JP2024012696A - 基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム - Google Patents

基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラム Download PDF

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Abstract

【課題】不活性ガスの消費量を削減可能にする。【解決手段】基板を処理する処理室と、処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、処理室と連通可能な搬送室と、搬送室に不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給部と、搬送室から雰囲気を排気する第一排気部と、第一排気部により排気された不活性ガスを処理室または処理室の下流部に供給する第二不活性ガス供給部と、を有する技術が提供される。【選択図】図4

Description

本開示は、基板処理装置、半導体装置の製造方法およびプログラムに関する。
半導体装置の製造工程の一工程で用いられる基板処理装置として、基板を処理する処理チャンバーとこれに連通接続する搬送チャンバーとを備えた装置が存在する(例えば、特許文献1参照)。このような構成においては、搬送室や処理室に不活性ガスを供給することがある。
特開2017-69315号公報
本開示は、不活性ガスの消費量を削減可能にする技術を提供する。
一態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室と連通可能な搬送室と、
前記搬送室に不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給部と、
前記搬送室から雰囲気を排気する第一排気部と、
前記第一排気部により排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する第二不活性ガス供給部と、
を有する技術が提供される。
本開示によれば、不活性ガスの消費量を削減することができる。
本開示の第一実施形態に係る基板処理装置の全体構成例を示す横断面図である。 本開示の第一実施形態に係る基板処理装置の全体構成例を示す縦断面図である。 本開示の第一実施形態に係る基板処理装置の処理室の概略構成の一例を模式的に示す説明図である。 本開示の第一実施形態に係る基板処理装置のガス供給系およびガス排気系の要部構成例を模式的に示す説明図である。 本開示の第一実施形態に係る基板処理工程の概要を示すフロー図である。 図5の基板処理工程における成膜工程の詳細を示すフロー図である。 本開示の第二実施形態に係る基板処理装置のガス供給系およびガス排気系の要部構成例を模式的に示す説明図である。
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
以下の説明で例に挙げる基板処理装置は、半導体装置の製造工程で用いられるもので、処理対象となる基板に対して所定のプロセス処理を行うように構成されたものである。
処理対象となる基板は、例えば、半導体装置(半導体デバイス)が作り込まれる半導体基板としてのシリコンウエハ(以下、単に「基板」という。)である。なお、本明細書において「基板」という言葉を用いた場合は、「基板そのもの」を意味する場合や、「基板とその表面に形成された所定の層や膜等との積層体(集合体)」を意味する場合(すなわち、表面に形成された所定の層や膜等を含めて基板と称する場合)がある。また、本明細書において「基板の表面」という言葉を用いた場合は、「基板そのものの表面(露出面)」を意味する場合や、「基板上に形成された所定の層や膜等の表面、すなわち、積層体としての基板の最表面」を意味する場合がある。本明細書において「基板」という言葉を用いた場合も、「基板」という言葉を用いた場合と同義である。
基板に対して行う所定のプロセス処理(以下、単に「処理」ということもある。)としては、例えば、酸化処理、拡散処理、アニール処理、エッチング処理、プリクリーニング処理、チャンバクリーニング処理、成膜処理等がある。本実施形態では、特に成膜処理を行う場合を例に挙げる。
<第一実施形態>
まず、本開示の第一実施形態について具体的に説明する。
(1)基板処理装置の全体構成
本開示の第一実施形態に係る基板処理装置の全体構成について、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、第一実施形態に係る基板処理装置の全体構成例を示す横断面図である。図2は、第一実施形態に係る基板処理装置の全体構成例を示す縦断面図である。
図1および図2に示すように、ここで例に挙げて説明する基板処理装置は、真空搬送室103の周囲に複数の処理モジュール201a~201dを備えた、いわゆるクラスタタイプのものである。より詳しくは、図例の基板処理装置は、基板200を処理するもので、大別すると、真空搬送室(トランスファモジュール)103と、ロードロック室(ロードロックモジュール)122,123と、大気搬送室(フロントエンドモジュール)121と、IOステージ(ロードポート)105と、複数の処理モジュール(プロセスモジュール)201a~201dと、制御部としてのコントローラ281と、を備えて構成されている。
以下、これらの各構成について具体的に説明する。なお、以下の説明において、前後左右は、X1方向が右、X2方向が左、Y1方向が前、Y2方向が後とする。
(真空搬送室)
真空搬送室103は、負圧下で基板200が搬送される搬送空間となる搬送室として機能する。真空搬送室103を構成する筐体101は、平面視が六角形に形成される。そして、六角形の各辺には、ロードロック室122,123及び各処理モジュール201a~201dがゲートバルブ160,165,161a~161dを介してそれぞれ連結されている。
真空搬送室103の略中央部には、負圧下で基板200を移載(搬送)する搬送ロボットとしての真空搬送ロボット112がフランジ115を基部として設置されている。真空搬送ロボット112は、エレベータ116およびフランジ115によって真空搬送室103の気密性を維持しつつ昇降できるように構成されている(図2参照)。
(ロードロック室)
真空搬送室103を構成する筐体101の六枚の側壁のうち前側に位置する二枚の側壁には、搬入用のロードロック室122と、搬出用のロードロック室123とが、それぞれゲートバルブ160,165を介して連結されている。ロードロック室122内には搬入室用の基板載置台150が設置され、ロードロック室123内には搬出室用の基板載置台151が設置されている。なお、各ロードロック室122,123は、それぞれが負圧に耐え得る構造に構成されている。
(大気搬送室)
ロードロック室122,123の前側には、大気搬送室121がゲートバルブ128,129を介して連結されている。大気搬送室121は、略大気圧下で用いられる。
大気搬送室121内には、基板200を移載する大気搬送ロボット124が設置されている。大気搬送ロボット124は、大気搬送室121に設置されたエレベータ126によって昇降されるように構成されているとともに、リニアアクチュエータ132によって左右方向に往復移動されるように構成されている(図2参照)。
大気搬送室121の上部には、クリーンエアを供給するクリーンユニット118が設置されている(図2参照)。また、大気搬送室121の左側には、基板200に形成されているノッチまたはオリエンテーションフラットを合わせる装置(以下、「プリアライナ」という)106が設置されている(図1参照)。
(IOステージ)
大気搬送室121の筐体125の前側には、基板200を大気搬送室121に対して搬入搬出するための基板搬入搬出口134と、ポッドオープナ108とが設置されている。基板搬入搬出口134を挟んでポッドオープナ108と反対側、すなわち筐体125の外側には、IOステージ105が設置されている。
IOステージ105上には、基板200を複数枚収納するFOUP(Front Opening Unified Pod:以下「ポッド」という。)100が複数搭載されている。ポッド100は、シリコン(Si)基板などの基板200を搬送するキャリアとして用いられる。ポッド100内には、未処理の基板200や処理済の基板200がそれぞれ水平姿勢で複数格納されるように構成されている。ポッド100は、図示しない工程内搬送装置(RGV)によって、IOステージ105に対して、供給および排出される。
IOステージ105上のポッド100は、ポッドオープナ108によって開閉される。ポッドオープナ108は、ポッド100のキャップ100aを開閉するとともに、基板搬入搬出口134を閉塞可能なクロージャ142とクロージャ142を駆動する駆動機構109とを備えている。ポッドオープナ108は、IOステージ105に載置されたポッド100のキャップ100aを開閉し、基板出し入れ口を開放・閉鎖することにより、ポッド100に対する基板200の出し入れを可能とする。
(処理モジュール)
真空搬送室103を構成する筐体101の六枚の側壁のうち、ロードロック室122,123が連結されていない残りの四枚の側壁には、それぞれに対して、基板200に所望の処理を行う処理モジュール201a~201dが、ゲートバルブ161a~161dを介して、真空搬送室103を中心にして放射状に位置するように連結されている。各処理モジュール201a~201dは、いずれもコールドウォール式の処理容器203a~203dによって構成され、それぞれに一つの処理室202a~202dが形成されている。各処理室202a~202d内では、半導体や半導体装置の製造工程の一工程として、基板200に対する処理を行う。各処理室202a~202d内で行う処理としては、例えば、基板上へ薄膜を形成する処理、基板表面を酸化、窒化、炭化等する処理、シリサイド、メタル等の膜形成、基板表面をエッチングする処理、リフロー処理等の各種基板処理が挙げられる。
なお、各処理モジュール201a~201dの詳細な構成については、後述する。
(コントローラ)
コントローラ281は、基板処理装置を構成する各部の動作を制御する制御部(制御手段)として機能する。そのために、制御部としてのコントローラ281は、CPU(Central Processing Unit)やRAM(Random Access Memory)等を有してなるコンピュータ装置によって構成されている。
なお、コントローラ281の詳細な構成については、後述する。
(2)処理モジュールの構成
次に、各処理モジュール201a~201dの詳細な構成について説明する。
各処理モジュール201a~201dは、それぞれが枚葉式の基板処理装置として機能するものであり、いずれも同様の構成を有するものである。
ここで、各処理モジュール201a~201dのうちの一つを例に挙げて、具体的な構成を説明する。処理モジュール201a~201dの一つを例に挙げることから、以下の説明においては、処理モジュール201a~201dを単に「処理モジュール201」と記述し、各処理モジュール201a~201dを構成するコールドウォール式の処理容器203a~203dについても単に「処理容器203」と記述し、各処理容器203a~203d内に形成される処理室202a~202dを単に「処理室202」と記述し、さらに各処理モジュール201a~201dのそれぞれに対応するゲートバルブ161a~161dについても単に「ゲートバルブ161」と記述する。
図3は、第一実施形態に係る基板処理装置の処理室の概略構成の一例を模式的に示す説明図である。
(処理容器)
処理モジュール201は、上述したように、コールドウォール式の処理容器203によって構成されている。処理容器203は、例えば、横断面が円形であり扁平な密閉容器として、アルミニウム(Al)やステンレス(SUS)等の金属材料により構成されている。処理容器203は、上部容器203aと下部容器203bで構成される。
処理容器203内には、処理室202が形成されている。処理室202は、その上方側(後述する基板載置台212よりも上方の空間)に位置し、シリコンウエハ等の基板200を処理する処理空間202aと、その下方側で下部容器203bに囲まれた空間である搬送空間202bと、を備えている。
上部容器203aの内部の外周端縁近傍には、排気バッファ室209が設けられている。排気バッファ室209は、処理室202内のガスを側方周囲に向かって排出する際のバッファ空間として機能するものである。そのために、排気バッファ室209は、処理室202の側方外周を囲むように設けられた空間を持つ。つまり、排気バッファ室209は、処理室202の外周側に平面視リング状(円環状)に形成された空間を有している。
下部容器203bの側面、すなわち処理容器203を構成する壁の一つには、ゲートバルブ205に隣接した基板搬入出口206が設けられている。基板200は、基板搬入出口206を介して、搬送空間202bに搬入されるようになっている。下部容器203bの底部には、リフトピン207が複数設けられている。
(基板支持部)
処理室202内には、基板200を支持する基板支持部(サセプタ)210が設けられている。基板支持部210は、基板200を載置する基板載置面211と、基板載置面211を表面に持つ基板載置台212と、基板載置台212に内包された加熱源としてのヒータ213と、を主に有する。基板載置台212には、リフトピン207が貫通する貫通孔214が、リフトピン207と対応する位置にそれぞれ設けられている。
基板載置台212は、シャフト217によって支持される。シャフト217は、処理容器203の底部を貫通しており、さらには処理容器203の外部で昇降機構218に接続されている。昇降機構218を作動させてシャフト217および基板載置台212を昇降させることにより、基板載置台212は、基板載置面211上に載置される基板200を昇降させることが可能となっている。なお、シャフト217の下端部の周囲はベローズ219により覆われており、処理容器203内は気密に保持されている。
基板載置台212は、基板200の搬送時には、基板載置面211が基板搬入出口206に対向する位置(基板搬送位置)まで下降し、基板200の処理時には、基板200が処理空間202a内の処理位置(基板処理位置)となるまで上昇する。
具体的には、基板載置台212を基板搬送位置まで下降させた時には、リフトピン207の上端部が基板載置面211の上面から突出して、リフトピン207が基板200を下方から支持するようになっている。また、基板載置台212を基板処理位置まで上昇させたときには、リフトピン207は基板載置面211の上面から埋没して、基板載置面211が基板200を下方から支持するようになっている。
(シャワーヘッド)
処理空間202aの上方(ガス供給方向上流側)には、ガス分散機構としてのシャワーヘッド230が設けられている。シャワーヘッド230の蓋231には、ガス導入口241が設けられる。当該ガス導入口241は、後述するガス供給系が連通するよう構成される。ガス導入口241から導入されるガスは、シャワーヘッド230のバッファ空間232に供給される。
シャワーヘッド230の蓋231は、導電性のある金属で形成され、バッファ空間232または処理空間202a内でプラズマを生成するための電極として用いられる。蓋231と上部容器203aとの間には絶縁ブロック233が設けられ、蓋231と上部容器203aの間を絶縁している。
シャワーヘッド230は、ガス導入口241を介してガス供給系から供給されるガスを分散させるための分散板234を備えている。この分散板234の上流側がバッファ空間232であり、下流側が処理空間202aである。分散板234には、複数の貫通孔234aが設けられている。分散板234は、基板載置面211と対向するように配置されている。
(ガス供給系)
シャワーヘッド230の蓋231には、ガス導入孔241と連通するよう共通ガス供給管242が接続されている。共通ガス供給管242は、ガス導入孔241を介してシャワーヘッド230内のバッファ空間232に連通する。また、共通ガス供給管242には、第一ガス供給管243a、第二ガス供給管244a、第三ガス供給管245aが接続されている。このうち、第二ガス供給管244aは、リモートプラズマユニット244eを介して共通ガス供給管242に接続される。
これらのうち、第一ガス供給管243aを含む原料ガス供給系243からは処理ガスの一つである原料ガスが主に供給され、第二ガス供給管244aを含む反応ガス供給系244からは主に処理ガスの他の一つである反応ガスが供給される。第三ガス供給管245aを含むパージガス供給系245からは、基板200を処理する際には主にパージガスとしての不活性ガスが供給され、シャワーヘッド230や処理室202をクリーニングする際はクリーニングガスが主に供給される。なお、ガス供給系から供給されるガスについては、原料ガスを第一ガス、反応ガスを第二ガス、不活性ガスを第三ガス、クリーニングガスを第四ガスと呼ぶこともある。
(原料ガス供給系)
第一ガス供給管243aには、上流方向から順に、原料ガス供給源243b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)243c、および、開閉弁であるバルブ243dが設けられている。そして、第一ガス供給管243aからは、原料ガスが、MFC243c、バルブ243d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
原料ガス(第一ガス)は、処理ガスの一つであり、例えば、第一元素としてのシリコン(Si)元素を含むガスである。具体的には、ジクロロシラン(SiHCl,dichlorosilane:DCS)ガスやテトラエトキシシラン(Si(OC,Tetraethoxysilane:TEOS)ガス等が用いられる。以下の説明では、DCSガスを用いた例について説明する。
主に、第一ガス供給管243a、MFC243c、バルブ243dにより、原料ガス供給系243が構成される。原料ガス供給系243は、原料ガス供給源243b、後述する不活性ガス供給系を含めて考えてもよい。原料ガス供給系243は、処理ガスの一つである原料ガスを供給するものであることから、処理ガス供給系(処理ガス供給部)の一つに該当することになる。
第一ガス供給管243aのバルブ243dよりも下流側には、不活性ガス供給管246aの下流端が接続されている。不活性ガス供給管246aには、上流方向から順に、不活性ガス供給源246b、MFC246c、および、バルブ246dが設けられている。そして、不活性ガス供給管246aからは、不活性ガスが、MFC246c、バルブ246d、第一ガス供給管243aを介して、シャワーヘッド230内に供給される。
不活性ガスは、原料ガスのキャリアガスとして作用するもので、原料とは反応しないガスを用いることが好ましい。具体的には、例えば、窒素(N)ガスを用いることができる。また、Nガスのほか、例えばヘリウム(He)ガス、ネオン(Ne)ガス、アルゴン(Ar)ガス等の希ガスを用いることができる。
主に、不活性ガス供給管246a、MFC246cおよびバルブ246dにより、不活性ガス供給系が構成される。この不活性ガス供給系は、不活性ガス供給源236b、第一ガス供給管243aを含めて考えてもよい。また、この不活性ガス供給系は、原料ガス供給系243に含めて考えてもよい。
(反応ガス供給系)
第二ガス供給管244aには、下流にRPU244eが設けられている。上流には、上流方向から順に、反応ガス供給源244b、MFC244c、および、バルブ244dが設けられている。そして、第二ガス供給管244aからは、反応ガスが、MFC244c、バルブ244d、RPU244e、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。反応ガスは、リモートプラズマユニット244eによりプラズマ状態とされ、基板200上に照射される。
反応ガス(第二ガス)は、処理ガスの他の一つであり、原料ガスが含有する第一元素(例えばSi)とは異なる第二元素(例えば窒素)を含むガスである。具体的には、例えば、窒素(N)含有ガスであるアンモニア(NH)ガスが用いられる。
主に、第二ガス供給管244a、MFC244c、バルブ244dにより、反応ガス供給系244が構成される。反応ガス供給系244は、反応ガス供給源244b、RPU244e、後述する不活性ガス供給系を含めて考えてもよい。反応ガス供給系244は、処理ガスの一つである反応ガスを供給するものであることから、処理ガス供給系(処理ガス供給部)の他の一つに該当することになる。
第二ガス供給管244aのバルブ244dよりも下流側には、不活性ガス供給管247aの下流端が接続されている。不活性ガス供給管247aには、上流方向から順に、不活性ガス供給源247b、MFC247c、および、バルブ247dが設けられている。そして、不活性ガス供給管247aからは、不活性ガスが、MFC247c、バルブ247d、第二ガス供給管244a、RPU244eを介して、シャワーヘッド230内に供給される。
不活性ガスは、反応ガスのキャリアガスまたは希釈ガスとして作用するものである。具体的には、例えば、Nガスを用いることができる。また、Nガスのほか、例えばHeガス、Neガス、Arガス等の希ガスを用いてもよい。
主に、不活性ガス供給管247a、MFC247cおよびバルブ247dにより、不活性ガス供給系が構成される。この不活性ガス供給系は、不活性ガス供給源247b、第二ガス供給管243a、RPU244eを含めて考えてもよい。また、この不活性ガス供給系は、反応ガス供給系244に含めて考えてもよい。
(パージガス供給系)
第三ガス供給管245aには、上流方向から順に、パージガス供給源245b、MFC245c、および、バルブ245dが設けられている。そして、第三ガス供給管245aからは、基板処理工程では、パージガスとしての不活性ガスが、MFC245c、バルブ245d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。また、処理空間クリーニング工程では、必要に応じて、クリーニングガスのキャリアガスまたは希釈ガスとしての不活性ガスが、MFC245c、バルブ245d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
パージガス供給源245bから供給される不活性ガスは、基板処理工程では、処理容器203やシャワーヘッド230内に留まったガスをパージするパージガスとして作用する。また、処理空間クリーニング工程では、クリーニングガスのキャリアガス或いは希釈ガスとして作用しても良い。具体的には、不活性ガスとして、例えば、Nガスを用いることができる。また、Nガスのほか、例えばHeガス、Neガス、Arガス等の希ガスを用いてもよい。
主に、第三ガス供給管245a、MFC245c、バルブ245dにより、パージガス供給系245が構成される。パージガス供給系245は、パージガス供給源245b、後述するクリーニングガス供給系248を含めて考えてもよい。
なお、パージガス供給源245bから供給される不活性ガスには、詳細を後述するように、真空搬送室103から排気された不活性ガスが含まれている。つまり、パージガス供給系245は、真空搬送室103から排気された不活性ガスを処理室202に供給する第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)として機能するようになっている。
(クリーニングガス供給系)
第三ガス供給管245aのバルブ245dよりも下流側には、クリーニングガス供給管248aの下流端が接続されている。クリーニングガス供給管248aには、上流方向から順に、クリーニングガス供給源248b、MFC248c、および、バルブ248dが設けられている。そして、第三ガス供給管245aは、処理空間クリーニング工程では、クリーニングガスが、MFC248c、バルブ248d、共通ガス供給管242を介して、シャワーヘッド230内に供給される。
クリーニングガス供給源248bから供給されるクリーニングガス(第四ガス)は、処理空間クリーニング工程ではシャワーヘッド230や処理容器203に付着した副生成物等を除去するクリーニングガスとして作用する。具体的には、クリーニングガスとして、例えば三フッ化窒素(NF)ガスを用いることが考えられる。また、例えば、フッ化水素(HF)ガス、三フッ化塩素(ClF)ガス、フッ素(F)ガス等を用いても良く、またこれらを組合せて用いても良い。
主に、クリーニングガス供給管248a、MFC248cおよびバルブ248dにより、クリーニングガス供給系(クリーニングガス供給部)248が構成される。クリーニングガス供給系248は、クリーニングガス供給源248b、第三ガス供給管245aを含めて考えてもよい。また、クリーニングガス供給系248は、パージガス供給系245に含めて考えてもよい。
クリーニングガス供給系248からのクリーニングガスは、シャワーヘッド230を通じて、処理室202へ供給される。つまり、クリーニングガス供給系248は、処理室202にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部として機能するようになっている。
なお、ここでは、共通ガス供給管(第一供給管)242を介して、原料ガス供給系243、反応ガス供給系244、パージガス供給系245および処理空間クリーニングガス供給系248のそれぞれと処理室202とを連通させる構成の例を説明したが、必ずしもこれに限定されるものではない。例えば、原料ガス供給系243、反応ガス供給系244、パージガス供給系245および処理空間クリーニングガス供給系248のそれぞれにおけるガス供給管を、直接シャワーヘッド230や処理室202等に接続するようにしてもよい。
(ガス排気系)
処理容器203には、排気配管222が接続されている。排気配管222は、排気バッファ室209の上面または側方に設けられた排気口221を介して、排気バッファ室209内に接続される。これにより、排気配管222は、処理室202内と連通することになる。
排気配管222には、排気バッファ室209に連通する処理室202内を所定の圧力に制御する圧力制御器であるAPC(Auto Pressure Controller)バルブ223が設けられる。APCバルブ223は、開度調整可能な弁体(図示せず)を有し、後述するコントローラ281からの指示に応じて排気配管222のコンダクタンスを調整する。以下、排気配管222に設けられたAPCバルブ223を、単にバルブ223ということもある。
また、排気配管222において、APCバルブ223の下流側には、真空ポンプ224が設けられる。真空ポンプ224は、排気配管222を介して、排気バッファ室209およびこれに連通する処理室202の雰囲気を排気する。これにより、排気配管222は、処理室202からのガス排気を行う排気配管として機能することになる。
さらに、真空ポンプ224の下流側には、スクラバー225が設けられる。スクラバー225は、排気配管222により排気されるガスの浄化(清浄化)を行う除外装置として機能する。
主に、排気配管222、APCバルブ223、真空ポンプ224、および、スクラバー225によって、ガス排気系が構成される。
(3)他のガス供給系およびガス排気系の構成
次に、上述した構成以外のガス供給系およびガス排気系について、図4を参照しながら説明する。図4は、第一実施形態に係る基板処理装置のガス供給系およびガス排気系の要部構成例を模式的に示す説明図である。
(第一不活性ガス供給系)
本実施形態で説明する基板処理装置は、上述した各処理モジュール201a~201dに加えて、これらと連通可能な搬送室にも不活性ガスを供給し得るようになっている。
そのために、搬送室として機能する真空搬送室103には、不活性ガス供給管251aが接続されている。不活性ガス供給管251aには、MFC251bおよびバルブ251cが設けられており、さらにその上流側に図示せぬ不活性ガス供給源が配されている。不活性ガス供給源は、パージガス供給系245のパージガス供給源245bであってもよい。真空搬送室103に供給する不活性ガスとしては、例えば、Nガスを用いることができる。また、Nガスのほか、例えばHeガス、Neガス、Arガス等の希ガスを用いてもよい。
また、真空搬送室103と同様に、搬送室として機能するロードロック室122,123には、不活性ガス供給管252aが接続されている。不活性ガス供給管252aには、MFC252bおよびバルブ252cが設けられており、さらにその上流側に図示せぬ不活性ガス供給源が配されている。不活性ガス供給源は、パージガス供給系245のパージガス供給源245bであってもよい。ロードロック室122,123に供給する不活性ガスとしては、例えば、Nガスを用いることができる。また、Nガスのほか、例えばHeガス、Neガス、Arガス等の希ガスを用いてもよい。
主に、不活性ガス供給管251a、MFC251b、バルブ251cにより、第一不活性ガス供給系(第一不活性ガス供給部)が構成される。第一不活性ガス供給系は、不活性ガス供給源を含めて考えてもよい。また、第一不活性ガス供給系は、ロードロック室122,123へのガス供給を行う不活性ガス供給管252a、MFC252b、バルブ252c、不活性ガス供給源を含めて考えてもよい。
(第一排気系)
また、本実施形態で説明する基板処理装置は、上述した搬送室への不活性ガスの供給に加えて、当該搬送室からの雰囲気の排気も行い得るようになっている。
そのために、搬送室として機能する真空搬送室103には、排気配管261aが接続されている。排気配管261aには、真空ポンプ261bが設けられる。真空ポンプ261bは、排気配管261aを介して、真空搬送室103の雰囲気を排気する。なお、真空ポンプ261bの下流側において、排気配管261aは、二股に分岐しており、それぞれにバルブ261c,261dが設けられているとともに、分岐した一方の排気配管261aが後述するフィルタ270に接続されている。
また、真空搬送室103と同様に、搬送室として機能するロードロック室122,123には、排気配管262aが接続されている。排気配管262aには、真空ポンプ262bが設けられる。真空ポンプ262bは、排気配管262aを介して、ロードロック室122,123の雰囲気を排気する。真空ポンプ262bの下流側には、バルブ262cが設けられる。なお、真空ポンプ262bの下流側において、排気配管262aは、上述した排気配管261aと同様に、二股に分岐していてもよい。
主に、真空搬送室103からの排気を行う排気配管261a、真空ポンプ261b、バルブ261c,261dにより、第一排気系(第一排気部)が構成される。第一排気系は、ロードロック室122,123からの排気を行う排気配管262a、真空ポンプ262b、バルブ262cを含めて考えてもよい。
(第二不活性ガス供給系)
また、本実施形態で説明する基板処理装置は、搬送室から排気された不活性ガスを、各処理モジュール201a~201d内に形成される処理室202a~202dに供給し得るようになっている。
そのために、第一排気系を構成する排気配管261a,262aの下流側には、フィルタ270が設けられている。そして、フィルタ270には、各処理モジュール201a~201dに個別に対応して設けられた不活性ガス供給管271a~271dが接続されている。なお、図中には、処理モジュール201aに対応する不活性ガス供給管271aと、処理モジュール201aに対応する不活性ガス供給管271dとを示しており、他は図示を省略している。
不活性ガス供給管271aには、バルブ272aが設けられている。そして、その下流側端が、処理モジュール201aにおけるパージガス供給系245に接続されている。これにより、第一排気部により排気された不活性ガスは、不活性ガス供給管271aを通じて、処理モジュール201aのシャワーヘッド230内から処理室202内に供給される。つまり、不活性ガス供給管271aは、処理モジュール201aにおけるパージガス供給系245の第三ガス供給管245aに接続されるか、または当該パージガス供給系245のパージガス供給源245bとして機能するようになっている。
なお、不活性ガス供給管271dをはじめとする他の不活性ガス供給管についても、上述した不活性ガス供給管271aと同様に構成されているものとする。つまり、各不活性ガス供給管271a~271dは、各処理モジュール201a~201dにおける処理室202a~202dのそれぞれに対して、不活性ガスを個別に供給するようになっている。ただし、不活性ガスとしては、主として、第一排気系から排気されるものを用いる。
主に、各不活性ガス供給管271a~271d、これらのそれぞれに設けられたバルブ272a~272dにより、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)が構成される。第二不活性ガス供給系は、フィルタ270を含めて考えてもよく、そのフィルタ270を介して第一排気系に連通される。
第二不活性ガス供給系における各不活性ガス供給管271a~271dには、バルブ272a~272dよりも上流側に、不活性ガス補充管273a~273dが接続されていてもよい。不活性ガス補充管273a~273dには、バルブ274a~274dが設けられており、さらにその上流側に図示せぬ不活性ガス供給源が配されている。不活性ガス供給源は、各不活性ガス供給管271a~271dを流れる不活性ガス(例えば、Nガス、Heガス、Neガス、Arガス等)を当該不活性ガス供給管271a~271dに補充するためのものであり、パージガス供給系245のパージガス供給源245bを用いてもよい。より良くは、各不活性ガス供給管273a~273dは、バルブ272a~272dの下流側に接続されることが望ましい。バルブ272a~272dを絞りつつ、各不活性ガス供給管273a~273dから不活性ガスを供給すると、フィルタ270への不活性ガス流れを形成することが抑制され、したがって各処理室202の圧力調整を容易に行うことができる。
主に、不活性ガス補充管273a~273d、これらのそれぞれに設けられたバルブ274a~274dにより、不活性ガスを補充可能な不活性ガス補充系(不活性ガス補充部)が構成される。不活性ガス補充系は、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)に含めて考えてもよい。
(4)コントローラの構成
次に、コントローラ281の詳細な構成について説明する。
コントローラ281は、既述のように、基板処理装置を構成する各部の動作を制御する制御部(制御手段)として機能するもので、演算部や記憶部等を少なくとも有するコンピュータ装置によって構成されている。そして、コントローラ281は、上述した基板処理装置の各構成に接続され、上位装置や使用者の指示に応じて、記憶部からプログラムやレシピを呼び出し、その内容に応じて各構成の動作を制御する。
具体的には、コントローラ281は、真空搬送ロボット112、大気搬送ロボット124、ゲートバルブ160,161a,161b,161c,161d,165,128,129、ポッドオープナ108、プリアライナ106、および、クリーンユニット118とそれぞれ電気的に接続され、これらの各部に対して動作指示を与えるように構成されている。
また、コントローラ281は、各処理モジュール201a~201dの昇降機構218、ヒータ213、MFC243c~248c、バルブ243d~248d、MFC249c,251b,252b、バルブ243d~248d,251c,252c,261c,261d,262c,274a~274d、APCバルブ223、真空ポンプ224,261b,262b等のそれぞれと電気的に接続され、これらの各部に対して動作指示を与えるように構成されている。つまり、コントローラ281による制御対象には、少なくとも、ガス供給系からのガス供給、ガス排気系によるガス排気、第一不活性ガス供給系および第二不活性ガス供給系からの不活性ガスの供給、並びに、第一排気系によるガス排気等が含まれる。
なお、コントローラ281は、専用のコンピュータとして構成してもよいし、汎用のコンピュータとして構成してもよい。例えば、上述のプログラムを格納した外部記憶装置(例えば、磁気テープ、フレキシブルディスクやハードディスク等の磁気ディスク、CDやDVD等の光ディスク、MO等の光磁気ディスク、USBメモリやメモリカード等の半導体メモリ)を用意し、その外部記憶装置を用いて汎用のコンピュータにプログラムをインストールすることにより、本実施形態に係るコントローラ281を構成することができる。
また、コンピュータにプログラムを供給するための手段は、外部記憶装置を介して供給する場合に限らない。例えば、インターネットや専用回線等の通信手段を用い、外部記憶装置を介さずにプログラムを供給するようにしてもよい。なお、記憶部や外部記憶装置は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体として構成される。以下、これらを総称して、単に記録媒体ともいう。なお、本明細書において記録媒体という言葉を用いた場合は、記憶部単体のみを含む場合、外部記憶装置単体のみを含む場合、または、その両方を含む場合がある。
(5)基板処理工程
次に、半導体製造工程の一工程として、上述した構成の基板処理装置を用いて、基板200に対する処理を行う基板処理工程について説明する。なお、以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ281により制御される。
ここでは、基板処理工程として、基板200上に薄膜を形成する場合を例に挙げる。特に、本実施形態においては、原料ガス(第一ガス)としてDCSガスを用い、反応ガス(第二ガス)としてNHガスを用いて、これらのガスを交互に供給して基板200上にシリコン含有膜としてのSiN(シリコン窒化)膜を形成する例について説明する。
図5は、第一実施形態に係る基板処理工程の概要を示すフロー図である。図6は、図5の成膜工程の詳細を示すフロー図である。
(基板搬入・加熱工程:S102)
基板処理工程に際しては、図5に示すように、まず、基板搬入・加熱工程(S102)を行う。基板搬入・加熱工程(S102)では、排気配管262aによりロードロック室122,123の雰囲気を排気するとともに、不活性ガス供給管252aからロードロック室122,123に不活性ガスとしてのNガスを供給することで、ロードロック室122,123をNガス雰囲気とする。さらには、排気配管261aにより真空搬送室103の雰囲気を排気するとともに、不活性ガス供給管251aから真空搬送室103に不活性ガスとしてのNガスを供給することで、真空搬送室103をNガス雰囲気とする。そして、真空搬送室103内の真空搬送ロボット112を利用して、各処理容器203内に基板200を搬入する。
処理容器203内に基板200を搬入したら、真空搬送ロボット112を処理容器203の外へ退避させ、ゲートバルブ205を閉じて処理容器203内を密閉する。その後、基板載置台212を上昇させることにより、基板載置台212に設けられた基板載置面211上に基板200を載置させる。さらに、基板載置台212を上昇させることにより、処理室202内の処理位置(基板処理位置)まで基板200を上昇させる。
基板200が基板処理位置まで上昇すると、APCバルブ223を稼働させて、排気バッファ室209と真空ポンプ224の間を連通させる。APCバルブ223は、排気配管222のコンダクタンスを調整することで、真空ポンプ224による排気バッファ室209の排気流量を制御し、排気バッファ室209に連通する処理室202を所定の圧力に維持する。
また、基板200を基板載置台212の上に載置する際は、基板載置台212の内部に埋め込まれたヒータ213に電力を供給し、基板200の表面が所定の処理温度となるよう制御される。この際、ヒータ213の温度は、図示しない温度センサにより検出された温度情報に基づいてヒータ213への通電具合を制御することによって調整される。
このようにして、基板搬入・加熱工程(S102)では、処理室202内を所定の処理圧力となるように制御するとともに、基板200の表面温度が所定の処理温度となるように制御する。ここで、所定の処理温度、処理圧力とは、後述する成膜工程(S104)において、交互供給法によりSiN膜を形成可能な処理温度、処理圧力である。すなわち、第一処理ガス(原料ガス)供給工程(S202)で供給する原料ガスが自己分解しない程度の処理温度、処理圧力である。具体的には、処理温度は室温以上500℃以下、好ましくは室温以上400℃以下、処理圧力は50~5000Paとすることが考えられる。この処理温度、処理圧力は、後述する成膜工程(S104)においても維持されることになる。
なお、基板搬入・加熱工程(S102)において、処理室202が所定の処理圧力(すなわち、基板200を処理する圧力)に到達するまでは、処理室202の圧力調整用として、パージガス供給系245の第三ガス供給管245aから不活性ガスとしてのNガスを供給するようにしてもよい。このとき、第三ガス供給管245aから供給するNガスは、第二不活性ガス供給系の不活性ガス供給管271a~271dを通じて得られるものを用いれば、真空搬送室103またはロードロック室122,123に供給されたNガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(成膜工程:S104)
基板搬入・載置工程(S102)の後は、次に、成膜工程(S104)を行う。以下、図6を参照し、成膜工程(S104)について詳細に説明する。なお、成膜工程(S104)は、例えば異なる処理ガスを交互に供給する工程を繰り返すサイクリック処理である。
(第一処理ガス供給工程:S202)
成膜工程(S104)では、まず、第一処理ガス(原料ガス)供給工程(S202)を行う。第一処理ガス供給工程(S202)では、原料ガス供給系243から処理室202内に原料ガス(第一ガス)としてDCSガスを供給する。処理室202内に供給されたDCSガスは、基板処理位置にある基板200の面上に到達する。これにより、基板200の表面には、DCSガスが接触することによって「第一元素含有層」としてのシリコン含有層が形成される。シリコン含有層は、例えば、処理容器203内の圧力、DCSガスの流量、基板載置台212の温度、処理室202の通過にかかる時間等に応じて、所定の厚さおよび所定の分布で形成される。
DCSガスの供給を開始してから所定時間経過後、バルブ243dを閉じて、DCSガスの供給を停止する。なお、第一処理ガス供給工程(S202)では、APCバルブ223によって処理室202の圧力が所定圧力となるように制御される。
(パージ工程:S204)
第一処理ガス供給工程(S202)の後は、次に、パージガス供給系245からパージガスとしてのNガスを供給し、処理室202およびシャワーヘッド230のパージを行う。これにより、第一処理ガス供給工程(S202)で基板200に結合できなかったDCSガスは、真空ポンプ224により処理室202から除去される。
このとき、処理室202に供給するNガスは、第二不活性ガス供給系の不活性ガス供給管271a~271dを通じて得られるものを用いる。このようにすれば、真空搬送室103またはロードロック室122,123に供給されたNガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
ガスの再利用に際しては、フィルタ270を介することで、クリーンなNガスを処理室202に供給可能である。例えば、フィルタ270を介さない場合には、搬送室(すなわち、真空搬送室103またはロードロック室122,123)の雰囲気をそのまま処理室202に供給することになり、不純物等が混入して処理室202での処理に悪影響を及ぼすおそれがある。これに対し、フィルタ270を介する場合には、そのフィルタ270で不純物等が除去されるので、クリーンなNガスを供給可能となり、不純物等による悪影響のおそれを排除することができる。
再利用するNガスは、主に真空搬送室103から排気されるものを用いることが好ましい。つまり、Nガスの再利用に際して、Nガスが排気される搬送室は、真空搬送室103であることが好ましい。
ロードロック室122,123は、大気搬送室121と真空搬送室103との間にあり、大気圧と真空圧との状態遷移を繰り返す。そのため、ロードロック室122,123は、大気搬送室121と連通させる際、大気搬送室121中の成分(例えば酸素成分)が入り込む可能性がある。その成分が処理室202に供給されてしまうと、基板処理に悪影響を及ぼす可能性がある。この点については、フィルタ270として高性能のものを用いることも考えられるが、その場合にはコスト増大を招くことが懸念される。
これに対して、真空搬送室103は、真空状態の大気搬送室121と連通する。そのため、真空搬送室103から排気されるNガスを用いれば、ロードロック室122,123の場合とは異なり、クリーンなNガスを利用することができ、大気中に含まれる不純物の影響を受けることがない。したがって、高性能のフィルタ270を要することなく、基板処理への悪影響のおそれを排除することができる。また、除去レベルが低いフィルタ270を用いることができるので、装置費用のコスト増大を抑えることができる。
真空搬送室103から排気されるNガスを用いる場合、その排気を行う第一排気系(第一排気部)には、さらにNガスを排気する不活性ガス排気管が設けられていることが好ましい。具体的には、真空ポンプ261bの下流側にて二股に分岐する排気配管261aのうち、フィルタ270に接続されていないほうの排気配管261a(図中では261eと記載)から、外部に対してNガスの排気を行うようにする。このようにすれば、真空搬送室103から排気される雰囲気中の不純物の割合を少なくすることができ、クリーンなNガスを供給する上で好適なものとなる。なお、このような排気構成は、真空搬送室103からの排気のみならず、ロードロック室122,123からの排気に適用してもよい。
また、処理室202へのNガスの供給にあたっては、不活性ガス供給管271a~271dを流れるNガスに対して、その不活性ガス供給管271a~271dに接続する不活性ガス補充管273a~273dからNガスを補充するようにしてもよい。このようにすれば、Nガスを再利用する場合であっても、そのNガスの供給量に不足が生じてしまうことがない。また、不活性ガス補充管273a~273dから補充されるNガスにより、再利用されるNガス(すなわち、真空搬送室103等から排気されるNガス)のクリーン度を高めることができ、基板処理への悪影響のおそれを排除する上で好適なものとなる。
(第二処理ガス供給工程:S206)
以上のようなパージ工程(S204)を所定時間行った後は、次に、反応ガス供給系244から処理室202内に反応ガス(第二ガス)としてNHガスを供給する。NHガスは、RPU244eによりプラズマ状態とされ、基板処理位置にある基板200の面上に照射されるようにしてもよい。これにより、基板200の面上では、既に形成されているシリコン含有層が改質され、例えばSi元素およびN元素を含有する層であるSiN膜が形成される。
そして、所定時間の経過後、バルブ244dを閉じて、NHガスの供給を停止する。なお、第二処理ガス供給工程(S206)においても、上述した第一処理ガス供給工程(S202)と同様に、APCバルブ223によって処理室202の圧力が所定圧力となるように制御される。
(パージ工程:S208)
第二処理ガス供給工程(S206)の後は、パージ工程(S208)を実行する。パージ工程(S208)における各部の動作は、上述したパージ工程(S204)の場合と同様であるので、ここではその説明を省略する。
(判定工程:S210)
パージ工程(S208)を終えると、続いて、コントローラ281は、上述した一連の処理(S202~S208)を1つのサイクルとし、その1サイクルを所定回数(n cycle)実施したか否かを判定する。そして、所定回数実施していなければ、第一処理ガス供給工程(S202)からパージ工程(S208)までの1サイクルを繰り返す。一方、所定回数実施したときには、成膜工程(S104)を終了する。
このように、成膜工程(S104)では、第一処理ガス供給工程(S202)からパージ工程(S208)までの各工程を順次行うことで、基板200の面上に所定の厚さのSiN膜が堆積される。そして、これらの各工程を1サイクルとし、その1サイクルを所定回数繰り返すことで、基板200の面上に形成されるSiN膜が所望の膜厚に制御される。
つまり、成膜工程(S104)では、処理室202に基板200がある状態で、原料ガス供給系243および反応ガス供給系244の処理ガス供給系(処理ガス供給部)が、少なくとも二種類の処理ガス(すなわち、原料ガスおよび反応ガス)を交互に供給して、基板200の面上に所望膜厚のSiN膜を形成する。そして、これらの処理ガスをパージする際に、真空搬送室103等から排気されるNガスを、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)が不活性ガス補充管273a~273dを通じて処理室202に供給する。これにより、処理ガスに影響を与えずに、真空搬送室103等のNガスを再利用することができ、その結果としてNガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
なお、成膜工程(S104)において、不活性ガス補充管273a~273dを通じたNガスの供給は、処理ガス供給系(処理ガス供給部)からの処理ガス供給と並行して行うようにしてもよい。その場合であっても、真空搬送室103等のNガスを再利用することで、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(基板搬入出工程:S106)
以上のような成膜工程(S104)の終了後は、図5に示すように、基板搬入出工程(S106)を行う。基板搬入出工程(S106)では、上述した基板搬入・加熱工程(S102)と逆の手順にて、処理済みの基板200を処理容器203の外へ搬出する。そして、基板搬入・加熱工程(S102)と同様の手順にて、次に待機している未処理の基板200を処理容器203内に搬入する。その後、搬入された基板200に対しては、成膜工程(S104)が実行されることになる。
なお、基板搬入出工程(S106)において、処理室202が所定の圧力(すなわち、処理済みの基板200を搬出可能な圧力)に到達するまでは、処理室202の圧力調整用として、パージガス供給系245の第三ガス供給管245aからNガスを供給するようにしてもよい。このとき、第三ガス供給管245aから供給するNガスは、第二不活性ガス供給系の不活性ガス供給管271a~271dを通じて得られるものを用いれば、真空搬送室103等のNガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(判定工程:S108)
基板搬入出工程(S106)を終えると、その後は、上述した一連の処理(S102~S106)を1つのサイクルとし、その1サイクルを所定回数実施したか否か、すなわち成膜工程(S104)で処理した基板200が所定の枚数に到達したか否かを判定する。そして、所定回数実施していなければ、処理した基板200が所定の枚数に到達していないので、基板搬入・加熱工程(S102)から基板搬入出工程(S106)までの1サイクルを繰り返す。一方、所定回数実施したときには、基板処理工程を終了する。
基板処理工程が終了すると、処理容器203内は、基板200が存在しない状態となる。
(クリーニング工程)
上述した基板処理工程を繰り返し行うと、処理容器203内(特に、処理室202内)では、副生成物等の不要な反応物が壁面に付着してしまうおそれがある。そのため、基板処理工程の終了後は、所定のタイミング(例えば、所定回数の基板処理工程の実行後、所定枚数の基板200を処理した後、前回のクリーニング処理から所定の時間が経過した後等)で、処理室202のクリーニング工程を行うことが好ましい。
クリーニング工程では、バルブ243d、244d、245d、246d、247d、249dを閉とした状態で、バルブ248dを開状態とする。このようにすることで、処理室202には、クリーニングガス供給系248のクリーニングガス供給源248bから、第三ガス供給管245aおよび共通ガス供給管242を介して、クリーニングガスが供給される。そして、供給されたクリーニングガスは、バッファ室232内や処理室202内の付着物(反応副生成物等)を除去する。
これにより、処理室202内では、例えば副生成物等が壁面に付着した場合であっても、所定のタイミングで行うクリーニング処理によって、その副生成物等が除去されることになる。
このとき、クリーニングガス供給系248は、処理容器203内に基板200が無い状態で、処理室202へのクリーニングガス供給を行う。そして、これと合わせて、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)は、処理室202へのNガスの供給を行う。つまり、第二不活性ガス供給系は、クリーニングガス供給系248によるクリーニングガスと並行して、処理室202へのNガスの供給を行うのである。
これにより、処理室202に対するクリーニング処理を行いつつ、Nガスの再利用が可能となり、クリーニング工程で用いるNガスの使用量(消費量)を抑制することができる
ところで、以上に説明した基板処理工程およびクリーニング工程を実行する基板処理装置は、真空搬送室103の周囲に複数の処理モジュール201a~201dを備えた、いわゆるクラスタタイプのものである。各処理モジュール201a~201dには、それぞれに基板200に対する処理を行う処理室202a~202dが設けられており、各処理室202a~202dのそれぞれに対して不活性ガス供給管271a~271dを通じてNガスが供給可能になっている。その場合に、Nガスの供給を行う第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)は、稼働している処理室202にNガスを供給し、稼働していない処理室202にはNガスを供給しないようにする。
ここで、「稼働していない処理室」とは、ダウンタイム中の処理室202のことをいう。「ダウンタイム」とは、例えばガスを流さない状態でメンテナンス(部品交換等)を行う場合のことをいう。つまり、「稼働していない」とは、処理室202へのガス供給(処理ガス、不活性ガス等の供給)を一切行っていない状態である。
このように、複数の処理室202a~202dに対するNガスの供給を、各処理室202a~202dの稼働状態に応じて切り換えるようにすれば、ダウンタイム中の処理室202のメンテナンスと並行して、基板処理工程またはクリーニング工程を実行することが可能となり、効率的な装置運用が実現可能となる。しかも、基板処理工程またはクリーニング工程では、Nガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(6)実施形態にかかる効果
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(a)本実施形態によれば、搬送室から排気された不活性ガスとしてのNガスを第二不活性ガス供給系が処理室202に供給するようになっているので、Nガスの再利用が可能となり、その結果としてNガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(b)本実施形態によれば、Nガスの再利用に際してフィルタ270を介することで、クリーンなNガスを処理室202に供給可能である。つまり、フィルタ270で不純物等が除去されるので、その不純物等による悪影響が基板処理に及ぶおそれを排除することができる。
(c)本実施形態によれば、成膜工程(S104)において、処理室202に基板200がある状態で、少なくとも二種類の処理ガスを交互に供給して、基板200の面上への膜形成を行う一方で、これらの処理ガスをパージする際に、または、処理ガス供給と並行して、再利用するNガスをパージガスとして供給するようになっている。これにより、処理ガスに影響を与えずに、Nガスを再利用することができ、その結果としてNガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(d)本実施形態によれば、基板搬入・加熱工程(S102)において処理室202が基板200を処理する圧力に到達するまで、または、基板搬入出工程(S106)において処理室202が基板200を搬出可能な圧力に到達するまで、再利用するNガスを圧力調整用として供給するようになっている。これにより、Nガスを圧力調整用として用いる場合でも、Nガスを再利用することができ、その結果としてNガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(e)本実施形態によれば、再利用するNガスが排気される搬送室が真空搬送室103であるので、クリーンなNガスを再利用することができ、大気中に含まれる不純物の影響を受けることがない。そのため、高性能のフィルタ270を要することなく、基板処理への悪影響のおそれを排除することができる。また、除去レベルが低いフィルタ270を用いることができるので、装置費用のコスト増大を抑えることができる。
(f)本実施形態によれば、クリーニング工程でのクリーニングガスと並行して、再利用するNガスを処理室202へ供給するので、処理室202に対するクリーニング処理を行いつつ、Nガスの再利用が可能となり、クリーニング工程で用いるNガスの使用量(消費量)を抑制することができる
(g)本実施形態によれば、複数の処理室202a~202dのそれぞれに対して、再利用するNガスを供給可能な場合において、稼働している処理室202にNガスを供給し、稼働していない処理室202にはNガスを供給しないようにする。このように、Nガスの供給を各処理室202a~202dの稼働状態に応じて切り換えるようにすれば、ダウンタイム中の処理室202のメンテナンスと並行して、基板処理工程またはクリーニング工程を実行することが可能となり、効率的な装置運用が実現可能となる。しかも、基板処理工程またはクリーニング工程では、Nガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(h)本実施形態によれば、不活性ガス供給管271a~271dに接続する不活性ガス補充管273a~273dからNガスを補充することが可能である。このようにすれば、Nガスを再利用する場合であっても、そのNガスの供給量に不足が生じてしまうことがない。また、不活性ガス補充管273a~273dから補充されるNガスにより、再利用されるNガス(すなわち、真空搬送室103等から排気されるNガス)のクリーン度を高めることができ、基板処理への悪影響のおそれを排除する上で好適なものとなる。
(i)本実施形態によれば、フィルタ270に接続されていない排気配管261aから、外部に対してNガスの排気を行うことが可能である。このようにすれば、真空搬送室103から排気される雰囲気中の不純物の割合を少なくすることができ、クリーンなNガスを供給する上で好適なものとなる。
<第二実施形態>
次に、本開示の第二実施形態について具体的に説明する。ここでは、主として、上述した第一実施形態との相違点について説明し、その他の点については説明を省略する。
本実施形態では、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)の構成が、第一実施形態の場合とは相違する。
図7は、第二実施形態に係る基板処理装置のガス供給系およびガス排気系の要部構成例を模式的に示す説明図である。
(第二不活性ガス供給系)
本実施形態で説明する基板処理装置は、搬送室から排気された不活性ガスを、処理モジュール201内に形成される処理室202の下流部に供給し得るようになっている。なお、図例では一つの処理モジュール201のみを示しているが、複数の処理モジュール201a~201dを備えていてもよく、各処理モジュール201a~201dのそれぞれに対して第二不活性ガス供給系を同様に構成し得ることは、第一実施形態の場合と同様である。つまり、ここでは説明の簡略化のため、一つの処理モジュール201を例に挙げて以下の説明を行う。
処理室202の下流部は、真空ポンプ224とスクラバー225との間に配された排気配管222、特に当該排気配管222における真空ポンプ224の下流側近傍部分である。つまり、本実施形態においては、処理室202からの排気を行う排気ポンプとしての真空ポンプ224と、その真空ポンプ224による排気ガスを浄化する除外装置としてのスクラバー225との間に、処理室用排気管としての排気配管222が配されており、その排気配管222における真空ポンプ224の下流側で当該真空ポンプ224の近傍部分に対して、搬送室から排気された不活性ガスを供給し得るようになっている。
そのために、本実施形態において、第一排気系を構成する排気配管261aの下流側には、ヒートエクスチェンジャ275が設けられている。ヒートエクスチェンジャ275は、排気配管222に供給する不活性ガスを加熱する加熱部として機能する。なお、不活性ガスを加熱可能であれば、ヒートエクスチェンジャ275ではなく、配管を加熱するヒータ等の加熱機構275aを設けてもよい。
ヒートエクスチェンジャ275には、不活性ガス供給管271が接続されている。不活性ガス供給管271は、バルブ272が設けられているとともに、その下流側端が排気配管222(すなわち、処理室202の下流部)に接続されている。これにより、第一排気部により排気された不活性ガスは、不活性ガス供給管271を通じて、処理室202の下流部である排気配管222に供給される。
主に、不活性ガス供給管271およびバルブ272により、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)が構成される。第二不活性ガス供給系は、ヒートエクスチェンジャ275を含めて考えてもよく、そのヒートエクスチェンジャ275を介して第一排気系に連通される。
ヒートエクスチェンジャ275よりも上流側には、不活性ガス補充管273が接続されていてもよい。不活性ガス補充管273には、バルブ274が設けられており、さらにその上流側に図示せぬ不活性ガス供給源が配されている。不活性ガス供給源は、不活性ガス補充管273を流れる不活性ガス(例えば、Nガス、Heガス、Neガス、Arガス等)を当該不活性ガス補充管273に補充するためのものであり、パージガス供給系245のパージガス供給源245bを用いてもよい。
主に、不活性ガス補充管273およびバルブ274により、不活性ガスを補充可能な不活性ガス補充系(不活性ガス補充部)が構成される。不活性ガス補充系は、第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)に含めて考えてもよい。
(基板処理工程)
次に、以上のような第二不活性ガス供給系を利用して行う基板処理工程について説明する。
基板処理工程における成膜工程(S104)は、第一実施形態の場合と同様に、処理室202に基板200がある状態で、少なくとも二種類の処理ガス(すなわち、原料ガスおよび反応ガス)を交互に供給して、基板200の面上への膜形成を行う。その場合に、処理室202からの排気を行うガス排気系において、真空ポンプ224の後段(すなわち、真空ポンプ224よりも下流側の排気配管222)には、少なくとも二種類の処理ガスが流れる。
このとき、排気配管222を流れる処理ガスが冷えていると、真空ポンプ224の下流側の排気配管222内に副生成物が発生し得る。副生成物が発生すると、真空ポンプ224とスクラバー225との間において、排気配管222内に副生成物が堆積して圧力損失が大きくなり、そのために真空ポンプ224の排圧が落ちるおそれがある。
そこで、本実施形態においては、排気ガスが固まって排気配管222を塞ぐのを回避すべく、真空搬送室103から排気される不活性ガスとしてのNガスをヒートエクスチェンジャ275で加熱し、その加熱後のNガスを、不活性ガス補充管273を通じて真空ポンプ224の下流側の排気配管222内に供給する。これにより、排気配管222内では、排気ガスが固まらないようにすることができ、副生成物の発生が抑制されるので、その結果として真空ポンプ224の排圧が保たれることになる。しかも、排気配管222に供給するNガスは、真空搬送室103に供給されたNガスを再利用するので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
具体的には、基板処理工程にあたり、まず、処理室202で基板200を処理する前に、ヒートエクスチェンジャ275が稼働される。このように、処理室202からの排気ガスが真空ポンプ224を通過する前に、排気配管222に供給するNガスを加熱可能にしておくことで、その排気配管222を流れる排気ガスが固まってしまうのを確実に回避し得るようになる。
その後、成膜工程(S104)では、第一実施形態で説明したように、処理室202に基板200がある状態で、少なくとも二種類の処理ガス(すなわち、原料ガスおよび反応ガス)を交互に供給して、基板200の面上への膜形成を行う。そして、処理室202への処理ガス供給と並行して、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給する。つまり、排気配管222内において、加熱されたNガスを、処理室202から排気される処理ガスの加熱および希釈のために用いる。
このように、処理室202への処理ガス供給と並行して、加熱されたNガスの排気配管222内への供給を行うことで、それぞれの供給タイミングが合致する。例えば、それぞれを異なるタイミングで別々に供給すると、処理ガスの温度は低いままなので、排気配管222内で固まってしまうおそれがある。これに対して、それぞれの供給タイミングを合致させれば、加熱されたNガスによって処理ガスが加熱および希釈されることになり、より確実に排気ガスが固まるのを防ぐことができる。
また、処理ガスを希釈可能であれば、例えば処理ガスが水素等の可燃性物質を含む場合であっても、希釈により燃焼や爆発等を未然に防止し得るので、剛性が低い配管材を用いて排気配管222を構成することができる。
また、成膜工程(S104)では、第一実施形態で説明したように、少なくとも二種類の処理ガス(すなわち、原料ガスおよび反応ガス)を交互に供給するとともに、各処理ガスの供給の間に処理室202のパージを行う。そして、処理室202のパージと並行して、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給する。つまり、加熱されたNガスを、排気配管222内にパージガスとして供給する。
このように、処理室202のパージと並行して、加熱されたNガスの排気配管222内への供給を行うことで、処理室202のみならず、真空ポンプ224の下流側の排気配管222内についてもパージされることになる。そのため、処理室202から排気された処理ガスが排気配管222内に残ガスとして滞留するのを防止でき、これにより排気配管222内で排気ガスが固まるのを防ぐことができる。
また、成膜工程(S104)に先立って行う基板搬入・加熱工程(S102)において、処理室202が所定の処理圧力(すなわち、基板200を処理する圧力)に到達するまでは、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給するようにしてもよい。
さらには、成膜工程(S104)の後に行う基板搬入出工程(S106)において、処理室202が所定の圧力(すなわち、処理済みの基板200を搬出可能な圧力)に到達するまでは、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給するようにしてもよい。つまり、この場合も、加熱されたNガスを、排気配管222内の圧力調整用として用いる。
このように、加熱されたNガスを排気配管222内の圧力調整用として用いれば、排気配管222内に残留したガスの固着を防ぎつつ、圧力調整によって処理室202へのガスの逆流を確実に防ぐことができる。
基板200に対する処理を行う処理室202が複数設けられている場合には、稼働している処理室202の下流部に加熱されたNガスを供給し、稼働していない処理室202の下流部には加熱されたNガスを供給しないようにする。
このように、複数の処理室202に対するNガスの供給を、各処理室202の稼働状態に応じて切り換えるようにすれば、ダウンタイム中の処理室202のメンテナンスと並行して、基板処理工程またはクリーニング工程を実行することが可能となり、効率的な装置運用が実現可能となる。しかも、基板処理工程またはクリーニング工程では、Nガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(実施形態にかかる効果)
本実施形態によれば、以下に示す1つまたは複数の効果を奏する。
(j)本実施形態によれば、搬送室から排気された不活性ガスとしてのNガスを第二不活性ガス供給系が処理室202の下流部に供給するようになっている。そのため、排気配管222内での副生成物の発生を抑制する場合に、Nガスの再利用が可能となり、その結果としてNガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
(k)本実施形態によれば、ヒートエクスチェンジャ275で加熱したNガスを、処理室202の下流部である排気配管222内に供給する。そのため、排気配管222内の排気ガスの温度低下を抑制することができ、より確実に排気ガスが固まるのを防ぐことができる。つまり、排気配管222を流れる排気ガスが固まってしまうのを確実に回避でき、これにより排気配管222内での副生成物の発生が抑制されるので、その結果として真空ポンプ224の排圧が保たれることになる。
(l)本実施形態によれば、処理室202で基板200を処理する前にヒートエクスチェンジャ275が稼働されるので、処理室202からの排気ガスが真空ポンプ224を通過する前にNガスを加熱することが可能となり、その排気配管222を流れる排気ガスが固まってしまうのを確実に回避し得るようになる。
(m)本実施形態によれば、成膜工程(S104)において、処理室202への処理ガス供給と並行して、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給する。このように、処理室202への処理ガス供給と排気配管222内への加熱されたNガスの供給とのタイミングが合致させることで、加熱されたNガスによって処理ガスが加熱および希釈されることになり、より確実に排気ガスが固まるのを防ぐことができる。また、処理ガスを希釈可能であれば、剛性が低い配管材を用いて排気配管222を構成することができる。
(n)本実施形態によれば、成膜工程(S104)において、処理室202のパージと並行して、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給する。このように、処理室202のみならず、真空ポンプ224の下流側の排気配管222内についてもパージすることで、処理室202から排気された処理ガスが排気配管222内に残ガスとして滞留するのを防止でき、これにより排気配管222内で排気ガスが固まるのを防ぐことができる。
(o)本実施形態によれば、基板搬入・加熱工程(S102)において処理室202が基板200を処理する圧力に到達するまで、または、基板搬入出工程(S106)において処理室202が基板200を搬出可能な圧力に到達するまで、ヒートエクスチェンジャ275で加熱されたNガスを排気配管222内に供給する。このように、加熱されたNガスを排気配管222内の圧力調整用として用いることで、排気配管222内に残留したガスの固着を防ぐことができる。
(p)本実施形態によれば、処理室202が複数設けられている場合において、稼働している処理室202の下流部に加熱されたNガスを供給し、稼働していない処理室202の下流部には加熱されたNガスを供給しないようにする。このように、複数の処理室202に対するNガスの供給を、各処理室202の稼働状態に応じて切り換えるようにすれば、ダウンタイム中の処理室202のメンテナンスと並行して、基板処理工程またはクリーニング工程を実行することが可能となり、効率的な装置運用が実現可能となる。しかも、基板処理工程またはクリーニング工程では、Nガスを再利用することになるので、Nガスの使用量(消費量)を抑制することができる。
<第三実施形態>
次に、本開示の第三実施形態について具体的に説明する。ここでも、主として、上述した第一実施形態または第二実施形態との相違点について説明し、その他の点については説明を省略する。
本実施形態で説明する基板処理装置は、第一実施形態または第二実施形態で説明した構成に加えて、搬送室からの排気を行う第一排気系(第一排気部)、または、処理室202もしくは処理室202の下流部に不活性ガスとしてのNガスを供給する第二不活性ガス供給系(第二不活性ガス供給部)のいずれか一方に、不純物の濃度を検出する検出部が設けられている。図1においては、検出部276a、276bがそれに該当する。また、図7においては検出部276がそれに該当する。検出部は、例えば、不純物である酸素成分(O成分)の濃度を検出するOセンサである。
搬送室(すなわち、真空搬送室103またはロードロック室122,123)に供給されるNガスには、酸素成分を含むことが考えられる。特に、ロードロック室122,123では、大気と入れ替える際に、基板処理に悪影響を及ぼし得る不純物として酸素成分が入り込む可能性がある。
そこで、本実施形態においては、搬送室から排気されるNガス、または、処理室202もしくはその下流部に供給するNガスについて、検出部を用いて不純物濃度を検出する。このようにすれば、処理室202またはその下流部に供給しようとするNガスについて、どの程度の不純物(酸素成分)を含んでいるかを定量的に把握することが可能となる。
そして、検出部が検出した不純物濃度が所定値以上の場合には、処理室202またはその下流部にNガスを供給する第二不活性ガス供給系が、当該供給を行わないようにする。ここで、判断基準となる所定値は、基板処理に悪影響を及ぼす不純物濃度に相当する値であり、予め定められているものとする。このように、不純物濃度が所定値以上の場合にNガスの供給を行わないようにすれば、処理室202での基板処理を行った結果、廃棄する基板200を発生させてしまう、といったことを未然に回避できるようになる。
また、検出部が検出した不純物濃度が所定値以上の場合には、Nガスを供給しないようにするとともに、Nガスを補充可能な不活性ガス補充部から当該Nガスの供給を行うようにしてもよい。つまり、搬送室から排気されるNガスについては、不純物濃度が所定値以上なので、処理室202またはその下流部への供給を行わない。その一方で、不活性ガス供給管271には不活性ガス補充管273が接続されており、その不活性ガス補充管273からのNガスの補充が可能なので、搬送室から排気されるNガスに代わって、不活性ガス補充管273から補充されるNガスを処理室202またはその下流部へ供給する。このようにすれば、廃棄する基板200の発生を未然に回避しつつ、不活性ガス補充管273から補充されるNガスを利用して処理室202での基板処理の継続が可能となり、その結果として基板200に対する基板処理の歩留まりの向上が期待できるようになる。
以上に説明した本実施形態によれば、第一実施形態または第二実施形態で説明した効果に加えて、以下に示す効果を奏する。
(q)本実施形態によれば、不純物濃度を検出する検出部を備えることで、処理室202またはその下流部に供給しようとするNガスについて、どの程度の不純物(酸素成分)を含んでいるかを定量的に把握することが可能となる。これにより、例えば、不純物濃度が所定値以上の場合にNガスの供給を行わないようにすることで、処理室202での基板処理を行った結果、廃棄する基板200を発生させてしまう、といったことを未然に回避できるようになる。また、例えば、不純物濃度が所定値以上の場合に、搬送室から排気されるNガスに代わって、不活性ガス補充管273から補充されるNガスを処理室202またはその下流部へ供給することで、廃棄する基板200の発生を未然に回避しつつ、処理室202での基板処理の継続が可能となり、基板200に対する基板処理の歩留まりの向上が期待できる。
<他の実施形態>
以上に、本開示の各実施形態を具体的に説明したが、本開示が上述の各実施形態に限定されることはなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能である。
例えば、上述した各実施形態では、基板処理装置が行う成膜処理において、第一元素含有ガス(第一ガス)としてDCSガスを用い、第二元素含有ガス(第二ガス)としてNHガスを用いて、それらを交互に供給することによって基板200上にSiN膜を形成する場合を例に挙げたが、本開示がこれに限定されることはない。すなわち、成膜処理に用いる処理ガスは、DCSガスやNHガス等に限られることはなく、他の種類のガスを用いて他の種類の薄膜を形成しても構わない。さらには、三種類以上の処理ガスを用いる場合であっても、これらを交互に供給して成膜処理を行うのであれば、本開示を適用することが可能である。具体的には、第一元素としては、Siではなく、例えばTi、Zr、Hf等、種々の元素であってもよい。また、第二元素としては、Nではなく、例えばO等であってもよい。
また、例えば、上述した各実施形態では、基板処理装置が行う処理として成膜処理を例に挙げたが、本開示がこれに限定されることはない。すなわち、本開示は、各実施形態で例に挙げた成膜処理の他に、各実施形態で例示した薄膜以外の成膜処理にも適用できる。また、基板処理の具体的内容は不問であり、成膜処理だけでなく、アニール処理、拡散処理、酸化処理、窒化処理、リソグラフィ処理等の他の基板処理を行う場合にも適用できる。さらに、本開示は、他の基板処理装置、例えばアニール処理装置、エッチング装置、酸化処理装置、窒化処理装置、露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置、プラズマを利用した処理装置等の他の基板処理装置にも適用できる。また、本開示は、これらの装置が混在していてもよい。また、ある実施形態の構成の一部を他の実施形態の構成に置き換えることが可能であり、また、ある実施形態の構成に他の実施形態の構成を加えることも可能である。また、各実施形態の構成の一部について、他の構成の追加、削除、置換をすることも可能である。
<本開示の好ましい態様>
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。
[付記1]
本開示の一態様によれば、
基板を処理する処理室と、
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
前記処理室と連通可能な搬送室と、
前記搬送室に不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給部と、
前記搬送室から雰囲気を排気する第一排気部と、
前記第一排気部により排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する第二不活性ガス供給部と、
を有する基板処理装置が提供される。
[付記2]
好ましくは、
前記第一排気部の下流に設けられたフィルタを有し、
前記第一排気部は、前記フィルタを介して、前記第二不活性ガス供給部に連通される
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記3]
好ましくは、
前記処理ガス供給部は、前記処理室に基板がある状態で、少なくとも二種類の処理ガスを交互に供給し、
前記第二不活性ガス供給部は、前記処理室に供給された処理ガスをパージする際に、または、前記処理ガス供給部による処理ガス供給と並行して、不活性ガスの供給を行う
付記1または2に記載の基板処理装置が提供される。
[付記4]
好ましくは、
前記第二不活性ガス供給部は、前記処理室での基板の処理前であって前記処理室が当該基板を処理する圧力に到達するまで、または、前記処理室での基板の処理が終了してから前記処理室が当該基板を搬出可能な圧力に到達するまで、不活性ガスの供給を行う
付記1または2に記載の基板処理装置が提供される。
[付記5]
好ましくは、
前記搬送室は、真空搬送室である
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記6]
好ましくは、
前記処理室にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部を有し、
前記クリーニングガス供給部は、前記処理室に基板が無い状態で、クリーニングガスの供給を行い、
前記第二不活性ガス供給部は、前記クリーニングガス供給部によるクリーニングガスの供給と並行して、不活性ガスの供給を行う
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記7]
好ましくは、
前記処理室は、複数設けられており、
前記第二不活性ガス供給部は、複数の前記処理室に不活性ガスを供給可能であり、稼動している前記処理室に不活性ガスを供給し、稼動していない前記処理室に不活性ガスを供給しないようにする
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記8]
好ましくは、
前記第二不活性ガス供給部には、不活性ガスを補充可能な不活性ガス補充部が設けられる
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記9]
好ましくは、
前記第一排気部には、不活性ガスを排気する不活性ガス排気管が設けられる
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記10]
好ましくは、
前記処理室の下流部は、前記処理室からの排気を行う排気ポンプと前記排気ポンプによって排気された排気ガスを浄化する除外装置との間に配された処理室用排気管であり、
前記第二不活性ガス供給部には、前記処理室用排気管に供給する不活性ガスを加熱する加熱部が設けられる
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記11]
好ましくは、
前記加熱部は、ヒートエクスチェンジャまたは配管を加熱する加熱機構である
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記12]
好ましくは、
前記加熱部は、前記基板処理装置にて基板を処理する前に稼働される
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記13]
好ましくは、
前記処理ガス供給部は、前記処理室に基板がある状態で、処理ガスを供給し、
前記第二不活性ガス供給部は、前記処理ガス供給部による処理ガス供給と並行して、前記加熱部で加熱された不活性ガスを前記処理室用排気管に供給する
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記14]
好ましくは、
前記処理室は、前記処理ガス供給部により少なくとも二種類の処理ガスが交互に供給されるとともに、前記二種類の処理ガスの供給の間に前記処理室のパージが行われ、
前記第二不活性ガス供給部は、前記パージと並行して、前記加熱部で加熱された不活性ガスを前記処理室用排気管に供給する
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記15]
好ましくは、
前記第二不活性ガス供給部は、前記処理室での基板の処理前であって前記処理室が当該基板を処理する圧力に到達するまで、または、前記処理室での基板の処理が終了してから前記処理室が当該基板を搬出可能な圧力に到達するまで、前記加熱部で加熱された不活性ガスを前記処理室用排気管に供給する
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記16]
好ましくは、
前記処理室は、複数設けられており、
前記第二不活性ガス供給部は、複数の前記処理室の下流部に不活性ガスを供給可能であり、稼動している前記処理室の下流部に不活性ガスを供給し、稼動していない前記処理室の下流部に不活性ガスを供給しないようにする
付記10に記載の基板処理装置が提供される。
[付記17]
好ましくは、
前記第一排気部または前記第二不活性ガス供給部には、不純物の濃度を検出する検出部が設けられる
付記1に記載の基板処理装置が提供される。
[付記18]
好ましくは、
前記第二不活性ガス供給部は、前記検出部が検出した濃度が所定値以上の場合、不活性ガスを供給しないようにする
付記17に記載の基板処理装置が提供される。
[付記19]
好ましくは、
前記第二不活性ガス供給部は、前記検出部が検出した濃度が所定値以上の場合、不活性ガスを供給しないようにするとともに、不活性ガスを補充可能な不活性ガス補充部から不活性ガスの供給を行うようにする
付記17に記載の基板処理装置が提供される。
[付記20]
本開示の他の一態様によれば、
基板を処理する処理室と連通可能な搬送室に不活性ガスを供給する工程と、
前記搬送室から雰囲気を排気する工程と、
前記搬送室から排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する工程と、
前記処理室で基板を処理する工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
[付記21]
本開示のさらに他の一態様によれば、
基板を処理する処理室と連通可能な搬送室に不活性ガスを供給する手順と、
前記搬送室から雰囲気を排気する手順と、
前記搬送室から排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する手順と、
前記処理室で基板を処理する手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラムが提供される。
103…真空搬送室(トランスファモジュール)、112…真空搬送ロボット、122,123…ロードロック室(ロードロックモジュール)、121…大気搬送室(フロントエンドモジュール)、105…IOステージ(ロードポート)、200…基板、201,201a~201d…処理モジュール、202,202a~202d…処理室、203,203a~203d…処理容器、209…排気バッファ室、210…基板支持部(サセプタ)、211…載置面、212…基板載置台、213…ヒータ、222…排気配管、224…真空ポンプ、225…スクラバー、230…シャワーヘッド、232…バッファ空間、243…原料ガス供給系、244…反応ガス供給系、245…パージガス供給系、248…クリーニングガス供給系(クリーニングガス供給部)、251a,252a…不活性ガス供給管、261a,262a…排気配管、261b,262b…真空ポンプ、270…フィルタ、271,271a~271d…不活性ガス供給管、272,272a~272d…バルブ、273,273a~273d…不活性ガス補充管、274,274a~274d…バルブ、275…ヒートエクスチェンジャ、281…コントローラ

Claims (10)

  1. 基板を処理する処理室と、
    前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給部と、
    前記処理室と連通可能な搬送室と、
    前記搬送室に不活性ガスを供給する第一不活性ガス供給部と、
    前記搬送室から雰囲気を排気する第一排気部と、
    前記第一排気部により排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する第二不活性ガス供給部と、を有し、
    前記処理室は、複数設けられており、
    前記第二不活性ガス供給部は、複数の前記処理室に不活性ガスを供給可能であり、稼動している前記処理室に不活性ガスを供給し、稼動していない前記処理室に不活性ガスを供給しないように、不活性ガスの供給を各処理室の稼動状況に応じて切り換える
    基板処理装置。
  2. 前記第一排気部の下流に設けられたフィルタを有し、
    前記第一排気部は、前記フィルタを介して、前記第二不活性ガス供給部に連通される
    請求項1に記載の基板処理装置。
  3. 前記処理ガス供給部は、前記処理室に基板がある状態で、少なくとも二種類の処理ガスを交互に供給し、
    前記第二不活性ガス供給部は、前記処理室に供給された処理ガスをパージする際に、または、前記処理ガス供給部による処理ガス供給と並行して、不活性ガスの供給を行う
    請求項1または2に記載の基板処理装置。
  4. 前記第二不活性ガス供給部は、前記処理室での基板の処理前であって前記処理室が当該基板を処理する圧力に到達するまで、または、前記処理室での基板の処理が終了してから前記処理室が当該基板を搬出可能な圧力に到達するまで、不活性ガスの供給を行う
    請求項1または2に記載の基板処理装置。
  5. 前記搬送室は、真空搬送室である
    請求項1に記載の基板処理装置。
  6. 前記処理室にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給部を有し、
    前記クリーニングガス供給部は、前記処理室に基板が無い状態で、クリーニングガスの供給を行い、
    前記第二不活性ガス供給部は、前記クリーニングガス供給部によるクリーニングガスの供給と並行して、不活性ガスの供給を行う
    請求項1に記載の基板処理装置。
  7. 前記第二不活性ガス供給部には、不活性ガスを補充可能な不活性ガス補充部が設けられる
    請求項1に記載の基板処理装置。
  8. 前記第一排気部には、不活性ガスを排気する不活性ガス排気管が設けられる
    請求項1に記載の基板処理装置。
  9. 基板を処理する複数の処理室と連通可能な搬送室に不活性ガスを供給する工程と、
    前記搬送室から雰囲気を排気する工程と、
    前記搬送室から排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する工程と、
    前記処理室で基板を処理する工程と、
    を有し、
    前記搬送室から排気された不活性ガスを供給する工程では、稼動している前記処理室に不活性ガスを供給し、稼動していない前記処理室に不活性ガスを供給しないように、不活性ガスの供給を各処理室の稼動状況に応じて切り換える
    半導体装置の製造方法。
  10. 基板を処理する複数の処理室と連通可能な搬送室に不活性ガスを供給する手順と、
    前記搬送室から雰囲気を排気する手順と、
    前記搬送室から排気された不活性ガスを前記処理室または前記処理室の下流部に供給する手順と、
    前記処理室で基板を処理する手順と、
    をコンピュータによって基板処理装置に実行させ、
    前記搬送室から排気された不活性ガスを供給する手順では、稼動している前記処理室に不活性ガスを供給し、稼動していない前記処理室に不活性ガスを供給しないように、不活性ガスの供給を各処理室の稼動状況に応じて切り換える
    プログラム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3135981B2 (ja) * 1992-05-13 2001-02-19 大阪酸素工業株式会社 ガスの回収再利用を図ったガス搬送システム及び搬送方法
JP2807150B2 (ja) * 1992-08-31 1998-10-08 松下電器産業株式会社 環境制御装置
JP3330166B2 (ja) * 1992-12-04 2002-09-30 東京エレクトロン株式会社 処理装置
JP2814062B2 (ja) * 1995-01-09 1998-10-22 忠弘 大見 窒素ガス供給設備
KR100486690B1 (ko) * 2002-11-29 2005-05-03 삼성전자주식회사 기판 이송 모듈의 오염을 제어할 수 있는 기판 처리 장치및 방법
GB0329933D0 (en) * 2003-12-24 2004-01-28 Boc Group Plc Load lock
JP2014183247A (ja) 2013-03-21 2014-09-29 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
CN117174611A (zh) * 2013-08-12 2023-12-05 应用材料公司 具有工厂接口环境控制的基板处理系统、装置和方法
JP5947435B1 (ja) * 2015-08-27 2016-07-06 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体
JP6089082B1 (ja) 2015-09-29 2017-03-01 株式会社日立国際電気 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体
CN108431941B (zh) * 2015-10-05 2023-05-12 布鲁克斯Ccs股份有限公司 半导体系统中的湿度控制
JP7358044B2 (ja) 2018-02-09 2023-10-10 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置
CN110015647B (zh) * 2019-04-17 2022-09-06 浙江天采云集科技股份有限公司 一种从mocvd制程尾气提氢解吸气中提氮再利用的方法

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