JP2023515245A - スリットバルブガス圧制御 - Google Patents

Abstract

スリットバルブ装置及びスリットバルブを制御するための方法が開示される。スリットバルブ装置は、スリットバルブアセンブリ、及びスリットバルブアセンブリと通信するサーボ制御システムを含む。スリットバルブアセンブリは、開位置と閉位置との間で移行することができる少なくとも１つのゲート、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ、複数のコントローラを含む少なくとも１つの比例ガス圧バルブ、及び連続位置センサを含む。サーボ制御システムは、ゲート用の位置軌跡、連続位置センサからのゲートの直線位置測定値、及び複数のコントローラからの流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、制御信号を生成し、少なくとも１つのゲートの移動を調整する。【選択図】図２Ｂ

Description

[0001] 本開示の実施形態は、広くは、スリットバルブ装置のサーボ制御のための電子デバイス処理システム及び方法の分野に関する。

[0002] 半導体基板は、一般的に、減圧処理システム内で処理される。これらのシステムは、１以上のチャンバを含み、各チャンバは、エッチング、化学気相堆積、又は物理的気相堆積などのような基板処理動作を実行する。それらは、基板の加熱又は冷却、及びプロセスを支援するためのプラズマを含み得る。典型的には、そのような処理チャンバ内の環境は、低準大気圧（low sub-atmospheric pressure）に維持される。各チャンバは、排気装置及び処理ガスの導入のための入口及び出口、ならびに基板を収容するためにスリットバルブによって制御される開口部を含む。このような処理チャンバは、基板移送チャンバと連通してよく、基板移送チャンバも、バルブ制御開口部を有してよい。この開口部を通して、基板がシステムの外部から収容され得る。

[0003] 開口部を開閉するスリットバルブは、典型的には、隣接するチャンバ間に配置されるポート内に収納される。ポートは、典型的には、少なくとも１つのゲートを操作するために使用されるアクチュエータに結合された該ゲートを収納する。アクチュエータは、開位置（ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離しておらず、開口部が開いている）から、閉位置（ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離しており、開口部が閉じている）へ、ゲートを移動させるための１以上のピストンを含むガス圧アクチュエータであり得る。閉位置から開位置へも同様である。

[0004] 従来のガス圧スリットバルブ制御技法は、フルストローク作動（すなわち、２つの位置、開位置又は閉位置）を提供する、システムコントローラによって制御されるガス圧スイッチを含む。加えて、従来のガス圧スリットバルブ制御技法は、ゲートの端位置に位置付けられている２つの離散したセンサ（すなわち、１つは閉位置にあり、１つは開位置にある）を含む。

[0005] このような従来のガス圧スリットバルブ制御技法では、ゲートが一方の端位置から他方の端位置へ移動している最中に、ゲートの所在に関する知識がない。加えて、ゲートを一方の端位置からもう一方へ作動させると、ゲートは定常速度に達するまで加速を開始し、その最高速度において急停止する。これは、望ましくない振動、粒子生成、及びウエハ欠陥に寄与する可能性がある。

[0006] 特定の実施形態では、本開示が、スリットバルブを制御するためのスリットバルブ装置を対象とする。スリットバルブ装置は、スリットバルブアセンブリ、及びスリットバルブアセンブリと通信するサーボ制御システムを含む。スリットバルブアセンブリは、開位置と閉位置との間で移行するように構成された少なくとも１つのゲートを含む。スリットバルブアセンブリは、少なくとも１つのゲートに結合された少なくとも１つの移動部材を含む、少なくとも１つのガス圧アクチュエータを更に含む。スリットバルブアセンブリは、加圧流体供給部又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された少なくとも１つの比例ガス圧バルブを更に含む。少なくとも１つの比例ガス圧バルブは、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラを含む。スリットバルブアセンブリは、少なくとも１つのゲートの直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサを更に含む。

[0007] 特定の実施形態では、本開示が、スリットバルブ装置を制御する方法を対象とする。該方法は、中央コントローラによって、スリットバルブ装置の少なくとも１つのゲート用の位置軌跡を受け取ることを含む。該方法は、中央コントローラによって、少なくとも１つのゲートの直線位置を継続的に特定する連続位置センサから直線位置測定値を受け取ることを更に含む。該方法は、中央コントローラによって、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御する複数のコントローラから、流体圧力及び／又は流体流量測定値を受け取ることを更に含む。該方法は、中央コントローラによって、位置軌跡、直線位置測定値、並びに少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、制御信号を生成することを更に含む。該方法は、中央コントローラによって、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに制御信号を送信することを更に含む。該方法は、中央コントローラによって、少なくとも１つのガス圧アクチュエータの少なくとも１つの移動部材を介して、前記少なくとも１つのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させることを更に含む。

[0008] 特定の実施形態では、本開示が、スリットバルブアセンブリのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させることを含む方法を対象とする。該動作は、スリットバルブアセンブリのガス圧アクチュエータの複数の供給ラインを通って流体が流れることを可能にするために、比例ガス圧バルブを作動させることを含む。該動作は、複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を測定することを更に含む。該動作は、連続位置センサを用いて、ゲートの直線位置を測定することを更に含む。該動作は、複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、直線位置測定値、並びに複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値に応じて、サーボ制御装置を用いて比例ガス圧バルブを制御することを更に含む。該動作は、複数の供給ラインを通って流れる流体を介して、アクチュエータの移動部材によって、ゲートに力を加えることを更に含む。

[0009] 本開示は、実施例として示されており、限定するものではなく、添付の図面においては同様の参照番号が類似の要素を示している。本開示における「１つの（an）」又は「１つの（one）」実施形態に対する異なる言及は、必ずしも同じ実施形態に対するものではなく、そのような言及は少なくとも１つを意味することに留意されたい。

[0010] 本開示の実施形態によるウエハ処理システムの上面概略図を示す。 [0011] ゲートが開位置にある、本開示の実施形態によるスリットバルブ装置の簡略図を示す。 [0012] ゲートが閉位置にある、本開示の実施形態によるスリットバルブ装置の簡略図を示す図である。 [0013] 本開示の一実施形態による、開ゲート位置から閉ゲート位置へ、及び閉ゲート位置から開ゲート位置への動作中のスリットバルブ装置の例示的な圧力プロファイルを示す。 [0014] 本開示の実施形態によるスリットバルブ装置を制御するための方法のフローチャートである。 [0015] 本開示の実施形態による、スリットバルブアセンブリのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させるための方法のフローチャートである。 [0016] 本開示の実施形態によるスリットバルブ装置を制御するための方法によって制御されるゲートから生成される粒子の数を試験するためのモデルである。

[0017] 半導体基板及び他の基板は、一般的に、減圧処理システム内で処理され、スリットバルブアセンブリによって制御される開口部を通して１以上のチャンバ間で移送される。これらのスリットバルブアセンブリは、典型的には、少なくとも１つのゲートを操作するために使用されるアクチュエータに結合された該ゲートを含む。アクチュエータは、ゲートを開位置（ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離していない）から、閉位置（ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離している）に移動させるための１以上のピストンを含む、フルストロークガス圧アクチュエータであり得る。閉位置から開位置もまた同様である。ガス圧アクチュエータは、典型的には、完全な流れを提供するか又は流れを提供せずのいずれかであり、完全な流れと流れがない状態との間に別の中間設定を有さない、オン／オフガス圧スイッチによって制御される。加えて、既存のガス圧スリットバルブ制御機構は、ゲートの端位置に位置付けられている２つの離散したセンサ（すなわち、１つは閉位置にあり、もう１つは開位置にある）を含む。このような従来のガス圧スリットバルブ制御機構及び技法により、ゲートの位置を任意の所与の時間でフルストロークに沿ってモニタし、ゲートの運動プロファイルをリアルタイムで調整することは困難である。したがって、同じ効果を実現するが、粒子の生成及び粒子の汚染が低減されるように、低減された作動力が好適であり得るときに、多くの事例では、完全な作動力がゲートに加えられる。

[0018] 本開示は、スリットバルブアセンブリ、及びスリットバルブアセンブリと通信するサーボ制御システムを含む、スリットバルブ装置に関する。スリットバルブアセンブリは、開位置と閉位置との間で移行するように構成された少なくとも１つのゲートを含む。スリットバルブアセンブリは、少なくとも１つのゲートに結合された少なくとも１つの移動部材を含む、少なくとも１つのガス圧アクチュエータを更に含む。スリットバルブアセンブリは、加圧流体供給部又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された少なくとも１つの比例ガス圧バルブを更に含む。比例ガス圧バルブは、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラを含む。スリットバルブアセンブリは、少なくとも１つのゲートの直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサを更に含む。

[0019] 従来のスリットバルブ制御機構を超える本明細書の実施形態で説明されるスリットバルブ制御機構の１つの利点は、フルストロークを通して（すなわち、ゲートが１つの端位置から別の１つの端位置へ移動するときに）ゲートの所在のリアルタイムのインシトゥ（in-situ）知識を提供し、フルストロークを通してゲートの運動プロファイルを調整するためのリアルタイムのインシトゥ能力を提供することである。この利点は、フルストローク内のゲートの位置に応じて、及び、ゲートの運動プロファイルが、ゲート用の命令された位置軌跡にどれだけ近いかに応じて、ゲートを加速させ、ゲートを減速させ、ゲートを停止させ、又は閉じたゲートに更なる力を提供するために、必要に応じてゲートに加えられる作動力を調整するよう使用されてよい。

[0020] 例えば、ゲートが端位置（例えば、開位置又は閉位置）に近づくと、ゲートを減速させ、ゲートがその端位置に到達すると、ゲートを停止させるように、ゲートに加えられる力が調整されてよい。このやり方で、ゲートは、既存のスリットバルブ制御機構で現在観察されるように急停止するのではなく、むしろ巧みに且つ容易にその端位置に到達することになる。急停止は、摩耗、システム振動、粒子生成、及びウエハ欠陥に寄与することがある。既存の機構では、ゲートがその最高速度で移動しているときにその端位置に到達する傾向がある（急停止、粒子生成、及びシステム振動をもたらす）。

[0021] 特定の実施形態では、ゲートが、開位置から閉位置へ、又は閉位置から開位置への移動を開始すると、ゲートに加えられる力は、ゲートを加速させるように調整されてよい。

[0022] 特定の実施形態では、ゲートが閉位置にあると（すなわち、ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離している場合）、２つの隣接するチャンバ間の圧力差にもかかわらず、ゲートが２つの隣接するチャンバを互いから分離することができるように、ゲートに加えられる力が高められてよい。ゲートに加えられる力は、隣接する２つのチャンバ間の圧力差が減少するにつれて軽減されてよい。

[0023] 本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構は、有利なことに、ウエハ処理シーケンス内で何かが失敗したときのトラブルシューティングに有用な診断ツールとして使用されてよい。既存の従来のスリットバルブ制御機構では、ゲートがその端位置に到達し損ねたことが何に起因していたかを特定することが困難である。これとは対照的に、ゲートのフルストロークを通しての所在の知識、及びゲートのフルストロークを通してリアルタイムでゲートの運動を制御する能力は、ゲートの運動のあらゆる変動を追跡し、モニタすることを可能にし、トラブルシューティング及び診断をリアルタイムで合理化する。

[0024] 本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構は、有利なことに、時間を節約し、ウエハ処理システムをより効率的に動作させるために、ウエハ処理シーケンスの部分である他の動作の時間を取るように使用されてよい。例えば、連続位置センサによって常にゲートの所在を知ることにより、既存のスリットバルブ制御機構で現在行われているように、ゲートがその端位置に到達するのを待つことなく、ウエハ処理システム内の特定の動作を早めに開始することができる。例えば、ロボットは、２つの隣接するチャンバを分離するゲートが完全に開く前に、１つのチャンバから隣接するチャンバへウエハを移動し始めてよい。

[0025] 本明細書で使用される場合、単数形「a」、「an」、及び「the」は、文脈が明らかにそうでないことを示さない限り、複数への言及を含む。したがって、例えば、「ウエハ」への言及は、単一のウエハ、ならびに２つ以上のウエハを含む、などである。

[0026] 本明細書で使用されるときに、測定量に関連する用語「約」は、測定を行い、測定装置の測定目的及び精度に見合った注意レベルを行使する際に当業者によって予測される、その測定量の通常の変動を指す。特定の実施形態では、「約」という用語は、「約１０」が９から１１を含むように、列挙された数の±１０％を含む。

[0027] 本明細書で使用されるときに、「ステーション」という用語は、ウエハなどのウエハ処理システムを通して移送される物体が一時的に格納され得るチャンバを指す。本明細書で使用されるステーションは、少なくとも１つのゲートにより、ウエハ処理システムの他の部分から分離されてよい。

[0028] 本明細書での値の範囲の列挙は、本明細書で特に明記しない限り、範囲内に入る各個別の値を個別に参照する略記法として機能することを単に意図しており、各個別の値は、本明細書で個別に引用されているかのように明細書に組み込まれる。本明細書で説明される全ての方法は、本明細書でその逆が示されているか又はさもなければ文脈から明らかに矛盾しない限り、任意の適切な順序で実行されてよい。本明細書で提供される任意の及び全ての実施例、又は例示的な言語（たとえば、「など」）の使用は、単に特定の材料及び方法を明示することを意図しており、適用範囲を限定するものではない。明細書中の言葉は、開示された材料及び方法の実施に不可欠であると主張されていない要素を示すと解釈されるべきではない。

[0029] 図１は、本開示の実施形態によるウエハ処理システム６００の上面概略図を示している。ウエハ処理システム６００は、本明細書で説明される実施形態による、ファクトリインターフェース６６２（「機器フロントエンドモジュール（EFEM）」とも呼ばれる）、メインフレーム６４８（移送チャンバとも呼ばれる）、１以上の処理チャンバ６５５、及び１以上のロードロックチャンバ６５６を含んでよい。メインフレーム６４８は、１以上のロードロックチャンバ６５６を介して、ファクトリインターフェース６６２に連結されてよい。ウエハキャリア６６４は、ファクトリインターフェース６６２の前壁に着脱自在に連結されてよい。ファクトリインターフェース６６２は、ウエハキャリア６６４とロードロックチャンバ６５６との間でウエハ１０１（説明目的で点線で示されている）及び／又は他の物体（プロセスキットリングなど）を移動させるためのファクトリインターフェースロボット６６１を含んでよい。例えば、ファクトリインターフェース６６２は、１以上のロードポートを含んでよく、各ロードポートは、ウエハキャリア６６４を受け取ってよい。オーバーヘッドトラック（OHT）は、前面開口型統一ポッド（FOUP）をロードポートの上に降ろしてよい。ファクトリインターフェースロボット６６１は、FOUPからウエハ１０１を受け取ってよく、任意選択的に、ウエハ１０１をアライナ（図示せず）内に位置合わせしてよい。続いて、ファクトリインターフェースロボット６６１は、ウエハ１０１をロードロックチャンバ６５６内に配置してよい。その後、メインフレームロボット６５０（メインフレーム６４８内に配置される）が、ウエハ１０１をロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つから受け取ってよく、ウエハ１０１を１以上の処理チャンバ６５５のうちの少なくとも１つに渡してよい。

[0030] 製造プロセスが進行するにつれて、ファクトリインターフェースロボット６６１及びメインフレームロボット６５０は、協力して働き、ウエハ１０１及び／又は他の物体を、ウエハキャリア６６４と処理チャンバ６５５との間で移動させてよい。様々な電子デバイス製造プロセス（例えば、酸化、薄膜堆積、エッチング、熱処理、ガス抜き、冷却などといった半導体デバイス製造プロセスなど）が、プロセスチャンバ６５５内で行われてよい。

[0031] １以上の処理チャンバ６５５のうちの少なくとも１つにおける処理が完了した後で、処理済みウエハ１０１は、メインフレームロボット６５０によって受け取られてよく、ロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つに引き渡されてよい。ロードロックチャンバ６５６のうちの少なくとも１つは、その圧力を大気圧までポンピングしてよく、その後、処理済みウエハ１０１がファクトリインターフェースロボット６６１によって受け取られ、FOUPの中に戻されてよい。ウエハキャリア６６４からの全てのウエハが処理された後で、OHT（図示せず）は、設計された製造プロセスに従って、FOUPを受け取ってよく、それを異なるツールのところに降ろしてよい。

[0032] ウエハ１０１及び／又は他の物体は、ポート６７５内に収納されてよいスリットバルブアセンブリの一部分である少なくとも１つのゲートを介して、１つのステーションと隣接するステーションとの間（例えば、移送チャンバ６４８と処理チャンバ６５５との間、ロードロックチャンバ６５６と移送チャンバ６４８との間、ファクトリインターフェース６６２とロードロックチャンバ６５６との間など）で移送される。特定の実施形態によるスリットバルブアセンブリは、図２Ａ～図２Ｂに関して更に詳細に説明される。各スリットバルブ（又はゲート）は、閉位置から開位置へ、及びその逆へ移行することができる。閉位置では、スリットバルブ（又はゲート）が、１つのステーションを隣接するステーションから分離する。開位置では、スリットバルブ（又はゲート）が、１つのステーションを隣接するステーションから分離せず、物体が、ポート６７５の２つの対向する側面の開いた開口部を通して、１つのステーションから隣接するステーションへ移送可能である。スリットバルブは、ガス圧スリットバルブ制御機構を介して、閉位置と開位置との間で移行し、図２Ａ、図２Ｂ、及び図２Ｃに関して更に詳細に説明される。

[0033] 例示的な従来のスリットバルブ装置は、ガス圧アクチュエータの移動部材を介して、開位置と閉位置との間で移行するように構成されたゲートを含む。サーボ制御システムによって制御されるガス圧オン／オフスイッチを使用して、ガス圧アクチュエータを１つの位置から別の位置へ（例えば、開位置から閉位置へ、又は閉位置から開位置へ）移動させることができ、それは、清浄な乾燥空気（CDA）の流れをアクチュエータの一方の側に供給し、アクチュエータの他方の側を排気することによって可能である。ゲートが指定位置（例えば、開位置又は閉位置）に到達したときに、２つの離散したセンサのうちの１つ（各々がゲートの端位置に位置付けられている）が、ゲートの位置を検出し、ゲートの位置についてサーボ制御システムにフィードバックを提供する。

[0034] 例えば、この例示的な従来のスリットバルブ装置では、典型的な動作シーケンスが、以下のように進んでよい。ゲートが閉じている場合、ゲートの閉位置に位置付けられている離散したセンサが、ゲートが閉じていることを示すことになる。サーボ制御システムは、ガス圧アクチュエータの移動部材を介して、ゲートを閉位置から開位置に移動させるために、オン／オフガス圧スイッチを制御することになる。移動部材は、ガス圧アクチュエータの一方の側にCDAの流れを供給し、ガス圧アクチュエータの他方の側を排気することによって、閉位置から開位置へゲートを移動させることになる。閉位置から開位置へのそれらの移動中のゲート及び移動部材の位置は、ゲートが開位置に到達して、離散した開位置センサがオンになるときまで、不明である。

[0035] ゲートが開いているときに、ゲートの開位置に位置付けられている離散した開位置センサが、ゲートが開いていることを示すことになる。サーボ制御システムは、ガス圧アクチュエータの移動部材を介して、ゲートを開位置から閉位置に移動させるために、オン／オフガス圧スイッチを制御することになる。移動部材は、ガス圧アクチュエータの一方の側にCDAの流れを供給し、ガス圧アクチュエータの他方の側を排気することによって、開位置から閉位置にゲートを移動させることになる。開位置から閉位置へのそれらの移動中のゲート及び移動部材の位置は、ゲートが閉位置に到達して、離散的な閉位置センサがオンになるときまで、不明である。

[0036] この例示的な従来のスリットバルブ装置では、ゲートが閉位置から開位置へ移行し始めたときに、CDAの流れがゲートの動きを作動させるために片側に流れ始め、定常速度でゲートを移動させるように定常速度で流れ続ける。この例示的な装置では、ゲートが、（離散的な開位置センサによって証明されるように）ストロークの端及び開位置に到達し、急停止する。ゲートが急停止するポイントは、ゲートがその最高速度で移動しているときなので、ゲートは急激に停止する。これは、振動に寄与し、ゲート境界面で粒子が振れ落ちることに寄与し、これがウエハ欠陥に寄与する可能性があると考えられている。

[0037] 同様の運動軌跡は、ゲートが開位置から閉位置への移行を開始するときにも適用可能である。CDAの流れは、ゲートの動きを作動させるために片側に流れ始め、定常速度でゲートを移動させるように定常速度で流れ続ける。この例示的な装置では、ゲートが、（離散的な閉位置センサによって証明されるように）ストロークの端及び閉位置に到達し、急停止する。ゲートが急停止するポイントは、ゲートがその最高速度で移動しているときなので、ゲートは急激に停止し、それは、振動に寄与し、ゲート境界面で粒子が振れ落ちることに寄与し、これがウエハ欠陥に寄与すると考えられている。

[0038] そのような粒子生成は、ゲートが閉位置から開位置に移動しても開位置から閉位置に移動しても、ゲートの運動プロファイルを制御することによって軽減されてよい。それによって、その運動軌跡の特定の部分ではゲートの速度が上昇し、ゲートの運動軌跡の他の部分ではゲートの速度が減速される。

[0039] 従来のスリットバルブ装置は、端位置センサのみを用いて、ゲートの位置をモニタしている。したがって、ゲートの所在は、開位置と閉位置の間のゲートの移動中に、不明である。ゲートの位置を継続的にモニタすることによって、ゲートがその端位置に近づくにつれて減速するように、その運動プロファイルを制御することが可能になり得る。つまり、ゲートは、現在経験している急停止ではなく、巧みに、ゆっくりと、且つ穏やかに停止するようになる。

[0040] 図２Ａは、本開示の実施形態によるスリットバルブを制御するためのスリットバルブ装置の簡略図を示している。その場合、ゲートは開ゲート位置にある。図２Ｂは、本開示の実施形態によるスリットバルブを制御するためのスリットバルブ装置の簡略図を示している。その場合、ゲートは閉ゲート位置にある。

[0041] スリットバルブ装置は、図１で描かれているポート６７５に収納されてよいスリットバルブアセンブリ２００、及び、スリットバルブアセンブリ２００を制御するために、スリットバルブアセンブリ２００と通信するサーボ制御システム（図１のコントローラ６６５など）を含む。特定の実施形態では、スリットバルブ装置が、複数のスリットバルブアセンブリを含み、スリットバルブアセンブリの各々は、ポート６７５のうちの１つの中に独立して収納される。サーボ制御システム（図１のコントローラ６６５など）は、複数のスリットバルブアセンブリと通信してよく、複数のスリットバルブアセンブリを制御してよい。特定の実施形態では、サーボ制御システム（図１のコントローラ６６５など）が、中央コントローラ２６０と同じであってよい。

[0042] 特定の実施形態では、スリットバルブアセンブリ２００が、開位置（図２Ａで示されるている）と閉位置（図２Ｂで示されている）との間で移行するように構成された少なくとも１つのゲート２１０を含む。スリットバルブアセンブリ２００は、少なくとも１つのゲート２１０に結合され、少なくとも１つのゲート２１０に力を加えるように構成された少なくとも１つの移動部材２２０を含む、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５を含む、ガス圧スリットバルブ制御機構を更に含む。特定の実施形態では、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５が、スリットバルブを一方の端位置から他方の端位置へ移動させるための１つ又は一連のガス圧シリンダを含む。ガス圧スリットバルブ制御機構は、加圧流体供給部又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０を更に含む。各比例ガス圧バルブ２３０は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５へのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラ（図示せず）を更に含む。ガス圧スリットバルブ制御機構は、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサ２５０を更に含む。

[0043] サーボ制御システム（図１のコントローラ６６５など）は、各ガス圧スリットバルブ制御機構と通信する中央コントローラ２６０を含んでよい。特定の実施形態では、中央コントローラが、複数の他のコントローラと相互作用するように構成された標準コントローラである。各中央コントローラは、比例ガス圧バルブ２３０（例えば、複数の流体圧力及び／又は流体流量コントローラ）と、連続位置センサ２５０と、のうちの少なくとも１つと通信してよい。特定の実施形態では、中央コントローラ並びに／又は複数の流体圧力及び／若しくは流体流量コントローラの各々が、サーボ制御システムのモジュールであってよい。サーボ制御システムは、少なくとも１つのゲートの目標位置プロファイル（すなわち、位置軌跡又は命令された位置）、少なくとも１つのゲートの直線位置測定値（すなわち、少なくとも１つのゲートのリアルタイム／インシトゥの実際の位置／運動プロファイル）、及び少なくとも１つのゲートのリアルタイム／インシトゥの実際の位置／運動プロファイルと位置軌跡（又は命令された位置）との間の誤差を考慮する閉ループを維持するように構成され、少なくとも１つのゲートの作動をより緊密に命令された位置軌跡に従うように調整するために、ガス圧スリットバルブ制御機構の様々な構成要素（例えば、比例ガス圧バルブ及び複数のコントローラ）を調整するようガス圧スリットバルブ制御機構にフィードバックを提供する。命令された位置軌跡と実際のリアルタイム／インシトゥ位置測定値との間の誤差を計算し、この誤差を修正するために作動を調整することが、比例・積分・微分（PID）コントローラを使用して実行されてよい。

[0044] 特定の実施形態では、各スリットバルブアセンブリ２００に対して指定された中央コントローラ２６０は、少なくとも１つのゲート２１０用の位置軌跡（命令された位置とも呼ばれ得る）を受け取ること、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置測定値（実際のリアルタイム／インシトゥ位置測定値とも呼ばれ得る）を、連続位置センサ２５０から受け取ること、並びに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値を、比例ガス圧バルブ２３０内の複数の流体圧力及び／又は流体流量コントローラから受け取ること、を実行するように構成されている。「流体圧力及び／又は流体流量測定値」は、それぞれの供給ライン内の実際のリアルタイム／インシトゥ流体圧力及び／又は流体流量を指す。

[0045] 特定の実施形態では、中央コントローラ２６０が、位置軌跡、直線位置測定値、並びに流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、制御信号を生成するように更に構成されている。連続位置センサ２５０は、フルストローク（すなわち、開位置と閉位置との間のその完全な移動）を通して、ゲート２１０の所在に関する知識を提供する直線位置測定値を生成する。特定の実施形態では、連続位置センサ２５０が、開位置から閉位置（及びその逆）へのその運動を通して、少なくとも１つのゲート２１０のリアルタイム／インシトゥの直線位置を示す、連続アナログ出力又は連続デジタル出力を生成するように構成されている。適切な連続位置センサの非限定的な例には、バリスタ（varistor）、誘導センサ、エンコーダ、光ベースのシステム、又は容量ベースのシステムのうちの少なくとも１つが含まれる。

[0046] 中央コントローラ２６０は、ゲートの命令された位置軌跡と、実際のリアルタイム／インシトゥ位置（連続位置センサ２５０によってゲートの直線位置測定値から得られる）と、の間の誤差を計算してよい。中央コントローラは、計算された誤差、及び複数の供給ライン内の測定された流体圧力及び／又は流体流量を考慮し得、少なくとも１つのゲートを命令された位置軌跡へとより近づけるように作動させるために、それぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するための制御信号を生成し得る。

[0047] 特定の実施形態では、中央コントローラが、制御信号を、少なくとも１つの比例ガス圧バルブ及び／又は複数のコントローラに送信するように更に構成されている。制御信号を少なくとも１つの比例ガス圧バルブに送信することは、加圧流体供給部２７０又は通気孔２８０と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいて助けとなる。制御信号を少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに送信することはまた、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいても助けとなる。加圧流体供給ライン２７０又は通気孔２８０と少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５との間の流体圧力及び／又は流体流量は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５への少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０内のそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量と共に、少なくとも１つのアクチュエータの移動部材２２０によって、少なくとも１つのゲート２１０に加えられる力を制御する。

[0048] 特定の実施形態では、比例ガス圧バルブが、完全な流れと全く流れない状態との間で流体流量を変更するように構成されたアナログ制御部を含む。様々な比例ガス圧バルブが、本明細書で説明されるスリットバルブ装置において適切に利用されてよい。例えば、特定の実施形態では、比例ガス圧バルブが、ポペットバルブ（poppet valve）又は比例スプールバルブ（proportional spool valve）である。特定の実施形態では、ガス圧スリットバルブ制御機構において、複数の比例ガス圧バルブが利用されてよい。例えば、１つの比例ガス圧スリットバルブが、加圧流体供給ライン又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御してよく、複数の離散した比例ガス圧スリットバルブが、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの各離散した供給ライン内に配置されてよい。

[0049] 特定の実施形態では、中央コントローラが、少なくとも１つのガス圧アクチュエータの少なくとも１つの移動部材２２０を介して、少なくとも１つのゲート２１０に力を加えるように、サーボ制御システムを動作させるよう更に構成されている。少なくとも１つのガス圧アクチュエータの移動部材２２０によって、少なくとも１つのゲート２１０に加えられる力は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量によって制御されてよい。

[0050] 従来のスリットバルブ制御機構を超える本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構の１つの利点は、フルストロークを通して（すなわち、ゲートが、１つの端位置からもう１つの端位置に移動するときに）ゲートの実際の所在のリアルタイム／インシトゥ知識、及び、フルストロークを通してゲートの運動プロファイルを調整するためのリアルタイム／インシトゥ能力を提供することである。この利点を使用して、フルストローク内のその位置に応じて、ゲートを加速させ、減速させ、停止させ、ゲートに加えられる力を低減又は増加させることができる。

[0051] 例えば、ゲートが端位置（例えば、開位置又は閉位置）に近づくと、中央コントローラによって生成される制御信号は、ゲートがその端位置に近づくにつれてゲートを減速させ、ゲートがその端位置に到達するとゲートを停止させるために、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されてよい。このやり方で、ゲートは、摩耗、システム振動、粒子生成、及びウエハ欠陥に寄与し得る急停止よりもむしろ、巧みで且つ容易な停止で、その端位置に到達することになる。

[0052] 特定の実施形態では、ゲートが、開位置から閉位置へ、又は閉位置から開位置への移動を開始すると、制御信号は、ゲートを加速させるために、少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されてよい。

[0053] 特定の実施形態では、ゲートが閉位置にあると（すなわち、ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離している場合）、制御信号は、ゲートに加えられる力を増加させるために、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されてよい。それによって、２つの隣接するチャンバ間の圧力差にもかかわらず、ゲートは、２つの隣接するチャンバを互いから分離することができる。

[0054] 特定の実施形態では、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ラインへの流体圧力は、約１０psigから約９０psig、約２０psigから約８０psig、約１０psigから約４５psig、約２０psigから約４５psig、約５５psigから約８０psigの範囲、及び任意の他の範囲、又はそれらの範囲内の値である。特定の実施形態では、ゲートの第１の側に近接する第１のステーションと、第１の側の反対のゲートの第２の側に近接する第２のステーションと、の間の圧力差が、３００Torr未満であるときに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ラインへの流体圧力は、約１０psigから約４５psig、約１０psigから約３０psig、約１５psigから約５０psig、約２０psigから約４５psig、又は約３０psigから約４０psigの範囲にあってよい。特定の実施形態では、ゲートの第１の側に近接する第１のステーションと、第１の側の反対のゲートの第２の側に近接する第２のステーションと、の間の圧力差が、３００Torrより大きいときに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ラインへの流体圧力は、約５０psigから約９０psig、約５５psigから約８０psig、又は約６０psigから約７０psigの範囲にある。用語「チャンバ」と「ステーション」とは、本明細書では互換的に使用される。２つの隣接するチャンバ（又は２つの隣接するステーション）間でより大きな圧力差があるとき、ゲートに対してより大きな力を加えるために、少なくとも１つのアクチュエータへの供給ラインにおいて、より大きな流体圧力が利用されてよい。それによって、ゲートは、それらの間のより大きな圧力差にもかかわらず、２つの隣接するチャンバを効果的に分離し続けてよい。同様に、２つの隣接するチャンバ／ステーション間でより小さな圧力差があるとき、ゲートに対してより小さな力を加えるために、少なくとも１つのアクチュエータへの供給ラインにおいて、より小さな流体圧力が利用されてよい。というのも、より小さい圧力差があるとき、より小さな力が、依然として、２つの隣接するチャンバを効果的に分離してよいからである。幾つかの実施形態では、可能なときに、より小さな力を加えることは、生成される粒子の数を低減させることにおいて有用であってよい（以下の図５に関して更に詳細に説明されるように）。少なくとも１つのアクチュエータへの供給ラインにおいて利用される流体圧力は、使用されるアクチュエータ、及びゲートのどちらの側の圧力がより高いかに応じる。しかし、流体圧力は、他の要因の中でもとりわけ、ゲートの位置のフィードバックに基づいて制御（すなわち、増加又は低減）され得る。

[0055] 本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構は、有利なことに、ウエハ処理シーケンス内で何かが失敗したときのトラブルシューティングに有用な診断ツールとして使用されてよい。例えば、経時的にアクチュエータは粘着性になり、それらの摩擦は変化することがある。場合によっては、摩擦が非常に大きくなり、アクチュエータがその運動を途中で停止し、フルストロークを完了できず、その端位置（例えば、開位置又は閉位置）に到達し損ねることがある。幾つかの事例では、密封されているゲート及び／又はアクチュエータに位置付けられているシールが、乾燥することがあり、それもまた、アクチュエータが受ける摩擦の変化に寄与し得る。幾つかの事例では、密封されているゲート又はアクチュエータ上のＯリングが、弛み潰れ始めることがある。幾つかの事例では、ゲートが、幾つかのハードウェア又はソフトウェアの問題のために、時期尚早に移動するように命令され得、ゲートは、そのフルストロークを完了できず、その命令された端位置に達し損ねることがある。というのも、ゲートは、ロボットのアーム上に閉じるからである。既存の従来のスリットバルブ制御機構では、ゲートが、ゲートの端位置に到達し損ねた要因を特定することは非常に困難である。これとは対照的に、ゲートのフルストロークを通してのゲートの実際のリアルタイム／インシトゥの所在の知識、及びそのフルストロークを通してリアルタイム／インシトゥでゲートの運動を制御するための能力は、ゲートの運動における任意の変動を追跡及びモニタし、リアルタイムでのトラブルシューティング及び診断を合理化することを可能にする。

[0056] 例えば、特定のゲートの命令された位置軌跡を実現するために、少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量プロファイル用のベースラインが存在してよい。一実施形態では、ベースラインが、この実行の直前の実行からの少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量プロファイルであり得る。代替的に、ベースラインは、その初期設置時に特定のゲートについて行われた標準的な実行からの少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量プロファイルであり得る。用語「実行（run）」は、本明細書では、ゲートが、１つの端位置（例えば、開位置又は閉位置）からもう１つの端位置（例えば、開位置又は閉位置）へ、フルストロークを通して移行することを指す。ベースラインと比較して、少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内のリアルタイム／インシトゥの実際の流体圧力及び／又は流体流量プロファイルの逸脱は、何がその逸脱の源であり得るかに関するトラブルシューティングを促し得る。

[0057] 本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構は、有利なことに、時間を節約し、ウエハ処理システムをより効率的に動作させるために、ウエハ処理シーケンスの部分である他の動作の時間を取るように使用されてよい。例えば、連続位置センサによって常にゲートの所在を知ることにより、既存のスリットバルブ制御機構で現在行われているように、ゲートがその端位置に到達するのを待つことなく、ウエハ処理システム内の特定の動作を早めに開始することができる。例えば、ロボットは、２つの隣接するチャンバを分離するゲートが完全に開く前に、１つのチャンバから隣接するチャンバへウエハを移動し始めてよい。

[0058] また、スリットバルブ装置を制御するための方法も本明細書で開示される。図３は、本開示の実施形態によるスリットバルブ装置を制御するための方法３００のフローチャートである。方法３００は、閉位置（ゲートが、２つの隣接するチャンバを分離している）と、開位置（ゲートが、２つの隣接するチャンバを分離していない）と、の間でゲートを移行させるために使用されてよい。

[0059] 特定の実施形態では、方法３００が、中央コントローラが、スリットバルブ装置の少なくとも１つのゲート２１０用の位置軌跡（本明細書では「命令された位置軌跡」又は「命令された位置」とも呼ばれる）を受け取ること（３１０）を含む。命令された位置軌跡は、フルストローク（すなわち、１つの端位置からもう１つの端位置へのゲートの全運動）にわたる少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン用の流体圧力及び／又は流体流量プロファイルを含んでよい。「端位置」という用語は、閉位置及び開位置を指す。しかし、特定の実施形態では、端位置がまた、閉位置と開位置との間のどこか、例えばフルストロークの途中であってもよい。閉位置の一実施例が、図２Ｂで描かれている。その場合、ゲート２１０は、シール面２１２に対して閉じており、開口部２１４を完全に閉じ／密封する。開位置の一実施例が、図２Ａで描かれている。その場合、ゲート２１０は、開口部２１４を閉じ／密封することなく、密封面２１２と接触しない。

[0060] 特定の実施形態では、方法３００が、中央コントローラが、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置を継続的に特定する連続位置センサ２５０から、直線位置測定値（本明細書では、「リアルタイム」又は「インシトゥ」又は「実際の」位置測定値とも呼ばれる）を受け取ること（３２０）を含む。直線位置測定値は、フルストローク（例えば、開位置から閉位置へ、及びその逆）に沿った運動を通して、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置を示す、リアルタイム、インシトゥ、実際の連続アナログ出力又はデジタル出力を含んでよい。図２Ａ～図２Ｃに関して説明されたように、連続位置センサには、バリスタ、誘導センサ、エンコーダ、光ベースのシステム、又は容量ベースのシステムのうちの少なくとも１つが含まれてよい。

[0061] 特定の実施形態では、方法３００が、中央コントローラが、フルストロークを通して様々なポイントにおける少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定する複数のコントローラから、流体圧力及び／又は流体流量を受け取ること（３３０）を含む。

[0062] 特定の実施形態では、ゲートの命令された位置軌跡、ゲートの直線位置測定値、並びに少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、中央コントローラが、命令された位置軌跡と生成された位置測定値との間の誤差を計算してよく、少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成された制御信号を生成してよい（３４０）。それによって、ゲートのリアルタイムの位置測定値は、ゲート用の命令された位置軌跡とより緊密に相関する。

[0063] 特定の実施形態では、方法３００が、中央コントローラが、少なくとも１つのアクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに制御信号を送信すること（３５０）を更に含む。それによって、ゲートのリアルタイムの直線位置測定値は、ゲート用の命令された位置軌跡とより緊密に相関する。制御信号を少なくとも１つの比例ガス圧バルブに送信することは、加圧流体供給ライン２７０又は通気孔２８０と少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５との間の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいて助けとなる。制御信号を複数のコントローラに送信することは、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいて助けとなる。加圧流体供給ライン又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量と共に、少なくとも１つのアクチュエータの移動部材によって、少なくとも１つのゲートに加えられる力を制御する。

[0064] 特定の実施形態では、以下の図４に描かれているプロセスに関して更に詳細に説明されるように、方法３００が、中央コントローラが、少なくとも１つのガス圧アクチュエータの少なくとも１つの移動部材を介して、少なくとも１つのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させること（３６０）を含む。

[0065] 従来のスリットバルブ制御技法を超える本明細書で説明されるスリットバルブ制御技法の１つの利点は、本方法が、命令された位置軌跡とフルストロークを通したゲートの実際の位置（すなわち、ゲートが１つの端位置からもう１つの端位置へ移動するときの、ゲートの運動のリアルタイムのインシトゥ測定値）との間の誤差に応じて、リアルタイム／インシトゥフィードバックを提供し（すなわち、１つの端位置からもう１つの端位置へのその運動の最中の任意のポイントにおいて、リアルタイム／インシトゥでゲートの運動プロファイルを調整し）得ることである。この利点を使用して、フルストローク内のその位置に応じて、ゲートを加速させ、減速させ、停止させ、又はゲートに加えられる力を調整することができる。

[0066] 図２Ｃは、本開示の一実施形態による、開ゲート位置から閉ゲート位置へ、及び閉ゲート位置から開ゲート位置へ動作中のスリットバルブ装置の例示的な圧力プロファイルを示している。

[0067] 例えば、ゲートは、ポイント２８２において開位置又は閉位置から開始する。中央コントローラは、領域２８４及び２８６において描かれているように、移動部材に印加されている圧力を高め、ゲートを加速させるように、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整させる。

[0068] 実施形態によれば、ゲートは、約１mm/sから約１５０mm/s、若しくは約５mm/s～約１００mm/s、若しくは約１０mm/sから約５０mm/s、若しくは約１５mm/sから約４０mm/s、若しくは約２０mm/sから約３０mm/s、若しくは約３０mm/sから約３５mm/s、若しくは約３０mm/s、若しくは約３５mm/s、若しくは約５０mm/s、又はその中の任意の単一の値若しくは小範囲の速度まで加速されてよい。これらの数値は、他の要因の中でとりわけ、使用されているアクチュエータに応じるので、限定的に解釈されるべきではない。

[0069] その後、中央コントローラは、領域２８８において描かれているように、少なくとも１つのゲートを定常状態で移動させるために、移動部材に対する一定の圧力を維持するように、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整させてよい。

[0070] ゲートが端位置（例えば、開位置又は閉位置）に近づくと、中央コントローラは、移動部材に対する圧力を低減させ、少なくとも１つのゲートを減速させ（領域２９０において描かれているように）、端位置に到達すると少なくとも１つのゲートを停止させる（領域２９２において描かれている）ように、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整させてよい。

[0071] 実施形態によれば、ゲートは、最大約５０mm/s、若しくは最大約４０mm/s、若しくは最大約３０mm/s、最大約２０mm/s、最大約１５mm/s、最大約１０mm/s、最大約５mm/s、最大約３mm/s、最大約１mm/s、若しくは最大約０．５mm/s、又はその中の任意の単一の値若しくは小範囲の速度まで減速されてよい。これらの数値は、他の要因の中でとりわけ、使用されているアクチュエータに応じるので、限定的に解釈されるべきでない。

[0072] このやり方で、図２Ｃで描かれている例示的なプロファイルでは、ゲートが、摩耗、システム振動、粒子生成、及びウエハ欠陥に寄与することがある急停止ではなく、むしろ巧みで且つ容易な停止で、その端位置に到達することになる。

[0073] 特定の実施形態では、ゲートが閉位置にあると（すなわち、ゲートが、１つのチャンバを隣接するチャンバから分離している場合）、ゲートに加えられる圧力を増加させるために、中央コントローラは、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整させてよい。それによって、ゲートは、２つの隣接するチャンバ間の圧力差にもかかわらず、２つの隣接するチャンバを互いから分離することができる。したがって、ゲートが閉じた後で、領域２９４において描かれているように、密封を改善するために、ゲートに対する圧力が高められてよい。

[0074] 閉位置において１つのチャンバを別のチャンバから適切に分離できる圧力に到達すると、領域２９６において描かれているように、移動部材に対する一定の圧力を維持するために、中央コントローラは、少なくとも１つの比例ガス圧バルブの複数のコントローラに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整させてよい。

[0075] 図４は、本開示の実施形態による、本明細書で説明されるスリットバルブアセンブリのいずれかのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させるための方法４００のフローチャートである。特定の実施形態では、方法４００が、流体が、スリットバルブアセンブリのガス圧アクチュエータの複数の供給ラインを通って流れることを可能にするように、比例ガス圧バルブを作動させること（４１０）を含む。特定の実施形態では、それぞれの供給ラインが、各供給ライン用の複数の離散した比例ガス圧バルブを更に含んでよく、それらもまた、流体がそれぞれの供給ラインを通って流れることを可能にするように作動されてよい。

[0076] 特定の実施形態では、方法４００が、複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を測定すること（４２０）を更に含む。特定の実施形態では、方法４００が、連続位置センサを用いて、ゲートの直線位置を測定すること（４３０）を更に含む。連続位置センサは、フルストロークに沿ったその運動を通して、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置を示す、リアルタイムでインシトゥの実際の連続アナログ出力又は連続デジタル出力を含んでよい。

[0077] 特定の実施形態では、方法４００が、直線位置測定値、及び複数のそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値に応じて、複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、サーボ制御システムを用いて比例ガス圧バルブを制御すること（４４０）を更に含む。それによって、ゲートのリアルタイムの直線位置測定値が、ゲート用の命令された位置軌跡に、より緊密に相関する。

[0078] 特定の実施形態では、方法４００が、少なくとも１つのアクチュエータへの複数のそれぞれの供給ラインを通って流れる流体を介して、アクチュエータの移動部材によって、少なくとも１つのゲートに力を加えること（４５０）を更に含む。

[0079] 図５のモデルは、本明細書で説明されるゲート制御スリットバルブ制御機構及び技法から生成される粒子の数を試験するために利用された。モデル５００は、開位置と閉位置との間で移行するスリットバルブを含む、スリットバルブ粒子試験備品５１０を含む。モデル５００は、約１０nmより大きいが約１００nmより小さいサイズを有する粒子を考慮するように構成されたCPC粒子カウンタ５２０を更に含む。モデル５００は、約１００nmより大きいサイズを有する粒子を考慮するように構成されたラセール（Lasair）粒子カウンタ５３０を更に含む。モデルは、両方の粒子カウンタ（５２０及び５３０）が、それらが見る全ての粒子を正確に考慮すること、及び、流れが均一である（すなわち、粒子の濃度及び分布が備品５１０を出る全ての空気について同じである）ことを、仮定として用いる。

[0080] モデル５００で行われた実験では、空気が、１１×lit／minと指定された速度で、スリットバルブ粒子試験備品５１０の中に送達された。スリットバルブ粒子試験備品５１０から出る空気は、次のように分配された。すなわち、例えば、１×lit／minの速度の空気流が、CPC粒子カウンタ５２０の中に導かれ、１０×lit／minの速度の空気流が、ラセール粒子カウンタ５３０の中に導かれた。この実験は、スリットバルブの最終閉鎖中にスリットバルブに、より高い作動圧力を加えると、生成される粒子の数が増加することを示している。結果は、以下の表１に関して要約されている。

[0081] 表１から分かるように、スリットバルブに対する外部清浄乾燥空気（CDA）作動圧力が閉鎖時に４０psigであるとき、粒子の数（１０nmより大きいのと１００nmより大きいのとの両方のサイズについて）は無視できる。比較すると、外部CDA作動圧力が閉鎖時に６０psigであるとき、粒子の数（１０nmより大きいのと１００nmより大きいのとの両方のサイズについて）は著しく増加する。外部CDA作動圧力を４０psigに戻すと、粒子の数は再び著しく減少する。これは、次の仮説を確認する。すなわち、閉鎖時にスリットバルブに印加される作動圧力及び対応する作動力を制御することは、スリットバルブを作動させるときに生成される粒子の数を最小化し得るとともに、粒子汚染の増加のために生じるウエハ欠陥を低減させることにおいて助けとなり得る。

[0082] 本明細書で説明されるスリットバルブ制御機構及び技法では、ゲートに加えられる作動圧力及び対応する作動力が、必要に応じて調整されてよい。例えば、ゲートが、２つの隣接するチャンバ間を分離する閉位置にあるときに、２つの隣接するチャンバが、それらの間に大きな圧力差を有する場合（例えば、１つのチャンバが減圧状態にあり、別のチャンバが大気圧状態にあるとき）、より大きな作動力がゲートに加えられてよい。２つの隣接するチャンバ間の圧力差が減少するにつれて（例えば、両方のチャンバが減圧に到達するか、又は両方のチャンバが大気圧にあるとき）、より小さな作動力をゲートに加え、ゲートが閉鎖に近づくにつれて生成される粒子の数を低減させるために、作動力は緩められてよい。

[0083] 一実施形態では、ゲートのサーボ制御が、スリットバルブ装置を制御するための制御アルゴリズムを介して実施され得る。制御アルゴリズムは、所定のレシピに基づいてプログラム（ソフトウェア）を実行することにより実施されてよい。

[0084] 更に、本明細書で開示される方法は、前述の実施形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記憶した記憶媒体を、コンピュータ（例えば、制御ユニット）に供給し、次いで、その記憶媒体に記憶されたプログラムコードを、コンピュータのプロセッサ（例えば、CPU）に、読み出して実行させることにより実現されてよいことを理解されたい。代替的に、プログラム可能な論理制御装置（PLC）やシステムオンチップ（SoC）などのような別の種類の処理デバイスが、プログラムコードを実行してもよい。プログラムコードを実行するプロセッサ又は処理装置は、スリットバルブを開閉させたり、ロボットによってウエハを位置間で移動させたりすることなどができる。

[0085] この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が、前述の実施形態の機能を実現するので、プログラムコード及びそのプログラムコードが記憶された記憶媒体も、本開示の部分である。

[0086] 更に、プログラムコードを供給するための記憶媒体は、例えば、RAM、NV-RAM、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、磁気光ディスク、CD-ROM、CD-R、CD-RW、DVD（DVD-ROM、DVD-RAM、DVD-RW、DVD+RW）などの光ディスク、磁気テープ、不揮発性メモリカード、別のROMなどであってもよい。代替的に、プログラムコードは、別のコンピュータ（図示せず）、インターネットに接続されたデータベース（図示せず）など、商用ネットワーク、LAN（ローカルエリアネットワーク）などからダウンロードすることによって、コンピュータに供給されてもよい。

[0087] また、前述の実施形態の機能は、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行するだけでなく、処理デバイス上で動作するOS（オペレーティングシステム）などに、プログラムコードの指示命令に基づいて実際の動作の一部又は全部を行わせることにより実現されてよいことを理解されたい。

[0088] プログラムコードは、オブジェクトコード、インタプリタによって実行されるプログラムコード、OSに供給されるスクリプトデータなどの形態を採ってよい。

[0089] 前述の説明では、本開示の完全な理解を提供するために、特定の材料、寸法、プロセスパラメータなどの多くの特定の詳細が記載されている。更に、特定の特徴、構造、材料、又は特質は、１以上の実施形態において、任意の適切なやり方で組み合わされてよい。「実施例」又は「例示的」という用語は、本明細書では、実施例、事例、又は例示としての役割を果たすことを意味するために使用される。「実施例」または「例示的」として本明細書で説明される任意の態様又は設計は、必ずしも他の態様又は設計よりも好適又は有利であると解釈されるべきではない。むしろ、単語「実施例」または「例示的」の使用は、概念を具体的に提示することを単に意図している。本出願において使用されるときに、用語「又は」は、排他的な「又は」ではなく、むしろ包括的な「又は」を意味することが意図される。すなわち、特に明記しない限り、又は文脈から明らかでない限り、「Xは、A又はBを含む」は、自然な包含的置換のいずれかを意味することが意図される。すなわち、XがAを含み、XがBを含み、又はXがA及びBの両方を含む場合、「Xは、A又はBを含む」は、前述の事例のいずれかの下で満たされる。本明細書を通して「ある実施形態」、「特定の実施形態」、又は「一実施形態」への言及は、実施形態に関連して説明される特定の特徴、構造、又は特性が、少なくとも１つの実施形態に含まれることを意味する。したがって、本明細書全体の様々な場所における「ある実施形態」、「特定の実施形態」、又は「一実施形態」という語句の出現は、必ずしも全てが同じ実施形態を指すわけではない。

[0090] 本開示の実施形態は、その特定の例示的な実施形態を参照して説明されてきた。したがって、本明細書及び図面を限定的に捉えるのではなく、例示として見なすべきである。本明細書に示され、説明されたものに加えて、本開示の様々な修正が、当業者に明らかになり、添付の特許請求の範囲内に入ることが意図される。

[0042] 特定の実施形態では、スリットバルブアセンブリ２００が、開位置（図２Ａで示されるている）と閉位置（図２Ｂで示されている）との間で移行するように構成された少なくとも１つのゲート２１０を含む。スリットバルブアセンブリ２００は、少なくとも１つのゲート２１０に結合され、少なくとも１つのゲート２１０に力を加えるように構成された少なくとも１つの移動部材２２０を含む、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５を含む、ガス圧スリットバルブ制御機構を更に含む。特定の実施形態では、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５が、スリットバルブを一方の端位置から他方の端位置へ移動させるための１つ又は一連のガス圧シリンダを含む。ガス圧スリットバルブ制御機構は、加圧流体供給部又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０を更に含む。各比例ガス圧バルブ２３０は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５へのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラ２３２（例えば、流体圧力及び／又は流体流量コントローラ）を更に含む。ガス圧スリットバルブ制御機構は、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサ２５０を更に含む。

[0043] サーボ制御システム（図１のコントローラ６６５など）は、各ガス圧スリットバルブ制御機構と通信する中央コントローラ２６０を含んでよい。特定の実施形態では、中央コントローラが、複数の他のコントローラと相互作用するように構成された標準コントローラである。各中央コントローラ２６０は、比例ガス圧バルブ２３０（例えば、複数の流体圧力及び／又は流体流量コントローラ２３２を含む）と、連続位置センサ２５０と、のうちの少なくとも１つと通信してよい。特定の実施形態では、中央コントローラ２６０並びに／又は複数の流体圧力及び／若しくは流体流量コントローラ２３２の各々が、サーボ制御システムのモジュールであってよい。サーボ制御システムは、少なくとも１つのゲートの目標位置プロファイル（すなわち、位置軌跡又は命令された位置）、少なくとも１つのゲートの直線位置測定値（すなわち、少なくとも１つのゲートのリアルタイム／インシトゥの実際の位置／運動プロファイル）、及び少なくとも１つのゲートのリアルタイム／インシトゥの実際の位置／運動プロファイルと位置軌跡（又は命令された位置）との間の誤差を考慮する閉ループを維持するように構成され、少なくとも１つのゲートの作動をより緊密に命令された位置軌跡に従うように調整するために、ガス圧スリットバルブ制御機構の様々な構成要素（例えば、比例ガス圧バルブ２３０及び複数のコントローラ２３２）を調整するようガス圧スリットバルブ制御機構にフィードバックを提供する。命令された位置軌跡と実際のリアルタイム／インシトゥ位置測定値との間の誤差を計算し、この誤差を修正するために作動を調整することが、比例・積分・微分（PID）コントローラを使用して実行されてよい。

[0044] 特定の実施形態では、各スリットバルブアセンブリ２００に対して指定された中央コントローラ２６０は、少なくとも１つのゲート２１０用の位置軌跡（命令された位置とも呼ばれ得る）を受け取ること、少なくとも１つのゲート２１０の直線位置測定値（実際のリアルタイム／インシトゥ位置測定値とも呼ばれ得る）を、連続位置センサ２５０から受け取ること、並びに、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値を、比例ガス圧バルブ２３０内の複数の流体圧力及び／又は流体流量コントローラ２３２から受け取ること、を実行するように構成されている。「流体圧力及び／又は流体流量測定値」は、それぞれの供給ライン内の実際のリアルタイム／インシトゥ流体圧力及び／又は流体流量を指す。

[0047] 特定の実施形態では、中央コントローラ２６０が、制御信号を、少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０及び／又は複数のコントローラ２３２に送信するように更に構成されている。制御信号を少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０に送信することは、加圧流体供給部２７０又は通気孔２８０と少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５との間の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいて助けとなる。制御信号を少なくとも1つの比例ガス圧バルブ２３０の複数のコントローラ２３２に送信することはまた、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５へのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を制御することにおいても助けとなる。加圧流体供給ライン２７０又は通気孔２８０と少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５との間の流体圧力及び／又は流体流量は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５への少なくとも１つの比例ガス圧バルブ２３０内のそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量と共に、少なくとも１つのアクチュエータの移動部材２２０によって、少なくとも１つのゲート２１０に加えられる力を制御する。

[0048] 特定の実施形態では、比例ガス圧バルブ２３０が、完全な流れと全く流れない状態との間で流体流量を変更するように構成されたアナログ制御部を含む。様々な比例ガス圧バルブが、本明細書で説明されるスリットバルブ装置において適切に利用されてよい。例えば、特定の実施形態では、比例ガス圧バルブが、ポペットバルブ（poppet valve）又は比例スプールバルブ（proportional spool valve）である。特定の実施形態では、ガス圧スリットバルブ制御機構において、複数の比例ガス圧バルブが利用されてよい。例えば、１つの比例ガス圧スリットバルブ２３０が、加圧流体供給ライン又は通気孔と少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５との間の流体圧力及び／又は流体流量を制御してよく、複数の離散した比例ガス圧スリットバルブが、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの各離散した供給ライン内に配置されてよい。

[0049] 特定の実施形態では、中央コントローラ２６０が、少なくとも１つのガス圧アクチュエータの少なくとも１つの移動部材２２０を介して、少なくとも１つのゲート２１０に力を加えるように、サーボ制御システムを動作させるよう更に構成されている。少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５の移動部材２２０によって、少なくとも１つのゲート２１０に加えられる力は、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ２１５へのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量によって制御されてよい。

Claims (20)

1. スリットバルブを制御するためのスリットバルブ装置であって、
   スリットバルブアセンブリ、及び前記スリットバルブアセンブリと通信するサーボ制御システムを備え、前記スリットバルブアセンブリは、
   開位置と閉位置との間で移行するように構成された少なくとも１つのゲート、
   前記少なくとも１つのゲートに結合された少なくとも１つの移動部材を備える少なくとも１つのガス圧アクチュエータであって、前記少なくとも１つの移動部材は、前記少なくとも１つのゲートに力を加えるように構成されている、少なくとも１つのガス圧アクチュエータ、
   加圧流体供給部又は通気孔と前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された少なくとも１つの比例ガス圧バルブであって、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラを備える、少なくとも１つの比例ガス圧バルブ、並びに
   前記少なくとも１つのゲートの直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサを備える、スリットバルブ装置。
2. 前記スリットバルブ装置は、複数のスリットバルブアセンブリを備える、請求項１に記載のスリットバルブ装置。
3. 前記サーボ制御システムは、前記複数のスリットバルブアセンブリと通信する、請求項２に記載のスリットバルブ装置。
4. 前記サーボ制御システムは、前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブ及び前記連続位置センサと通信する中央コントローラを備える、請求項１に記載のスリットバルブ装置。
5. 前記中央コントローラは、
   前記少なくとも１つのゲート用の位置軌跡を受け取ること、
   前記連続位置センサから、前記少なくとも１つのゲートの直線位置測定値を受け取ること、
   前記複数のコントローラから、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量測定値を受け取ること、
   前記位置軌跡、前記直線位置測定値、並びに前記流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、制御信号を生成すること、
   前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブの前記複数のコントローラへ前記制御信号を送信すること、並びに
   前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータの前記少なくとも１つの移動部材を介して、前記少なくとも１つのゲートに力を加えるように、前記サーボ制御システムを動作させること、を実行するように構成されている、請求項４に記載のスリットバルブ装置。
6. 前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記流体圧力及び／又は流体流量が、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータ内の前記移動部材によって、前記少なくとも１つのゲートに加えられる前記力を制御する、請求項５に記載のスリットバルブ装置。
7. 前記少なくとも１つのゲートが、前記開位置又は前記閉位置に近づくと、前記少なくとも１つのゲートを減速させ、前記開位置又は前記閉位置に到達すると、前記少なくとも１つのゲートを停止させるために、前記制御信号は、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されている、請求項６に記載のスリットバルブ装置。
8. 前記少なくとも１つのゲートが、前記開位置から前記閉位置に向かって又は前記閉位置から前記開位置に向かって移動を開始すると、前記少なくとも１つのゲートを加速させるために、前記制御信号は、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されている、請求項６に記載のスリットバルブ装置。
9. 前記少なくとも１つのゲートが前記閉位置にあると、前記少なくとも１つのゲートに加えられる前記力を増加させるために、前記制御信号は、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するように構成されている、請求項７に記載のスリットバルブ装置。
10. 前記少なくとも１つのゲートの第１の側に近接する第１のステーションと、前記少なくとも１つのゲートの前記第１の側の反対の第２の側に近接する第２のステーションとの間の圧力差が、３００Torr未満であり、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ラインへの前記流体圧力が、約１０psigから約４５psigの範囲にあり、又は
    前記少なくとも１つのゲートの第１の側に近接する第１のステーションと、前記少なくとも１つのゲートの前記第１の側の反対の第２の側に近接する第２のステーションとの間の圧力差が、３００Torrより大きく、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ラインへの前記流体圧力が、約５５psigから約８０psigの範囲にある、請求項９に記載のスリットバルブ装置。
11. 前記連続位置センサは、前記開位置から前記閉位置への及び前記閉位置から前記開位置へのその運動の全体を通して、前記少なくとも１つのゲートの前記直線位置を示す連続アナログ出力又は連続デジタル出力を生成するように構成されている、請求項１に記載のスリットバルブ装置。
12. 前記連続位置センサは、バリスタ、誘導センサ、エンコーダ、光ベースのシステム、又は容量ベースのシステムのうちの少なくとも１つを含む、請求項１１に記載のスリットバルブ装置。
13. 前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブは、完全な流れと流れがない状態との間で流体流量を変更するように構成されたアナログ制御部を備える、請求項１に記載のスリットバルブ装置。
14. 前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブは、ポペットバルブ又は比例スプールバルブを含む、請求項１３に記載のスリットバルブ装置。
15. スリットバルブ装置を制御する方法であって、
    中央コントローラによって、前記スリットバルブ装置の少なくとも１つのゲート用の位置軌跡を受け取ること、
    前記中央コントローラによって、前記少なくとも１つのゲートの直線位置を継続的に特定する連続位置センサから、直線位置測定値を受け取ること、
    前記中央コントローラによって、少なくとも１つのガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定する複数のコントローラから、流体圧力及び／又は流体流量測定値を受け取ること、
    前記中央コントローラによって、前記位置軌跡、前記直線位置測定値、並びに前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量測定値に基づいて、制御信号を生成すること、
    前記中央コントローラによって、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブの前記複数のコントローラへ前記制御信号を送信すること、並びに
    前記中央コントローラによって、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータの少なくとも１つの移動部材を介して、前記少なくとも１つのゲートに力を加えるように、サーボ制御システムを動作させることを含む、方法。
16. 前記少なくとも１つのゲートが端位置に近づくと、前記少なくとも１つのゲートを減速させ、前記端位置に到達すると前記少なくとも１つのゲートを停止させるために、前記中央コントローラは、前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブ及び前記複数のコントローラに、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整させる、請求項１５に記載の方法。
17. 前記端位置が、開位置又は閉位置である、請求項１６に記載の方法。
18. 前記少なくとも１つのゲートが、開位置から閉位置に向かって又は閉位置から開位置に向かって移動を開始すると、前記少なくとも１つのゲートを加速させるために、前記中央コントローラは、前記少なくとも１つの比例ガス圧バルブの前記複数のコントローラに、前記少なくとも１つのガス圧アクチュエータへの前記それぞれの供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整させる、請求項１５に記載の方法。
19. スリットバルブアセンブリのゲートに力を加えるために、サーボ制御システムを動作させることを含み、前記動作させることは、
    前記スリットバルブアセンブリのガス圧アクチュエータの複数の供給ラインを通って流体が流れることを可能にするために、比例ガス圧バルブを作動させること、
    前記複数の供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を測定すること、
    連続位置センサを用いて前記ゲートの直線位置を測定すること、
    前記複数の供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量を調整するために、前記直線位置測定値、並びに前記複数の供給ライン内の前記流体圧力及び／又は流体流量測定値に応じて、前記サーボ制御システムを用いて前記比例ガス圧バルブを制御すること、並びに
    前記複数の供給ラインを通って流れる前記流体を介して、前記アクチュエータの移動部材によって前記ゲートに力を加えることを含む、方法。
20. 前記スリットバルブアセンブリは、
    開位置から閉位置の間で移行するように構成された前記ゲート、
    前記ゲートに結合された移動部材を備える前記ガス圧アクチュエータであって、前記移動部材は、前記ゲートに力を加えるように構成されている、前記ガス圧アクチュエータ、
    加圧流体供給部又は通気孔と前記ガス圧アクチュエータとの間の流体圧力及び／又は流体流量を制御するように構成された前記比例ガス圧バルブであって、前記ガス圧アクチュエータへのそれぞれの供給ライン内の流体圧力及び／又は流体流量を独立して測定及び／又は制御するように各々が構成された複数のコントローラを備える、前記比例ガス圧バルブ、並びに
    前記ゲートの直線位置を継続的に特定するように構成された連続位置センサを備える、請求項１９に記載の方法。
    

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