JP2011178462A - Substrate storage tray laminated pallet - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の基板収納用トレイを積重するパレットに関するものであり、特に、基板収納用トレイを適切な頻度で洗浄するために、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできるパレットに関する。 The present invention relates to a pallet for stacking a plurality of substrate storage trays, and in particular, has reached a point in time when the stacked substrate storage trays are cleaned in order to clean the substrate storage trays at an appropriate frequency. The present invention relates to a pallet that can be easily distinguished from the outside.
カラー液晶表示装置やカラープラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の生産においては、ガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、基板収納用トレイが用いられている。この基板収納用トレイは、工程途中のガラス基板にも適用されるなど多岐にわたる使われ方がされている。 In the production of flat panel displays (FPD) such as color liquid crystal display devices and color plasma displays, substrate storage trays are used for storing, transporting, transporting and storing glass substrates. This substrate storage tray is used in various ways such as being applied to a glass substrate in the process.
近年、ディスプレイサイズの大型化に伴い、用いられるガラス基板の大型化が進んでいる。この大型ガラス基板を限られたスペースで、各ガラス基板が相互に接触することなく、安定して効率よく収納、工程搬送、輸送、保管することが可能な基板収納用トレイとして、様々な基板収納用トレイが提案されている。 In recent years, with the increase in display size, the size of glass substrates used has been increasing. This large glass substrate can be stored in various spaces as a substrate storage tray that can be stored, transported, transported, and stored stably and efficiently without contacting each other in a limited space. Tray has been proposed.
例えば、特開２００４−１８６２４９には、液晶表示装置用カラーフィルタのガラス基板が収納されて上下方向に積重された複数の基板収納用トレイの各々から、ガラス基板を効率よく取り出すことができ、また、ガラス基板が取り出された空の基板収納用トレイを効率よく上下方向に積重することができる基板移載装置が開示されている。 For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-186249, a glass substrate can be efficiently taken out from each of a plurality of substrate storage trays in which glass substrates of color filters for liquid crystal display devices are stored and stacked vertically, Also disclosed is a substrate transfer device that can efficiently stack empty substrate storage trays from which glass substrates have been removed in the vertical direction.
図１は、上記基板移載装置にて用いられる基板収納用トレイ（１０）の一例を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ａ’線での拡大した断面図である。この基板収納用トレイ（１０）は、液晶表示装置用カラーフィルタに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下のガラス基板を収納して輸送するために用いられる。 FIG. 1 is a plan view showing an example of a substrate storage tray (10) used in the substrate transfer apparatus, and FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line A-A 'of FIG. The substrate storage tray (10) stores a rectangular glass substrate used for a color filter for a liquid crystal display device, particularly a glass substrate having a side of 1.3 m or more and a thickness of 0.7 mm or less. Used for transportation.
基板収納用トレイ（１０）は、樹脂によって長方形状トレイに一体的に成形されており、輸送するガラス基板（２０）が、水平状態で載置される長方形状の底部（１１）と、底部（１１）の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部（１２）とを有している。 The substrate storage tray (10) is integrally formed with a rectangular tray by resin, and a glass substrate (20) to be transported has a rectangular bottom (11) on which the glass substrate (20) is placed in a horizontal state, and a bottom ( 11) and a frame portion (12) provided so as to protrude upward at the side edge portion over the entire circumference.
底部（１１）は、収納されるガラス基板（２０）よりも一廻り大きな長方形状であって、底部（１１）の上面にガラス基板（２０）が載置される。底部（１１）の四隅の近傍には、四角形状の通孔部（１５）が形成され、また、底部（１１）の各四隅の中間位置にも、及び底部（１１）の中央部にも通孔部（１５）が形成されている。 The bottom (11) has a rectangular shape that is slightly larger than the glass substrate (20) to be accommodated, and the glass substrate (20) is placed on the upper surface of the bottom (11). In the vicinity of the four corners of the bottom portion (11), rectangular through-hole portions (15) are formed, and also pass through the middle positions of the four corners of the bottom portion (11) and the central portion of the bottom portion (11). A hole (15) is formed.
底部（１１）に設けられた各通孔部（１５）は、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を基板収納用トレイ（１０）から取り出すための支持ピンが、底部（１１）の下方から挿通されるように設けたものである。
枠部（１２）は、底部（１１）の側縁部の全周にわたって、例えば、底部（１１）の上面から５ｍｍ程度に突出して設けられており、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
Each through hole (15) provided in the bottom (11) has a support pin for taking out the glass substrate (20) placed on the top surface of the bottom (11) from the substrate storage tray (10). (11) is provided so as to be inserted from below.
The frame portion (12) is provided so as to protrude, for example, about 5 mm from the upper surface of the bottom portion (11) over the entire circumference of the side edge portion of the bottom portion (11), and is placed on the upper surface of the bottom portion (11). The glass substrate (20) is surrounded over the entire circumference with an appropriate interval in the horizontal direction.
枠部（１２）の上部には、フランジ状に突出する係合部（１３）がその全周にわたって設けられている。この係合部（１３）は、断面形状が長方形状であり、基板収納用トレイ
（１０）を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が、この係合部（１３）に係合するようになっている。
係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間には、段差が形成されており、この段差が上下に積重される基板収納用トレイ（１０）の位置決め部（１４）となる。
On the upper part of the frame part (12), an engaging part (13) protruding in a flange shape is provided over the entire circumference. The engaging portion (13) has a rectangular cross-sectional shape, and a claw portion for chucking when the substrate storage tray (10) is transported to a predetermined position is engaged with the engaging portion (13). It is supposed to be.
A step is formed between the upper surface of the engaging portion (13) and the upper portion of the frame portion (12), and the positioning portion (10) of the substrate storage tray (10) in which the steps are stacked vertically. 14).
図３に示すように、ガラス基板（２０）が収納された基板収納用トレイ（１０）は、上下に複数が積重された状態で工程搬送、輸送、保管される。この際は、上記係合部（１３）の上面と、枠部（１２）の上部との間の段差である位置決め部（１４）に、枠部（１２）の下端部が係合した状態になり、上下方向に積重された基板収納用トレイ（１０）同士は、水平方向に相互に位置ズレを起こすことはない。
また、上下方向に基板収納用トレイ（１０）の複数が積重された状態では、上下の係合部（１３）間に適当な間隔（Ｄ）が形成され、この部分で、上記チャッキング用の爪部が係合部（１３）と係合する。
As shown in FIG. 3, the substrate storage tray (10) in which the glass substrate (20) is stored is transported, transported, and stored in a state where a plurality of trays (10) are stacked in the vertical direction. At this time, the lower end portion of the frame portion (12) is engaged with the positioning portion (14) which is a step between the upper surface of the engaging portion (13) and the upper portion of the frame portion (12). Thus, the substrate storage trays (10) stacked in the vertical direction do not cause misalignment in the horizontal direction.
In addition, in the state where a plurality of substrate storage trays (10) are stacked in the vertical direction, an appropriate interval (D) is formed between the upper and lower engaging portions (13). The claw portion engages with the engaging portion (13).
図４は、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態の一例の概略を示す側面図である。図４に示すように、パレット（３０）上に、複数の基板収納用トレイ（１０）が積重され、最上部の基板収納用トレイ（１０）上に防塵用蓋（１６）が設けられた状態となる。積重する基板収納用トレイ（１０）の段数は、例えば、３０個程度である。 FIG. 4 is a side view showing an outline of an example in which a plurality of substrate storage trays (10) are stacked one above the other. As shown in FIG. 4, a plurality of substrate storage trays (10) are stacked on the pallet (30), and a dustproof lid (16) is provided on the uppermost substrate storage tray (10). It becomes a state. The number of stacked substrate storage trays (10) is, for example, about 30.
このように、パレット（３０）上に上下に積重された複数の基板収納用トレイ（１０）から、収納されたガラス基板（２０）を取り出す際には、例えば、基板異載装置（図示せず）が使用される。基板異載装置は搬送機構と取出機構で構成され、先ず搬送機構は、そのチャッキング用の爪部で防塵用蓋（１６）を取り除き、最上部の基板収納用トレイ（１０）の係合部（１３）に爪部を係合させ、最上部の基板収納用トレイ（１０）のみを持ち上げ取出機構のテーブル上に載置する。 Thus, when taking out the stored glass substrate (20) from the plurality of substrate storage trays (10) stacked vertically on the pallet (30), for example, a substrate mounting device (not shown) is used. ) Is used. The substrate mounting apparatus is composed of a transport mechanism and a take-out mechanism. First, the transport mechanism removes the dustproof lid (16) with its chucking claw, and engages with the uppermost substrate storage tray (10). The claws are engaged with (13), and only the uppermost substrate storage tray (10) is lifted and placed on the table of the take-out mechanism.
取出機構の支持ピンは、基板収納用トレイ（１０）の下方から上昇し、底部（１１）の通孔部（１５）を挿通し、底部（１１）の上面に載置されたガラス基板（２０）を下方から支持ピン上に保持する。
支持ピンの上昇により生じたテーブルとガラス基板（２０）の間隙に、ロボットのフォークを水平に挿入し、ガラス基板（２０）を取出機構外へと搬出する。
The support pin of the take-out mechanism rises from below the substrate storage tray (10), passes through the through hole (15) of the bottom (11), and is placed on the upper surface of the bottom (11). ) Is held on the support pin from below.
A robot fork is horizontally inserted into the gap between the table and the glass substrate (20) generated by the raising of the support pins, and the glass substrate (20) is taken out of the take-out mechanism.
さて、このような、複数の基板収納用トレイ（１０）を上下に積重した状態のパレット（３０）は、クリーンルーム外で、搬送、保管されることがあるので、積重した基板収納用トレイ（１０）には微小異物が付着する。このため、適切な洗浄を基板収納用トレイ（１０）に施さないと、基板収納用トレイ（１０）に収納されているガラス基板に微小異物が付着してしまうことがある。 The pallet (30) in which a plurality of substrate storage trays (10) are stacked up and down may be transported and stored outside the clean room. (10) A minute foreign matter adheres. For this reason, unless appropriate cleaning is performed on the substrate storage tray (10), minute foreign substances may adhere to the glass substrate stored in the substrate storage tray (10).
基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度の指標には、例えば、クリーンルーム外での使用回数、前回の洗浄からの経過期間などが用いられることがある。しかし、基板収納用トレイ（１０）への微小異物の付着状況は、基板収納用トレイ（１０）を積重したパレット（３０）を保管する周辺環境によっても大きく異なったものとなる。
従って、一定の指標で基板収納用トレイ（１０）の洗浄を施こすと、過剰な洗浄でコストが増大したり、或いは、洗浄が不十分なためガラス基板へ微小異物が付着し、不良を発生させてしまうといった問題がある。
As an index of the frequency of cleaning the substrate storage tray (10), for example, the number of uses outside the clean room, the elapsed time since the previous cleaning, and the like may be used. However, the adhesion of minute foreign matters to the substrate storage tray (10) varies greatly depending on the surrounding environment in which the pallet (30) on which the substrate storage tray (10) is stacked is stored.
Therefore, if the substrate storage tray (10) is cleaned with a certain index, excessive cleaning increases the cost, or because of insufficient cleaning, minute foreign substances adhere to the glass substrate, resulting in defects. There is a problem of letting it go.
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、積重した基板収納用トレイに洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄が施されるように、基板収納用トレイを積重したパレットの周辺環境の空気中に含まれる微小異物を測定し、積重した基板収納用トレイが洗浄する時点に達したことを外部から容易に判別することのできる、基板収納用トレイを積重するパレットを提供することを課題とするものである。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and cleaning is performed at an appropriate frequency without excessively or insufficiently cleaning the stacked substrate storage trays. As described above, it is possible to easily determine from the outside that the stacked substrate storage tray has reached the point of time of cleaning by measuring minute foreign matters contained in the air in the surrounding environment of the pallet on which the substrate storage tray is stacked. It is an object of the present invention to provide a pallet on which a substrate storage tray can be stacked.
本発明は、ガラス基板を水平に積載する基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
The present invention is a pallet for stacking substrate storage trays for horizontally loading glass substrates,
1) A side surface portion of the pallet on which the substrate storage trays are stacked is provided with a minute foreign matter measuring device including a measurement unit and an information output unit,
2) a) The measurement unit of the minute foreign matter measuring device periodically receives scattered light from the minute foreign matter contained in the air in the surrounding environment,
b) The information output unit calculates a cumulative value of the number of minute foreign matters from the light intensity of the received scattered light, and the monitor is stacked when the cumulative value exceeds a preset threshold value. It is a pallet for stacking substrate storage trays, characterized by indicating that it is an appropriate time to clean the storage trays.
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、
１）ａ）前記測定部の筐体は直方体であり、その内部空間は水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板で上室と下室に区分され、
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。
Further, the present invention provides a pallet for stacking the substrate storage trays according to the above invention,
1) a) The housing of the measurement unit is a rectangular parallelepiped, and its internal space is divided into an upper chamber and a lower chamber by a glass substrate for attaching a minute foreign matter provided horizontally,
b) The upper half of the front surface of the housing is provided with a fan that takes in air from the surrounding environment into the upper chamber and attaches the fine foreign matter onto the glass substrate for attaching the fine foreign matter.
c) On the bottom surface of the lower chamber of the housing, a laser light source that irradiates a laser beam perpendicularly to the minute foreign matter attached on the glass substrate for attaching the foreign matter from below, and scattered light from the minute foreign matter obliquely downward. A photodetector for receiving light is provided;
2) The measurement unit a) periodically operates the fan to take in air in the surrounding environment into the upper chamber, and attaches the fine foreign matter on the glass substrate for attaching the fine foreign matter,
b) Irradiating the attached fine foreign matter with laser light vertically from below, causing the photodetector to receive the scattered light from the fine foreign matter,
3) The calculation unit of the information output unit calculates a cumulative value of the number of minute foreign objects from the light intensity of the received scattered light, and the monitor accumulates when the cumulative value exceeds a preset threshold value. The pallet for stacking the substrate storage trays is characterized by displaying that it is an appropriate time to clean the substrate storage tray.
また、本発明は、上記発明による基板収納用トレイを積重するパレットにおいて、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、下記数式１を用いることを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレットである。 Furthermore, the present invention is characterized in that, in the pallet on which the substrate storage trays according to the above invention are stacked, the following formula 1 is used when calculating the cumulative value of the number of minute foreign objects from the light intensity of the received scattered light. It is a pallet on which the substrate storage trays to be stacked are stacked.
本発明は、基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられ、微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環
境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
In the present invention, the side part of the pallet on which the substrate storage trays are stacked is provided with a minute foreign object measuring device including a measurement unit and an information output unit. The scattered light from minute foreign matter contained in the air in the environment is received, and the information output unit calculates the cumulative value of the number of minute foreign matters from the light intensity of the received scattered light, and the cumulative value exceeds a preset threshold value. Since the monitor indicates that it is an appropriate time to clean the stacked substrate storage trays, the cleaning can be performed at an appropriate frequency.
また、本発明は、測定部の筐体は直方体で上室と下室に区分され、筐体の前面上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、下室の底面部には、付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、演算部は、散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め閾値を越えたときに、モニターはトレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するので、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。 Further, according to the present invention, the casing of the measurement unit is a rectangular parallelepiped and is divided into an upper chamber and a lower chamber. A fan is provided, and a bottom surface portion of the lower chamber is provided with a laser light source that irradiates a laser beam vertically on the attached minute foreign matter from below, and a photodetector that receives scattered light from the minute foreign matter obliquely below, The calculation unit calculates the accumulated value of the number of minute foreign substances from the light intensity of the scattered light, and when the accumulated value exceeds a threshold value in advance, the monitor displays that it is an appropriate time to clean the tray. It becomes possible to perform cleaning at a frequency.
また、本発明は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出する際に、前記数式１を用いるので、散乱光の光強度から微小異物数の累積値の算出が良好に行われる。 Further, according to the present invention, when calculating the accumulated value of the number of minute foreign objects from the light intensity of the received scattered light, the above-described Expression 1 is used, so that the accumulated value of the number of minute foreign objects can be favorably calculated from the light intensity of the scattered light. Done.
以下に本発明を詳細に説明する。
図５（ａ）は、本発明による基板収納用トレイを積重するパレットの一例におけるパレットの側面部を示す説明図である。また、図５（ｂ）は、このパレットの上面から内部を示す説明図である。
The present invention is described in detail below.
FIG. 5A is an explanatory view showing a side surface portion of a pallet in an example of a pallet on which substrate storage trays according to the present invention are stacked. FIG. 5B is an explanatory diagram showing the inside from the top surface of the pallet.
図５（ａ）、（ｂ）に示すように、パレット（７０）の１側面部（７１）には、開口部（７２）、開口部（７３）が設けられている。開口部（７２）、開口部（７３）に対応し、パレット（７０）の内部に測定部（４０）と情報出力部（５０）で構成される微小異物測定装置（６０）が備えられている。開口部（７２）には、測定部（４０）の前面が配置され、また、開口部（７３）には、情報出力部（５０）のモニター（５２）が配置されている。 As shown to Fig.5 (a), (b), the opening part (72) and the opening part (73) are provided in 1 side part (71) of the pallet (70). Corresponding to the opening (72) and the opening (73), the pallet (70) is provided with a minute foreign matter measuring device (60) including a measuring unit (40) and an information output unit (50). . In the opening (72), the front surface of the measurement unit (40) is arranged, and in the opening (73), the monitor (52) of the information output unit (50) is arranged.
この微小異物測定装置（６０）の測定部（４０）は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、情報出力部（５０）は、受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示するようになっている。
従って、積重した基板収納用トレイ（１０）に洗浄を施す頻度が過剰になったり、或いは不足することなく、適切な頻度で洗浄を施すことが可能となる。
The measurement unit (40) of the minute foreign matter measuring device (60) periodically receives scattered light from minute foreign matters contained in the air in the surrounding environment, and the information output unit (50) receives the scattered light received. The cumulative value of the number of minute foreign matter is calculated from the light intensity, and when the cumulative value exceeds a preset threshold, the monitor displays that it is an appropriate time to clean the stacked substrate storage trays. It is like that.
Accordingly, the frequency of cleaning the stacked substrate storage trays (10) does not become excessive or insufficient, and cleaning can be performed at an appropriate frequency.
図６（ａ）は、本発明における測定部（４０）の一例での前面の説明図である。図６（ｂ）は、測定部（４０）の左側面から内部を示す説明図である。また、図６（ｃ）は、測定部（４０）の上面から内部を示す説明図である。
図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明における測定部（４０）の筐体（４１）は直方体の形状をしている。この直方体の内部空間は、水平に設けられた微小異物付着用ガラス基板（４３）で上室（４１Ａ）と下室（４１Ｂ）に区分されている。
Fig.6 (a) is explanatory drawing of the front surface in an example of the measurement part (40) in this invention. FIG.6 (b) is explanatory drawing which shows an inside from the left side surface of a measurement part (40). Moreover, FIG.6 (c) is explanatory drawing which shows an inside from the upper surface of a measurement part (40).
As shown in FIGS. 6A to 6C, the casing (41) of the measurement unit (40) in the present invention has a rectangular parallelepiped shape. The internal space of the rectangular parallelepiped is divided into an upper chamber (41A) and a lower chamber (41B) by a glass substrate (43) for adhering minute foreign matters provided horizontally.
上室（４１Ａ）では、パレット（７０）の周辺環境の空気中の微小異物を透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させている。
また、下室（４１Ｂ）では、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を斜め下方で受光している。
In the upper chamber (41A), minute foreign matters in the air in the surrounding environment of the pallet (70) are attached on the transparent glass substrate (43) for attaching foreign matters.
In the lower chamber (41B), the scattered light from the minute foreign matter adhering on the transparent glass substrate for attaching a foreign matter (43) is received obliquely downward.
筐体（４１）の前面（４２ａ）の上半部には、上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させるファン（４４）が設けられている。
筐体の下室（４１Ｂ）の底面部（４２ｂ）には、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源（４５）、及び微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器（４６）が設けられている。
In the upper half of the front surface (42a) of the housing (41), a fan (44) that takes in air from the surrounding environment into the upper chamber (41A) and attaches minute foreign matter onto the glass substrate (43) for attaching fine foreign matter. Is provided.
The bottom surface portion (42b) of the lower chamber (41B) of the housing has a laser light source (45) that irradiates a laser beam vertically from below to the minute foreign matter attached on the glass substrate (43) for attaching the fine foreign matter, A photodetector (46) that receives scattered light from the foreign matter obliquely downward is provided.
図６（ｃ）は、図５（ｂ）におけるＢ−Ｂ’線近傍を拡大したものである。測定部（４０）の内部は上面から順に、透明な微小異物付着用ガラス基板（４３）、その下方の底面部（４２ｂ）上にレーザ光源（４５）、及び光検出器（４６）が設けられている。 FIG. 6C is an enlarged view of the vicinity of the line B-B ′ in FIG. The measurement unit (40) is provided with a transparent glass substrate (43) for attaching a minute foreign substance, a laser light source (45), and a photodetector (46) on the bottom surface part (42b) below the glass substrate (43). ing.
図７は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着した微小異物からの散乱光を受光する状態を示す説明図である。
測定部（４０）は、定期的にファン（４４）を作動させて上室（４１Ａ）へ周辺環境の空気を取り込み（図６中、白太矢印）、微小異物を微小異物付着用ガラス基板（４３）上に付着させる。図７には付着した微小異物（８０）が表されている。
レーザ光源（４５）は、この付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射（ａ）して、微小異物からの散乱光（ｃ）を光検出器に受光させる。
FIG. 7 is an explanatory view showing a state in which scattered light from the minute foreign matter attached on the glass substrate (43) for attaching a foreign matter is received.
The measurement unit (40) periodically operates the fan (44) to take in air from the surrounding environment into the upper chamber (41A) (indicated by white thick arrows in FIG. 6). 43) Deposit on top. FIG. 7 shows the attached minute foreign matter (80).
The laser light source (45) irradiates the adhered fine foreign matter with laser light vertically from below (a) and causes the photodetector to receive scattered light (c) from the fine foreign matter.
照射（ａ）したレーザ光の一部は透過（ｂ）し、一部は散乱光（ｃ）となる。散乱光（ｃ）は照射したレーザ光が微小異物（８０）で乱反射した光であり、光検出器（４６）が受光するのは乱反射した光の一部である。
光検出器（４６）が受光する散乱光（ｃ）の光強度は、微小異物付着用ガラス基板（４３）上へ付着する微小異物（８０）の増加に伴い大きくなる。
Part of the irradiated (a) laser light is transmitted (b) and part is scattered light (c). Scattered light (c) is light that is irregularly reflected by the irradiated laser beam by the minute foreign matter (80), and the light detector (46) receives a part of the irregularly reflected light.
The light intensity of the scattered light (c) received by the photodetector (46) increases as the number of minute foreign substances (80) adhering onto the glass substrate (43) for attaching minute foreign substances increases.
図５（ｂ）に示すように、情報出力部（５０）は、演算部（５１）とモニター（５２）
で構成されている。情報出力部（５０）の演算部（５１）は、この受光した散乱光（ｃ）の光強度から微小異物数の累積値を算出する。この累積値が、予め積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると設定された閾値を越えたときに、その旨をモニターは表示するようになっている。
図９は、上記情報出力部（５０）でのフローを例示したものである。
As shown in FIG. 5B, the information output unit (50) includes a calculation unit (51) and a monitor (52).
It consists of The calculation unit (51) of the information output unit (50) calculates the cumulative value of the number of minute foreign substances from the light intensity of the received scattered light (c). When this accumulated value exceeds a threshold value set to be an appropriate time for cleaning the previously stacked substrate storage trays, the monitor displays that fact.
FIG. 9 illustrates a flow in the information output unit (50).
上記のように、本発明は、基板収納用トレイを積重したパレット（７０）が、搬送、保管される間での、各々異なる周辺環境で付着した微小異物数の累積値を、予め適切な時点であると設定された閾値と対比した結果をモニターに表示するので、適切な頻度で積重した基板収納用トレイに洗浄を施すことが可能となる。 As described above, according to the present invention, the pallet (70) in which the substrate storage trays are stacked is transported and stored, and the accumulated value of the number of minute foreign matters adhered in different surrounding environments is appropriately set in advance. Since the result of the comparison with the threshold value set to be the time is displayed on the monitor, it is possible to clean the stacked substrate storage trays at an appropriate frequency.
本発明者は、上記微小異物測定装置（６０）を用い、散乱光の光強度と微小異物数との関係を具体的に精査し、下記数式１を見出した。この数式１を用いることにより、実際の作業において良好な結果が得られることが確認されている。 The present inventor specifically examined the relationship between the light intensity of scattered light and the number of minute foreign matters using the fine foreign matter measuring apparatus (60), and found the following formula 1. It has been confirmed that a satisfactory result can be obtained in actual work by using the mathematical formula 1.
光強度の増加率（倍）（ｘ）は、ガラス基板１０ｍｍ2 当たり、５０μｍφ以上の微小異物が３個以内である場合に受光した光強度を１としたときの、当該受光した光強度の増加率（倍）を表す。
微小異物数（個）（ｙ）は、当該増加率（倍）における、１０ｍｍ2 当たり、１００μｍφ以上の微小異物数（個）を表す。
つまり、当該受光した光強度の増加率（倍）（ｘ）から、微小異物数（個）（ｙ）を算出する。定期的にファンを作動させて微小異物を付着させ、この微小異物からの散乱光の光強度から算出した微小異物数が、微小異物数の累積値となる。図８は、上記数式１をグラフで表したものである。
The increase rate (times) (x) of the light intensity is the increase in the received light intensity when the received light intensity is 1 when there are no more than three fine foreign matters of 50 μmφ or more per 10 mm 2 of the glass substrate. Expresses rate (times).
The number of fine foreign matters (pieces) (y) represents the number of fine foreign matters (pieces) of 100 μmφ or more per 10 mm 2 in the increase rate (times).
That is, the number of fine foreign objects (pieces) (y) is calculated from the increase rate (times) (x) of the received light intensity. The number of minute foreign objects calculated from the light intensity of the scattered light from the minute foreign objects is periodically accumulated by operating the fan and the accumulated number of minute foreign objects. FIG. 8 is a graph representing the above mathematical formula 1.
１０・・・基板収納用トレイ
１１・・・底部
１２・・・枠部
１３・・・係合部
１４・・・位置決め部
１５・・・通孔部
１６・・・防塵用蓋
２０・・・ガラス基板
３０・・・パレット
４０・・・測定部
４１・・・測定部の筐体
４１Ａ、４１Ｂ・・・筐体の上室、下室
４３・・・微小異物付着用ガラス基板
４４・・・ファン
４５・・・レーザ光源
４６・・・光検出器
５０・・・情報出力部
５１・・・演算部
５２・・・モニター
６０・・・微小異物測定装置
７０・・・本発明によるパレット
７２、７３・・・開口部
８０・・・微小異物
DESCRIPTION OF
Claims (3)
１）前記基板収納用トレイを積重するパレットの側面部には、測定部と情報出力部で構成される微小異物測定装置が備えられており、
２）ａ）前記微小異物測定装置の測定部は、定期的に周辺環境の空気中に含まれる微小異物からの散乱光を受光し、
ｂ）前記情報出力部は、該受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする基板収納用トレイを積重するパレット。 In the pallet that stacks the trays for stacking glass substrates horizontally,
1) A side surface portion of the pallet on which the substrate storage trays are stacked is provided with a minute foreign matter measuring device including a measurement unit and an information output unit,
2) a) The measurement unit of the minute foreign matter measuring device periodically receives scattered light from the minute foreign matter contained in the air in the surrounding environment,
b) The information output unit calculates a cumulative value of the number of minute foreign matters from the light intensity of the received scattered light, and the monitor is stacked when the cumulative value exceeds a preset threshold value. A pallet for stacking substrate storage trays, characterized by indicating that it is an appropriate time to clean the storage trays.
ｂ）筐体の前面の上半部には、上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させるファンが設けられ、
ｃ）筐体の下室の底面部には、微小異物付着用ガラス基板上に付着した微小異物を下方から垂直にレーザ光を照射するレーザ光源、及び該微小異物からの散乱光を斜め下方で受光する光検出器が設けられ、
２）前記測定部は、ａ）定期的にファンを作動させて上室へ周辺環境の空気を取り込み、微小異物を微小異物付着用ガラス基板上に付着させ、
ｂ）該付着した微小異物に下方から垂直にレーザ光を照射して、微小異物からの散乱光を光検出器に受光させ、
３）前記情報出力部の演算部は、前記受光した散乱光の光強度から微小異物数の累積値を算出し、該累積値が予め設定された閾値を越えたときに、モニターは積重している基板収納用トレイに洗浄を施す適切な時点であると表示することを特徴とする請求項１記載の基板収納用トレイを積重するパレット。 1) a) The housing of the measurement unit is a rectangular parallelepiped, and its internal space is divided into an upper chamber and a lower chamber by a glass substrate for attaching a minute foreign matter provided horizontally,
b) The upper half of the front surface of the housing is provided with a fan that takes in air from the surrounding environment into the upper chamber and attaches the fine foreign matter onto the glass substrate for attaching the fine foreign matter.
c) On the bottom surface of the lower chamber of the housing, a laser light source that irradiates a laser beam perpendicularly to the minute foreign matter attached on the glass substrate for attaching the foreign matter from below, and scattered light from the minute foreign matter obliquely downward. A photodetector for receiving light is provided;
2) The measurement unit a) periodically operates the fan to take in air in the surrounding environment into the upper chamber, and attaches the fine foreign matter on the glass substrate for attaching the fine foreign matter,
b) Irradiating the attached fine foreign matter with laser light vertically from below, causing the photodetector to receive the scattered light from the fine foreign matter,
3) The calculation unit of the information output unit calculates a cumulative value of the number of minute foreign objects from the light intensity of the received scattered light, and the monitor accumulates when the cumulative value exceeds a preset threshold value. 2. The pallet for stacking the substrate storage trays according to claim 1, wherein it is displayed that it is an appropriate time to clean the substrate storage trays.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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ID=44690426
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|---|---|---|---|---|
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| CN114845942A (en) * | 2020-11-30 | 2022-08-02 | 3S韩国株式会社 | Tray combination structure for panel storage container |
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2010
- 2010-03-04 JP JP2010047550A patent/JP2011178462A/en active Pending
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