JP2023509246A - Tray connection structure of panel storage container - Google Patents
Tray connection structure of panel storage container Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023509246A JP2023509246A JP2021544156A JP2021544156A JP2023509246A JP 2023509246 A JP2023509246 A JP 2023509246A JP 2021544156 A JP2021544156 A JP 2021544156A JP 2021544156 A JP2021544156 A JP 2021544156A JP 2023509246 A JP2023509246 A JP 2023509246A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tray
- storage container
- side wall
- panel storage
- panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 23
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 23
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 10
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- -1 ambient humidity Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
- B65D25/02—Internal fittings
- B65D25/10—Devices to locate articles in containers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D2313/00—Connecting or fastening means
Abstract
本発明は、パネル収納容器のトレイ結合構造に関するものである。本発明のパネル収納容器は、ボディ及びトレイを含み、トレイは、一定の間隔ごとに突起が形成される底部と、底部の一側に垂直に形成される側面部と、底部及び側面部の内側の角に形成される補強部材と、底部及び側面部の外側の角に形成するが、補強部材と錯角に位置する地点に形成される挿入部材と、を含む。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a tray coupling structure for a panel storage container. The panel storage container of the present invention includes a body and a tray, and the tray has a bottom portion formed with protrusions at regular intervals, side portions formed vertically on one side of the bottom portion, and inner sides of the bottom portion and the side portions. and insert members formed at the outer corners of the bottom and side portions, but at points positioned at odd angles to the reinforcing members.
Description
本発明は、パネル収納容器のトレイ結合構造に関するものである。さらに詳しくは、パネル収納容器の内部にトレイを結合するためのパネル収納容器のトレイ結合構造に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a tray coupling structure for a panel storage container. More particularly, the present invention relates to a tray coupling structure for a panel storage container for coupling the tray inside the panel storage container.
半導体製造用ウェハや各種ディスプレイ機器の製造のためのパネル及び太陽電池の製造のためのパネルなどのような基板の取り扱いにおいて、周辺の湿気や酸素及び空気中の浮遊物質などのような汚染物質から基板を保護することは非常に重要な事項としてすでに知られている。これに基板の保管及び移動過程で用いられる基板コンテナの場合は、その内部の基板収容空間をN2ガスなどのような不活性ガスを用いてパージ(purging)する。 When handling substrates such as wafers for semiconductor manufacturing, panels for manufacturing various display devices, and panels for manufacturing solar cells, they are protected from contaminants such as ambient humidity, oxygen, and suspended substances in the air. Protecting the substrate is already known as a very important matter. In the case of a substrate container used in the process of storing and moving substrates, the substrate accommodating space therein is purged using an inert gas such as N2 gas.
一方、近年、基板の大面積化に応じて、基板コンテナのサイズも大型化されている。ディスプレイ機器の製造分野においてLCD(Liquid crystal display)やPDP(Plasma display panel)及びOLED(Organic light emitting display)などのような様々な平面パネルディスプレイ(Flat panel display)機器が大面積化されながら、大面積基板の保管及び移動などの取り扱いのための基板コンテナについての技術も発展しており、一例として、特許文献1を参照して具体的に説明すると次の通りである。 On the other hand, in recent years, the size of the substrate container has also been increased in accordance with the increase in the area of substrates. In the field of manufacturing display devices, as various flat panel display devices such as LCD (Liquid crystal display), PDP (Plasma display panel) and OLED (Organic light emitting display) are being enlarged, the size of the device is increasing. Technologies regarding substrate containers for handling such as storage and transfer of flat-area substrates have also been developed.
特許文献1は、基板収納容器に関するものであり、これによると、前方に開口部が形成され、基板が収納される本体部、本体部の開口部を開放及び閉鎖するドア部及びドア部に形成されるロック装置を含み、ロック装置は、本体部の開口部側に固定及び解除するようにするメイン固定ユニット及び本体部の開口部側に結合される補助固定ユニットを含み、補助固定ユニットは、メイン固定ユニットと連動してドア部の外部に出入りして本体部に結合される突起部、及びドア部の外部に出入りするように案内するガイド部材を含む。 Patent document 1 relates to a substrate storage container, according to which an opening is formed in the front and formed in a body portion for storing substrates, a door portion for opening and closing the opening of the body portion, and a door portion. The locking device includes a main fixing unit for fixing and unlocking to the opening side of the main body and an auxiliary fixing unit coupled to the opening side of the main body, wherein the auxiliary fixing unit is: The main fixing unit includes a protruding part that moves in and out of the door part and is coupled to the main body part, and a guide member that guides the door part to move in and out of the door part.
前述した特許文献1によると、基板収納容器は、200mmまたは300mmのウェハのみが収納可能であるので、ウェハの大型化を追求している現在の技術力には限界がある収納容器であり、300mmを超えるウェハを収納することができる容器の技術開発が要求されている。 According to the aforementioned Patent Document 1, the substrate storage container can only store wafers of 200 mm or 300 mm. There is a demand for technological development of a container that can accommodate wafers exceeding .
本発明の目的は、パネル収納容器の内部にトレイを結合して、長時間維持してもトレイの撓み変形を防止することができるパネル収納容器のトレイ結合構造を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a tray coupling structure for a panel storage container which is capable of preventing bending deformation of the tray even when the tray is coupled inside the panel storage container and maintained for a long period of time.
1つ以上のパネルを収容できる空間が設けられ、両側にトレイを設置できるように両側にそれぞれ側壁部が設けられ、少なくとも一側に開口したボディと、
前記側壁部に設置され、前記パネルを安着できる胴体部を含む1つ以上のトレイと、を含み、
前記トレイは、前記側壁部と密着するように備えられる側面部と、
前記側面部と垂直に備えられ、前記パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起が形成される底部と、
前記側面部及び底部の間に形成するが、角に形成され、前記トレイを長時間前記ボディの内部に設置しても、前記トレイの撓み変形を防止する補強部材と、
前記側面部および底部の間に形成するが、前記補強部材と錯角に対応する位置に形成され、前記側壁部に設けられる挿入部材と、を含むことができる。
a body having a space for accommodating one or more panels, having side walls on both sides so that a tray can be installed on each side, and having an opening on at least one side;
one or more trays mounted on the side wall and including a body on which the panel can be seated;
a side portion of the tray that is in close contact with the side wall portion;
a bottom part that is perpendicular to the side part, has a space in which the panel can be seated, and has protrusions formed at regular intervals;
a reinforcing member formed between the side portion and the bottom portion, but formed at a corner, to prevent bending deformation of the tray even when the tray is placed inside the body for a long time;
An insertion member formed between the side portion and the bottom portion and formed at a position corresponding to the reinforcing member and the side wall portion may be included.
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記ボディは、前記側壁部の内側を向くように形成するが、一定の間隔ごとに設けられて前記挿入部材を支持する支持部材と、
前記支持部材の間に形成され、前記挿入部材が挿入される挿入空間と、
前記トレイの下部に形成するが、前記側壁部に一定の間隔ごとに形成され、前記トレイの撓み変形を防止するように支持する突起部と、を含むことができる。
Also, in the tray coupling structure for a panel storage container according to an embodiment of the present invention, the body is formed to face the inner side of the side wall, and is provided at regular intervals to support the insertion member. a support member;
an insertion space formed between the support members and into which the insertion member is inserted;
Protrusions may be formed in the lower portion of the tray, but formed in the side wall portion at regular intervals to support the tray so as to prevent bending deformation.
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記側壁部の内側に形成するが、開口部と密接に設けられ、前記トレイと一体化し、内部に締結溝が形成される結束部材を含むことができる。 In addition, in the tray coupling structure of the panel storage container according to the embodiment of the present invention, the fastening groove is formed inside the side wall, is provided closely to the opening, is integrated with the tray, and is formed inside. A binding member may be included.
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記結束部材は、前記締結溝の内周面に沿ってねじ山が形成され、前記ボディの外部からネジが挿入される構造からなり、
前記側壁部に形成するが、前記結束部材の締結溝と同一線上に位置するように形成される貫通孔を含むことができる。
Also, in the tray coupling structure for a panel storage container according to an embodiment of the present invention, the binding member has a screw thread formed along the inner peripheral surface of the fastening groove, and a screw is inserted from the outside of the body. consists of a structure
The side wall may include a through hole formed on the same line as the fastening groove of the binding member.
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記貫通孔を基準に両側に備えられ、挿入空間と密接な密着部を含み、
前記結束部材を前記挿入空間に備えるが、前記締結溝及び前記貫通孔が同一線上に位置し、前記ネジが前記締結溝及び前記貫通孔に締結され、前記トレイ及びボディを相互に締結することができる。
In addition, in the tray coupling structure for a panel storage container according to an embodiment of the present invention, the through hole is provided on both sides and includes a tight contact portion that is in close contact with the insertion space,
The binding member is provided in the insertion space, and the fastening groove and the through hole are positioned on the same line, and the screws are fastened to the fastening groove and the through hole to fasten the tray and the body to each other. can.
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記結束部材の下部に形成するが、突出するように形成され、前記側壁部と密着するように形成される安着部を含み、
前記安着部が挿入空間に備えられ、前記結束部材及び前記側壁部の間に隙間を形成することができる。
Further, in the tray coupling structure for a panel storage container according to an embodiment of the present invention, a seating portion is formed below the binding member so as to protrude and be in close contact with the side wall portion. including
The seating portion may be provided in the insertion space, and a gap may be formed between the binding member and the side wall portion.
本発明の一実施形態によると、ボディの内部両側にトレイを設置できる構造で形成され、トレイをボディの内部に設置するとき、長時間設置しても、トレイの撓み変形を防止することができる効果がある。 According to an embodiment of the present invention, the tray is formed to be installed on both sides inside the body, and when the tray is installed inside the body, it is possible to prevent bending deformation of the tray even if the tray is installed for a long time. effective.
図1及び図2に示すように、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造は、1つ以上のパネルを収容できる空間が設けられ、両側にトレイ200を設置できるように両側にそれぞれ側壁部110が設けられ、少なくとも一側に開口したボディ100及び側壁部110に設置され、パネルを安着できる胴体部201を含む1つ以上のトレイ200を含む。
As shown in FIGS. 1 and 2, the tray coupling structure of the panel storage container according to the embodiment of the present invention has a space for accommodating one or more panels, and has a
ボディ100は、内部にトレイ200を設置できる収容空間が設けられ、トレイ200にパネルを安着して保管する構造からなり、一側に開口した地点にドアが別途に形成されてボディ100の内部が気密になるように備えることができる。
The
ここで、パネルは、PLP(Panel Level Package)、PCB(Printed Circuit Board)、ガラスのうちいずれかを選択して構成することができ、本発明では、PLPパネルを基準に説明する。 Here, the panel can be configured by selecting any one of PLP (Panel Level Package), PCB (Printed Circuit Board), and glass, and the present invention will be described based on the PLP panel.
また、ボディ100は、300mmのパネルまたは600mmのパネルのうち少なくともいずれか1つのパネルを選択して保管することができ、本発明では、600mmのパネルをボディ100の内部に保管するように設計されている。
In addition, the
このようなボディ100は、両側(開口した面を基準に両側)にトレイ200を設置できる側壁部110を設けることができる。
The
図3に示すように、側壁部110は、一定の間隔ごとに支持部材130が形成され、支持部材130の間に隙間を形成してトレイ200を挿入することができる空間が設けられる挿入空間150を形成することができる。
As shown in FIG. 3, the
支持部材130は、トレイ200が長時間設置されても前記トレイ200の撓み変形を防止するために、支持部材130の長さを挿入空間150の形成された長さよりも相対的に長く備えることができるが、これに限定されるものではない。
The length of the
挿入空間150は、後述する挿入部材270を挿入して固定できるように挿入部材270の長さと同一に形成することができる。
The
トレイ200は、図1に示すように、パネルを保管するための「W」形状の胴体部201が形成され、トレイの両側に側壁部110と締結される結合構造をさらに形成することができる。
The
具体的には、図4に示すように、トレイ200は、側壁部110と密着するように備えられる側面部230と、側面部230と垂直に備えられ、パネルを安着できる空間が設けられる底部210と、側面部230及び底部210の角に形成するが、内側に形成され、トレイ200を長時間ボディ100に設置しても撓み変形を防止する補強部材250と、側面部230及び底部210の角に形成するが、外側に形成され、側壁部110に挿入されて設けられる挿入部材270と、を含むことができる。
Specifically, as shown in FIG. 4, the
側面部230は、支持部材130と密着するように形成され、側面部230は、外側に形成される挿入部材270と垂直になるように備えることができる。
The
底部210は、パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起211を形成することにより滑りを防止することができる。
The
補強部材250は、側面部230及び底部210の間に形成するが、内側の角に形成され、図5に示すように、突出部157がトレイを支持する構造からなるが、トレイ200を長時間パネルを保管することによってトレイが撓む可能性があるので、上記したトレイ200の撓み変形を防止するために補強部材250を別途に備えることができる。
The reinforcing
ここで、補強部材250は、トレイ200の材質と異なるように形成することも可能であるが、これは選択事項である。
Here, the reinforcing
挿入部材270は、側面部230及び底部210の間に形成するが、外側の角に形成され、前記補強部材250と錯角に対応する位置に形成され、挿入空間150に挿入してトレイ200がボディ100に設置されるように形成することができる。
The
また、トレイ200は、ボディ100に堅固に結束するために結束部材290をさらに構成することができる。
Also, the
図5~図7に示すように、結束部材290は、側壁部110の内側に形成するが、開口部と密接に設けられ、トレイ200と一体化し、内部に締結溝291を形成することができる。
As shown in FIGS. 5 to 7, the
このような結束部材290は、締結溝291の内部にねじ山が形成され、ネジ300がボディ100の外部から内部に挿入されて締結されるように構成することができる。
The binding
ここで、ネジ300が結束部材290の締結溝291に締結されるように、締結溝291と同一線上に位置する側壁部110に貫通孔151を通孔することができる。
Here, the through
また、貫通孔151を基準に両側に密着部153がさらに備えられ、上記した密着部153を結束部材290の一面と密着するように構成することができる。
Also, the
また、結束部材290の下部に形成するが、下部を向くように突出するように形成され、側壁部110と密着するように形成される安着部295をさらに含むことができる。
In addition, the binding
安着部295は、挿入空間150の下部内側の角地点に備えられ、結束部材290及び側壁部110の間に所定の隙間を形成することができる。
The
すなわち、本発明の一実施形態によると、ボディ100の内部の両側にトレイ200を設置することができる構造で構成され、トレイ200がボディ100の内部に設置されるとき、長時間設置しても、前記トレイ200の撓み変形を防止することができる効果がある。
That is, according to an embodiment of the present invention, the
パネル収納容器に1つ以上のトレイが設置される構造からなり、トレイにパネルを容易に保管することができ、長期間保管しても異物または汚れが流れ込むことを防止してパネルの不良の発生を防止することができるパネル収納容器を提供する。 It has a structure in which one or more trays are installed in the panel storage container, so that the panels can be easily stored in the trays. To provide a panel storage container capable of preventing
100 ボディ
110 側壁部
130 支持部材
150 挿入空間
151 貫通孔
153 密着部
157 突起部
200 トレイ
201 胴体部
210 底部
230 側面部
250 補強部材
270 挿入部材
290 結束部材
291 締結溝
293 ねじ山
295 安着部
300 ねじ
100 body
110
Claims (6)
前記側壁部に設置され、前記パネルを安着できる胴体部を含む1つ以上のトレイと、を含み、
前記トレイは、前記側壁部と密着するように備えられる側面部と、
前記側面部と垂直に備えられ、前記パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起が形成される底部と、
前記側面部及び底部の間に形成するが、角に形成され、前記トレイを長時間前記ボディの内部に設置しても、前記トレイの撓み変形を防止する補強部材と、
前記側面部および底部の間に形成するが、前記補強部材と錯角に対応する位置に形成され、前記側壁部に設けられる挿入部材と、を含むパネル収納容器のトレイ結合構造。 a body having a space for accommodating one or more panels, having side walls on both sides so that a tray can be installed on each side, and having an opening on at least one side;
one or more trays mounted on the side wall and including a body on which the panel can be seated;
a side portion of the tray that is in close contact with the side wall portion;
a bottom part that is perpendicular to the side part, has a space in which the panel can be seated, and has protrusions formed at regular intervals;
a reinforcing member formed between the side portion and the bottom portion, but formed at a corner, to prevent bending deformation of the tray even when the tray is placed inside the body for a long time;
A tray coupling structure for a panel storage container, comprising an insertion member formed between the side surface portion and the bottom portion and formed at a position corresponding to the reinforcing member and the side wall portion at an irregular angle.
前記支持部材の間に形成され、前記挿入部材が挿入される挿入空間と、
前記トレイの下部に形成するが、前記側壁部に一定の間隔ごとに形成され、前記トレイの撓み変形を防止するように支持する突起部と、を含む請求項1に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。 the body is formed to face the inner side of the side wall and is provided at regular intervals to support the insertion member;
an insertion space formed between the support members and into which the insertion member is inserted;
2. The tray of a panel storage container according to claim 1, further comprising projections formed at regular intervals on the side wall of the tray and supporting the tray so as to prevent bending deformation of the tray. bond structure.
前記側壁部に形成するが、前記結束部材の締結溝と同一線上に位置するように形成される貫通孔を含む請求項3記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。 The binding member has a structure in which a screw thread is formed along the inner peripheral surface of the fastening groove and a screw is inserted from the outside of the body,
4. A tray connecting structure for a panel storage container according to claim 3, wherein the side wall portion includes a through hole formed on the same line as the fastening groove of the binding member.
前記結束部材を前記挿入空間に備えるが、前記締結溝及び前記貫通孔が同一線上に位置し、前記ネジが前記締結溝及び前記貫通孔に締結され、前記トレイ及びボディが相互に締結される請求項4に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。 including a close contact portion provided on both sides of the through-hole and in close contact with the insertion space;
The binding member is provided in the insertion space, the fastening groove and the through hole are positioned on the same line, the screws are fastened to the fastening groove and the through hole, and the tray and the body are fastened to each other. Item 5. A tray connection structure for a panel storage container according to item 4.
前記安着部が挿入空間に備えられ、前記結束部材及び前記側壁部の間に隙間が形成される請求項3に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。 a mounting part formed in a lower part of the binding member, protruding, and closely attached to the side wall part;
4. The tray coupling structure for a panel storage container according to claim 3, wherein the seating portion is provided in the insertion space, and a gap is formed between the binding member and the side wall portion.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2020-0165166 | 2020-11-30 | ||
KR1020200165166A KR102498995B1 (en) | 2020-11-30 | 2020-11-30 | Tray bonding structure of panel storage container |
PCT/KR2020/017451 WO2022114339A1 (en) | 2020-11-30 | 2020-12-02 | Tray fitting structure of panel storage container |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023509246A true JP2023509246A (en) | 2023-03-08 |
JP7343218B2 JP7343218B2 (en) | 2023-09-12 |
Family
ID=81756036
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021544156A Active JP7343218B2 (en) | 2020-11-30 | 2020-12-02 | Tray combination structure of panel storage container |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7343218B2 (en) |
KR (1) | KR102498995B1 (en) |
CN (1) | CN114845942A (en) |
WO (1) | WO2022114339A1 (en) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003068839A (en) * | 2001-08-24 | 2003-03-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Substrate container and its manufacturing method |
KR20040046872A (en) * | 2002-11-28 | 2004-06-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Cassette for loading substrate of liquid crystal display device |
JP2005153963A (en) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Storage container, and method for manufacturing the same |
JP2005518318A (en) * | 2002-02-26 | 2005-06-23 | エンテグリス・インコーポレーテッド | Cushion device for wafer container |
JP2008021743A (en) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Housing container for semiconductor wafer |
JP2011086806A (en) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Gold Kogyo Kk | Precise substrate housing container |
JP2011103391A (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Substrate housing container and support member |
JP2018500766A (en) * | 2014-12-18 | 2018-01-11 | インテグリス・インコーポレーテッド | Wafer storage container having impact protection device |
JP2019127272A (en) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | 信越ポリマー株式会社 | Panel storage container |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3071502B2 (en) * | 1991-07-09 | 2000-07-31 | 京セラミタ株式会社 | Image forming equipment sorter |
JP2000142876A (en) * | 1999-01-01 | 2000-05-23 | Sharp Corp | Base storage cassette |
JP4296296B2 (en) * | 2001-04-01 | 2009-07-15 | インテグリス・インコーポレーテッド | Thin wafer insert |
JP2002332089A (en) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Toshiba Corp | Packaging device for washing machine |
JP4110880B2 (en) * | 2002-08-22 | 2008-07-02 | 凸版印刷株式会社 | Tray type cassette for large glass substrates |
KR200322741Y1 (en) * | 2003-03-06 | 2003-08-14 | 내일시스템주식회사 | A Tray for Conveying Glass Base Plate for a Liquid Panel |
JP2005178839A (en) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Sharp Corp | Tray for storing substrate |
KR20060110195A (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-24 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Substrate cassette |
JP5025962B2 (en) * | 2006-02-15 | 2012-09-12 | ミライアル株式会社 | Thin plate storage container |
JP2011178462A (en) * | 2010-03-04 | 2011-09-15 | Toppan Printing Co Ltd | Substrate storage tray laminated pallet |
JP5541726B2 (en) * | 2010-11-08 | 2014-07-09 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate storage container |
KR101330110B1 (en) | 2011-05-25 | 2013-11-18 | (주)둔포기계 | Subtrate storage container |
CN202101496U (en) * | 2011-06-08 | 2012-01-04 | 海尔集团公司 | Refrigerator inner container and refrigerator |
CN102556466A (en) * | 2012-01-17 | 2012-07-11 | 张然 | Combined blow-molding tray |
CN203491841U (en) * | 2013-10-16 | 2014-03-19 | 南车成都机车车辆有限公司 | Leading-out wire carrier frame plate of traction motor |
CN104465463A (en) * | 2014-12-16 | 2015-03-25 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | Flower basket structure for bearing silicon extending slices of multiple sizes |
KR101689543B1 (en) * | 2016-06-07 | 2016-12-26 | 주식회사 이데크 | Deck board assembly |
CN207932192U (en) * | 2017-12-29 | 2018-10-02 | 天津杰恩熙电子有限公司 | A kind of aluminium pallet carrying aluminium sheet |
CN211767725U (en) * | 2020-02-27 | 2020-10-27 | 昆山龙腾光电股份有限公司 | Packing box |
-
2020
- 2020-11-30 KR KR1020200165166A patent/KR102498995B1/en active IP Right Grant
- 2020-12-02 JP JP2021544156A patent/JP7343218B2/en active Active
- 2020-12-02 CN CN202080010389.1A patent/CN114845942A/en active Pending
- 2020-12-02 WO PCT/KR2020/017451 patent/WO2022114339A1/en active Application Filing
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003068839A (en) * | 2001-08-24 | 2003-03-07 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Substrate container and its manufacturing method |
JP2005518318A (en) * | 2002-02-26 | 2005-06-23 | エンテグリス・インコーポレーテッド | Cushion device for wafer container |
KR20040046872A (en) * | 2002-11-28 | 2004-06-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Cassette for loading substrate of liquid crystal display device |
JP2005153963A (en) * | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Storage container, and method for manufacturing the same |
JP2008021743A (en) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Housing container for semiconductor wafer |
JP2011086806A (en) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Gold Kogyo Kk | Precise substrate housing container |
JP2011103391A (en) * | 2009-11-11 | 2011-05-26 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Substrate housing container and support member |
JP2018500766A (en) * | 2014-12-18 | 2018-01-11 | インテグリス・インコーポレーテッド | Wafer storage container having impact protection device |
JP2019127272A (en) * | 2018-01-22 | 2019-08-01 | 信越ポリマー株式会社 | Panel storage container |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114845942A (en) | 2022-08-02 |
KR20220076218A (en) | 2022-06-08 |
WO2022114339A1 (en) | 2022-06-02 |
KR102498995B1 (en) | 2023-02-13 |
JP7343218B2 (en) | 2023-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100765534B1 (en) | Packing Apparatus for Flat Display Panel Module | |
JP4696102B2 (en) | PCB cassette | |
JP2006168749A (en) | Glass carrying frame | |
KR100673580B1 (en) | Substrate accommodating tray | |
JP2006168748A (en) | Glass carrying frame | |
JP2006036365A (en) | Cassette for containing glass substrate | |
KR102446066B1 (en) | Tray installed in the panel storage container | |
JP2023509246A (en) | Tray connection structure of panel storage container | |
US6910583B2 (en) | Apparatus for carrying substrates | |
JP2007137484A (en) | Transfer tray and transfer system | |
JP2007290713A (en) | Glass board carrier box | |
JP2007073871A (en) | Tray used for in-process shipping of substrate for thin indicating devices and shipping method of substrate for thin indicating devices using this | |
KR102514947B1 (en) | Panel storage container | |
JP7377572B2 (en) | Wafer storage container and cap assembly used therein | |
JP4621988B2 (en) | Cassette for semiconductor wafer | |
JP5375442B2 (en) | Pallet for substrate transfer | |
JP4811064B2 (en) | container | |
TWI431716B (en) | A storage box for handling jigs | |
KR20130035361A (en) | Transporting apparatus for a glass | |
KR102525006B1 (en) | Structure of panel storage container | |
TW200410881A (en) | Glass substrate carrying box | |
JP2006193187A (en) | Plate-like object storing container | |
JP2007250793A (en) | Container | |
US20070274809A1 (en) | Substrate cassette and transport system thereof | |
JP2005289436A (en) | Box for transferring glass substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230824 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7343218 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |