JP6107305B2 - Case cleaning method and case cleaning apparatus - Google Patents
Case cleaning method and case cleaning apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP6107305B2 JP6107305B2 JP2013067090A JP2013067090A JP6107305B2 JP 6107305 B2 JP6107305 B2 JP 6107305B2 JP 2013067090 A JP2013067090 A JP 2013067090A JP 2013067090 A JP2013067090 A JP 2013067090A JP 6107305 B2 JP6107305 B2 JP 6107305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- particle counter
- vibration
- particles
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 49
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 148
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 25
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 23
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 9
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
本発明は、ケースの洗浄方法および洗浄装置に係り、とりわけ、電子デバイス及びその製造に用いられる部品等に代表される精密部品を収容対象物として収容するケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置に関する。 The present invention relates to a cleaning method and a cleaning apparatus for a case, and more particularly, a cleaning method capable of sufficiently cleaning a case that stores a precision component represented by an electronic device and a component used for manufacturing the electronic device as an object to be stored. And a cleaning device.
半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品は、一般的に、超精密部品としてクリーンルーム内にて製造されていく。ただし、クリーンルーム内には精密部品を製造するための装置が配置され且つ装置の操作者等もクリーンルーム内へ入退室する。このようにクリーンルーム内に発塵源が存在するため、クリーンルーム内で精密部品を取り扱うからといって、精密部品への異物の付着を防止することは不可能である。 Electronic devices such as semiconductor devices and parts such as photomasks used when manufacturing electronic devices are generally manufactured in a clean room as ultra-precision parts. However, a device for manufacturing precision parts is arranged in the clean room, and an operator of the device enters and leaves the clean room. As described above, since the dust generation source exists in the clean room, it is impossible to prevent the adhesion of foreign matters to the precision part simply by handling the precision part in the clean room.
このため、精密部品への異物の付着を抑制することを目的として、種々の方法が検討されている。例えば特許文献1には、精密部品にいったん付着した異物を除去する方法が提案されている。また別の対策として、これらの精密部品が、クリーンルーム内で装置間を搬送される際に、当該精密部品を専用の密封ケース内に収容することも行われている。精密部品の収容に用いられる密封ケースは、使用前に水洗または湯洗される。 For this reason, various methods have been studied for the purpose of suppressing adhesion of foreign matter to precision parts. For example, Patent Document 1 proposes a method of removing foreign matters once attached to precision parts. As another countermeasure, when these precision parts are transported between apparatuses in a clean room, the precision parts are also housed in a dedicated sealed case. A sealed case used for housing precision parts is washed with water or hot water before use.
ところが、種々の取り組みにもかかわらず、パーティクルとも呼ばれる微細粒子からなる異物の精密部品への付着を効果的に防止することはできていない。本件発明者らは、鋭意研究を重ねた結果として、精密部品へパーティクルが付着してしまう原因として、精密部品を収納するケースが十分に洗浄されていないことを、一要因として挙げ得ることを見出した。従来、ケースは収容対象物を収容する前に水洗または湯洗されていたが、洗浄後のケースの清浄度合いは十分正確に評価されていなかった。そして、本件発明者らは、十分に洗浄されていないケース内へ収容されて収容対象物が取り扱われる、例えば搬送される際に、ケース内に残留したパーティクルが当該ケースから脱落して収容対象物に付着していたことを知見した。 However, in spite of various efforts, it has not been possible to effectively prevent foreign substances made of fine particles, also called particles, from adhering to precision parts. As a result of intensive research, the present inventors have found that as a cause of particles adhering to the precision part, the case storing the precision part is not sufficiently cleaned, which can be cited as one factor. It was. Conventionally, the case has been washed with water or hot water before accommodating the object to be accommodated, but the degree of cleanliness of the case after washing has not been evaluated sufficiently accurately. Then, the inventors of the present invention are accommodated in a case that is not sufficiently cleaned and the object to be handled is handled. For example, when the object is transported, particles remaining in the case fall off from the case and are contained in the object. It was found that it was attached to.
本発明はこのような知見に基づくものであり、ケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。 The present invention is based on such knowledge, and an object of the present invention is to provide a cleaning method and a cleaning apparatus capable of sufficiently cleaning a case.
本発明によるケースの洗浄方法は、
洗浄対象となるケースの内部にパーティクルカウンタを収容した状態で当該ケースを振動装置の振動可能な振動台上に配置する工程と、
前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する。
The case cleaning method according to the present invention includes:
Placing the case on a vibrating table capable of vibrating the vibration device in a state in which the particle counter is accommodated inside the case to be cleaned;
Vibrating the shaking table together with the case by the vibrating device, and
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The step of vibrating the case ends when the number of particles in a predetermined volume of fluid from the intake port to the exhaust port measured by the particle counter becomes less than or less than a preset value.
本発明によるケースの洗浄方法において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。
In the case cleaning method according to the present invention,
The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid is a top plate portion and an extending portion extending from the top plate portion, and comes into contact with an object to be accommodated disposed in the case main body toward the case main body. And an extending portion that presses the.
本発明によるケースの洗浄方法において、
パーティクル数の測定値が、前記パーティクルカウンタから制御装置へ無線にて送信され、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させるようにしてもよい。
In the case cleaning method according to the present invention,
The measured value of the number of particles is wirelessly transmitted from the particle counter to the control device,
The control device may stop the vibration by the vibration device based on the measurement value transmitted from the particle counter.
本発明によるケースの洗浄装置は、
洗浄対象となるケースを保持する振動可能な振動台を、有した振動装置と、
前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる。
The case cleaning apparatus according to the present invention comprises:
A vibration device having a vibration table capable of vibrating to hold a case to be cleaned;
A particle counter housed inside the case held by the shaking table,
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The particle counter measures the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port toward the exhaust port in a state where the case is held by a vibration table and vibrates with the vibration table. Particles are collected by the filter member,
When the number of particles contained in the fluid of the predetermined volume by the particle counter housed in the case becomes equal to or less than a preset value, the vibration device vibrates the vibration table that holds the case. Stop.
本発明によるケースの洗浄装置において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。
In the case cleaning apparatus according to the present invention,
The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid body is a top plate portion and an extension portion extending from the top plate portion, and is an extension that abuts against an object to be accommodated disposed in the case main body and presses it toward the case main body. May be included.
本発明によるケースの洗浄装置が、
前記振動装置による前記振動台の振動を制御する制御装置を、さらに備え、
前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させるようにしてもよい。
A case cleaning apparatus according to the present invention comprises:
A control device for controlling the vibration of the shaking table by the vibration device;
The particle counter transmits a measured value of the number of particles to the control device wirelessly,
The control device may stop the vibration of the shaking table based on a measurement value transmitted from the particle counter.
本発明によれば、ケースの清浄度合いを定量的に正確に評価しながらケースを洗浄することができる。これにより、ケースを十分に洗浄して、ケース内に収容された収容対象物にパーティクルが付着してしまうことを効果的に抑制することができる。 According to the present invention, it is possible to clean the case while quantitatively and accurately evaluating the degree of cleanliness of the case. Thereby, it is possible to effectively prevent the particles from adhering to the accommodation object accommodated in the case by sufficiently washing the case.
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual product.
図1は、本発明による一実施の形態を説明するための図であり、ケースの洗浄方法および洗浄装置を模式的に示す図である。図1に示すように、洗浄装置10は、洗浄対象となるケース50が配置される振動装置30と、ケース50内に配置されるようになるパーティクルカウンタ20と、を有している。パーティクルカウンタ20は、ケース50内の雰囲気を吸引して当該雰囲気中のパーティクルの数量を測定する装置であるとともに、後述するように吸引した雰囲気中に浮遊するパーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。この洗浄装置10では、詳しくは後述するように、振動装置30によるケース50の振動が、パーティクルカウンタ20での測定値に基づいて制御される。この結果、ケース50を予め設定した清浄度に洗浄することが可能となる。
FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment according to the present invention, and schematically shows a case cleaning method and a cleaning apparatus. As illustrated in FIG. 1, the
以下、洗浄対象となるケース50、ケースの洗浄装置10およびケース50の洗浄方法について、順に、説明していく。
Hereinafter, the
洗浄対象となるケース50は、例えば、クリーンルーム内で取り扱われるような収容対象物、すなわち、パーティクルと呼ばれる微細粒子からなる異物の付着を嫌う収容対象物を収容することを意図されている。そして、ケース50は、典型的な用途として、精密部品の製造時に、例えばその主たる原材料の段階から精密部品の完成に至るまでの間に、当該精密部品を搬送する際の保護ケースとして用いられる。すなわち、クリーンルーム内に配置された一つの装置から他の装置へ精密部品を搬送する際に、当該精密部品へのパーティクルの付着を抑制するための保護ケースとして、ケース50が用いられる。また、ケース50は、特定の収容対象物に対する専用のケースとして用意され、収容対象物をその内部に収容した状態でクリーンルーム内の各装置へ投入されるようにしてもよい。このようなケース50への収容対象物として、半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品が、例示される。
The
図1に示すように、ケース50は、収容対象物を下方から支持するようになるケース本体51と、ケース本体51を上方から覆うケース蓋体52と、を有している。ケース本体51およびケース蓋体52は、好ましくは、ケース本体51内へのパーティクルの流入を防止するためにケース内部の空間を外部から密封するようにして、互いに対して開放可能に固定される。図1に示された例において、ケース蓋体52は、天板部52aと、天板部52aの周縁から下方に延び出た周壁部52bと、を有している。ケース蓋体52の周壁部52bが、ケース本体51と係合することにより、ケース蓋体52がケース本体51に固定されるようになっている。
As shown in FIG. 1, the
また、ケース蓋体52には、天板部52aから下方に延び出す延出部52cが設けられている。延出部52cは、ケース本体51上に配置された収容対象物に当接して収容対象物をケース本体51に向けて押圧する。この延出部52cによって、ケース50内に収容された収容対象物がケース50内で移動してしまうことを防止することができる。
Further, the
次に、洗浄装置10について説明する。上述したように、洗浄装置10は、洗浄対象となるケース50が配置される振動装置30と、ケース50内に配置されるようになるパーティクルカウンタ20と、を有している。また、図示された洗浄装置10は、パーティクルカウンタ20での測定値を受信して振動装置30の動作を制御する制御装置40を、さらに有している。以下、各装置について説明する。
Next, the
パーティクルカウンタ20は、吸気口21及び排気口22と、吸気口21及び排気口22を接続する連通路23と、を有している。パーティクルカウンタ20には図示しない吸引機構が内蔵されており、パーティクルカウンタ20が配置された周囲の雰囲気を吸気口21から連通路23内へ吸い込み、且つ、排気口22を介して連通路23から排出することが可能となっている。
The
パーティクルカウンタ20は、連通路23内を吸気口21から排気口22に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクルの数を計測することができる。連通路23内には測定ゾーン24が設けられており、例えば、この測定ゾーン24を通過する流体によって光束が散乱される度合いを調査することにより(光散乱方式)、或いは、当該流体によって遮断される光量を調査することにより(光遮蔽方式)、測定ゾーン24を通過する流体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測することができる。一例として、後述する図2に示された例のように、パーティクルカウンタ20は、連通路23内の測定ゾーン24を通過する1cf(1立方フィート:30.5cm×30.5cm×30.5cm)の流体中に含まれるパーティクルの数を計測するようにしてもよい。
The
また、パーティクルカウンタ20は、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材25を有している。例えば、気体を透過し且つ所定の大きさのパーティクルを回収し得るフィルタ部材25が、連通路23の測定ゾーン24より下流側または排気口22を覆うように設けられる。図1に示された例では、フィルタ部材25は、排気口22上に設けられており、連通路23からケース50の内部に吐き出される流体中に混在するパーティクルを除去することができる。
The
フィルタ部材25は、除去回収されるべきパーティクルの大きさや成分等を考慮して適宜選択され得る。また、フィルタ部材25は、パーティクルカウンタ20に取り外し可能に取り付けられていることが好ましい。この場合、フィルタ部材25を取り外して清掃および再利用すること、或いは、パーティクルを回収したフィルタ部材25を廃棄して新しいフィルタ部材25と交換することが、可能となる。
The
なお、図1に示された例において、パーティクルカウンタ20は、ケース50への収容対象物と略同一の外輪郭を有している。したがって、パーティクルカウンタ20は、収容対象物を収容する状態と略同様の状態にて、ケース50内に収容され得る。図示された例においては、ケース50内に収容されたパーティクルカウンタ20は、ケース蓋体52の延出部52cによってケース本体51に向けて押圧され、ケース本体51およびケース蓋体52に対する相対移動を規制される。
In the example shown in FIG. 1, the
ところで、パーティクルの数量を測定する測定装置は、それ自体、パーティクルカウンタとの呼称で市販されている。そして、市販されているパーティクルカウンタを必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、ここで説明したパーティクルカウンタ20を得ることが可能である。
By the way, a measuring apparatus for measuring the quantity of particles is commercially available under the name of a particle counter. Then, the
振動装置30は、ケース50が載置されるようになる振動台31と、振動台31を振動させる振動装置本体部33と、を有している。振動台31は、ケース50を載置されるようになる部分である。振動台31は、ケース50を解放可能に保持するための保持具35を有している。一方、振動装置本体部33は、当該振動装置本体部33に対して振動台31を振動させること、すなわち、繰り返し運動させることができる。
The
振動台31の振動条件は、詳しくは後述するように、ケース50に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を防止する観点から、収容対象物を収容してケース50が実際に使用される際にケースが受ける振動、動作、運動条件等に類似していることが好ましい。この点において、振動装置30の振動条件、例えば、振動台31の振動時における加速度〔m/s2〕、振動台31の振動時における周期〔Hz〕、振動台31の振動時における振幅〔m〕等が調節可能となっていることが好ましい。
As will be described in detail later, the vibration conditions of the vibration table 31 are actually used by accommodating the accommodation object from the viewpoint of preventing the adhesion of particles to the accommodation object accommodated in the
ところで、洗浄装置10の振動装置30は、市販されている振動装置を必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、得ることが可能である。
By the way, the
制御装置40は、パーティクルカウンタ20による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値を取得し、当該パーティクル数を経時的に監視する。そして、制御装置40は、パーティクルカウンタ20の測定値に基づいて振動装置30を制御する。なお、図示された例において、制御装置40は、振動装置30と有線で接続されており、振動装置30に対して指示信号を送信するが、パーティクルカウンタ20とは有線で接続されていない。パーティクルカウンタ20による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値は、パーティクルカウンタ20から制御装置40へ無線にて送信される。この結果、密封されたケース50内のパーティクルカウンタ20から制御装置40への測定データの送信が実現され得るようになっている。
The
制御装置40は、市販されているコンピュータによって形成され得る。図示された例において、制御装置40は、パーティクルカウンタ20からの測定値を管理し且つ振動装置30の動作を制御する制御部41に加え、表示部42および入力部43を有している。入力部43は、例えばキーボードによって形成され、振動装置30の制御条件等の種々の情報および指示を入力することができる。表示部42は、パーティクルカウンタ20の測定値、制御装置40による制御条件、入力部43を介して入力された情報等を表示する表示手段である。
The
次に、以上のような洗浄装置10を利用して、ケース50を洗浄する方法について説明する。
Next, a method for cleaning the
まず、パーティクルカウンタ20をケース50内に収容する。この際、パーティクルカウンタ20は、ケース蓋体52の延出部52cにより、ケース50内に固定される。なお、パーティクルカウンタ20を収容されるケース50は、従来の方法により、例えば水洗や湯洗により、予め洗浄されている。次に、パーティクルカウンタ20を収容したケース50を、振動装置30の振動台31上に配置する。ケース50は、保持具35を利用して、振動台31に対して固定される。
First, the
その後、振動装置30による振動台31の振動が開始される。振動台31は、保持したケース50とともに、振動装置本体部33に対して振動する。この際、ケース50内のパーティクルカウンタ20は、吸気口21から連通路23内にケース50内の雰囲気を吸い込み、吸い込んだ気体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測する。パーティクルの大きさ及び数量を計測された連通路23の気体は、その後、排気口22を介し、パーティクルカウンタ20の内部からケース50内の密閉空間に排出される。ただし、パーティクルを含んだ気体は、ケース50内の密閉空間に排出される前に、フィルタ部材25を通過する。このため、気体中に含まれたパーティクルは、このフィルタ部材25によって回収除去される。すなわち、パーティクルカウンタ20は、パーティクルの数量を計測する異物計測装置として機能するとともに、パーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。
Thereafter, the vibration of the vibration table 31 by the
パーティクルカウンタ20による計測データは、制御装置40に無線にて送信される。制御装置40は、ケース50内への収納を予定されている収容対象物に対して悪影響を及ぼし得る大きさ以上のパーティクル数を経時的に管理する。すなわち、制御装置40は、所定の大きさ以上の大きさのパーティクルについて、連通路23に吸引された所定体積の流体中に含まれていた数を、管理する。そして、連通路23に吸引された所定体積の流体に含まれる所定の大きさのパーティクルの測定数が、十分な清浄度であると想定される所定の数以下または未満となった場合、制御装置40は、振動装置30による振動装置30の振動を停止させる。
Measurement data from the
振動装置30が停止した後、振動装置30からケース50が取り外され、また、ケース50内からパーティクルカウンタ20が取り出される。なお、洗浄に用いられたパーティクルカウンタ20のフィルタ部材25は、次に行われるケース50の洗浄にそなえ、必要に応じて取り外されて洗浄される或いは新しいフィルタ部材25と交換される。
After the
以上のようにして、洗浄装置10を用いたケース50の洗浄が終了する。以上のような方法によれば、ケース50を効果的に洗浄することが可能となる。実際に、本件発明者らが、フォトマスクをクリーンルーム内で作製する際に用いられるケース50を上述した方法によって洗浄した後に使用したところ、パーティクル付着によるフォトマスクの不良率を改善することができた。
As described above, the cleaning of the
また実験においては、水洗や湯洗といった従来の洗浄方法で洗浄されたフォトマスク用ケース50に対して、振動装置30による振動を5〜30分程度しか実施しなかった。このようなケース50の洗浄によって生じる負担は、フォトマスク等の超精密部品の製造においては、不良率の改善によってコスト的にも生産効率的にも少なくとも相殺されるものであり、したがって、このようなえケース50の洗浄の導入により、コスト面および生産効率面の両面において十分に利益を享受することが可能となる。
Further, in the experiment, the vibration by the
なお、上述した洗浄方法により、洗浄後のケース50に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に抑制し得る原因は、単にケース50の清浄度合いを定量的に評価したということだけではなく、ケース50の用途に対応して、例えば、クリーンルーム内で加工される物品(部品、製品)の保護ケースまたは搬送ケースといった用途に対応して適切にケース50の清浄度合いを評価したことにあると考えられる。
In addition, the cause which can suppress effectively adhesion of the particle to the accommodation object accommodated in
ここで、図2には、上述した洗浄方法と同様に、振動中のケース50内にてパーティクルカウンタ20により1μm以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、上述した洗浄方法とは異なり、振動していないケース50内にてパーティクルカウンタ20により1μm以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、を示している。図2の測定結果は、測定開始後の5分毎に、当該5分間に測定されたパーティクル数の値を1CF(1立方フィート)の流体中に含まれている数に換算した値を示している。また、「振動有り」の実験については、パーティクルカウンタの測定開始時に振動を開始した。結果を図示された二つの実験では、振動装置30によるケース50の振動の有無のみが異なり、その他の条件は同一とした。例えば、二つの実験において、ケース50の事前の洗浄方法は、共に、湯洗および乾燥とした。
Here, FIG. 2 shows the change over time in the result of measuring the number of particles having a size of 1 μm or more by the
図2に示すように、ケース50の振動を停止した状態では、当該ケース50内に配置されたパーティクルカウンタ20にて1μm以上のパーティクルを殆ど検出することはできなかった。その一方で、同様の前処理をなされたケース50を振動させている状態では、当該ケース50内に配置されたパーティクルカウンタ20にて1μm以上のパーティクルが多数検出された。そして上述したように、この二つの方法で洗浄されたケースを用いた場合に、パーティクル付着不良率に大きな差が生じた。したがって、上述してきたケースの洗浄を行わない従来の方法では、収容対象物とともにケース50を取り扱うことにより、例えば一つの装置から他の装置へとケース50を搬送することにより、当該ケース50が振動して当該ケース50から脱落したパーティクルが、収容対象物のパーティクル付着不良を引き起こしていたものと推測される。
As shown in FIG. 2, in a state where the vibration of the
これらの事実からすれば、ケース50を振動させることなく当該ケース50内にてパーティクル数を測定したとしても、得られた測定値は、当該ケース50のその後の使用態様に照らして当該ケース50の清浄度合いを有効に示す指標とはなり得ない。すなわち、これまで清浄度を定量的に評価されることなく用いられてきたケースについて、当該ケース内部のパーティクル数を単に評価したとしても、パーティクル付着不良の低減を期待することはできない。また、ケース50内にパーティクルが浮遊していないため、パーティクルカウンタ20がフィルタ部材25を用いたパーティクル回収機能を有していたとしても、ケース50内からのパーティクルが除去されることも期待できない。
From these facts, even if the number of particles is measured in the
その一方で、上述した洗浄方法では、振動装置30によってケース50を振動させながら、当該ケース50内のパーティクル数を計測している。すなわち、静止した状態のケース50内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際にケース50を使用した際に、ケース50から脱落し得るパーティクルの有無をも評価している。したがって、ケース50の清浄度合いをパーティクルカウンタ20での測定値によって正確に評価することができる。加えて、静止した状態のケース50内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際のケースの使用中にケース50内を浮遊するようになるだろうパーティクルをも、パーティクルカウンタ20のフィルタ部材25によって、予め除去することが可能となる。これらのことを原因として、上述してきた本実施の形態によれば、洗浄後のケース50に収容された収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に防止することができるものと推測される。
On the other hand, in the cleaning method described above, the number of particles in the
なお、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、収容対象物を上方から覆うケース蓋体52の構造が複雑化している場合、例えば図1に示されている場合のように延出部52cが設けられている場合、本実施の形態によるパーティクルの付着防止効果がより顕著となった。このような現象は、ケース蓋体52の構造が複雑化することにより、ケース蓋体52にパーティクルが付着しやすくなることに起因し、上述した推測とも合致する現象と言える。すなわち、ここで説明する製造方法および製造装置10は、ケース蓋体52の構造が複雑化しているケース50、例えばケース蓋体52に延出部52cが設けられているケース50に対して、より好適であると言える。
In addition, when the present inventors repeated earnest experiments, when the structure of the
また、振動装置30によるケース50の振動は、その後におけるケース50の使用状態を十分に再現し得るよう、その後におけるケース50の使用態様に応じて決定されることが好ましい。この点について、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、実際にケース50を使用する際における振動台31の振動時における加速度〔m/s2〕、振動台31の振動時における周期〔Hz〕、振動台31の振動時における振幅〔m〕を考慮して、振動装置30による振動条件を設定することが有効であることが知見された。とりわけ、精密部品としての収容対象物を収容した状態で、クリーンルーム内を作業者によって手で持って搬送されるようになるケース50では、加速度を5〔m/s2〕〜50〔m/s2〕程度に設定することによって、作業者によるケース50の持ち上げ時におけるケース50の振動をよりよく再現することができ、これにより、パーティクル付着不良を効果的に低減することができた。
In addition, it is preferable that the vibration of the
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。以下の説明では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。 Note that various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, an example of modification will be described. In the following description, the same reference numerals as those used for the corresponding parts in the above-described embodiment are used for the parts that can be configured in the same manner as in the above-described embodiment, and redundant description is omitted.
例えば、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ20での測定値が無線にて送信される例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ20に表示部が設けられ、ケース50の外方から、パーティクルカウンタ20の表示部に表示される測定値を確認することにより、例えば作業者が手動で振動装置30による振動を停止するようにしてもよい。
For example, in the above-described embodiment, the example in which the measurement value of the
また、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ20および振動装置30とは別途に制御装置40が設けられている例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ20による測定値が振動装置30に送信され、吸気口21から排気口22に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に振動装置30が自ら判断して振動を停止するようにしてもよいし、或いは、吸気口21から排気口22に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に、パーティクルカウンタ20が振動装置30に振動停止する指示信号を送信するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, an example in which the
10 洗浄装置
20 パーティクルカウンタ
21 吸気口
22 排気口
23 連通路
24 測定ゾーン
25 フィルタ部材
30 振動装置
31 振動台
33 振動装置本体部
35 保持具
40 制御装置
41 制御部
42 表示部
43 入力部
50 ケース
51 ケース本体
52 ケース蓋体
52a 天板部
52b 周壁部
52c 延出部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する、ケースの洗浄方法。 Placing the case on a vibrating table capable of vibrating the vibration device in a state in which the particle counter is accommodated inside the case to be cleaned;
Vibrating the shaking table together with the case by the vibrating device, and
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The step of oscillating the case ends when the number of particles in a predetermined volume of fluid flowing from the intake port to the exhaust port measured by the particle counter becomes less than or less than a preset value. Method.
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有する、請求項1に記載のケースの洗浄方法。 The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid is a top plate portion and an extending portion extending from the top plate portion, and comes into contact with an object to be accommodated disposed in the case main body toward the case main body. The method for cleaning a case according to claim 1, further comprising: an extending portion that presses.
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させる、請求項1または2に記載のケースの洗浄方法。 The measurement value of the number of particles is wirelessly transmitted from the particle counter to the control device,
The case cleaning method according to claim 1, wherein the control device stops vibration by the vibration device based on a measurement value transmitted from the particle counter.
前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる、ケースの洗浄装置。 A vibration device having a vibration table capable of vibrating to hold a case to be cleaned;
A particle counter housed inside the case held by the shaking table,
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The particle counter measures the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port toward the exhaust port in a state where the case is held by a vibration table and vibrates with the vibration table. Particles are collected by the filter member,
When the number of particles contained in the fluid of the predetermined volume by the particle counter housed in the case becomes equal to or less than a preset value, the vibration device vibrates the vibration table that holds the case. Stop the case cleaning device.
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有する、請求項4に記載のケースの洗浄装置。 The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid body is a top plate portion and an extension portion extending from the top plate portion, and is an extension that abuts against an object to be accommodated disposed in the case main body and presses it toward the case main body. The case cleaning device according to claim 4, further comprising: a portion.
前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させる、請求項5または6に記載のケースの洗浄装置。 A control device for controlling the vibration of the shaking table by the vibration device;
The particle counter transmits a measured value of the number of particles to the control device wirelessly,
The case cleaning apparatus according to claim 5 or 6, wherein the control device stops vibration of the shaking table based on a measurement value transmitted from the particle counter.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013067090A JP6107305B2 (en) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | Case cleaning method and case cleaning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013067090A JP6107305B2 (en) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | Case cleaning method and case cleaning apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014188461A JP2014188461A (en) | 2014-10-06 |
JP6107305B2 true JP6107305B2 (en) | 2017-04-05 |
Family
ID=51835349
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013067090A Active JP6107305B2 (en) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | Case cleaning method and case cleaning apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6107305B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6589652B2 (en) * | 2016-01-19 | 2019-10-16 | 大日本印刷株式会社 | Case and particle measurement method |
TWI769514B (en) * | 2020-09-01 | 2022-07-01 | 家登精密工業股份有限公司 | Mask box cleaning equipment |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05291226A (en) * | 1992-04-10 | 1993-11-05 | Nippon Steel Corp | Method and apparatus for cleaning by circulation and filtration |
DE4237207C1 (en) * | 1992-11-04 | 1993-11-25 | Kronseder Maschf Krones | Vessel cleaning machine with inspection device |
JPH1187248A (en) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Sharp Corp | Plasma-cleaning device |
JP3535785B2 (en) * | 1999-11-26 | 2004-06-07 | Necエレクトロニクス株式会社 | Cleaning end point detection device and cleaning end point detection method |
JP3759010B2 (en) * | 2000-09-14 | 2006-03-22 | Necエレクトロニクス株式会社 | Cleaning device, cleaning method, cleanliness diagnosis method, and semiconductor manufacturing apparatus using the cleaning device |
JP2003185793A (en) * | 2001-12-14 | 2003-07-03 | Toshiba Corp | Method and apparatus for removing adhering matter |
JP4290437B2 (en) * | 2003-02-18 | 2009-07-08 | 株式会社キーエンス | Static eliminator |
JP4754196B2 (en) * | 2003-08-25 | 2011-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | Member cleaning method and substrate processing apparatus in decompression processing chamber |
JP2007000824A (en) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Fujitsu Ltd | Foreign matter remover |
EP1842608A1 (en) * | 2006-04-06 | 2007-10-10 | General Kinematics Corporation | Apparatus and method for removing particulate materials |
JP2007335665A (en) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Nikon Corp | Particle removal device and exposure equipment |
JP2008089319A (en) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Toppan Printing Co Ltd | Method and apparatus for collecting particles in air |
JP5393298B2 (en) * | 2009-07-06 | 2014-01-22 | 大日商事株式会社 | Mask case |
-
2013
- 2013-03-27 JP JP2013067090A patent/JP6107305B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014188461A (en) | 2014-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6107305B2 (en) | Case cleaning method and case cleaning apparatus | |
GB2440465A (en) | Condition checking apparatus and method | |
WO2017175821A1 (en) | Powder collector, powder collecting device, and automatic powder collecting system | |
CN203155632U (en) | Device for removing dust on surface of hardware product | |
JP5158642B2 (en) | Contamination concentration measuring device | |
US9752975B2 (en) | Method and apparatus for determining cleanliness of a sample | |
CN103830973A (en) | Micro-power dust removing device and method capable of alarming filterability deterioration | |
JP2014224758A (en) | Method for measuring mass concentration of particulate matter in air | |
JP4654749B2 (en) | Semiconductor wafer evaluation method | |
CN104759177A (en) | Automatic dedusting equipment | |
KR20140125167A (en) | monitoring device for clean room | |
JP2011178462A (en) | Substrate storage tray laminated pallet | |
US9863868B2 (en) | Analysis and purging of materials in manufacturing processes | |
JP2016036807A (en) | Dust collector of workpiece | |
JP5583921B2 (en) | Appearance inspection device | |
JP5907787B2 (en) | Position measuring system for particle measuring apparatus and position recording method for particle measuring apparatus | |
JP4752544B2 (en) | Package foreign matter detection device and detection method | |
Bémer et al. | Feasibility of granular bed filtration of an aerosol of ultrafine metallic particles including a pressure drop regeneration system | |
KR101928545B1 (en) | Particle measurement device | |
US9746409B2 (en) | Method and apparatus for determining cleanliness of a sample | |
CN207281303U (en) | A kind of tinned food produces dedicated detection device for foreign matter | |
KR101952432B1 (en) | Apparatus for measuring pore diameter | |
JPH07159487A (en) | Device and method for testing semiconductor | |
CN210293987U (en) | Dust environment simulation equipment and dust transmission device | |
CN208720960U (en) | A kind of inside diameter detection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160128 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170207 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6107305 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |