JP2023551495A - 不揮発性抵抗変化型メモリ・ロジック・デバイス - Google Patents

不揮発性抵抗変化型メモリ・ロジック・デバイス Download PDF

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Abstract

抵抗スイッチングRAMロジック・デバイスが提供される。デバイスは、少なくとも低抵抗状態(LRS)または高抵抗状態(HRS)に独立してプログラム可能な1対の抵抗スイッチングRAMセルを含む。抵抗スイッチングRAMロジック・デバイスは、1対の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された共用出力ノードをさらに含み得る。抵抗スイッチングRAMセルの各RAMセルのプログラムされた抵抗状態から論理出力が判定可能である。

Description

本発明の実施形態は、一般には半導体デバイスの分野に関し、より具体的には、不揮発性抵抗変化型ランダム・アクセス・メモリ(RAM)ロジック・デバイスに関する。
集積回路(IC)デバイスのスケーリングは、デバイス・ノード・サイズの微細化がこれ以上実現不可能な可能性がある点を通過した。新しいICデバイスと技術が、半導体およびICデバイス研究の進歩を推し進める鍵である。ハンドヘルド・デバイス、バッテリ駆動デバイスなどの普及により、低電力技術が進歩にとって最重要となっている。従来、論理ゲートとは、その値を保持するのに電力を必要とする揮発性シリコン・デバイスを指す。したがって、このような従来型論理ゲートの使用は、有限電力または低電力用途においては非効率的である。
本発明の第1の態様によると、抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NANDデバイスが提供される。デバイスは、第1の抵抗スイッチングRAMセルと、第1の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第1の入力ノードと、第2の抵抗スイッチングRAMセルと、第2の抵抗スイッチングRAMに電気的に接続された第2の入力ノードとを含む。デバイスは、第1の抵抗スイッチングRAMセルと第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードも含む。
本発明の別の態様によると、抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NANDデバイス動作方法が提供される。方法は、抵抗スイッチングRAMコントローラ(コントローラ)によって、第1の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第1の入力ノードに書き込み電位パルスを印加することにより第1の抵抗スイッチングRAMセルをプログラムすることを含む。方法は、コントローラによって、第2の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第2の入力ノードに書き込み電位パルスを印加することにより第2の抵抗スイッチングRAMセルをプログラムすることをさらに含む。方法は、第1の入力ノードをプログラムし、第2の入力ノードをプログラムした後で、コントローラにより、第1の入力ノードと第2の入力ノードとに読み出し電位を印加することをさらに含む。方法は、コントローラによって、第1の抵抗スイッチングRAMセルの第1の抵抗状態を判定するためと、第2の抵抗スイッチングRAMセルの第2の抵抗状態を判定するために、第1の入力ノードと第2の入力ノードとに印加された読み出し電位によって誘起された電流和を第1の抵抗スイッチングRAMセルと第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードにおいて検知することをさらに含む。方法は、コントローラによって、第1の抵抗スイッチングRAMセルの判定された第1の抵抗状態に基づくとともに第2の抵抗スイッチングRAMセルの判定された第2の抵抗状態に基づいて、共用出力ノードにおける論理出力を判定することをさらに含む。
本発明の別の態様によると、抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NORデバイスが提供される。デバイスは、第1の抵抗スイッチングRAMセルと第2の抵抗スイッチングRAMセルとを含む。デバイスは、第1の抵抗スイッチングRAMセルと第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用入力ノードをさらに含む。共用入力ノードは第1の入力と第2の入力とを含む。デバイスは、第1の抵抗スイッチングRAMセルと第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードをさらに含む。
上記およびその他の実施形態、特徴、態様および利点は、以下の説明、添付の特許請求の範囲および添付図面を参照すればよりよくわかるであろう。
本発明の上記の特徴が実現される方式を詳細に理解することができるように、上記で簡単に概説した本発明のより具体的な説明を、添付図面に記載されている本発明の実施形態を参照して得ることができる。
ただし、添付図面は、本発明の典型的な実施形態のみを示しており、したがって、本発明は他の同様に有効な実施形態も認め得るため、本発明の範囲を限定するものとみなされるべきではない。
本発明の様々な実施形態による抵抗変化型ランダム・アクセス・メモリ(ReRAM)セルの断面を示す図である。 本発明の様々な実施形態による磁気抵抗ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)セルの断面を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの回路図を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの回路図を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートを具現化するメモリ・デバイスを示すブロック図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの様々な論理状態を示す図である。 本発明の様々な実施形態のよる不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの様々な論理状態を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの様々な論理状態を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートをプログラムする方法を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの出力を読み出す方法を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートをプログラムする方法を示す図である。 本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲートの出力を読み出す方法を示す図である。
図面は必ずしも一律の縮尺ではない。図面は概略表現に過ぎず、本発明の特定のパラメータを表すことは意図されていない。図面は、本発明の例示の実施形態のみを図示することを意図している。図面中、同様の番号は同様の要素を表す。
本明細書では特許請求される構造体および方法の詳細な実施形態を開示するが、開示される実施形態は、様々な形態で具現化可能な特許請求される構造体および方法の例示に過ぎないものと理解することができる。これらの例示の実施形態は、本開示が綿密で完全であるように、および当業者に本発明の範囲を完全に伝えるように示されている。説明および図面においては、提示される実施形態が無用にわかりにくくならないように、よく知られている特徴および技術の詳細は省かれている場合がある。
同様のコンポーネントに同様の番号が付されている図面を参照しながら、1つまたは複数の抵抗変化型メモリ・セルを含む例示のICロジック・デバイスを示し、以下で詳細に説明する。この説明ではICデバイスの一部のコンポーネントを単数形で呼ぶが、ICデバイスには複数のコンポーネントが含まれ得ることに留意されたい。図面に図示されている特定のコンポーネント、および断面の向きは、本明細書に記載の様々な実施形態を最もよく示すために選定されている。
抵抗スイッチングRAMロジック・デバイスが提供される。デバイスは、少なくとも低抵抗状態(LRS)または高抵抗状態(HRS)に独立してプログラム可能な1対の抵抗スイッチングRAMセルを含む。抵抗スイッチングRAMロジック・デバイスは、この1対の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された共用出力ノードをさらに含み得る。1対の抵抗スイッチングRAMセルの各セルのプログラムされた抵抗状態から論理出力が判定可能である。
図1に、本発明の様々な実施形態によるReRAMセル200の断面を示す。
ReRAMは、印加電界の下での二元金属酸化物などの絶縁体の抵抗スイッチングの変化を利用した不揮発性ソリッド・ステート・メモリ技術である。基本記憶単位(「セル」)を、異なる抵抗特性を呈する少なくとも2つの異なる状態またはレベルにプログラムすることができる。異なるデータ値を表すためにこのプログラム可能セル状態を使用することができ、それによって情報の記憶を可能にする。
ReRAMアーキテクチャは、典型的には、MIM構造と一般に呼ばれる金属-絶縁体-金属構造を有する抵抗スイッチング・メモリ・セルからなる。この構造は2つの金属(M)電極に挟まれた絶縁層(I)からなる。ReRAMセルにわたって電圧パルスを印加することで、HRS、または論理値「0」と一般に称されるオフ状態から、LRS、または論理値「1」と一般に称されるオン状態へのデバイスの遷移と、その逆の遷移を可能にする。
典型的には、作製された状態のままのReRAMセルは当初はHRSであり、デバイスをHRSからLRSにスイッチさせるために、電圧(たとえば高電圧パルス、書き込み電圧など)の印加が、スイッチング層におけるフィラメントと呼ばれることがある導電路の形成を可能にし、それによってReRAMセルはLRSにスイッチさせられる。金属絶縁体金属(MIM)構造のソフト・ブレークダウンに起因して起こるこのプロセスは、通常、「エレクトロフォーミング」と呼ばれ、このプロセスが起こる電圧はフォーミング電圧と呼ばれる。ReRAMセルをLRSからHRSにスイッチさせるために、リセット電圧と呼ばれる電圧パルスが印加される。
ReRAMセルからデータを読み出すために、セルの現在の状態を乱さない読み出し電圧が印加されてセルがHRSであるかLRSであるかを判定する。LRSとHRSの両方は印加電圧の除去後もそれぞれの値を維持するため、ReRAMは不揮発性メモリである。
ReRAMセルのスイッチングは、絶縁層内部の導電フィラメント(CF)の成長に基づく。CFは、メモリ・セルの上部電極と下部電極とを接続するナノメーターのオーダーの直径を有するチャネルである。高導電率を有するLRSは、電極間にCFが接続されると得られ、HRSは電極からフィラメントが切断されると生じる。
例示のReRAMセル200は、上部電極206と下部電極210との間に位置する絶縁体金属202を含む。図のセル状態は、絶縁体202内でCF204が形成されつつある中間状態を表す。CF204と、上部電極206と下部電極210とのそれぞれの接続が形成されたとき、およびプログラムされたセル状態を読み出すために読み出し電圧が印加されたとき、結果の読み出し電流が、CF204が形成されなかった高抵抗絶縁体金属202を通って流れるよりも優先して、CF204を通る上部電極206と下部電極210との間の電流路を第一次的に流れる。
上部電極206の上面に上部ワイヤ140が接続可能であり、下部電極210に下部ワイヤ150が接続可能である。上部ワイヤ140または下部ワイヤ150あるいはその両方は、追加のワイヤ、メモリ・コントローラなどのICデバイスの他のコンポーネントに電気的に接続可能である。
ReRAMセル200に書き込むために、上部電極206または下部電極210に書き込み電圧またはフォーミング電圧が印加され、一方または両方の電極に流れるその結果のプログラミング電流が、通常、「エレクトロフォーミング」と呼ばれる金属絶縁体金属(MIM)構造のブレークダウンと、上部電極206と下部電極210とを接続するCF204の形成とを生じさせ、それによってReRAMセル200を当初のHRSからLRSにスイッチさせる。
ReRAMセル200の読み出しは、セル200抵抗をセル状態の測定指標として使用して行われる。たとえば下部電極210に印加された読み出し電圧は、セル200に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流は、上部電極206および下部電極210にわたる、またはそれらの間の抵抗に依存する。したがって、たとえば上部電極206におけるセル読み出し電流の測定は、プログラムされたセル200状態の指標を与える。この抵抗測定指標には、読み出し電圧の印加がプログラムされたセル状態を乱さないように保証するように十分に低い読み出し電圧が使用される。次に、抵抗測定指標をプログラム可能セル状態の事前定義済み基準レベルと比較することによって、セル200状態検出を行うことができる。
図2に、本発明の様々な実施形態によるMRAMセル300の断面を示す。
MRAMは、2つの強磁性板の磁界配向を基準にした絶縁体の抵抗スイッチングの変化を利用する不揮発性ソリッド・ステート・メモリ技術である。基本記憶単位(「セル」)を、異なる抵抗特性を呈する少なくとも2つの異なる状態またはレベルにプログラムすることができる。異なるデータ値を表すためにこのプログラム可能なセル状態を使用することができ、それによって情報の記憶を可能にする。
MRAMアーキテクチャは、典型的には、2つの強磁性層が誘電体スペーサ層によって分離された、トンネル障壁とも呼ばれることがある磁気トンネル接合(MTJ)構造に依存する。トンネル障壁がきわめて薄く、典型的には<2nmである場合、障壁を通る電子の量子力学トンネル現象が、MTJに、障壁の厚さに指数関数的に依存し、面内障壁面積の逆数に比例する抵抗を有する抵抗器のような振る舞いをさせる。トンネル電流は、強磁性電極の非対称バンド構造に起因してスピン偏極し、それによってトンネル磁気抵抗を生じさせる。
これらの2つの層における磁化の相対配向が、MTJ構造の抵抗を決定する。大部分の物質では、LRSはこの2つの層の磁化が平行である場合であり、これは多数バンド電子が障壁の反対側の多数バンド内にトンネルすることができるためである。HRSが存在するのは配向が反平行であるときであり、これは多数バンド電子が反対側の層の少数バンドにトンネルする必要があるためである。
強磁性層の1つは、記録層または記憶層と呼ばれることがある自由層であり、記憶情報を保持する強磁性層である。トンネル障壁は、典型的には、スピン偏極トンネル電流によって自由層の状態をスイッチし、読み出す手段を提供する絶縁性非磁性層である。他方の強磁性層は固定層または参照層であり、自由層の読み出しとスイッチングのための安定した参照磁化方向を提供する。この固定層は、メモリ動作時に決してスイッチしないように、自由層よりも遙かに高い磁気異方性を有するように設計される。
それぞれMRJ構造の上と下にある上部電極または下部電極あるいはその両方に、電流を一方向に流れさせる書き込み電圧を印加することによって、MRAMセルにデータを書き込むことができる。電極に流れる電流の流れの方向(たとえばページ内に向かう方向またはページから出る方向)が、自由層が採る反対方向の方向性磁界を誘起する。自由層における磁界の方向が固定層の磁界の方向と平行である場合、MRAMセルはLRSである。自由層における磁界方向が固定層の磁界方向と反平行である場合、MRAMセルはHRSである。
MRAMセルからデータを読み出すために、セルの電流状態を乱さない読み出し電流が印加されてセルがHRSであるかLRSであるかを判定する。LRSおよびHRSは両方とも印加電圧の除去後もそれぞれの値を維持するため、ReRAMは不揮発性メモリである。
MRAMセルが読み出された後、リセット動作によって電極に電流を強制的に流れさせ、自由層における磁界方向を固定層の磁界方向と反平行にさせ、MRAMセルをHRSにすることができる。
例示のMRAMセル300は、上部強磁性固定層304と下部強磁性自由層312との間に位置する障壁層302を含む。MRAMセル300は、上部強磁性固定層304の上面に接続された上部電極306をさらに含み、下部強磁性自由層312の下面に接続された下部電極310を含んでもよい。図のセル状態は、上部強磁性固定層304と下部強磁性自由層312との間の磁界配向が反平行であるHRS状態を表す。
上部電極306の上面に上部ワイヤ140が接続されてもよく、下部電極310に下部ワイヤ150が接続されてもよい。上部ワイヤ140または下部ワイヤ150あるいはその両方は、当技術分野で知られているように、メモリ・コントローラなどのICデバイスにおける他のコンポーネントに電気的に接続されてもよい。上部ワイヤ140または下部ワイヤ150あるいはその両方は、追加のワイヤ、メモリ・コントローラなどのICデバイスにおける他のコンポーネントに電気的に接続されてもよい。
MRAMセル300に書き込むために、たとえば下部電極310または下部ワイヤ150あるいはその両方に書き込み電圧が印加され、そこに電流が流れる。下部ワイヤ150または電極310あるいはその両方に流れる電流は、自由層312が取る磁界を誘起する。図の状態では、電流は下部ワイヤ150または下部電極310あるいはその両方をページ内に向かう方向に流れ、下部電極310の周囲に時計回り方向の磁界を生じさせ、その磁界を自由層312が採り、それによってMRAMセル300をHRSにスイッチさせる。同様に、たとえば下部電極310にページから出る方向に電流を流させる書き込み電圧がたとえば下部ワイヤ150または電極310あるいはその両方に印加されてもよく、それによって下部電極310の周囲に反時計回り方向の磁界を生じさせ、その磁界を自由層312が採り、それによってMRAMセル300をLRSにスイッチさせる。
MRAMセル300の読み出しは、セル300抵抗をセル状態の測定指標として使用して行われる。たとえば下部電極310に印加された読み出し電圧がセル300に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流は、上部電極306および下部電極310にわたる、またはそれらの間の抵抗に依存する。したがって、たとえば上部電極306におけるセル読み出し電流の測定が、プログラムされたセル300状態を示す指標を与える。この抵抗測定指標には、読み出し電圧の印加がプログラムされたセル状態を乱さないように保証するように十分に低い読み出し電圧が使用される。次に、この抵抗測定指標をプログラム可能なセル状態の事前定義済み基準レベルと比較することによって、セル300状態検出を行うことができる。
図3に、本発明の様々な実施形態による不揮発性抵抗変化型RAM論理ゲート(RRLG)410の回路図を示す。RRLG410は、1対の不揮発性抵抗変化型RAMセル400および400を含む。抵抗変化型RAMセル400は、ReRAMセル200、MRAMセル300などのうちのいずれか1つとすることができる。
RAMセル400および400は、同じ種類の抵抗変化型メモリ・セルであってもよい。たとえば、RAMセル400と400は両方ともReRAM200型抵抗変化型メモリ・セルであってもよい。あるいは、RAMセル400と400は、異なる種類の抵抗変化型メモリ・セルであってもよい。たとえば、RAMセル400はReRAM200型抵抗変化型メモリ・セルであってもよく、RAMセル400は、MRAMセル200型抵抗変化型メモリ・セルであってもよい。
RRLGは、RAMセル400に電気的に接続された入力ノード402と、RAMセル400に電気的に接続された入力ノード404とをさらに含む。入力ノード402は、一般に、ワイヤ、ビア、相互接続部などを含み得る導電性経路である。入力ノード404は、一般に、ワイヤ、ビア、相互接続部などを含み得る導電性経路である。入力ノード402と入力ノード404は、電気的に別個または独立したノードである。
ReRAMセル200実施形態において、入力ノード402または入力ノード404あるいはその両方は、それぞれのReRAMセル200の下部ワイヤ150、下部電極210などに電気的に接続されてもよい。MRAMセル300実施形態では、入力ノード402または入力ノード404あるいはその両方は、それぞれのMRAMセル300の下部ワイヤ150、下部電極310などに電気的に接続されてもよい。
RRLG410は、RAMセル400の出力に電気的に接続され、RAMセル400の出力に電気的に接続された、出力ノード406をさらに含む。出力ノード406は、一般に、ワイヤ、ビア、相互接続部などを含み得る導電性経路である。出力ノード406は、一般に、RAMセル400の出力とRAMセル400の出力とを単一の出力として結合する。この共用出力により、RAMセル400とRAMセル400は、連結、結合またはその他により接続される。
ReRAMセル200実施形態では、ReRAMセル200の出力ノード406は、上部ワイヤ140、上部電極206などに電気的に接続されてもよい。MRAMセル300実施形態では、出力ノード406は、MRAMセル300の上部ワイヤ140、上部電極306などに電気的に接続されてもよい。
明確にするために、入力ノード402、404または出力ノード406と、セルの上部または下部導電性フィーチャとの相対的関係は逆にされてもよい(たとえば、入力ノード402、404がそれぞれのセルの上部導電性フィーチャに電気的に接続されてもよく、出力ノード406がセルの下部導電性フィーチャに接続されてもよい)。
図4に、本発明の様々な実施形態によるRRLG420の回路図を示す。RRLG420は、1対の不揮発性抵抗変化型RAMセル400および400を含む。
RRLG420は、RAMセル400の入力に電気的に接続され、RAMセル400の入力に電気的に接続された、入力ノード412をさらに含む。入力ノード412は、一般に、ワイヤ、ビア、相互接続部などを含み得る導電性経路である。入力ノード412は、一般に、RAMセル400の入力とRAMセル400の入力とを単一の入力として結合する。この共用入力により、RAMセル400とRAMセル400は、連結、結合またはその他により接続される。
入力ノード412における電圧はV412である。
Figure 2023551495000002
IAは、入力Aソースの内部抵抗であり、RIBは入力Bソースの内部抵抗である。ここで、RIAはRIBにほぼ等しいものとする。したがって、電圧VInputAと電圧VInputBとは同じかまたはほぼ同じであり、電圧V412は入力Aにおける印加電圧および入力Bにおける印加電圧と等しい。電圧VInputAまたは電圧VInputBが他方よりもはるかに大きい場合、電圧V412はそのより大きい電圧VInputAまたは電圧VInputBと等しいかまたはほぼ等しい。
入力Aソースと入力Bソースは、ソース電流であって、シンク電流ではないものとすることができる。たとえば、わずかにより高い電圧を有する入力Aソースまたは入力Bソースは、そのより高いソースが電流制限になるまで電流を供給する。より高いソースの電圧はわずかに降下してもよく、入力Aソースと入力Bソースの両方がそれぞれ電流を流すかまたは流し出す。入力Aソースと入力Bソースが顕著に異なる電圧である場合、より高電圧のソースが負荷、RAMセル400およびRAMセル400にすべての電流を供給してもよい。より低電圧のソースは、すでに最高電圧としてV412の電圧となっていてもよく、電流を供給しなくてもよい。
ReRAMセル200実施形態において、入力ノード412は、それぞれのReRAMセル200の下部ワイヤ150、下部電極210などに電気的に接続されてもよい。MRAMセル300実施形態では、入力ノード412は、それぞれのMRAMセル300の下部ワイヤ150、下部電極310などに電気的に接続されてもよい。RRLG420は、RAMセル400の出力に電気的に接続され、RAMセル400の出力に電気的に接続された出力ノード406をさらに含む。
ReRAMセル200実施形態において、出力ノード406は、ReRAMセル200の上部ワイヤ140、上部電極206などに電気的に接続されてもよい。MRAMセル300実施形態では、出力ノード406は、MRAMセル300の上部ワイヤ140、上部電極306などに電気的に接続されてもよい。
明確にするために、入力ノード402、404または出力ノード406と、セルの上部または下部導電性フィーチャとの相対的関係は逆にされてもよい(たとえば、入力ノード412がセルの上部導電性フィーチャに電気的に接続されてもよく、出力ノード406がセルの下部導電性フィーチャに接続されてもよい)。
図5は、本発明の様々な実施形態によるRRLG410またはRRLG420あるいはその両方を具現化するメモリ・デバイス500のブロック図である。デバイス500は、1対のRAMセル400およびRAMセル400のデータ記憶またはデータ読み出しあるいはその両方を行うためのRRLG410またはRRLG420あるいはその両方を含む。RAMセル400およびRAMセル400のデータの読み出しおよび書き込みは、読み出し/書き込みコントローラまたはコントローラ510によって行われてもよい。コントローラ510は、データ書き込み動作時に適切な1つまたは複数のセルをプログラミングするためと、1つまたは複数のセルのデータ読み出し動作時にそれぞれのセル状態を検出するための読み出し測定を行うための、一般に知られている形態の回路を含む。これらの動作時、読み出し/書き込みコントローラ510は、メモリ集合体内のワード線とビット線の配列に適切な制御信号を印加することによって個別セルをアドレスすることができる。入力データまたはデバイス500に書き込まれるデータは、コントローラ510に入力データとして供給される前に、書き込み処理モジュール520によって誤り訂正のための符号化などの何らかの形態の書き込み処理が施されてもよい。同様に、出力データまたはコントローラ510によって読み出されるデータは、たとえば元の入力データを復元するための符号語検出または誤り訂正あるいはその両方のために、読み出し処理モジュール530によって処理されてもよい。
RAMセル400およびRAMセル400は、少なくとも2つのプログラム可能セル状態で情報を記憶することができる。前述のように、プログラム可能セル状態は、それぞれのRAMセル400およびRAMセル400にわたる異なる相対抵抗に対応する。これらの状態は、少なくともHRSとLRSを含む。プログラム可能セル状態は、典型的には、コントローラ510において、読み出し検出のために使用される抵抗測定指標の所定の基準値または値の範囲で表して定義される。書き込み動作においてRAMセル400およびRAMセル400をプログラムするために、コントローラ510は、結果のプログラミング信号(すなわち入力A)がRAMセル400を必要な状態に設定するように、ワード線とビット線(たとえば上部電極、下部電極など)を介してRAMセル400に書き込み電圧、セット電圧、プログラム電圧などを印加し、結果のプログラミング信号(すなわち入力B)がRAMセル400を必要な状態に設定するようにワード線とビット線を介してRAMセル400に書き込み電圧、セット電圧、プログラム電圧などを印加する。読み出し動作では、セルに(より低い)読み出し電圧が印加され、結果のセル電流が測定されて抵抗測定指標を得る。次に、コントローラ510は、RAMセル400の出力Aを前述の適切な基準値と比較することによって、プログラムされたRAMセル400状態を検出することができ、次に、RAMセル400の出力Bを前述の適切な基準値と比較することによって、プログラムされたRAMセル400状態を検出することができる。次に、コントローラ510は、本明細書で詳述するように、プログラムされた出力A RAMセル400状態をプログラムされた出力B RAMセル400状態と論理結合することによって、ノード406における出力を検出することができる。
図6に、本発明の様々な実施形態によるNAND論理ゲート構成のRRLG410の様々な論理状態を示す。NANDゲートは、その入力がすべて真である場合にのみ偽である出力を生成する論理ゲートである。したがって、ゲートへの入力がすべて高「1」である場合にのみ低「0」出力となる。いずれかの入力が低「0」である場合、高「1」出力となる。
図(I)の例では、RAMセル400に入力ノード402における入力Aとして低書き込み電圧が書き込まれ、RAMセル400に入力ノード404における入力Bとして低書き込み電圧が書き込まれる。低書き込み電圧は、ReRAMセル200実施形態に関連付けられる場合、定量的測定値または値であってもよく、MRAMセル300実施形態に関連付けられる場合、方向測定値または配向測定値であってもよい。RAMセル400とRAMセル400とに印加された低書き込み電圧の結果、RAMセル400とRAMセル400の両方がHRSにプログラムされ、各RAMセル400およびRAMセル400が結果としてそれぞれの論理値「0」を取得または維持する。
ReRAMセル200実施形態において、ReRAMセル200とReRAMセル200とに低書き込み電圧が印加され、ReRAMセル200とReRAMセル200に流れるその結果のプログラミング電流は、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせず、CF204の十分な形成が起こらない。この結果、ReRAMセル200がHRSとなり、ReRAMセル200がHRSとなり、ReRAMセル200とReRAMセル200の両方が論理値「0」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は、印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがって、ReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、MRAMセル300とMRAMセル300に低書き込み電圧が印加され、MRAMセル300およびMRAMセル300に関連付けられたその結果のプログラミング電流が、たとえば、各セルにおいてそれぞれ自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と反平行になるように適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300とMRAMセル300の両方をHRSにし、それによってMRAMセル300とMRAMセル300の両方が論理値「0」を有効に記憶する。MRAMセル300とMRAMセル300は、印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAM300は不揮発性である。
図(II)の例では、RAMセル400に入力ノード402における入力Aとして高書き込み電圧が書き込まれ、RAMセル400に入力ノード404における入力Bとして低書き込み電圧が書き込まれる。RAMセル400に印加された高書き込み電圧とRAMセル400に印加された低書き込み電圧の結果、RAMセル400はLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得し、RAMセル400はHRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「0」を取得または維持する。
ReRAMセル200実施形態において、ReRAMセル200に高書き込み電圧が印加され、ReRAMセル200に低書き込み電圧が印加される。ReRAMセル200に流れるその結果のプログラミング電流はMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせず、CF204の十分な形成が起こらない。この結果、ReRAMセル200がHRSとなり、ReRAMセル200は論理値「0」を有効に記憶する。ReRAMセル200に流れるその結果のプログラミング電流はMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF04の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSとなり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もReRAMセル200はLRSを維持し、ReRAM200はHRSを維持し、したがって、ReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、MRAMセル300に高書き込み電圧が印加され、MRAMセル300に低書き込み電圧が印加される。MRAMセル300に関連付けられたその結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と反平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をHRSにし、それによってMRAMセル300が論理値「0」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられたその結果のプログラミング電流は、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300が論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧が除去された後もMRAMセル300はLRSを維持し、MRAM300はHRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
図(III)の実施例では、RAMセル400に入力ノード402における入力Aとして低書き込み電圧が書き込まれ、RAMセル400に入力ノード404における入力Bとして高書き込み電圧が書き込まれる。RAMセル400に印加された低書き込み電圧とRAMセル400に印加された高書き込み電圧の結果、RAMセル400がHRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「0」を取得または維持し、RAMセル400はLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、ReRAMセル200に低書き込み電圧が印加され、ReRAMセル200に高書き込み電圧が印加される。ReRAMセル200に流れるその結果のプログラミング電流はMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流はMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせず、CF204の十分な形成が起こらない。この結果、ReRAMセル200とReRAMセル200のHRSは論理値「0」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もReRAMセル200はHRSを維持し、ReRAMセル200はLRSを維持し、したがってReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、MRAMセル300に低書き込み電圧が印加され、MRAMセル300に高書き込み電圧が印加される。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界方向と平行になるように適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300が論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられたその結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と反平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をHRSにし、それによってMRAMセル300が論理値「0」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もMRAMセル300はHRSを維持し、MRAMセル300はLRSを維持し、したがって、MRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
図(IV)の実施例において、RAMセル400に入力ノード402における入力Aとして高書き込み電圧が書き込まれ、RAMセル400に入力ノード404における入力Bとして高書き込み電圧が書き込まれる。RAMセル400に印加された高書き込み電圧とRAMセル400に印加された高書き込み電圧の結果、RAMセル400がLRSにプログラムされ、その結果として論理値「0」を取得し、RAMセル400がLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、ReRAMセル200に高書き込み電圧が印加され、ReRAMセル200に高電圧書き込み電圧が印加される。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流がMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。同様に、ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流も、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAM200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は印加書き込み電圧が除去された後でもLRSを維持し、したがってReRAM200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、MRAMセル300に高書き込み電圧が印加され、MRAMセル300に高書き込み電圧が印加される。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧が除去された後でもMRAMセル300はLRSを維持し、MRAMセル300はLRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
ノード406における出力を判定するために、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、それによってそれぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流が流れる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。この電流和は、たとえば、RAMセル400とRAMセル400がそれぞれHRSであるときには低電流(すなわちi+i)であり、RAMセル400またはRAMセル400の一方がHRSであり、RAMセル400またはRAMセル400の他方がLRSであるときには中間電流(すなわちi+i)であり、またはRAMセル400とRAMセル400がそれぞれLRSであるときには高電流(すなわちi+i)であり得る。
ノード406における検知電流和から抵抗測定指標を判定することができる。たとえば、コントローラ510は、高抵抗測定指標を検知された低電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に結び付け、中間抵抗測定指標を検知された中間電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に結び付け、低抵抗測定指標を高電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に結び付ける、データ構造を含んでもよい。したがって、ノード406における電流和が検知されると、そこから抵抗測定指標を判定することができる。
論理値「0」または「1」に所定の基準値が結び付けられてもよい。たとえば、論理値「1」、「高」または「オン」に所定の高抵抗基準値が結び付けられてもよく、論理値「1」、「高」または「オン」に所定の中間抵抗基準値が結び付けられてもよく、論理値「0」、「低」または「オフ」に所定の低抵抗基準値が結び付けられてもよい。たとえば、コントローラ510は、所定の高抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を、論理値「1」に結び付け、所定の中間抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「1」に結び付け、所定の低抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「0」に結び付けるデータ構造を含んでもよい。適切な論理値を判定するために、判定された抵抗測定指標がこれらの所定の抵抗基準値と比較されてもよい。たとえば、判定された抵抗測定指標が、高抵抗基準値の許容差内にあり、したがって、ノード406における出力が論理値「1」となり、または、中間抵抗値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「1」となり、または低抵抗値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「0」となってもよい。
図(I)の実施例において、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、それによってそれぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400とRAMセル400の両方がHRSであるため、低電流和(すなわちi+i)である。検知された低電流和は高抵抗測定指標を示す。高抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「1」、「高」、「真」などとして示す所定の高抵抗値の許容差内にある。
図(II)の実施例において、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、それによってそれぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400がLRSであり、RAMセル400がHRSであるため、中間電流和(すなわちi+i)である。検知された中間電流和は、中間抵抗測定指標を示す。中間抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「1」、「高」、「真」などとして示す、所定の中間抵抗基準値の許容差内にある。
図(III)の実施例において、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、それによってそれぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流はRAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流は、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400がHRSでRAMセル400がLRSであるため中間電流和(すなわちi+i)である。検知された中間電流和は、中間抵抗測定指標を示す。中間抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「1」、「高」、「真」などとして示す所定の中間抵抗基準値の許容差内にある。
図(IV)の実施例において、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、RAMセル400に読み出し電圧が印加され、それによってそれぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流を流れさせる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400とRAMセル400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400がLRSであり、RAMセル400がLRSであるため高電流和(すなわちi+i)である。検知された高電流和は、低抵抗測定指標を示す。低抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「0」、「低」または「偽」などとして示す所定の低抵抗基準値の許容差内にある。
図の真理値表に入力A、入力Bおよび出力ノード406が示されている。この真理値表は、ノード406における出力が、入力Aと入力Bが真である場合にのみ偽であることを示している。したがって、RRLG410への入力Aと入力Bの両方が高「1」である場合にのみ、ノード406において低「0」出力となる。入力Aまたは入力Bが低「0」である場合、ノード406において高「1」出力となる。したがって、図のように、RRLG410はNANDデバイスとして構成されている。
図7に、本発明の様々な実施形態による、NOR論理ゲート構成のRRLG420の様々な論理状態を示す。NORゲートは、両方の入力が負である場合にのみ正の出力を出す論理ゲートである。したがって、両方の入力が低「0」である場合に高「1」出力となる。一方または両方の入力が高「1」である場合、低「0」出力となる。
図(I)の実施例において、入力Aとして低書き込み電圧が印加され、入力Bとして低書き込み電圧が印加される。したがって、低書き込み電圧がノード412における電圧として採られる。各RAMセル400およびRAMセル400に流れる結果のプログラミング電流の結果として、RAMセル400とRAMセル400はHRSにプログラムされる。その結果として、各RAMセル400およびRAMセル400はそれぞれの論理値「0」を取得または維持する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aと入力Bの両方に低書き込み電圧が印加される。したがって、低書き込み電圧がノード412における電圧として採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流と、ReRAM200に流れる結果のプログラミング電流は、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせず、CF204の十分な形成は起こらない。この結果、ReRAMセル200はHRSとなり、ReRAMセル200はHRSとなり、ReRAMセル200とReRAMセル2002の両方が論理値「0」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがってReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aと入力Bの両方に低書き込み電圧が印加される。したがって、低書き込み電圧がノード412における電圧として採られる。MRAMセル300に関連づけられた結果のプログラミング電流と、MRAMセル300に流れる結果のプログラミング電流とが、各セルにおいてそれぞれ自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と反平行になるような磁界を生じさせる。これにより、MRAMセル300とMRAMセル300の両方をHRSにし、MRAMセル300とMRAMセル300の両方が論理値「0」を有効に記憶する。MRAMセル300とMRAMセル300は、印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
図(II)の実施例において、入力Aとして高書き込み電圧が印加され、入力Bとして低書き込み電圧が印加される。したがって、高書き込み電圧がノード412における電圧として採られる。各RAMセル400およびRAMセル400に流れる結果のプログラミング電流の結果として、RAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が印加され、入力Bとして低書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流が、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAM200に流れる結果のプログラミング電流も、MIM構造の十分なブレークダウンとCF204の十分な形成を生じさせる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もReRAMセル200はLRSを維持し、ReRAMセル200はLRSを維持し、したがって、ReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が印加され、入力Bとして低書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300は論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300が論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もMRAMセル300はLRSを維持し、MRAMセル300はLRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAM300は不揮発性である。
図(III)の実施例において、入力Aとして低書き込み電圧が書き込まれ、入力Bとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412の電圧として高書き込み電圧が採られる。各RAMセル400およびRAMセル400に流れる結果のプログラミング電流の結果として、RAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aとして低書き込み電圧が書き込まれ、入力Bとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流が、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流が、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は印加書き込み電圧の除去後もLRSを維持し、したがってReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aとして低書き込み電圧が書き込まれ、入力Bとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300とMRAMセル300は印加書き込み電圧の除去後もLRSを維持し、したがって、MRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
図(IV)の実施例において、RAMセル400に入力ノード402における入力Aとして高書き込み電圧が書き込まれ、RAMセル400に入力ノード404における入力Bとして高書き込み電圧が書き込まれる。RAMセル400に印加された高書き込み電圧とRAMセル400に印加された高書き込み電圧の結果として、RAMセル400がLRSにプログラムされ、その結果として論理値「0」を取得し、RAMセル400がLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が書き込まれ、入力Bとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流が、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。同様に、ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流も、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAM200とReRAM200は、印加書き込み電圧の除去後もLRSを維持し、したがってReRAM200とReRAM200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が書き込まれ、入力Bとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、論理値「1」を有効に記憶する。印加書き込み電圧の除去後もMRAMセル300はLRSを維持し、MRAMセル300はLRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
ノード406における出力を判定するために、入力Aに読み出し電圧が印加され、入力Bに読み出し電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。
この読み出し電圧は、それぞれRAMセル400とRAMセル400に読み出し電流を流させる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、たとえば、RAMセル400とRAMセル400がそれぞれHRSであるときには低電流(すなわちi+i)であるか、またはRAMセル400とRAMセル400がそれぞれLRSであるときには高電流(すなわちi+i)である。
ノード406で検知された電流和から抵抗測定指標を判定することができる。たとえば、コントローラ510が、検知された低電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に高抵抗測定指標を結び付け、高電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に低抵抗測定指標を結び付けるデータ構造を含んでもよい。したがって、ノード406における電流和が検知されると、そこから抵抗測定指標を判定することができる。
論理値「0」または「1」出力に所定の基準値が結び付けられてもよい。たとえば、論理出力値「1」、「高」または「オン」などに所定の高抵抗基準値が結び付けられてもよく、論理出力値「0」、「低」または「オフ」などに所定の低抵抗基準値が結び付けられてもよい。
たとえば、コントローラ510が、所定の高抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「1」に結び付け、所定の低抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「0」に結び付けるデータ構造を含んでもよい。適切な論理値出力を判定するために、判定された抵抗測定指標が所定の抵抗基準値と比較されてもよい。たとえば、判定された抵抗測定指標が高抵抗基準値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「1」となり、または低抵抗値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「0」となってもよい。
図(I)に示す実施例では、入力Aと入力Bに読み出し電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。RAMセル400とRAMセル400にそれぞれ結果の読み出し電流が流れる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400とRAMセル400が両方ともHRSであるため低電流和(すなわちi+i)である。検知された低電流和は、高抵抗測定指標を示す。高抵抗測定指標は、ノードにおける出力を論理値「1」、「高」、「真」などとして示す所定の高抵抗基準値の許容差内にある。
図(II)、(III)および(IV)の実施例において、読み出し電圧が入力Aに印加され、入力Bに印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。RAMセル400とRAMセル400をそれぞれ結果の読み出し電流が流れる。読み出し電流はRAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400とRAMセル400がLRSであるため、高電流和(すなわちi+i)である。検知された高電流和は、低抵抗測定指標を示す。低抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「0」、「低」、「偽」などとして示す所定の低抵抗基準値の許容差内にある。
印加入力A、印加入力B、およびノード406における読み出し出力が、図の真理値表に示されている。この真理値表は、入力Aと入力Bの両方が低または負であるときにのみ、ノード406において高または正出力が発生することを示している。したがって、入力Aと入力Bの両方が低「0」である場合に、ノード406において高「1」出力となる。入力Aと入力Bの一方または両方が高「1」である場合、ノード406において低「0」出力になる。したがって、図のように、RRLG420はNORデバイスとして構成されている。
図8に、本発明の様々な実施形態によるNOT論理ゲート構成のRRLG420の様々な論理状態を示す。NOTゲートは、論理否定を実装する論理ゲートである。したがって、入力が低「0」である場合、高「1」出力となり、入力が高「1」である場合、低「0」出力となる。
図(I)の実施例では、入力Aとして低書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として低書き込み電圧が採られる。RAMセル400とRAMセル400をそれぞれ流れる結果のプログラミング電流の結果として、RAMセル400とRAMセル400はHRSにプログラムされる。その結果として、RAMセル400とRAMセル400はそれぞれ、それぞれの論理値「0」を取得または維持する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aに低書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として低書き込み電圧が採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流とReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流は、MIM構造の十分なブレークダウンを生じさせず、CF204の十分な形成は起こらない。この結果、ReRAMセル200がHRSとなり、ReRAM200がHRSとなり、ReRAMセル200とReRAMセル200は両方とも論理値「0」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがってReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aに低書き込み電圧が印加される。したがってノード412における電圧として低書き込み電圧が採られる。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流とMRAMセル300に流れる結果のプログラミング電流が、各セルにおいて、それぞれ自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と反平行になるような磁界を生じさせる。これにより、MRAMセル300とMRAMセル300の両方がHRSになり、MRAMセル300とMRAMセル300の両方が論理値「0」を有効に記憶する。MRAMセル300とMRAMセル300は印加書き込み電圧の除去後もそれぞれのHRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
図(II)の実施例において、入力Aとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。各RAMセル400およびRAMセル400に流れる結果のプログラミング電流の結果として、RAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされ、その結果としてそれぞれの論理値「1」を取得する。
ReRAMセル200実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流がMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200に流れる結果のプログラミング電流もMIM構造の十分なブレークダウンを生じさせ、CF204の十分な形成が起こる。この結果、ReRAMセル200がLRSになり、ReRAMセル200は論理値「1」を有効に記憶する。ReRAMセル200とReRAMセル200は、印加書き込み電圧の除去後もLRSを維持し、したがってReRAMセル200とReRAMセル200は不揮発性である。
MRAMセル300実施形態において、入力Aとして高書き込み電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として高書き込み電圧が採られる。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流が、MRAMセル300において、自由層312の磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300は論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300に関連付けられた結果のプログラミング電流も、MRAMセル300において、自由層312における磁界配向が固定層304の磁界配向と平行になるような適切な磁界を生じさせ、それによってMRAMセル300をLRSにし、それによってMRAMセル300は論理値「1」を有効に記憶する。MRAMセル300とMRAMセル300は印加書き込み電圧の除去後もLRSを維持し、したがってMRAMセル300とMRAMセル300は不揮発性である。
ノード406における出力を判定するために、入力Aに読み出し電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。読み出し電圧は、RAMセル400とRAMセル400にそれぞれ読み出し電流を流させる。読み出し電流は、RAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。この電流和は、たとえば、RAMセル400およびRAMセル400がそれぞれHRSであるときには低電流(すなわちi+i)であり、またはRAMセル400とRAMセル400がそれぞれLRSであるときには高電流(すなわちi+i)となり得る。
ノード406で検知された電流和から抵抗測定指標を判定することができる。たとえば、コントローラ510が、検知された低電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に高抵抗測定指標を結び付け、高電流(すなわちi+i)プラス/マイナス適切な許容差に低抵抗測定指標を結び付けるデータ構造を含んでもよい。したがって、ノード406における電流和が検知されると、そこから抵抗測定指標を判定することができる。
論理値「0」または「1」出力に所定の基準値が結び付けられてもよい。たとえば、論理出力値「1」、「高」または「オン」などに所定の高抵抗基準値が結び付けられてもよく、論理出力値「0」、「低」または「オフ」などに所定の低抵抗基準値が結び付けられてもよい。
たとえば、コントローラ510が、所定の高抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「1」に結び付け、所定の低抵抗基準値プラス/マイナス所定の許容差を論理値「0」に結び付けるデータ構造を含んでもよい。適切な論理値出力を判定するために、判定された抵抗測定指標が所定の抵抗基準値と比較されてもよい。たとえば、判定された抵抗測定指標が高抵抗基準値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「1」となってもよく、または低抵抗値の許容差内にあり、したがってノード406における出力が論理値「0」となってもよい。
図(I)の実施例において、入力Aに読み出し電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。RAMセル400とRAMセル400をそれぞれ結果の読み出し電流が流れる。読み出し電流はRAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400とRAMセル400が両方ともHRSであるため低電流和(すなわちi+i)である。検知された低電流和は高抵抗測定指標を示す。高抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「1」、「高」、「真」などとして示す所定の高抵抗基準値の許容差内にある。
図(II)の実施例において、入力Aに読み出し電圧が印加される。したがって、ノード412における電圧として読み出し電圧が採られる。RAMセル400とRAMセル400にそれぞれ結果の読み出し電流が流れる。読み出し電流はRAMセル400とRAMセル400の状態に依存する。出力ノード406における出力電流が、RAMセル400、400に流れるそれぞれの読み出し電流の電流和として検知される。電流和は、図のように、RAMセル400とRAMセル400がLRSであるため高電流和(すなわちi+i)である。検知された高電流和は、低抵抗測定指標を示す。低抵抗測定指標は、ノード406における出力を論理値「0」、「低」、「偽」などとして示す所定の低抵抗基準値の許容差内にある。
印加入力Aとノード406における読み出し出力が、図の真理値表に示されている。真理値表は、ノード406での出力との関連で入力Aの論理否定を示す。したがって、入力Aが低「0」の場合、ノード406において高「1」出力となり、入力Aが高「1」の場合、ノード406において低「0」出力となる。したがって、図のように、RRLG420はNOTデバイスとして構成されている。
図9に、本発明の様々な実施形態によるRRLG410のプログラム方法600を示す。方法600のブロックは、たとえばコントローラ510、処理ノード、他の知られている抵抗変化型RAM読み出し/書き込みコントローラによって行われてもよい。方法600はブロック602で開始し、続いて、入力Aを高「1」または低「0」として示すかまたは判定し、入力Bを高「1」または低「0」として示すかまたは判定する(ブロック604)。たとえば、第1の上流ロジック・デバイスの出力が入力Aを高「1」または低「0」として示すことができ、第2の上流ロジック・デバイスの出力が入力Bを高「1」または低「0」として示すことができる。したがって、コントローラ510は、入力Aが高「1」または低「0」であることを検知するか、知らされるか、またはその他により判定することができ、入力Bが高「1」または低「0」であることを検知するか、知らされるか、またはその他により判定することができる。
ブロック606で、入力Aが高「1」または低「0」のいずれとして示されたかまたは判定されたか、または入力Bが高「1」または低「0」のいずれとして示されたかまたは判定されたか、あるいはその両方の決定が行われる。入力Aまたは入力Bが高「1」である場合、RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方に高書き込み電圧が印加される(ブロック608)。たとえば、コントローラ510が、適切なノード402、404に高書き込み電圧を印加し、高書き込み電流がRAMセル400にわたって流れるか、またはRAMセル400にわたって流れるか、あるいはその両方にわたって流れる。RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方に高書き込み電圧が印加された場合、RAMセル400または400あるいはその両方がLRSにプログラムされる(ブロック610)。
入力Aまたは入力Bが低「0」の場合、RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方に低書き込み電圧が印加される(ブロック612)。たとえば、コントローラ510が、適切なノード402、404に低書き込み電圧を印加し、低書き込み電流がRAMセル400にわたって流れるか、またはRAMセル400にわたって流れるか、あるいはその両方にわたって流れる。RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方に低書き込み電圧が印加された場合、RAMセル400または400あるいはその両方がHRSにプログラムされる(ブロック614)。方法600はブロック616で終了してもよい。
図10に、本発明の様々な実施形態によるRRLG410の論理出力を読み出す方法650を示す。方法650のブロックは、たとえばコントローラ510、処理ノード、他の知られている抵抗変化型RAM読み出し/書き込みコントローラによって行われてもよい。
方法650はブロック652で開始し、続いて、第1の抵抗変化型RAMセルに読み出し電圧を印加し、第2の抵抗変化型RAMセルに読み出し電圧を印加する(ブロック654)。たとえば、コントローラ510が、ノード402に読み出し電圧を印加し、ノード404に読み出し電圧を印加し、それによってRAMセル400とRAMセル400にそれぞれの読み出し電流を流れさせる。RAMセル400とRAMセル400に流れる読み出し電流は、それぞれRAMセル400とRAMセル400の抵抗状態に依存する。プログラムされたRAMセル400に流れる読み出し電流は、RAMセル400がHRSである場合には低(すなわちI)となることができ、またはRAMセル400がLRSである場合に高(すなわちI)となることができる。
方法650は、続いて、RAMセル400とRAMセル400の両方によって共用される出力ノード406において、RAMセル400に流れる読み出し電流とRAMセル400に流れる読み出し電流の電流和を検知してもよい(ブロック656)。電流和は、低電流和(I+I)、中間電流和(I+I)、または高電流和(I+I)であり得る。
方法650は、続いて、電流和が低電流和(I+I)、中間電流和(I+I)または高電流和(I+I)であるかを判定してもよい(ブロック658)。検知された電流和は所定の基準値と比較されてもよい。たとえば、コントローラ510が、検知された電流和を所定の電流和基準値と比較し、検知された電流和が低電流和の所定の許容差内であるか、中間電流和の所定の許容差内であるか、または高電流和の所定の許容差内であるかを判定してもよい。あるいは、コントローラ510が、検知された電流和から抵抗測定指標を導出してもよく、導出された抵抗測定指標を所定の抵抗基準値と比較し、導出された抵抗測定指標が低電流和、中間電流和、または高電流和と等しいか判定してもよい。
電流和が低電流和であると判定された場合、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルの両方がHRSにプログラムされていると有効に判定され(ブロック660)、共用ノードにおけるRRLG410の出力が高「1」として設定される(ブロック662)。たとえば、コントローラ510が、検知された低電流和(I+I)が所定の低電流和基準値の許容差内であるか、または所定の高抵抗基準値の許容差内に等しいと判定した場合、コントローラ510は、RAMセル400とRAMセル400の両方がHRSにプログラムされていると有効に判定し、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力は高「1」である。
電流和が中間電流和であると判定された場合、第1の抵抗変化型RAMセルまたは第2の抵抗変化型RAMセルのうちの一方がHRSにプログラムされており、他方がLRSにプログラムされていると有効に判定され(ブロック664)、共用ノードにおけるRRLG410の出力が高「1」と設定される(ブロック666)。たとえば、コントローラ510が、検知された中間電流和(I+I)が所定の中間電流和基準値の許容差内であるか、所定の中間抵抗基準値の許容差内に等しいと判定した場合、コントローラ510は、RAMセル400またはRAMセル400の一方がHRSにプログラムされており、他方のセルがLRSにプログラムされていると有効に判定し、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力は高「1」である。
電流和が高電流和であると判定された場合、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルが両方ともLRSにプログラムされていると有効に判定され(ブロック668)、共用ノードにおけるRRLG410の出力が低「0」に設定される(ブロック670)。たとえば、コントローラ510が、検知された高電流和(I+I)が所定の高電流和基準値の許容差内であるかまたは所定の低抵抗基準値の許容差内に等しいと判定した場合、コントローラ510は、RAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされていると有効に判定し、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力は低「0」である。
方法650は、続いて、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルをHRSにするか、またはHRSであることを確実にするために、リセット動作を行う(ブロック672)。たとえば、メモリ・コントローラ510が、要求側デバイスからリセット要求を受信してもよく、要求を受信すると、それぞれの抵抗変化型RAMセルをリセットしてもよい。抵抗変化型RAMのリセットは、RAMセルを、すでにHRS状態になっていなければHRS状態にする。たとえば、(ブロック668、760で)コントローラ510がRAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされており、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力が低「0」であると判定した後、コントローラ510は、両方のセルをLRSからHRSにするためにRAMセル400とRAMセル400の両方に適切なリセット電圧を印加してもよい。方法650はブロック674で終了してもよい。
図11に、本発明の様々な実施形態によるRRLG420のプログラム方法700を示す。方法700のブロックは、たとえば、コントローラ510、処理ノード、他の知られている抵抗変化型メモリRAM読み出し/書き込みコントローラによって行われてもよい。方法700は、ブロック702で開始し、続いて、入力Aを高「1」または低「0」のいずれかとして示し、または判定するか、または入力Bを高「1」または低「0」のいずれかとして示し、または判定するか、あるいはその両方を行う(ブロック704)。明確にするために、RRLG420がNORデバイスとして実装される場合は、入力Aと入力Bの両方が示されるかまたは判定され、RRLG420がNOTデバイスとして実装される場合は、入力Aが示されるかまたは判定される。入力Aは第1の上流ロジック・デバイスのそれぞれの出力によって示されてもよく、または入力Bは第2の上流ロジック・デバイスによって示されてもよく、あるいはその両方であってもよい。したがって、コントローラ510は、入力Aが高「1」または低「0」であることを検知するか、知らされるか、またはその他により判定してもよく、入力Bが高「1」または低「0」であることを検知するか、知らされるか、またはその他により判定してもよい。
ブロック706で、入力Aが高「1」と低「0」のいずれとして示されたかまたは判定されたか、または入力Bが高「1」と低「0」のいずれとして示されたかまたは判定されたか、あるいはその両方が決定される(ブロック706)。ブロック706で入力Aと入力Bの両方が低「0」である場合、両方の抵抗変化型RAMセルに、両方のRAMセルによって共用される入力ノードにおいて低書き込み電圧が印加される(ブロック708)。たとえば、コントローラ510は、RAMセル400とRAMセル400の両方によって共用される入力ノード412に低書き込み電圧を印加する。
方法700は、続いて、両方の抵抗変化型RAMセルに強制的に低書き込み電流を流れさせる(ブロック710)。たとえば、共用入力ノード412に印加された低書き込み電圧が、RAMセル400にわたってまたはRAMセル400にわたってあるいはその両方にわたって強制的に低書き込み電流を流れさせる。両方の抵抗変化型RAMセルに低書き込み電圧が印加された場合、各抵抗変化型RAMセルはHRSにプログラムされる(ブロック712)。たとえば、RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方にわたる低書き込み電流が、RAMセル400または400あるいはその両方をHRSにプログラムする。
ブロック706で、入力Aまたは入力Bの一方または両方が高「1」である場合、両方の抵抗変化型RAMセルによって共用される入力ノードにおいて両方の抵抗変化RAMセルに高書き込み電圧が印加される(ブロック714)。たとえば、コントローラ510が、RAMセル400とRAMセル400の両方によって共用される入力ノード412に高書き込み電圧を印加する。
方法700は、続いて、両方の抵抗変化型RAMセルに高書き込み電流を強制的に流れさせてもよい(ブロック716)。たとえば、共用入力ノード412に印加された高書き込み印加電圧が、RAMセル400とRAMセル400の両方にそれぞれ強制的に高書き込み電流を流れさせる。共用ノードに高書き込み電圧が印加され、両方の抵抗変化型RAMセルに書き込み電流が流れた場合、各抵抗変化型RAMセルがLRSにプログラムされる(ブロック718)。たとえば、RAMセル400とRAMセル400に流れる高書き込み電流が、RAMセル400またはRAMセル400あるいはその両方をLRSにプログラムする。方法700はブロック620で終了してもよい。
図12に、本発明の様々な実施形態によるRRLG410の論理出力を読み出す方法750を示す。方法750のブロックは、たとえばコントローラ510、処理ノード、他の知られている抵抗変化型RAM読み出し/書き込みコントローラによって行われてもよい。
方法750はブロック752で開始し、続いて、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルの両方によって共用されるノードに読み出し電圧を印加する(ブロック754)。たとえば、コントローラ510が、ノード412に、RAMセル400とRAMセル400とに流れるそれぞれの読み出し電流を生じさせる読み出し電圧を印加する。RAMセル400とRAMセル400に流れる読み出し電流は、それぞれRAMセル400とRAMセル400の抵抗状態に依存する。抵抗変化型RAMセルのプログラムされたそれぞれの抵抗変化型RAMセルに流れる読み出し電流は、RAMセル400がHRSの場合は低(すなわちI)であるか、またはRAMセル400がLRSの場合は高(すなわちI)である。
方法750は、続いて、第1の抵抗変化型RAMセルに流れる読み出し電流と第2の抵抗変化型RAMセルに流れる読み出し電流との電流和を、両方のセルによって共用される出力ノードで検知する(ブロック756)。たとえば、RAMセル400に流れる読み出し電流とRAMセル400に流れる読み出し電流の電流和が検知される。電流和は、低電流和(I+I)または高電流和(I+I)であり得る。
方法750は、続いて、電流和が低電流和(I+I)であるか高電流和(I+I)であるかを判定してもよい(ブロック758)。検知された電流和は、所定の基準値と比較されてもよい。たとえば、検知された電流和が所定の電流和基準値と比較され、検知された電流和が低電流和の所定の許容差内にあるか、高電流和の所定の許容差内にあるかを判定する。あるいは、検知された電流和から抵抗測定指標が導出され、導出された抵抗測定指標が所定の抵抗基準値と比較され、導出された抵抗測定指標が低電流和と等しいか高電流和と等しいかを判定してもよい。
電流和が低電流和であると判定された場合、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルの両方がHRSにプログラムされていると有効に判定され(ブロック760)、共用ノードにおけるRRLG410の出力が高「1」として設定される(ブロック762)。たとえば、コントローラ510が、検知された低電流和(I+I)が所定の低電流和基準値の許容差内であるか、または所定の高抵抗基準値の許容差内に等しいと判定した場合、コントローラ510は、RAMセル400とRAMセル400の両方がHRSにプログラムされていると有効に判定し、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力は高「1」である。
電流和が高電流和であると判定された場合、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルの両方がLRSにプログラムされていると有効に判定され(ブロック764)、共用ノードにおけるRRLG410の出力が低「0」として設定される(ブロック766)。たとえば、コントローラ510が、検知された高電流和(I+I)が所定の高電流和基準値の許容差内にあるかまたは所定の低抵抗基準値の許容差内に等しいと判定した場合、コントローラ510は、RAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされていると有効に判定し、共用出力ノード406におけるRRLG410の出力は低「0」である。
方法750は、続いて、第1の抵抗変化型RAMセルと第2の抵抗変化型RAMセルをHRSであるようにするかまたはその他により確実にするために、リセット動作を行う(ブロック768)。たとえば、メモリ・コントローラ510が、要求側デバイスからリセット要求を受信してもよく、要求を受信すると、抵抗変化型RAMセルをリセットしてもよい。抵抗変化型RAMセルのリセットは、RAMセルを、すでにHRS状態になっていなければHRS状態にする。たとえば、(ブロック668、760で)コントローラ510がRAMセル400とRAMセル400の両方がLRSにプログラムされており、共用ノード406におけるRRLG410の出力が低「0」であると判定した後、コントローラ510は、両方のセルをLRSからHRSにするためにRAMセル400とRAMセル400の両方に適切なリセット電圧を印加してもよい。方法750はブロック770で終了してもよい。
様々な実施形態において、抵抗変化型RAMロジック・デバイスが提供される。これらのロジック・デバイスは、知られているCMOSロジック・デバイスよりも低速に動作する場合がある。たとえば、これらのデバイスの書き込みまたはプログラムをする場合、リフレッシュ・ステップとプログラミング・ステップの両方が行われる場合がある。しかし、抵抗変化型RAMロジック・デバイスには他の利点がある。すなわち、このようなデバイスは、ICデバイスの多くの基板上または場所に作製可能である。たとえば、これらのデバイスは、ICデバイスのBEOLレベルに配置されてもよい。したがって、本明細書で企図される抵抗変化型RAMロジック・デバイスは、知られているMOSロジック・デバイスのように必ずしもシリコン基板上に作製される必要はない。この抵抗変化型RAMロジック・デバイスのもう一つの利点は、電力が印加されていないときでも論理状態を維持するその不揮発性に起因して低電力であることである。したがって、動作中でないときにはデバイスに電力を印加する必要がない。もう一つの利点は、論理セル(すなわち1対の抵抗変化型RAMセル)は、本明細書で企図されているようなロジック・デバイスとして構成可能であるが、従来型記憶セルとしても利用可能であることである。したがって、このような論理セルは、複合ロジックおよびメモリ・デバイスが有用となる解決策を提供する(すなわちFPGAデバイスなど)。
添付図面および本明細書では、本発明の実施形態と本発明の特徴および構成要素を図示し、説明した。本明細書で使用されているいずれの特定の表記も便宜上使用されているに過ぎず、したがって本発明は、そのような表記によって特定されるかまたは含意されるかあるいはその両方である特定のプロセスによって限定されるべきではないことが、当業者にはわかるであろう。したがって、本明細書に記載の実施形態は、あらゆる点で制限的ではなく例示であるとみなされることと、本発明の範囲を判断するために添付の特許請求の範囲が参照されることが望まれる。

Claims (20)

  1. 抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NANDデバイスであって、
    第1の抵抗スイッチングRAMセルと、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第1の入力ノードと、
    第2の抵抗スイッチングRAMセルと、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第2の入力ノードと、
    前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードとを含む、抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  2. 前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方が高抵抗状態(HRS)であるときに、前記共用出力ノードに論理高「1」が存在する、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  3. 前記第1の抵抗スイッチングRAMセルまたは前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの一方のみが高抵抗状態(HRS)であり、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルまたは前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの他方が低抵抗状態(LRS)であるときに、前記共用出力ノードに論理高「1」が存在する、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  4. 前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方が低抵抗状態(LRS)であるときに、前記共用出力ノードに論理低「0」が存在する、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  5. 前記共用出力ノードにおいて低電流和が検知され、前記低電流和が、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルに流れる第1の低読み出し電流と前記第2の抵抗スイッチングRAMセルに流れる第2の低読み出し電流との和からなる、請求項2に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  6. 前記共用出力ノードにおいて中間電流和が検知され、前記中間電流和が前記第1の抵抗スイッチングRAMセルに流れる低読み出し電流と前記第2の抵抗スイッチングRAMセルに流れる高読み出し電流との和からなる、請求項3に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  7. 前記共用出力ノードにおいて中間電流和が検知され、前記中間電流和が前記第1の抵抗スイッチングRAMセルに流れる高読み出し電流と前記第2の抵抗スイッチングRAMセルに流れる低読み出し電流との和からなる、請求項3に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  8. 前記共用出力ノードにおいて高電流和が検知され、前記高電流和が前記第1の抵抗スイッチングRAMセルに流れる第1の高読み出し電流と前記第2の抵抗スイッチングRAMセルに流れる第2の高読み出し電流との和からなる、請求項4に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  9. 前記第1の抵抗スイッチングRAMが第1の抵抗変化型RAM(ReRAM)セルであり、前記第2の抵抗スイッチングRAMが第2のReRAMセルである、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  10. 前記第1の抵抗スイッチングRAMが第1の磁気抵抗RAM(MRAM)セルであり、前記第2の抵抗スイッチングRAMが第2のMRAMセルである、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス。
  11. 抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NANDデバイス動作方法であって、
    抵抗スイッチングRAMコントローラ(コントローラ)によって、第1の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第1の入力ノードに書き込み電位パルスを印加することによって前記第1の抵抗スイッチングRAMセルをプログラムすることと、
    前記コントローラによって、第2の抵抗スイッチングRAMセルに電気的に接続された第2の入力ノードに書き込み電位パルスを印加することによって前記第2の抵抗スイッチングRAMセルをプログラムすることと、
    前記第1の入力ノードをプログラムし、前記第2の入力ノードをプログラムした後で、前記コントローラによって、前記第1の入力ノードと前記第2の入力ノードとに読み出し電位を印加することと、
    前記コントローラによって、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルの第1の抵抗状態を判定するためと、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの第2の抵抗状態を判定するために、前記第1の入力ノードと前記第2の入力ノードとに印加された前記読み出し電位によって誘起された電流和を前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードにおいて検知することと、
    前記コントローラによって、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルの判定された前記第1の抵抗状態と、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの判定された前記第2の抵抗状態とに基づいて、前記共用出力ノードにおける論理出力を判定することとを含む、抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  12. 前記コントローラが、前記第1の入力ノードにおいて高「1」論理入力が示された場合に前記第1の入力ノードに高書き込み電位パルスを印加し、前記第1の入力ノードにおいて低「0」論理入力が示された場合に前記第1の入力ノードに低書き込み電位パルスを印加する、請求項10に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  13. 前記コントローラが、前記第2の入力ノードにおいて高「1」論理入力が示された場合に前記第2の入力ノードに高書き込み電位パルスを印加し、前記第2の入力ノードにおいて低「0」論理入力が示された場合に前記第2の入力ノードに低書き込み電位パルスを印加する、請求項12に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  14. 前記コントローラが、前記第1の入力ノードに高書き込み電位パルスが印加された場合に前記第1の抵抗スイッチングRAMセルを低抵抗状態(LRS)にプログラムし、前記第1の入力ノードに低書き込み電位パルスが印加された場合に前記第1の抵抗スイッチングRAMセルを高抵抗状態(HRS)にプログラムする、請求項13に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  15. 前記コントローラが、前記第2の入力ノードに高書き込み電位パルスが印加された場合に前記第2の抵抗スイッチングRAMセルを低抵抗状態(LRS)にプログラムし、前記第2の入力ノードに低書き込み電位パルスが印加された場合に前記第2の抵抗スイッチングRAMセルを高抵抗状態(HRS)にプログラミングする、請求項14に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  16. 前記コントローラが前記第1の抵抗スイッチングRAMセルの前記第1の抵抗状態が前記HRSであると判定し、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの前記第2の抵抗状態が前記HRSであると判定した場合、前記コントローラが前記共用出力ノードにおける前記論理出力が高「1」であると判定する、請求項14に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  17. 前記コントローラが前記第1の抵抗スイッチングRAMセルの前記第1の抵抗状態が前記HRSであると判定し、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの前記第2の抵抗状態が前記LRSであると判定した場合、前記コントローラが前記共用出力ノードにおける前記論理出力が高「1」であると判定する、請求項14に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  18. 前記コントローラが前記第1の抵抗スイッチングRAMセルの前記第1の抵抗状態が前記LRSであると判定し、前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの前記第2の抵抗状態が前記LRSであると判定した場合、前記コントローラが前記共用出力ノードにおける前記論理出力が低「0」であると判定する、請求項15に記載の抵抗スイッチングRAM NANDデバイス動作方法。
  19. 抵抗スイッチング・ランダム・アクセス・メモリ(RAM)NORデバイスであって、
    第1の抵抗スイッチングRAMセルと、
    第2の抵抗スイッチングRAMセルと、
    前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用入力ノードであって、第1の入力と第2の入力とを含む前記共用入力ノードと、
    前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方に電気的に接続された共用出力ノードとを含む、抵抗スイッチングRAM NORデバイス。
  20. 前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの両方が高抵抗状態(HRS)であるとき、前記共用出力ノードに論理高「1」が存在し、前記第1の抵抗スイッチングRAMセルと前記第2の抵抗スイッチングRAMセルの一方または両方が低抵抗状態(LRS)であるとき、前記共用出力ノードに論理低「0」が存在する、請求項1に記載の抵抗スイッチングRAM NORデバイス。
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KR102079346B1 (ko) * 2018-05-25 2020-04-08 고려대학교 산학협력단 에쓰오티 엠램 및 그 데이터 쓰기방법
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