JP2023516944A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7561568B2 (ja) * 2020-10-19 2024-10-04 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボット
CN117832049A (zh) * 2022-09-28 2024-04-05 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备及其传输腔室
US12552619B2 (en) * 2023-02-16 2026-02-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Wafer transfer apparatus, wafer transfer system, and method for removing particles in wafer transfer apparatus
TWI854761B (zh) * 2023-08-02 2024-09-01 友達光電股份有限公司 半導體自動裝載系統

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60189219A (ja) * 1984-03-08 1985-09-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 回転サセプタ支持装置
JPH06105082B2 (ja) * 1985-08-20 1994-12-21 株式会社東芝 発塵防止機構
JPH0469186A (ja) * 1990-07-09 1992-03-04 Mitsubishi Electric Corp 産業用特殊雰囲気内作業ロボット
JPH0929682A (ja) * 1995-07-11 1997-02-04 Canon Inc クリーン環境用機器のシール装置及びクリーンロボット
JP3638393B2 (ja) 1997-03-04 2005-04-13 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JPH1187461A (ja) * 1997-09-11 1999-03-30 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置およびそれを適用した基板処理装置
US6352265B1 (en) * 1999-05-26 2002-03-05 Brooks Automation, Inc. Seal ring using gas curtain
JP2001024045A (ja) * 1999-07-08 2001-01-26 Nikon Corp 搬送装置およびそれを用いた露光装置
JP2001300883A (ja) * 2000-04-20 2001-10-30 Kawasaki Heavy Ind Ltd ロボット
JP3983481B2 (ja) 2001-01-31 2007-09-26 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理装置における基板搬送方法
JP2012056034A (ja) * 2010-09-09 2012-03-22 Sinfonia Technology Co Ltd ロボットアーム装置
JP5364769B2 (ja) * 2011-09-26 2013-12-11 株式会社安川電機 搬送ロボットおよび基板処理装置
TWI629743B (zh) 2012-02-10 2018-07-11 布魯克斯自動機械公司 基材處理設備
JP5500206B2 (ja) * 2012-06-01 2014-05-21 株式会社安川電機 搬送ロボットおよび搬送ロボットを備えた局所クリーン装置
JP6120031B2 (ja) 2016-01-20 2017-04-26 セイコーエプソン株式会社 部品検査装置、及び、ハンドラー
JP7137047B2 (ja) 2018-03-15 2022-09-14 シンフォニアテクノロジー株式会社 Ｅｆｅｍ、及び、ｅｆｅｍにおけるガス置換方法
JP7480635B2 (ja) * 2020-08-21 2024-05-10 東京エレクトロン株式会社 基板を搬送する装置、基板を処理するシステム、及び基板を処理する方法
JP7561568B2 (ja) * 2020-10-19 2024-10-04 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボット

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