KR20130067051A - 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼 리프터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조설비로 이송되는 웨이퍼를 기체의 압력을 이용하여 부양시켜 웨이퍼를 공정 스테이션에 안착시킬 시에, 웨이퍼의 파손을 방지하기 위해 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력의 증가가 감지되면 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 감압동작을 수행하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템에 관한 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 공정챔버에 고정된 공정 스테이션과; 상기 공정 스테이션의 하측에 승강 가능하게 구비되는 리프터와; 상기 리프터의 하측에 구비된 공압 액츄에이터와; 상기 공압 액츄에이터에 의해 작동되어 상기 리프터를 승강시키는 웨이퍼 리프터 실린더와; 상기 리프터의 상면에 돌출되는 동시에 상기 공정 스테이션을 관통하여 웨이퍼의 배면을 지지하도록 마련되는 리프팅 핀과; 상기 웨이퍼 리프터 실린더를 냉각시키기 위한 냉각제 및; 센서, 압력변환기, 스위칭 밸브, 제어반으로 구성된 제어부를 구비하며; 상기 센서가 상기 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력이 상승되는 것을 감지하면, 상기 제어부는 상기 리프터에 에어솔레노이드 밸브를 오픈시키고, 상기 에어솔레노이드 밸브에 각기 연결된 스피드 컨트롤러가 분출하는 에어량을 조절함으로써, 상기 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력을 적정 압력으로 저하시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 감압시켜 공기 압축 충격이 발생하지 않게 적정 압력을 유지시킴으로써, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인한 웨이퍼 파손을 방지할 수 있으며, 리프터 실린더의 내구성을 강화시킬 수 있고, 리프팅 핀 및 리프터 실린더의 수명을 증가시킬 수 있으며, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 적정 압력으로 유지시킴으로써, 웨이퍼 리프터의 전반적인 작업 효율성을 향상시킬 수 있고, 웨이퍼 파손으로 인한 손실과 인건비가 소요되는 상황을 방지할 수 있다. 또한, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브의 온/오프 타임을 조절함으로써, 감압 동작시 공기 압축 충격을 억제할 수 있다.

Description

웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템{SYSTEM FOR PREVENTING BREAKAGE OF WAFER USING PRESSURE MONITERING MODE OF WAFER LIFTER CYLINDER}
본 발명은 웨이퍼 리프터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조설비로 이송되는 웨이퍼를 기체의 압력을 이용하여 부양시켜 웨이퍼를 공정 스테이션에 안착시킬 시에, 웨이퍼의 파손을 방지하기 위해 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력의 증가가 감지되면 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 감압동작을 수행하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 여러 가지의 단위 공정들(unit processes)을 사용하여 제조된다. 상기 단위 공정들은 반도체 기판 상에 절연막, 도전막 또는 반도체막과 같은 물질막을 형성하기 위한 증착 공정(deposition process), 상기 물질막을 패터닝하기 위한 포토리소그라피/식각 공정, 상기 물질막 또는 상기 반도체 기판의 소정 영역들을 불순물들로 도우핑시키기 위한 이온 주입 공정, 상기 불순물들을 활성화시키기 위한 열처리 공정, 상기 물질막의 표면을 평탄화시키기 위한 화학기계적 연마 공정 및 상기 공정들이 적용된 기판의 표면에 잔존하는 오염물(contaminants)을 제거하기 위한 세정 공정 등을 포함할 수 있다.
상기 단위 공정들의 대부분은 외부의 환경과 격리된 공간 내에서 진행될 수 있다. 특히, 상기 증착 공정 및 상기 식각 공정은 밀폐된 공간을 제공하는 챔버 내에서 진행될 수 있다. 이 경우에, 상기 챔버 내에 웨이퍼를 지지하는 척이 설치된다.
상기 웨이퍼에 증착 공정 또는 식각 공정을 적용시키기 위해서는 상기 척 상에 웨이퍼를 고정시켜야 한다. 최근에 정전력을 사용하여 웨이퍼를 고정시키는 ESC(Electrostatic Chuck; 정전척)이 널리 사용되고 있다.
그런데, 정전척에 웨이퍼를 고정시키기 위해선, 공압엑츄에이터의 작동에 의해 웨이퍼 리프터 실린더가 작동되어 리프터가 승강되고, 공정스테이션에 안착되었던 웨이퍼가 리프트 핀에 의해 승강됨으로써, 웨이퍼가 정전척에 고정된다.
그러나, 이러한 방식으로 웨이퍼를 정전척에 고정시킬 시에, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전(Chucking Voltage Discharge) 불량으로 인하여 리프트 핀의 핀업(Pin Up)이 안되어 웨이퍼가 파손되는 현상이 발생한다는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인하여 리프트 핀의 핀업이 안되면, 리프터 실린더의 내부 압력이 증가되는 상황에 근거하여, 리프터 실린더의 내부 압력이 기준레벨 이상으로 상승하면, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 감압시켜 적정 압력을 유지하게 해주는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 공정챔버에 고정된 공정 스테이션과; 상기 공정 스테이션의 하측에 승강 가능하게 구비되는 리프터와; 상기 리프터의 하측에 구비된 공압 액츄에이터와; 상기 공압 액츄에이터에 의해 작동되어 상기 리프터를 승강시키는 웨이퍼 리프터 실린더와; 상기 리프터의 상면에 돌출되는 동시에 상기 공정 스테이션을 관통하여 웨이퍼의 배면을 지지하도록 마련되는 리프팅 핀과; 상기 웨이퍼 리프터 실린더를 냉각시키기 위한 냉각제 및; 센서, 압력변환기, 스위칭 밸브, 제어반으로 구성된 제어부를 구비하며; 상기 센서가 상기 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력이 상승되는 것을 감지하면, 상기 제어부는 상기 리프터에 에어솔레노이드 밸브를 오픈시키고, 상기 에어솔레노이드 밸브에 각기 연결된 스피드 컨트롤러가 분출하는 에어량을 조절함으로써, 상기 웨이퍼 리프터 실린더의 내부 압력을 적정 압력으로 저하시키는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 감압시켜 공기 압축 충격이 발생하지 않게 적정 압력을 유지시킴으로써, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인한 웨이퍼 파손을 방지할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 적정 압력으로 유지시킴으로써, 리프터 실린더의 내구성을 강화시킬 수 있고, 리프트 핀 및 리프터 실린더의 수명을 증가시킬 수 있다는 이점이 있다.
또한, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 적정 압력으로 유지시킴으로써, 웨이퍼 리프터의 전반적인 작업 효율성을 향상시킬 수 있고, 웨이퍼 파손으로 인한 손실과 인건비가 소요되는 상황을 방지할 수 있다는 이점이 있다.
또한, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브의 온/오프 타임을 조절함으로써, 감압 동작시 공기 압축 충격을 억제할 수 있다는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 개략적인 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 동작을 설명하기 위한 순서도.
도 4는 도 3의 웨이퍼 리프터 실린더의 압력의 변화를 나타낸 그래프.
이하, 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통하여 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템을 보다 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략될 것이다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 클라이언트나 운용자, 사용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도면 전체에 걸쳐 같은 참조번호는 같은 구성 요소를 가리킨다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 개략도이며, 도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 개략적인 구성도이며, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 동작을 설명하기 위한 순서도이며, 도 4는 도 3의 웨이퍼 리프터 실린더의 압력의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 1 내지 도 4에 도시되 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템(10)은 공정챔버(미도시)에 고정된 공정 스테이션(11)의 하측에 승강 가능하게 구비되는 리프터(12)와, 상기 리프터(12)의 하측에 구비된 공압 액츄에이터(13)와, 상기 공압 액츄에이터(13)에 의해 작동되어 상기 리프터(12)를 승강시키는 웨이퍼 리프터 실린더(14)와, 상기 리프터(12)의 상면에 4개로 돌출되는 동시에 상기 공정 스테이션(11)을 관통하여 웨이퍼(15)의 배면을 지지하도록 마련되는 리프팅 핀(16)와, 상기 웨이퍼 리프터 실린더(14)를 냉각시키기 위한 냉각제(17)로 구성되어 있다.
여기서, 상기 리프팅 핀(16)은 그 재질이 모두 부도체로 형성되거나 또는 하나의 리프팅 핀은 도체인 반면 나머지는 모두 부도체로 이루어지며, 공압 액츄에이터(13)에는 리프터(12)가 상승완료인지 하강완료인지를 감지하는 2지점 센서(미도시)가 장착되어 있다.
전술된 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템(10)은 다음과 같이 동작된다.
먼저, 웨이퍼(15)가 이송암(미도시)에 의해 챔버의 내부로 이송되면, 공압 액츄에이터(13)에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)가 작동되어 리프터(12)가 상승하여 리프터(12)의 리프팅 핀(16)이 웨이퍼(15)의 하면을 지지하면서 핀 업(Pin Up)하여 이송암으로부터 웨이퍼(15)를 상측으로 이탈시키고, 웨이퍼(15)가 이탈된 이송암은 챔버의 외측으로 이동된다.
이후, 공압 액츄에이터(13)에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)가 작동되어 리프터(12)가 하강하게 되고, 리프팅 핀(16)의 핀 다운(Pin Down)에 의해 지지되는 웨이퍼(15)를 공정 스테이션(11)의 상면에 안착시킨다.
그 후, 공정 스테이션(11)에 안착되어 웨이퍼(15)가 소정의 제조공정을 완료하면, 공압 액츄에이터(13)에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)가 작동되어 리프터(12)가 승강되고, 공정 스테이션(11)에 안착되었던 웨이퍼(15)가 리프팅 핀(16)의 핀 업에 의해 승강되며, 승강된 웨이퍼(15)의 하측으로 이송암이 삽입된다.
이후, 공압 액추에이터(13)에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)가 작동되어 리프터(12)가 하강하면서 리프팅 핀(16)의 핀 다운에 의해 지지되던 웨이퍼(15)가 이송암에 안착되며, 공정이 완료된 웨이퍼(15)는 이송암에 의해 챔버의 외부로 이송된다.
전술된 바와 같이 동작하는 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템(10)에서 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인하여 리프팅 핀(16)의 핀 업이 안될 시에는 웨이퍼가 파손될 수 있다.
여기서, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인하여 리프팅 핀(16)의 핀 업이 안될 시에, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력이 상승하는데, 이러한 상승된 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 센서(미도시)가 감지하여, 이를 압력변환기(21), 스위칭 밸브(22), 제어반(23)으로 구성된 제어부(20)에 통지하면, 상기 제어부(20)는 리프터(12)에 연결된 4개의 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)를 오픈시키고, 상기 4개의 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)에 각기 연결된 4개의 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)가 분출하는 에어량을 조절함으로써, 상승된 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 적정 압력으로 저하시킨다.
여기서, 상기 센서는 제어부(20)에 설치되며, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 실시간으로 측정하여, 이를 제어부(20)에 실시간으로 통지한다.
이러한 조작을 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템의 동작을 설명하기 위한 순서도인 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템(10)의 동작이 시작되면, 제어부(20)는 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 적정 압력으로 설정한다(S310).
이후, 센서에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 실시간으로 측정한다(S320).
그 후, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하는 지를 판단한다(S330). 여기서, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하는 지는 3회에 걸쳐 행해진다.
이후, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하면, 제어부(20)는 상기 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)와 상기 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)를 작동시킴으로써, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부압력을 감압시킨다(S340).
그 후, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하지 않으면, 웨이퍼(15)를 척킹시킨다(S350).
이후, 웨이퍼(15)가 척킹되면, 시스템의 동작을 종료한다.
본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템(10)은 제어부(20)가 상기 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)와 상기 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)를 작동시켜, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부압력을 감압시킴으로써, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 적정 압력으로 유지시킴으로써, 리프팅 핀(16)이 핀 업이 안됨으로써 야기되는 웨이퍼 파손을 방지할 수 있으며, 역으로 리프팅 핀(16)의 무리한 핀 업도 방지할 수 있다.
이러한 본 발명에 따른 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템은 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 감압시켜 공기 압축 충격이 발생하지 않게 적정 압력을 유지시킴으로써, 정전척의 노후화 및 척킹 전압 방전 불량으로 인한 웨이퍼 파손을 방지할 수 있으며, 리프터 실린더의 내구성을 강화시킬 수 있고, 리프팅 핀 및 리프터 실린더의 수명을 증가시킬 수 있으며, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브를 이용하여 리프터 실린더의 내부압력을 적정 압력으로 유지시킴으로써, 웨이퍼 리프터의 전반적인 작업 효율성을 향상시킬 수 있고, 웨이퍼 파손으로 인한 손실과 인건비가 소요되는 상황을 방지할 수 있다. 또한, 스위칭 타입의 감압용 솔레노이드 밸브의 온/오프 타임을 조절함으로써, 감압 동작시 공기 압축 충격을 억제할 수 있다.
비록 본 발명의 실시 예에선, 4개의 리프팅 핀(16), 4개의 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4) 및, 4개의 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)가 사용되었지만, 리프팅 핀, 에어솔레노이드 밸브, 스피드 컨트롤러의 개수가 이에 한정되지 않음은 물론이다.
이상과 같이 본 발명은 양호한 실시 예에 근거하여 설명하였지만, 이러한 실시 예는 본 발명을 제한하려는 것이 아니라 예시하려는 것이므로, 본 발명이 속하는 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 기술사상을 벗어남이 없이 위 실시 예에 대한 다양한 변화나 변경 또는 조절이 가능할 것이다. 그러므로, 본 발명의 보호 범위는 본 발명의 기술적 사상의 요지에 속하는 변화 예나 변경 예 또는 조절 예를 모두 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템
11: 공정 스테이션 12: 리프터
13: 공압 액츄에이터 14: 웨이퍼 리프터 실린더
15: 웨이퍼 16: 리프팅 핀
17: 냉각제 20: 제어부
21: 압력변환기 22: 스위칭 밸브
23: 제어반
24-1, 24-2, 24-3, 24-4: 에어 솔레노이드 밸브
25-1, 25-2, 25-3, 25-4: 스피드 컨트롤러

Claims (6)

  1. 공정챔버에 고정된 공정 스테이션(11)의 하측에 승강 가능하게 구비되는 리프터(12)와;
    상기 리프터(12)의 하측에 구비된 공압 액츄에이터(13)와;
    상기 공압 액츄에이터(13)에 의해 작동되어 상기 리프터(12)를 승강시키는 웨이퍼 리프터 실린더(14)와;
    상기 리프터(12)의 상면에 4개로 돌출되는 동시에 상기 공정 스테이션(11)을 관통하여 웨이퍼(15)의 배면을 지지하도록 마련되는 리프팅 핀(16)과;
    상기 웨이퍼 리프터 실린더(14)를 냉각시키기 위한 냉각제(17) 및;
    센서, 압력변환기(21), 스위칭 밸브(22), 제어반(23)으로 구성된 제어부(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력이 상승되면, 상기 제어부(20)는 상기 리프터(12)에 연결된 다수의 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)를 오픈시키고, 상기 에어솔레노이드 밸브에 각기 연결된 복수의 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)가 분출하는 에어량을 조절함으로써, 상기 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력을 저하시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 리프팅 핀(16)은 그 재질이 모두 부도체로 형성되거나 또는 하나의 리프팅 핀만 도체로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 공압 액츄에이터(13)에는 상기 리프터(12)가 상승완료인지 하강완료인지를 감지하는 2지점 센서가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 시스템.
  5. 제어부(20)에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력이 적정 압력으로 설정되는 단계(S310)와;
    센서에 의해 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부 압력이 실시간으로 측정되는 단계(S320)와;
    상기 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하는 지가 판단되는 단계(S330)와;
    상기 S330 단계에서, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하면, 상기 제어부(20)는 에어솔레노이드 밸브(24-1, 24-2, 24-3, 24-4)와 스피드 컨트롤러(25-1, 25-2, 25-3, 25-4)를 작동시킴으로써, 웨이퍼 리프터 실린더(14)의 내부압력을 감압시키는 단계(S340) 및;
    상기 S330 단계에서, 측정된 압력이 설정된 적정 압력을 초과하지 않으면, 웨이퍼(15)가 척킹되는 단계(S350)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 S340 단계에서, 상기 리프팅 핀(16)의 핀 업이 방지됨으로써, 웨이퍼의 파손이 방지되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 리프터 실린더의 압력감지 방식을 이용한 웨이퍼 파손 방지 방법.

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