有する。円錐台部２４１の側面には、外側面２４１ａと、２つの平坦面２４１ｂとが形成されている。外側面２４１ａは、平面視において略円形状であり、下方に進むにつれて径が小さくなっている。２つの平坦面２４１ｂは、Ｘ－Ｚ平面に平行な平面である。言い換えれば、ホルダ２４０は、円錐体の外側面２４１ａの一部を平坦に切欠いた形状を含む。

軸受２６１は、円筒形状を有しており、軸受２６１の中央には、軸受２６１を上下に貫通する孔２６１ａが形成されている。

押圧部材２３０は、平面視において正三角形の頂点が丸められた形状を有し、上下方向に所定の厚みを有する。押圧部材２３０の中央には、押圧部材２３０を上下に貫通する開口２３１が形成されている。開口２３１は、平面視において円形状を有し、開口２３１の内周面には、圧接面２３１ａが形成されている。圧接面２３１ａは、開口２３１の径を下方に向かうにつれて小さくすることにより形成されている。開口２３１には、ホルダ２４０が上方から挿入される。押圧部材２３０の３つの頂点付近には、それぞれ、押圧部材２３０を上下に貫通する３つの孔２３２が形成されている。

組み立て時には、一方の軸受２６１が、開口２１１の上方から開口２１１内に設置され、他方の軸受２６１が、開口２１１の下方から開口２１１内に設置される。続いて、ホルダ２４０の軸部２４２が、下方の軸受２６１の孔２６１ａに通され、さらに上方の軸受２６１の孔２６１ａに通される。そして、軸部２４２の孔２４２ａに、ネジ２６２が設置される。ネジ２６２の外周の径は、上方の軸受２６１の孔２６１ａの径よりも大きい。これにより、ホルダ２４０が下方向に抜けることが防止される。こうして、ホルダ２４０は、支持部材２１０に対して上下方向に移動することが抑制されつつ、Ｚ軸方向を回転の中心軸として回転可能となる。

その後、押圧部材２３０の開口２３１が、ホルダ２４０の円錐台部２４１に嵌め込まれる。これにより、押圧部材２３０の圧接面２３１ａと、ホルダ２４０の外側面２４１ａとが圧接する。

図８は、押圧部材２３０を支持部材２１０に設置するための構成を示す斜視図である。

開口２１３には、段部２１３ａ（図４参照）が形成されている。図４を参照して、段部２１３ａよりも上方の開口２１３の部分の径は、段部２１３ａよりも下方の開口２１３の部分の径よりも大きい。バネ２２２の外径は、段部２１３ａよりも上方の開口２１３の部分の径と略同じである。したがって、３つのバネ２２２が開口２１３に上方から挿入されると、バネ２２２の下端は段部２１３ａにより上向きに支持される。

ガイドシャフト２２１は、軸部２２１ａと、軸部２２１ａの上端に設けられた頭部２２１ｂと、を備える。ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃは、Ｘ－Ｙ平面に平行な平面である。軸部２２１ａの径は、開口２３１およびバネ２２２の内径よりも小さく、頭部２２１ｂの径は、バネ２２２の外径よりも大きい。したがって、ガイドシャフト２２１が開口２１３に設置されたバネ２２２に上方から挿入されると、頭部２２１ｂの下面がバネ２２２の上端によって上向きに支持される。

ガイドシャフト２２１およびバネ２２２が開口２１３に挿入された後、ガイドシャフト２２１の下端が孔２３２に通され、ガイドシャフト２２１の下端が、ネジ２７２により押圧部材２３０の孔２３２に設置される。これにより、図４に示したように、押圧部材２３０が、バネ２２２により上方向に付勢され、押圧部材２３０の圧接面２３１ａが、ホルダ２４０の外側面２４１ａに押し付けられる。

図９は、カッターホイール２５１ａの位置でＸ－Ｚ平面に平行な面によりスクライブヘッド１０を切断したときの断面の一部を示す図である。

上述したように、ホルダ２４０は、軸受２６１および支持部材２１０により、回転軸Ｒ１０について回転可能に支持されている。ホルダ２４０の回転軸Ｒ１０は、ホルダ２４０の中心を通り、Ｚ軸方向に平行である。回転軸Ｒ１０は、軸部２４２の中心に一致している。

上述したように、押圧部材２３０は、ガイドシャフト２２１を介して、バネ２２２により上方向に付勢されている。これにより、図９に示すように、押圧部材２３０の圧接面２３１ａは、ホルダ２４０の外側面２４１ａに圧接される。このとき、ホルダ２４０は、押圧部材２３０によって回転が規制された状態となる。また、後述するように、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃがベース部材１１０の下面１１０ａにより下方向に押されると、バネ２２２の付勢に抗して、押圧部材２３０が下方向に移動する。これにより、押圧部材２３０の圧接面２３１ａがホルダ２４０の外側面２４１ａに押し付けられる状態が解除される。このとき、ホルダ２４０は、押圧部材２３０により規制されることなく回転軸Ｒ１０について自由に回転可能となる。

ホルダ２４０の下面には、下方に開放された開口２４３が形成されている。開口２４３の上端には、磁石２４４が設置されている。また、開口２４３の内部には、回転軸Ｒ１０と垂直な方向（図９に示す状態ではＹ軸方向）に延びた位置決めピン２４５が配置されている。ホルダユニット２５１の上端は、磁性材料により構成されている。開口２４３にホルダユニット２５１が挿入されると、ホルダユニット２５１の上端が磁石２４４に吸引され、ホルダユニット２５１の上部の傾斜面が位置決めピン２４５に当接する。これにより、カッターホイール２５１ａの回転軸方向が、位置決めピン２４５の延びる方向に一致した状態で、ホルダユニット２５１およびカッターホイール２５１ａが、ホルダ２４０の下面に保持される。

図９に示すように、ホルダユニット２５１がホルダ２４０に装着された状態において、カッターホイール２５１ａの中心は、回転軸Ｒ１０から離間した位置にある。これにより、後述のホルダ２４０の回転位置調整の際に、スクライブヘッド１０がテスト基板６６の上面に対してＸ軸方向に移動すると、ホルダ２４０がキャスターのように回転軸Ｒ１０まわりに回転し、カッターホイール２５１ａが、ホルダ２４０の進行方向の後ろ側に位置付けられる。

図１０（ａ）は、ボール１５１、１６１によって、ピン１５３、１６３が上下に押し出されることを模式的に示す側面図である。図１０（ａ）において、便宜上、空気の流れが、点線矢印で示されている。

上述したように、ヘッド駆動部Ｄ１は、ボール１５１、受け孔１５２ａおよび流路１１１により構成される。ヘッド駆動部Ｄ２は、ボール１６１、受け孔１６２ａおよび流路１１２により構成される。

流路１１１を介して受け孔１５２ａに空気が供給されると、ボール１５１は、空気によって上方向に押し出され、ピン１５３が、ボール１５１によって上方向に押し出される。このとき、ボール１５１の径が、筒部材１５２の受け孔１５２ａの径よりも僅かに小さいため、流路１１１から供給された空気が、ボール１５１と筒部材１５２の内側面との間の隙間Ｇ１を通り、隙間Ｇ１にエアギャップが形成される。これにより、ボール１５１が、筒部材１５２の内側面と接することなく上下に移動可能となる。

同様に、流路１１２を介して受け孔１６２ａに空気が供給されると、ボール１６１は、空気によって下方向に押し出され、ピン１６３が、ボール１６１によって下方向に押し出される。このとき、ボール１６１の径が、筒部材１６２の受け孔１６２ａの径よりも僅かに小さいため、流路１１２から供給された空気が、ボール１６１と筒部材１６２の内側面との間の隙間Ｇ２を通り、隙間Ｇ２にエアギャップが形成される。これにより、ボール１６１が、筒部材１６２の内側面と接することなく上下に移動可能となる。

図１０（ｂ）は、シャフト２０１が軸受１４０に対して上下に移動することを模式的に示す側面図である。図１０（ｂ）において、便宜上、空気の流れが、点線矢印で示されている。

孔１１６を介して軸受１４０の孔１４２に空気が供給されると、開口１４１の内側面を構成する多孔質素材に形成された多数の孔から、一斉に空気が吹き出す。このとき、シャフト２０１の径が、開口１４１の内側面の径よりも僅かに小さいため、開口１４１の内側面から吹き出した空気が、シャフト２０１と軸受１４０の内側面との間の隙間Ｇ３を通り、隙間Ｇ３にエアギャップが形成される。これにより、シャフト２０１が、軸受１４０の内側面と接することなく上下に移動可能となる。

図１０（ａ）に示したようにボール１５１、１６１が上下に移動され、図１０（ｂ）に示したようにシャフト２０１が軸受１４０に対して上下に移動すると、ボール１５１またはボール１６１の移動に応じて、支持部材２１０が上下に移動する。具体的には、ボール１５１が上方向に押されると、ピン１５３および板部材２０２を介してシャフト２０１が上方向に移動するため、シャフト２０１に設置された支持部材２１０も上方向に移動する。また、ボール１６１が下方向に押されると、ピン１６３を介して支持部材２１０が下方向に移動する。

したがって、カッターホイール２５１ａの下端が被当接面（被加工物２３およびテスト基板６６の上面）に接地したときに、ボール１５１が上方向に押されるよう空気が供給されていると、ピン１５３、１６３、シャフト２０１および支持部材２１０などの自重によってカッターホイール２５１ａにかかる荷重を小さくできる。他方、ボール１６１が下方向に押されるように空気が供給されていると、上記自重に加えてカッターホイール２５１ａにかかる荷重を大きくできる。

図１１は、スクライブ装置１の構成を示すブロック図である。

スクライブ装置１は、制御部３０１と、テーブル駆動部３０２と、ヘッド移送部３０３と、ヘッド昇降部３０４と、圧力付与部３０５と、を備える。

制御部３０１は、ＣＰＵ等の演算処理回路や、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、ＳＳＤ等の記憶部を備え、記憶部に記憶されたプログラムに従って各部を制御する。

テーブル駆動部３０２は、図１に示したボールネジ３や回転機構５を含む。テーブル駆動部３０２は、制御部３０１からの制御に応じて、スクライブテーブル６をＹ軸方向に移送し、あるいは、Ｚ軸に平行な回転軸についてスクライブテーブル６を回転させる。ヘッド移送部３０３は、図１に示した移送機構８を備え、制御部３０１からの制御に応じてスクライブヘッド１０およびカメラ１１をＸ軸方向に移送する。ヘッド昇降部３０４は、図１に示した昇降機構９を備え、制御部３０１からの制御に応じてスクライブヘッド１０およびカメラ１１をＺ軸方向に昇降させる。

圧力付与部３０５は、空圧源から付与される空気圧を調節するバルブ等を備える。圧力付与部３０５は、空圧源から付与される空気圧を、バルブ等を調整することにより、スクライブヘッド１０の各部に対して個別に供給する。具体的には、圧力付与部３０５は、制御部３０１からの制御に応じて、孔６４を介して溝６３（図２（ａ）参照）内に負圧を印加する。圧力付与部３０５は、制御部３０１からの制御に応じて、管１０５、１０６、１３２を介してノズル１３３（図３参照）に空気を供給する。圧力付与部３０５は、制御部３０１からの制御に応じて、管１２１を介して筒孔１１３（図３参照）に空気を供給する。圧力付与部３０５は、制御部３０１からの制御に応じて、管１２２を介して筒孔１１４（図３参照）に空気を供給する。圧力付与部３０５は、制御部３０１からの制御に応じて、管１２３、１２４（図３参照）を介して２つの軸受１４０（図６参照）内に空気を供給する。

次に、スクライブヘッド１０の原点出し動作、ホルダ２４０の回転位置調整およびスクライブ動作について、順に説明する。以下の図１２（ａ）～図１７（ｂ）では、便宜上、スクライブヘッド１０が簡略化して図示されている。

図１２（ａ）、（ｂ）は、スクライブヘッド１０の原点出し動作を模式的に示す側面図である。

原点出し動作は、カッターホイール２５１ａの先端が被加工物２３の上面に接地するときの、スクライブヘッド１０の高さ位置を取得するために実行される。このような原点出し動作は、たとえば、ホルダユニット２５１が交換された場合、被加工物２３のロットが変更された場合、被加工物２３が変更された場合など、スクライブ装置１を運用する施設等のルールに基づいて実行される。

図１２（ａ）に示すように、原点出し動作では、まずスクライブヘッド１０が被加工物２３の余白部分の上方に位置付けられる。被加工物２３の余白部分が用いられる理由は、被加工物２３のうち実際に完成品として使用される部分を傷つけないためである。被加工物２３およびテープ２２の厚み合計はｄ１であり、被加工物２３の上面は、スクライブテーブル６の載置面６１に対して上方向にｄ１だけ離れている。

スクライブヘッド１０が被加工物２３の余白部分の上方に位置付けられると、たとえば、ボール１６１が僅かに下向きに押し出され、ロードセル１０４の検出荷重が微小程度になるよう、ヘッド駆動部Ｄ２が駆動される。この状態で、昇降機構９（図１参照）により、ベース部材１１０が下方向に移送される。

図１２（ｂ）に示すように、カッターホイール２５１ａの先端が被加工物２３の上面に接地すると、ホルダ２４０、支持部材２１０および押込部材２０５の下降が止まる。このとき、ベース部材１１０が昇降機構９の駆動に応じてさらに下降すると、ロードセル１０４の検出荷重が減少する。スクライブヘッド１０の高さ位置を下向き（Ｚ軸負方向）の座標で示すと、このときのベース部材１１０の下面１１０ａの位置が、原点位置Ｈ０となる。

その後、ベース部材１１０が上方向に移送され、スクライブヘッド１０は、図１２（ａ）と同様の位置に戻される。こうして、原点出し動作が終了する。

図１３（ａ）～図１５（ｂ）は、ホルダ２４０の回転位置調整を模式的に示す側面図である。

ホルダ２４０の回転位置調整は、回転軸Ｒ１０まわりに回転するホルダ２４０の回転位置を、カッターホイール２５１ａの刃の方向がＸ軸方向に沿うように、すなわち、カッターホイール２５１ａの稜線がＸ軸方向に平行となるように調整するために実行される。このような回転位置調整は、図１２（ａ）、（ｂ）に示した原点出し動作後において、たとえば、ホルダユニット２５１が交換された場合や、前回の回転位置調整から所定の時間が経過した場合など、スクライブ装置１を運用する施設等のルールに基づいて実行される。

図１３（ａ）に示すように、ホルダ２４０の回転位置調整では、まずスクライブヘッド１０が、フレームユニット２０（図２（ａ）参照）のＹ軸負側に位置づけられたテスト基板６６の上方に位置付けられる。このとき、ボール１６１が下向きに押し出され、ロードセル１０４の検出荷重が所定の荷重になるよう、ヘッド駆動部Ｄ２が駆動される。

このようにヘッド駆動部Ｄ２が駆動されると、図１３（ａ）に示すように、支持部材２１０は、ベース部材１１０の下面１１０ａから最も下方向に離れた位置に位置付けられる。言い換えれば、支持部材２１０は、上下動可能な所定範囲の下限に位置付けられた状態となる。このとき、ベース部材１１０の下面１１０ａは、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに所定の距離ｄ２で対向する。

図１３（ａ）の状態から、図１３（ｂ）に示すように、ベース部材１１０の下面１１０ａがガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに接地するまで、ベース部材１１０が、昇降機構９により下方向に移送される。ここで、テスト基板６６の上面は載置面６１と同じ高さであり、被加工物２３およびテープ２２は所定の厚みｄ１（図１２（ａ）参照）を有している。また、カッターホイール２５１ａがテスト基板６６の上面に接地したときの、ベース部材１１０の下面１１０ａとガイドシャフト２２１の上端２２１ｃとの距離は、既知のｄ２（図１３（ａ）参照）である。したがって、このとき、ベース部材１１０は、原点出し動作で取得された原点位置Ｈ０よりもさらにｄ１＋ｄ２だけ下方向にある位置Ｈ１まで下降される。これにより、ベース部材１１０の下面１１０ａがガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに接地する。

図１３（ｂ）の状態から、さらにベース部材１１０が下方向に移動され、ベース部材１１０の下面１１０ａが位置Ｈ２まで下降すると、図１４（ａ）に示すように、２本のガイドシャフト２２１がベース部材１１０によって下方向に押され、押圧部材２３０も下方向に移動する。これにより、バネ２２２によってホルダ２４０の外側面２４１ａに押し付けられていた押圧部材２３０の圧接面２３１ａが、外側面２４１ａから離れ、圧接面２３１ａと外側面２４１ａとの間に僅かに隙間が生じる。

図１４（ａ）の状態から、さらにベース部材１１０が下方向に移動され、ベース部材１１０の下面１１０ａが位置Ｈ３まで下降すると、図１４（ｂ）に示すように、圧接面２３１ａと外側面２４１ａとの間の隙間が大きくなる。これにより、押圧部材２３０とホルダ２４０とが、離間した状態となる。原点位置Ｈ０から位置Ｈ３までの距離をｄ３とすると、このように押圧部材２３０とホルダ２４０とが離間した状態は、ｄ３＞ｄ１＋ｄ２により表される。

図１４（ｂ）の状態から、移送機構８により昇降機構９がＸ軸方向に移送されると、図１５（ａ）に示すように、スクライブヘッド１０が、テスト基板６６に対してＸ軸正方向に移動する。これにより、ホルダ２４０がキャスターのように回転軸Ｒ１０まわりに回転し、カッターホイール２５１ａが、回転軸Ｒ１０のＸ軸負側に位置付けられる。また、スクライブヘッド１０がＸ軸方向に移動しているため、カッターホイール２５１ａの延びる方向（スクライブ方向）が、Ｘ軸方向に合わせられる。

図１５（ａ）の状態から、移送機構８による昇降機構９のＸ軸方向の移送が維持されながら、ベース部材１１０が、昇降機構９により上方向に移送される。ベース部材１１０の下面１１０ａが位置Ｈ１まで上昇すると、圧接面２３１ａと外側面２４１ａとの隙間がなくなり、押圧部材２３０によりホルダ２４０の回転がロックされる。

その後、ベース部材１１０がさらに上方向に移送され、スクライブヘッド１０は、図１３（ａ）と同様の位置に戻される。こうして、ホルダ２４０の回転位置調整が終了する。

図１６（ａ）～図１７（ｂ）は、被加工物２３に対するスクライブ動作を模式的に示す側面図である。

スクライブ動作は、図１３（ａ）～図１５（ｂ）に示したホルダ２４０の回転位置調整が行われた後で実行される。したがって、スクライブ動作開始時には、カッターホイール２５１ａのスクライブ方向は、適正にＸ軸方向に合わせられている。

図１６（ａ）に示すように、スクライブ動作では、まずスクライブヘッド１０が、被加工物２３の上方に位置付けられる。このとき、ロードセル１０４の検出荷重が所定の荷重になるよう、ヘッド駆動部Ｄ１またはヘッド駆動部Ｄ２が駆動される。ヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２の両方が駆動していない状態では、ピン１５３、１６３、シャフト２０１および支持部材２１０などの自重によって、ロードセル１０４の検出荷重が所定の値（自重）となる。自重よりも小さな荷重を付与する場合には、ヘッド駆動部Ｄ１が駆動され、自重よりも大きな荷重を付与する場合には、ヘッド駆動部Ｄ２が駆動される。

図１６（ａ）の状態から、図１６（ｂ）に示すように、ベース部材１１０の下面が原点位置Ｈ０に位置付けられるよう、ベース部材１１０が、昇降機構９により下方向に移送される。これにより、カッターホイール２５１ａの先端が被加工物２３の上面に接地する。

図１６（ｂ）の状態から、ロードセル１０４の検出荷重がゼロになり、且つ、カッターホイール２５１ａの先端が被加工物２３に対して所望の深さｄ４だけ入るまで、ベース部材１１０が、昇降機構９により下方向に移送される。これにより、ヘッド駆動部Ｄ１またはヘッド駆動部Ｄ２で設定した荷重が、カッターホイール２５１ａから被加工物２３に付与される。このとき、図１７（ａ）に示すように、下面１１０ａが原点位置Ｈ０からｄ４だけ下方の位置Ｈ４に位置付けられる。

また、このとき、ベース部材１１０の下面１１０ａは、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに接触する位置Ｈ１まで下降されず、下面１１０ａの下降位置は、原点位置Ｈ０と位置Ｈ４との間の位置Ｈ５とされる。位置Ｈ５は、被加工物２３に対してベース部材１１０を下降させ続けたときに、ベース部材１１０の下面１１０ａとガイドシャフト２２１の上端２２１ｃとが当接するときの下面１１０ａの位置である。原点位置Ｈ０から位置Ｈ５までの距離は、図１３（ａ）に示したｄ２である。したがって、原点位置Ｈ０から位置Ｈ５までの距離ｄ４は、ｄ４＜ｄ２により表される。これにより、ベース部材１１０の下面１１０ａがガイドシャフト２２１の上端２２１ｃを押し下げて、ホルダ２４０の回転位置が意図せず変動してしまうといった事態を回避できる。

図１７（ａ）の状態から、移送機構８により昇降機構９がＸ軸方向に移送されることにより、図１７（ｂ）に示すように、スクライブヘッド１０が、被加工物２３に対してＸ軸正方向に移送される。これにより、被加工物２３に対するスクライブが行われる。

図１８は、原点出し処理を示すフローチャートである。

原点出し処理の前に、スクライブテーブル６の載置面６１にフレームユニット２０が設置される。また、スクライブヘッド１０が、フレームユニット２０の余白部分の上方位置に位置付けられる。

図１２（ａ）に示したように、制御部３０１は、フレームユニット２０の余白部分の上方位置で、ヘッド駆動部Ｄ１またはヘッド駆動部Ｄ２を駆動して、ロードセル１０４の検出荷重を所定値に設定する（Ｓ１１）。続いて、図１２（ｂ）に示したように、制御部３０１は、昇降機構９を制御して、ベース部材１１０を下降させ（Ｓ１２）、ロードセル１０４の検出荷重が変化するまでベース部材１１０の下降を継続する（Ｓ１３）。

ロードセル１０４の検出荷重が変化すると（Ｓ１３：ＹＥＳ）、制御部３０１は、検出荷重が変化したタイミングにおけるベース部材１１０の下面１１０ａの位置を、原点位置Ｈ０（図１２（ｂ）参照）として記憶する（Ｓ１４）。制御部３０１は、昇降機構９を制御して、スクライブヘッド１０をフレームユニット２０の余白部分の上方位置に戻す（Ｓ１５）。こうして、原点出し処理が終了する。

図１９は、ホルダ２４０の回転位置調整処理を示すフローチャートである。

ホルダ２４０の回転位置調整処理の前に、制御部３０１は、図１８に示した原点出し処理を実行し、原点位置Ｈ０を取得する。また、回転位置調整で使用するテスト基板６６が、フレームユニット２０のＹ軸負側に位置付けられ、スクライブヘッド１０が、テスト基板６６の上方位置に位置付けられる。

図１３（ａ）に示したように、制御部３０１は、テスト基板６６の上方位置で、ヘッド駆動部Ｄ１またはヘッド駆動部Ｄ２を駆動して、ロードセル１０４の検出荷重を所定値に設定する（Ｓ２１）。続いて、図１３（ｂ）に示したように、制御部３０１は、昇降機構９を制御して、ベース部材１１０を位置Ｈ１まで下降させる（Ｓ２２）。位置Ｈ１は、原点位置Ｈ０に、図１３（ａ）に示した距離ｄ２を加算した位置である。

図１４（ｂ）に示したように、制御部３０１は、昇降機構９を制御して、ベース部材１１０を位置Ｈ３までさらに下降させて、ホルダ２４０のロック、すなわち圧接面２３１ａと外側面２４１ａとが密着した状態を解除させる（Ｓ２３）。

図１５（ａ）に示したように、制御部３０１は、移送機構８を制御して、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向に移送する（Ｓ２４）。続いて、図１５（ｂ）に示したように、制御部３０１は、移送機構８を制御してスクライブヘッド１０をＸ軸正方向に移送しつつ、昇降機構９を制御してベース部材１１０を上昇させる（Ｓ２５）。これにより、制御部３０１は、ホルダ２４０をロック、すなわち、圧接面２３１ａと外側面２４１ａとが密着した状態にする（Ｓ２６）。制御部３０１は、昇降機構９を制御して、スクライブヘッド１０をテスト基板６６の上方位置に戻す（Ｓ２７）。こうして、ホルダ２４０の回転位置調整処理が終了する。

図２０は、スクライブ処理を示すフローチャートである。

スクライブ処理の前に、図１８に示した原点出し処理および図１９に示したホルダ２４０の回転位置調整処理が実行される。図１６（ａ）に示したように、制御部３０１は、移送機構８および昇降機構９を制御して、スクライブヘッド１０を被加工物２３の上方位置に位置付ける（Ｓ３１）。

ここで、カッターホイール２５１ａにより被加工物２３に付与する目標荷重が閾値以下である場合（Ｓ３２：ＹＥＳ）、制御部３０１は、上側のヘッド駆動部Ｄ１を制御して、ロードセル１０４の検出荷重を目標荷重に設定する（Ｓ３３）。他方、目標荷重が閾値より大きい場合（Ｓ３２：ＮＯ）、制御部３０１は、下側のヘッド駆動部Ｄ２を制御して、ロードセル１０４の検出荷重を目標荷重に設定する（Ｓ３４）。ステップＳ３２の閾値は、例えば、ピン１５３、１６３、シャフト２０１および支持部材２１０などの自重である。ステップＳ３２～Ｓ３４の制御により、目標荷重が上記自重以下の場合は、上側のヘッド駆動部Ｄ１が用いられ、目標荷重が上記自重より大きい場合は、下側のヘッド駆動部Ｄ２が用いられる。

続いて、図１６（ｂ）に示したように、制御部３０１は、昇降機構９を制御して、ベース部材１１０を原点位置Ｈ０まで下降させる（Ｓ３５）。さらに、図１７（ａ）に示したように、制御部３０１は、昇降機構９を制御して、ベース部材１１０を目標となるスクライブ深さｄ４だけ下降させる（Ｓ３６）。図１７（ｂ）に示したように、制御部３０１は、移送機構８を制御して、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向に移送する（Ｓ３７）。制御部３０１は、昇降機構９を制御して、スクライブヘッド１０を被加工物２３の上方位置に戻す（Ｓ３８）。こうして、スクライブ処理が終了する。

＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。

図１３（ａ）に示したように、支持部材２１０が所定範囲の下限に位置付けられた状態において、スクライブ装置１側の昇降機構９によりベース部材１１０を下降させると、カッターホイール２５１ａがテスト基板６６の上面（被当接面）に当接する。その後、さらにベース部材１１０を下降させると、カッターホイール２５１ａの下降がテスト基板６６の上面（被当接面）により規制されるため、支持部材２１０、ホルダ２４０、ガイドシャフト２２１および押圧部材２３０は下降せず、ベース部材１１０のみが下降する。これにより、図１３（ｂ）に示したように、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃとベース部材１１０の下面１１０ａ（対向面）との距離が縮まり、やがて当接する。この状態からさらにベース部材１１０を下降させると、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃがベース部材１１０の下面１１０ａ（対向面）に押されて、ガイドシャフト２２１がバネ２２２（付勢部材）の付勢に抗して下方に移動する。このとき、図１４（ａ）、（ｂ）に示したように、押圧部材２３０がガイドシャフト２２１とともに下方に移動し、押圧部材２３０の圧接面２３１ａがホルダ２４０の外側面２４１ａから離間する。これにより、ホルダ２４０は回転軸Ｒ１０について回転可能となり、ホルダ２４０に保持されたカッターホイール２５１ａも回転可能となる。また、上記の工程とは逆に、ベース部材１１０を上昇させることで、図１５（ｂ）に示したように、押圧部材２３０の圧接面２３１ａがホルダ２４０の外側面２４１ａに圧接され、ホルダ２４０およびカッターホイール２５１ａがロックされる。

このように、本実施形態によれば、ガイドシャフト２２１、バネ２２２（付勢部材）および押圧部材２３０を追加するのみの簡素な構成により、ホルダ２４０およびカッターホイール２５１ａのロックおよび非ロックを切り替えることができる。また、押圧部材２３０の圧接面２３１ａを先細りのホルダ２４０の外側面２４１ａに面接触により圧接させてロックが行われるため、安定的かつ確実に、ホルダ２４０およびカッターホイール２５１ａをロックできる。さらに、ベース部材１１０を昇降させるといった極めて簡単な制御により、ホルダ２４０およびカッターホイール２５１ａのロックおよび非ロックを切り替えることができる。このため、非ロック状態でカッターホイール２５１ａを走行させながらスクライブヘッド１０を上昇させることにより、ホルダ２４０およびカッターホイール２５１ａをロックでき、カッターホイール２５１ａをロック直前の直線走行可能な状態に正確にロックできる。

ベース部材１１０は、ブロック形状を有し、支持部材２１０およびガイドシャフト２２１は、ベース部材１１０の下方に配置され、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに対向するベース部材１１０の対向面は、ベース部材１１０の下面１１０ａである。この構成によれば、支持部材２１０およびガイドシャフト２２１がベース部材１１０の下方に配置されるため、ベース部材１１０、支持部材２１０およびガイドシャフト２２１からなる構造体をコンパクトにできる。また、ベース部材１１０の下面１１０ａが対向面に共用されるため、この構造体の構成を簡素にできる。

図７に示したように、ホルダ２４０の外側面２４１ａは、平面視において略円形状であり、下方に向かうにつれて径が小さくなっている。押圧部材２３０は、ホルダ２４０が上方から挿入される円形の開口２３１を有する。開口２３１の径をホルダ２４０の外側面２４１ａと同様に下方に向かうにつれて小さくすることにより、開口２３１の内周面に圧接面２３１ａが形成されている。この構成によれば、ホルダ２４０の外側面２４１ａの径および押圧部材２３０の開口２３１の径を調整することにより、ロック機構を実現できる。よって、ロック機構の構成を簡素にできる。

図７に示したように、ホルダ２４０は、円錐体の外側面の一部を平坦に切り欠いた形状を含む。この構成によれば、円錐体の外側面の切り欠き量によって、ホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとの接触面積を調整でき、ロックの保持力を調整できる。これにより、スクライブ動作時に、不意に大きなトルクがカッターホイール２５１ａに掛かったとしても、ホルダ２４０の外側面２４１ａが圧接面２３１ａに対して滑ってカッターホイール２５１ａがトルクの方向に回動し、カッターホイール２５１ａに破損が生じることを抑制できる。

ヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２は、空気圧により支持部材２１０を駆動してカッターホイール２５１ａに荷重を付与する。この構成によれば、支持部材２１０がヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２に機械的に固定された構成でないため、カッターホイール２５１ａがテスト基板６６の上面（被当接面）に当接した後、さらにベース部材１１０を下降させた場合に、支持部材２１０に対してベース部材１１０を円滑に下降させることができる。よって、ベース部材１１０の昇降によるカッターホイール２５１ａのロックおよび非ロックの切り替えを円滑に行うことができる。

図１３（ｂ）に示したように、制御部３０１は、カッターホイール２５１ａのロックを解除する制御として、カッターホイール２５１ａがテスト基板６６の上面（被接触面）に接触するまでベース部材１１０を下降させた後、さらに、ホルダ２４０の外側面２４１ａと押圧部材２３０の圧接面２３１ａとの接触が解除されるまで、ベース部材１１０を下降させる制御を実行する（図１９のＳ２３）。この処理によれば、ベース部材１１０を下降させるといった極めて簡単な制御により、カッターホイール２５１ａのロックを解除できる。

制御部３０１は、カッターホイール２５１ａのロックを解除する制御を実行した後、図１５（ｂ）に示したように、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向（スクライブ方向）に移送させつつホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとが接触するまでベース部材１１０を上昇させる制御を実行する（図１９のＳ２５）。ロックの解除状態では、カッターホイール２５１ａがテスト基板６６の上面（被接触面）に押し付けられているため、この状態からスクライブヘッド１０をスクライブ方向）に移送することで、カッターホイール２５１ａをスクライブ方向に直進させることができ、カッターホイール２５１ａの稜線をスクライブ方向に平行にできる。このとき、スクライブヘッド１０をスクライブ方向に移送させつつホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとが接触するまでベース部材１１０を上昇させることにより、カッターホイール２５１ａの稜線がスクライブ方向に平行である状態を維持したまま、カッターホイール２５１ａをロックできる。よって、その後、このロック状態によりスクライブ動作を行うことで、スクライブ軌跡の直線性を高精度に維持できる。

制御部３０１は、カッターホイール２５１ａのロックを解除する制御を実行した後、図１５（ａ）に示したように、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向（スクライブ方向）に移送させ、その後、図１５（ｂ）に示したように、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向（スクライブ方向）に移送させつつホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとが接触するまでベース部材１１０を上昇させる制御を実行する（図１９のＳ２４、Ｓ２５）。この制御によれば、スクライブヘッド１０がスクライブ方向に移送されることにより、カッターホイール２５１ａを確実にスクライブ方向に直進させることができる。そして、この状態から、さらに、スクライブヘッド１０をスクライブ方向に移送させつつホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとが接触するまでベース部材１１０を上昇させることにより、カッターホイール２５１ａの稜線がスクライブ方向に平行である状態を維持したまま、カッターホイール２５１ａをロックできる。

図１２（ｂ）に示したように、スクライブ装置１は、カッターホイール２５１ａが被加工物２３の上面（被接触面）に接触したことを検出するロードセル１０４（センサ）を備える。図１４（ｂ）に示したように、制御部３０１は、ロードセル１０４（センサ）からの出力に基づいてカッターホイール２５１ａが被加工物２３の上面（被接触面）に接触したことが検出された原点位置Ｈ０からｄ３（所定量）だけベース部材１１０を下降させることにより、ホルダ２４０の外側面２４１ａと圧接面２３１ａとの接触を解除する（図１９のＳ２３）。この構成によれば、円滑かつ正確に、カッターホイール２５１ａのロックを解除できる。

カッターホイール２５１ａが被加工物２３の上面（被接触面）に接触したことを検出するセンサは、カッターホイール２５１ａに付与される荷重を検出するためのロードセル１０４である。この構成によれば、ロードセル１０４がセンサに共用されるため、スクライブ装置１の構成の簡素化およびコストの低減を実現できる。

＜変形例＞
上記実施形態において、ガイドシャフト２２１および押圧部材２３０は、一体形成されてもよい。

上記実施形態では、ガイドシャフト２２１は、ホルダ２４０の周囲に３本配置されたが、これに限らず、ホルダ２４０を挟んで２本のガイドシャフト２２１が配置されてもよく、ホルダ２４０の周囲に４本以上配置されてもよい。ただし、押圧部材２３０を支持部材２１０に対して安定的に保持させ、且つ、構成を簡素化する観点から、ガイドシャフト２２１は、上記のように３本配置されるのが好ましい。

上記実施形態において、ベース部材１１０の下面１１０ａが、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに対向して配置されたが、上端２２１ｃに対向する部分は、下面１１０ａに限らない。たとえば、平面視において、ガイドシャフト２２１がベース部材１１０の外側にある場合、ベース部材１１０の側面に配置された突起の下面が、ガイドシャフト２２１の上端２２１ｃに対向して配置されてもよい。この場合、上端２２１ｃは、ベース部材１１０の側面に配置された突起の下面により下方向に押される。

上記実施形態では、ボール１５１、１６１は球形であったが、これに限らず、楕円体であってもよい。たとえば、ボール１５１、１６１が、平面視において円形であるような楕円球であってもよい。ボール１５１、１６１が平面視において円形であると、流路１１１から筒孔１１３に供給された空気を満遍なくボール１５１に当てることができ、流路１１２から筒孔１１４に供給された空気を満遍なくボール１６１に当てることができる。これにより、ボール１５１がピン１５３を円滑に押すことができ、ボール１６１がピン１６３を円滑に押すことができる。

上記実施形態では、カッターホイール２５１ａが被加工物２３の上面（被接触面）に接触したことが、ロードセル１０４の検出荷重により検出されたが、光電センサやカメラにより検出されてもよい。

上記実施形態では、外側面２４１ａの一部を切欠いた平坦面２４１ｂが形成されることにより、ホルダ２４０の外側面２４１ａと押圧部材２３０の圧接面２３１ａとの接触面積が調整された。しかしながら、これに限らず、圧接面２３１ａに平坦面が形成されることにより、外側面２４１ａと圧接面２３１ａとの接触面積が調整されてもよい。また、外側面２４１ａおよび圧接面２３１ａに形成する切欠きは、平坦面でなくてもよく、曲面等の他の形状であってもよい。

上記実施形態では、テスト基板６６の上面が、スクライブテーブル６の載置面６１と同じ高さに配置されたが、載置面６１と異なる高さの位置に配置されてもよい。この場合、被加工物２３およびテープ２２の厚みｄ１と、テスト基板６６の上面と載置面６１の高さの差と、ベース部材１１０の下面１１０ａとガイドシャフト２２１の上端２２１ｃとの距離ｄ２に基づいて、図１３（ｂ）に示すように、ベース部材１１０の下面１１０ａがガイドシャフト２２１の上端に接地する位置Ｈ１まで、ベース部材１１０が下降される。

上記実施形態では、カッターホイール２５１ａのロックが解除された後、図１５（ａ）に示したように、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向に移送する第１動作が行われ、その後、図１５（ｂ）に示したように、スクライブヘッド１０をＸ軸正方向に移送させつつカッターホイール２５１ａがロックされるまでベース部材１１０を上昇させる第２動作が行われた。しかしながら、これに限らず、第１動作が省略され、第２動作のみが行われてもよい。ただし、上記実施形態のように、第１動作が行われた後で第２動作が行われるほうが、カッターホイール２５１ａをＸ軸方向に直進させることができ、カッターホイール２５１ａの稜線を確実にＸ軸方向に平行にできる。

上記実施形態では、スクライブ動作時に、図２０のステップＳ３２～Ｓ３４に示したように、目標荷重に応じてヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２の何れか一方が駆動されたが、ヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２の両方が駆動されて目標荷重が設定されてもよい。ただし、上記実施形態のように、ヘッド駆動部Ｄ１、Ｄ２の何れか一方が駆動されるほうが、目標荷重を精度良く設定できる。

上記実施形態において、スクライブ装置１の構成は、図１に示した構成に限られるものではない。たとえば、図１の構成では、スクライブヘッド１０が、移送機構８によりＸ軸方向に移送されたが、スクライブヘッド１０が移送されることに代えて、スクライブテーブル６がＸ軸方向に移送されてもよい。

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

１ スクライブ装置
８ 移送機構
９ 昇降機構
１０ スクライブヘッド
１０４ ロードセル（センサ）
１１０ ベース部材
１１０ａ 下面（対向面）
２１０ 支持部材
２２１ ガイドシャフト
２２２ バネ（付勢部材）
２２１ｃ 上端
２３０ 押圧部材
２３１ 開口
２３１ａ 圧接面
２４０ ホルダ
２４１ａ 外側面
２５１ａ カッターホイール
３０１ 制御部
Ｄ１、Ｄ２ ヘッド駆動部
Ｒ１０ 回転軸

Claims (10)

1. スクライブ装置側の昇降機構により昇降されるベース部材と、
   所定範囲において上下動可能に前記ベース部材に支持された支持部材と、
   回転軸について回転可能に前記支持部材に支持された先細り形状のホルダと、
   前記回転軸から離間して前記ホルダの下面に保持されたカッターホイールと、
   前記支持部材に上下動可能に支持されたガイドシャフトと、
   前記ガイドシャフトを上方向に付勢する付勢部材と、
   前記ガイドシャフトの下端に設けられ、前記付勢部材からの付勢により前記ホルダの外側面に圧接される圧接面を有する押圧部材と、
   前記ベース部材に設けられ、前記支持部材が前記所定範囲の下限に位置づけられた状態において前記ガイドシャフトの上端に所定の距離で対向する対向面と、を備える、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
2. 請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記ベース部材は、ブロック形状を有し、
   前記支持部材および前記ガイドシャフトは、前記ベース部材の下方に配置され、
   前記対向面は、前記ベース部材の下面である、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
3. 請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記ホルダの前記外側面は、平面視において略円形状であり、下方に向かうにつれて径が小さくなっており、
   前記押圧部材は、前記ホルダが上方から挿入される円形の開口を有し、
   前記開口の径を前記ホルダの外側面と同様に下方に向かうにつれて小さくすることにより、前記開口の内周面に前記圧接面が形成されている、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
4. 請求項３に記載のスクライブヘッドにおいて、
   前記ホルダは、円錐体の外側面の一部を平坦に切り欠いた形状を含む、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
5. 請求項１に記載のスクライブヘッドにおいて、
   空気圧により前記支持部材を駆動して前記カッターホイールに荷重を付与するヘッド駆動部を備える、
   ことを特徴とするスクライブヘッド。
6. 請求項１ないし５の何れか一項に記載のスクライブヘッドと、
   前記昇降機構と、
   前記昇降機構とともに前記スクライブヘッドをスクライブ方向に移送する移送機構と、
   前記昇降機構および前記移送機構を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御として、
   前記カッターホイールが被接触面に接触するまで前記ベース部材を下降させた後、さらに、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触が解除されるまで、前記ベース部材を下降させる制御を実行する、
   ことを特徴とするスクライブ装置。
7. 請求項６に記載のスクライブ装置において、
   前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する、
   ことを特徴とするスクライブ装置。
8. 請求項７に記載のスクライブ装置において、
   前記制御部は、前記カッターホイールのロックを解除する制御を実行した後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させ、その後、前記スクライブヘッドを前記スクライブ方向に移送させつつ前記ホルダの外側面と前記圧接面とが接触するまで前記ベース部材を上昇させる制御を実行する、
   ことを特徴とするスクライブ装置。
9. 請求項６に記載のスクライブ装置において、
   前記カッターホイールが被接触面に接触したことを検出するセンサを備え、
   前記制御部は、前記センサからの出力に基づいて前記カッターホイールが被接触面に接触したことが検出された位置から所定量だけ前記ベース部材を下降させることにより、前記ホルダの外側面と前記圧接面との接触を解除する、
   ことを特徴とするスクライブ装置。
10. 請求項９に記載のスクライブ装置において、
    前記センサは、前記カッターホイールに付与される荷重を検出するためのロードセルである、
    ことを特徴とするスクライブ装置。

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