JP2018056198A - 基板処理方法、基板処理装置、および、記録媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ブラシ31を回転状態の基板Wの上面に接触させるブラシ接触工程が実行される。ブラシ接触工程と並行して、水平に保持された基板Wの上面の中央に接触する位置と、基板Wの上面の外周に接触する位置との間でブラシ31を移動させるブラシ移動工程が実行される。基板Wと同心の円形の仮想線Lで基板Wの回転半径方向に沿って分割された複数の領域Aに設定した優先度wに基づいて、ブラシ移動工程におけるブラシ31の移動速度vが、優先度wの高い領域Aほど低くなるように設定される。
【選択図】図5B
Description
処理対象になる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、FED(Field Emission Display)用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板、太陽電池用基板などの基板が含まれる。
この方法によれば、基板の汚染度合が高い領域ほど優先度が高い。そのため、基板の上面において汚染度合が比較的高い領域を充分に洗浄することができる一方で、基板の上面において汚染度合が比較的低い領域の洗浄時間を短縮することができる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板の上面を万遍なく洗浄することができる。
この方法によれば、基板の上面の汚染度合が高い領域ほど第2の優先度が高い。また、前述したように、第2の優先度が高い領域ほど押付量または押付圧が高い。そのため、汚染度合が比較的高い領域における基板の上面の洗浄時間を短縮することができる。その一方で、常に一定の押付量(押付圧)で基板に対してブラシを押し付ける基板処理と比較して、ブラシの消耗を抑えることができ、ブラシの長寿命化を図れる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板の上面を万遍なく洗浄することができる。
この方法によれば、ブラシの移動速度に反比例して変化するように、回転状態の基板に対するブラシの押付量または押付圧が設定される。つまり、ブラシ押付工程における回転状態の基板に対するブラシの押付量または押付圧は、ブラシの移動速度が低いほど高くなる。そのため、優先度が高い領域ほど当該押付量または押付圧を高くすることができ、優先度が比較的高い領域の基板の上面の洗浄時間を短縮することができる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板の上面を万遍なく洗浄することができる。
この方法によれば、ブラシ移動工程と並行してブラシ昇降工程が実行される。ブラシを基板の上面に沿わせた状態でブラシ移動工程が実行されるように、ブラシ昇降工程におけるブラシの鉛直方向位置が領域毎に設定される。そのため、仮に基板に反りが発生していたとしても、ブラシが基板の上面に接触する状態を維持することができるので、基板の上面の洗浄のむらを抑制できる。したがって、基板の上面を一層万遍なく洗浄することができる。
この構成によれば、基板の汚染度合が高い領域ほど優先度が高い。そのため、基板の上面において汚染度合が比較的高い領域を充分に洗浄することができる一方で、基板の上面において汚染度合が比較的低い領域の洗浄時間を短縮することができる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板の上面を万遍なく洗浄することができる。
この構成によれば、基板の上面の汚染度合が高い領域ほど第2の優先度が高い。また、前述したように、第2の優先度が高い領域ほど押付量または押付圧が高い。そのため、汚染度合が比較的高い領域における基板の上面の洗浄時間を短縮することができる。その一方で、常に一定の押付量(押付圧)で基板に対してブラシを押し付ける基板処理と比較して、ブラシの消耗を抑えることができ、ブラシの長寿命化を図れる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板の上面を万遍なく洗浄することができる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置1の内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。基板処理装置1は、シリコンウエハなどの基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。この実施形態では、基板Wは、円形状の基板である。
基板処理装置1は、基板Wを処理する複数の処理ユニット2と、処理ユニット2で処理される複数枚の基板Wを収容するキャリヤCをそれぞれ保持する複数のロードポートLPと、ロードポートLPと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する搬送ロボットIRおよびCRと、基板処理装置1を制御する制御ユニット3とを含む。
搬送ロボットIRは、キャリヤCと搬送ロボットCRとの間で基板Wを搬送する。搬送ロボットCRは、搬送ロボットIRと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する。複数の処理ユニット2は、たとえば、同様の構成を有している。
処理ユニット2は、一枚の基板Wを水平な姿勢で保持しながら、基板Wの中央部を通る鉛直な回転軸線a1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック5と、基板Wの上面に脱イオン水(DIW:Deionized Water)などの処理液を供給する処理液ノズル10とを含む。処理ユニット2は、さらに、スピンチャック5を収容するチャンバ13(図1参照)を含む。図示は省略するが、チャンバ13には、基板Wを搬入/搬出するための搬入/搬出口が形成されており、この搬入/搬出口を開閉するシャッタユニットが備えられている。
スピンチャック5は、スピンベース21と、スピンベース21の下面中央に結合された回転軸22と、回転軸22に回転力を与える電動モータ23とを含む。回転軸22は回転軸線a1に沿って鉛直方向に延びている。回転軸22の上端に、スピンベース21が結合されている。スピンベース21は、水平方向に沿う円盤形状を有している。
電動モータ23によって回転軸22が回転されることにより、基板Wが回転軸線a1まわりに回転される。以下では、回転軸線a1を中心とした半径方向を回転半径方向という。回転半径方向は、基板Wの径方向でもある。また、回転半径方向の内側を単に「径方向内方」といい、回転半径方向の外側を単に「径方向外方」という。回転軸22および電動モータ23は、基板Wを回転軸線a1まわりに回転させる基板回転手段の一例である。
ブラシ31は、PVA(ポリビニルアルコール)などの合成樹脂で作成された弾性変形可能なスポンジブラシである。ブラシ31は、ブラシホルダ32から下方に突出している。ブラシ31は、ブラシホルダ32よりも下方に配置された洗浄面31aを含む。洗浄面31aは、基板Wの上面に対して上下方向に対向している。洗浄面31aは、平面視で基板Wよりも小さい。洗浄面31aは、ブラシ31が基板Wに押し付けられていない自由状態において、基板Wの上面に平行な平面であってもよいし、下方に凸の半球面であってもよい。洗浄面31aが円形の場合、洗浄面31aの直径はたとえば20mmである。ただし、洗浄面31aの大きさは、これに限られない。また、ブラシ31は、スポンジブラシに限らず、樹脂製の複数の繊維によって形成された毛束を備えるブラシであってもよい。
CPU69は、補助記憶装置71に記憶されているプログラムPや、読取装置72によってリムーバブルメディアMから読み取られたプログラムPを実行する。補助記憶装置71内のプログラムPは、制御ユニット3に予めインストールされたものであってもよいし、読取装置72を通じてリムーバブルメディアMから補助記憶装置71に送られたものであってもよいし、通信装置73を通じて外部装置から補助記憶装置71に送られたものであってもよい。
リムーバブルメディアMは、電力が供給されていなくても記憶を保持する不揮発性メモリーである。リムーバブルメディアMは、たとえば、コンパクトディスクなどの光ディスクまたはメモリーカードなどの半導体メモリーである。リムーバブルメディアMは、光ディスクおよび半導体メモリー以外の不揮発性メモリーであってもよい。リムーバブルメディアMは、プログラムPが記録されたコンピュータ読取可能な記録媒体の一例である。
補助記憶装置71には、複数種類のレシピ74が記憶されている。レシピ74は、レシピ識別情報、基板処理条件、および基板処理手順を含む。コンピュータ本体67は、ホストコンピュータHCによって指定されたレシピ74を補助記憶装置71から読み込む。そして、コンピュータ本体67は、指定されたレシピ74に従って当該基板Wを処理ユニット2で処理する処理スケジュールを作成する。その後、制御ユニット3は、搬送ロボットIR,CR、測定ユニット4、操作ユニット6、電動モータ23、吸引機構27、ブラシ移動機構36、押付状態変更機構39およびバルブ類40〜42などの基板処理装置1の制御対象(リソース)に処理スケジュールを実行させる。
まず、未処理の基板Wが、搬送ロボットIR,CRによってキャリヤCから処理ユニット2に搬入され、スピンチャック5に渡される(S1)。そして、制御ユニット3は、吸引機構27を駆動し、かつ、吸引バルブ40を開くことにより、吸引機構27に基板Wを吸引させる。これにより、スピンベース21の上面に接触した状態でスピンチャック5に基板Wを水平に保持させる基板保持工程が開始される(S2)。この後、基板Wは、搬送ロボットCRによって搬出されるまでの間、水平に保持された状態で維持される。
そして、制御ユニット3は、処理液バルブ41を開き、回転状態の基板Wの上面に向けてDIWなどの処理液を処理液ノズル10から供給させる。これにより、処理液供給工程が開始される(S4)。回転状態の基板Wの上面に供給された処理液は、遠心力によって基板Wの上面に沿って径方向外方に流れる。これにより、処理液が基板Wの上面の全体に行き渡る。
このようにして、複数の基板処理工程(ブラシ移動工程やブラシ接触工程)が、レシピ74で指定された基板処理条件で、かつ、レシピ74で指定された基板処理手順で実行される。
ここで、図4に示した基板処理が実行される前に、制御ユニット3は、レシピ74の一部であるブラシ移動工程(図4のS6)における、ブラシ31の移動速度vを設定する(速度設定工程)。
また、必ずしも汚染度合が高いほど優先度wが高くなるように、優先度wが設定されている必要はない。たとえば、基板Wの上面に対する汚れ(たとえばパーティクル)の吸着度合が高い領域Aほど優先度wが高くなるように、優先度wが設定されていてもよい。基板Wの上面に対する汚れ(たとえばパーティクル)の吸着度合が高いほど、基板Wの上面から汚れが除去されにくい。
まず、制御ユニット3は、レシピ情報を取得する(ステップT1)。レシピ情報とは、各種パラメータの値のことであり、たとえば、ブラシ移動工程が実行される時間の合計(合計時間T)や、基板処理の対象となる基板Wの半径Rなどが挙げられる。合計時間Tは、たとえば、5秒〜20秒程度の時間である。半径Rは、たとえば、150mmである。制御ユニット3は、これらのレシピ情報を、制御ユニット3の補助記憶装置71に記憶された情報から取得してもよいし、作業者が操作ユニット6(図2参照)の入力部に入力した情報から取得してもよい。
そして、制御ユニット3は、ステップT1からステップT5によって取得した合計時間T、移動距離rおよび優先度wを用いて、各領域Aにおける移動速度v1,…,vnを算出する(ステップT6)。具体的には、下記の式(1)および式(2)に基づいて、各領域Aにおける移動速度v1,…,vnを算出する。
そして、制御ユニット3は、算出された移動速度v1,…,vnがブラシ水平駆動機構37の機械的な性能(スペック)の範囲内であるか否かの判断をする(ステップT7)。算出された移動速度v1,…,vnがブラシ水平駆動機構37の機械的な性能の範囲外である場合(ステップT7でNo)、作業者に対してアラームが発せられ(ステップT8)、ステップT7で算出された移動速度v1,…,vnがブラシ水平駆動機構37の機械的な性能の範囲内であると判断されるまで、ステップT5からの処理が繰り返される。
制御ユニット3は、保存データ75とレシピ情報とに基づいて図7Aや図7Bに示すようなグラフ図を作成してもよい。
図7Aに示すグラフ図は、ブラシ移動工程(S6)におけるブラシ31の位置とブラシ31の移動速度vとの関係を示すグラフ図の一例である。図7Aに示すグラフ図では、ブラシ31の位置を横軸としている。ブラシ31の位置とは、平面視におけるブラシ31の中心の位置のことである。横軸は、回転軸線a1の位置を原点としている。図7Aに示すグラフ図では、ブラシ31の移動速度vを縦軸としている。このグラフ図では、n=3の例を示している。このグラフ図では、保存データ75として保存された移動速度v1,v2,v3を、各領域A1,A2,A3における移動速度vの最大値として用いている。
制御ユニット3は、これらのグラフ図を操作ユニット6(図1参照)の表示部に表示させることができる。これにより、基板処理装置1の作業者は、各領域Aにおけるブラシ31の移動速度vを視覚的に確認することができる。
具体的には、制御ユニット3は、各領域Aに第2の優先度yを設定し、第2の優先度yが高い領域Aほど基板Wに対するブラシ31の押付力または押付圧が高くなるように、当該押付力または押付圧を設定する(押付力設定工程、押付圧設定工程)。
第2の優先度yは、基板Wの汚染度合が高い領域Aほど高くなるように設定されている。詳しくは、第2の優先度yは、基板Wの上面に付着したパーティクルの数が多いほど押付力が高くなるように設定される。押付力は、パーティクル数に比例して変化するように設定されていてもよい。
図8Bは、領域Aを横軸とし、各領域Aにおける基板Wに対するブラシ31の押付圧を示したグラフ図である。制御ユニット3は、図8Bのような各領域Aにおけるブラシ31の押付圧を示すグラフ図を操作ユニット6(図2参照)の表示部に表示させてもよい。これにより、作業者は、各領域Aにおける汚染度合(パーティクルの数)を視覚的に確認することができる。
たとえば、制御ユニット3が各領域Aにおけるブラシ31の移動速度を設定する際、補助記憶装置71に保存されたテーブル76(図3参照)を用いてもよい。テーブル76には、図10に示すように、各領域Aにおけるブラシ31の移動距離r1,…,r(n−1)と、各領域Aにおける優先度w1,…,wnとの組み合わせのパターンが複数入力されている。図6のステップT2において、制御ユニット3は、テーブル76から、各領域Aにおけるブラシ31の移動距離r1,…,r(n−1)を取得し、図6のステップT4において、制御ユニット3が、テーブル76から各領域Aにおける優先度w1,…,wnを取得してもよい。
また、上述の実施形態とは異なり、第2の優先度yとして、速度設定工程で設定された優先度wを用いてもよい。また、押付力(押付圧)設定工程では、回転状態の基板Wに対するブラシ31の押付力(押付圧)を、ブラシ31の移動速度vに反比例して変化するように設定してもよい。この基板処理によれば、ブラシ押付工程における回転状態の基板Wに対するブラシ31の押付圧は、ブラシ31の移動速度が低いほど高くなる。そのため、優先度wが高い領域ほど当該押付力(押付圧)を高くすることができる。優先度wが比較的高い領域Aの基板Wの上面の洗浄時間を短縮することができる。したがって、スループットの低下を抑制し、かつ、基板Wの上面を万遍なく洗浄することができる。
その他、特許請求の範囲に記載した範囲で種々の変更を行うことができる。
3 :制御ユニット(制御手段、コンピュータ)
21 :スピンベース(基板保持手段)
22 :回転軸(基板回転手段)
23 :電動モータ(基板回転手段)
37 :ブラシ水平駆動機構(ブラシ移動手段)
38 :ブラシ鉛直駆動機構(ブラシ接触手段、ブラシ昇降手段)
39 :押付状態変更機構(ブラシ押付手段)
A :領域
L :仮想線
M :リムーバブルメディア(記録媒体)
P :プログラム
27 :吸引機構(基板保持手段)
T :合計時間
W :基板
a1 :回転軸線
r :移動距離
v :移動速度
w :優先度
y :第2の優先度
Claims (15)
- 基板を水平に保持する基板保持工程と、
前記水平に保持された基板を、鉛直方向に沿う回転軸線のまわりに回転させる基板回転工程と、
前記水平に保持された基板の上面を洗浄するためのブラシを回転状態の前記基板の上面に接触させるブラシ接触工程と、
前記ブラシ接触工程と並行して、前記水平に保持された基板の上面の中央に接触する位置と、当該基板の上面の外周に接触する位置との間で前記ブラシを移動させるブラシ移動工程と、
前記基板の上面を当該基板と同心の円形の仮想線で複数の領域に分割し、各前記領域に優先度を設定し、前記優先度が高い前記領域ほど前記ブラシの移動速度が低くなるように前記ブラシ移動工程における前記ブラシの移動速度を設定する速度設定工程とを含む、基板処理方法。 - 前記速度設定工程が、前記基板の上面の汚染度合が高いほど高くなるように設定された前記優先度に基づいて、前記ブラシ移動工程における前記ブラシの移動速度を前記領域毎に設定する工程を含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記ブラシ接触工程が、回転状態の前記基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付工程を含み、
各前記領域に第2の優先度を設定し、回転状態の前記基板に対する前記ブラシの押付量または押付圧を、前記第2の優先度が高い前記領域ほど高くなるように各前記領域に設定する押付状態設定工程をさらに含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記押付状態設定工程が、前記基板の上面の汚染度合が高いほど高くなるように設定された前記第2の優先度に基づいて、前記押付量または前記押付圧を設定する工程を含む、請求項4に記載の基板処理方法。
- 前記ブラシ接触工程が、回転状態の前記基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付工程を含み、
前記ブラシの移動速度に反比例して変化するように、回転状態の前記基板に対する前記ブラシの押付量または押付圧を設定する押付状態設定工程を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記ブラシ移動工程と並行して、前記ブラシを昇降させるブラシ昇降工程と、
前記ブラシを前記基板の上面に沿わせた状態で前記ブラシ移動工程が実行されるように、前記ブラシ昇降工程における前記ブラシの鉛直方向位置を前記領域毎に設定する鉛直位置設定工程とをさらに含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板を水平に保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段によって保持された基板を、鉛直方向に沿う回転軸線まわりに回転させる基板回転手段と、
前記基板保持手段によって保持された基板の上面を洗浄するブラシと、
前記基板保持手段によって保持された基板の上面に前記ブラシを接触させるブラシ接触手段と、
前記ブラシを水平方向に移動させるブラシ移動手段と、
前記基板回転手段、前記ブラシ接触手段および前記ブラシ移動手段を制御する制御手段とを含み、
前記制御手段が、前記水平に保持された基板を回転させる基板回転工程と、前記水平に保持された基板に前記ブラシを接触させるブラシ接触工程と、前記ブラシ接触工程と並行して、前記水平に保持された基板の上面の中央に接触する位置と、当該基板の上面の外周に接触する位置との間で前記ブラシを移動させるブラシ移動工程と、前記基板の上面を当該基板と同心の円形の仮想線で複数の領域に分割し、各前記領域に優先度を設定し、前記優先度が高い前記領域ほど前記ブラシの移動速が低くなるように前記ブラシ移動工程における前記ブラシの移動速を設定する速度設定工程とを実行する、基板処理装置。 - 前記優先度が、前記基板の上面の汚染度合が高いほど高くなるように設定されている、請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記水平に保持された基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付手段をさらに含み、
前記制御手段が、回転状態の前記基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付工程と、各前記領域に第2の優先度を設定し、回転状態の前記基板に対する前記ブラシの押付量または押付圧を、前記第2の優先度が高い前記領域ほど高くなるように各前記領域に設定する押付状態設定工程とを実行する、請求項8〜10のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記制御手段が、前記基板の上面の汚染度合が高いほど高くなるように設定された前記第2の優先度に基づいて、前記押付量または前記押付圧を設定する工程を実行する、請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記水平に保持された基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付手段をさらに含み、
前記制御手段が、回転状態の前記基板の上面に対して前記ブラシを押し付けるブラシ押付工程と、前記ブラシの移動速度に反比例して変化するように、回転状態の前記基板に対する前記ブラシの押付量または押付圧を設定する押付状態設定工程とを実行する、請求項8〜10のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記ブラシを昇降させるブラシ昇降手段をさらに含み、
前記制御手段が、前記ブラシ接触工程と並行して、前記ブラシを昇降させるブラシ昇降工程と、前記ブラシを前記基板の上面に沿わせた状態で前記ブラシ移動工程が実行されるように、前記ブラシ昇降工程における前記ブラシの鉛直方向位置を前記領域毎に設定する鉛直位置設定工程とを実行する、請求項8〜13のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法を、基板処理装置に備えられたコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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