KR101014651B1 - 반도체 제조 공정 장비의 마스터 콘트롤러에 연결된 게이트 밸브용 인터락 신호 생성 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 종래의 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 장치를 나타내는 도면이다.
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 장치를 나타내는 구조도이다.
도 4a 및 4b 는 게이트 밸브에 유입되는 에어와 본 발명의 감지관계를 나타내는 상황도이다.
도 5는 본 발명의 효과를 나타내는 도면으로서, 마스터 콘트롤러에 연결된 반도체 장비와 이들의 통신 채널의 상황을 나타내는 개념도이다.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 제조 공정의 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 방법을 나타내는 도면이다.
300: 게이트 밸브 324: 밸브오픈에어유입관
110: 마스터 신호처리부 120: 밸브클로즈포지션감지부
130: 밸브오픈에어감지부 140: 인터락결정신호생성부
310: 밸브 콘트롤러 320: 밸브 엑츄에이터
330: 밸브 슬릿 322: 밸브클로즈에어유입관
Claims (6)
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- 반도체 제조 공정 장비에 연결된 하나의 마스터 컨트롤러(200)가 전달하는 공정명령신호에 의해 제어되는 반도체 공정 장비들을 연결하는 게이트 밸브(300)의 오작동을 감지하여 인터락신호를 생성하는 장치(100)에 있어서,
상기 마스터 콘트롤러로부터 상기 게이트 밸브의 개폐에 관한 명령신호인 개폐명령신호(202)를 수신하고, 상기 공정명령신호에 응답하는 신호인 개폐응답신호(102)를 상기 마스터 콘트롤러로 송신하는 마스터 신호처리부(110);
상기 게이트밸브(300)의 밸브슬릿(330)의 위치를 감지함으로써 상기 게이트밸브의 개폐를 감지하는 밸브클로즈포지션감지부(120);
상기 밸브슬릿(330)을 구동하는 밸브엑츄에이터(320)에 연결되고 상기 밸브슬릿(330)을 개방시키는 에어(air)의 유입관인 밸브오픈에어유입관(324)에 연결되어 상기 에어의 압력을 감지하는 밸브오픈에어감지부(130); 및
상기 마스터 신호처리부(110)에 개폐명령신호가 수신되면, 상기 밸브클로즈포지션감지부(120)로부터의 감지신호인 클로즈포지션감지신호(122) 및 상기 밸브오픈에어감지부(130)로부터의 감지신호인 오픈에어감지신호(132)에 기초하여, 상기 마스터콘트롤러가 다른 반도체공정장비로의 공정명령의 인터락여부를 결정하는 인터락결정신호(142)를 생성하는 인터락결정신호생성부(140)를 포함하고,
상기 마스터신호처리부(110)는, 상기 개폐명령신호가 밸브 폐쇄에 관한 신호인 경우, 상기 인터락결정신호(142)에 기초하여 상기 개폐응답신호(102)를 생성하여 상기 마스터 콘트롤러(200)로 전송하고,
상기 마스터 신호처리부(110)는 상기 인터락결정신호생성시에는 기존의 개폐응답신호의 변경없이 상기 기존의 개폐응답신호를 지연(delay)시킴으로써 생성된 지연된 개폐응답신호를 생성하여 상기 마스터 콘트롤러로 전송하고,
상기 마스터 콘트롤러는 미리결정된 시간이내에 상기 개폐응답신호가 도달하지 않을 경우에는 다른 반도체 공정 장비의 동작을 금지하는 인터락 공정 신호를 다른 반도체 장비로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정의 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 장치. - 제 2 항에 있어서, 상기 인터락결정신호생성부(140)는, 상기 마스터 콘트롤러의 명령신호가 패쇄에 관한 명령신호일 때, 상기 밸브클로즈포지션감지부(120)로부터의 신호가 정상상태이고 상기 밸브오픈에어감지부(130)로부터의 신호가 정상상태이면, 정상완료상태를 의미하는 정상인터락결정신호(142)를 마스터 신호처리부(110)로 전송하고,
상기 마스터 신호처리부(110)는 미리결정된 프로토콜에 따라 인터락을 해제하는 의미를 가지는 패쇄응답신호(102)를 마스터 콘트롤러(200)로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 장치. - 제 2 항에 있어서, 상기 인터락결정신호생성부(140)는, 상기 마스터 콘트롤러의 명령신호가 패쇄에 관한 명령신호일 때, 상기 밸브클로즈포지션감지부(120)로부터의 신호 및 상기 밸브오픈에어감지부(130)로부터의 신호중 어느 하나라도 비정상상태이면, 비정상완료상태를 의미하는 비정상인터락결정신호(142)를 마스터 신호처리부(110)로 전송하고,
상기 마스터 신호처리부(110)는 미리결정된 프로토콜에 따라 인터락을 유지하는 의미를 가지는 패쇄응답신호(102)를 마스터 콘트롤러(200)로 전송하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 공정용 마스터 콘트롤러용 인터락 신호 생성 장치. - 반도체 제조 공정 장비의 하나의 마스터 컨트롤러(200)가 전달하는 공정명령신호에 의해 제어되는 반도체 공정 장비를 연결하는 게이트 밸브(300)의 오작동을 감지하여 인터락신호를 생성하는 방법에 있어서,
a) 상기 마스터 콘트롤러에 의한 공정명령신호인 개폐명령신호를 수신하는 단계;
b)상기 개폐명령신호가 밸브 패쇄에 관한 명령신호인지 판단하는 단계;
c)상기 단계 b)가 긍정(yes)이면, 상기 게이트밸브의 슬릿밸브의 위치를 판단하는 클로즈포지션감지신호(122)를 수신하고, 상기 게이트 밸브의 오픈동작을 구현하는 오픈에어유입관의 에어 흐름을 감지하는 오픈에어감지신호(132)를 수신하고, 상기 클로즈포지션감지신호 및 오픈에어감지신호에 기초하여 상기 마스터콘트롤러에 연결된 반도체장비의 인터락여부를 결정하는 인터락결정신호를 생성하는 단계;
d)상기 인터락결정신호에 따라 결정된 개폐응답신호를 미리결정된 마스터 콘트롤러와의 프로토콜에 따라 상기 마스터 콘트롤러로 전송하는 단계; 및
e)상기 개폐응답신호에 따라 인터락신호를 생성하여 다른 반도체 장비로 전송하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 장비를 연결하는 게이트 밸브(300)의 오작동을 감지하여 인터락신호를 생성하는 방법. - 제 5 항에 있어서, 상기 단계 c)는,
c1)상기 밸브클로즈포지션감지신호가 밸브가 클로즈되었음을 의미하는 신호인지 판단하는 단계;
c2)상기 오픈에어감지신호에서 감지된 에어의 압력이 미리결정된 임계값보다 작은지 여부를 판단하는 단계;
c3)상기 단계 c1 및 c2의 결과가 모두 긍정(yes)인 경우에는 상기 게이트밸브가 정상적으로 패쇄되었음을 의미하는 정상인터락결정신호를 생성하는 단계; 및
c4)상기 단계 c1 및 c2 의 결과가 하나라도 부정(no)인 경우에는 상기 게이트밸브가 비정상적으로 패쇄되었음을 의미하는 비정상 인터락신호를 생성하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 공정 장비를 연결하는 게이트 밸브(300)의 오작동을 감지하여 인터락신호를 생성하는 방법.
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2010
- 2010-08-06 KR KR1020100075892A patent/KR101014651B1/ko active IP Right Grant
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