JP2014188461A - Case washing method and device - Google Patents

Case washing method and device Download PDF

Info

Publication number
JP2014188461A
JP2014188461A JP2013067090A JP2013067090A JP2014188461A JP 2014188461 A JP2014188461 A JP 2014188461A JP 2013067090 A JP2013067090 A JP 2013067090A JP 2013067090 A JP2013067090 A JP 2013067090A JP 2014188461 A JP2014188461 A JP 2014188461A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
case
particle counter
vibration
particles
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013067090A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6107305B2 (en
Inventor
Emiko Inotani
映美子 井ノ谷
Yasunori Arima
馬 安 則 有
Daisuke Nakamura
村 大 輔 中
Koichi Hirokawara
孝 一 廣河原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP2013067090A priority Critical patent/JP6107305B2/en
Publication of JP2014188461A publication Critical patent/JP2014188461A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6107305B2 publication Critical patent/JP6107305B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a washing method capable of sufficiently washing a case.SOLUTION: The washing method includes steps of: disposing a case 50 storing a particle counter 20 and to be washed on a vibration table 31 capable of vibrating a vibration device 30; and vibrating the vibration table with the case by the vibration device. The particle counter includes an inlet port 21 and an air exit 22 communicating to the inlet port and is configured to measure number of particles included in a predetermined volume fluid going toward the air exit from the inlet port, and has a filter member 25 for collecting the particles after measurement. The vibrating step is completed when the number of particles included in the predetermined volume fluid going toward the air exit from the inlet port and measured by the particle counter becomes equal to or less than a preset number or less than the preset number.

Description

本発明は、ケースの洗浄方法および洗浄装置に係り、とりわけ、電子デバイス及びその製造に用いられる部品等に代表される精密部品を収容対象物として収容するケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置に関する。   The present invention relates to a cleaning method and a cleaning apparatus for a case, and more particularly, a cleaning method capable of sufficiently cleaning a case that stores a precision component represented by an electronic device and a component used for manufacturing the electronic device as an object to be stored. And a cleaning device.

半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品は、一般的に、超精密部品としてクリーンルーム内にて製造されていく。ただし、クリーンルーム内には精密部品を製造するための装置が配置され且つ装置の操作者等もクリーンルーム内へ入退室する。このようにクリーンルーム内に発塵源が存在するため、クリーンルーム内で精密部品を取り扱うからといって、精密部品への異物の付着を防止することは不可能である。   Electronic devices such as semiconductor devices and parts such as photomasks used when manufacturing electronic devices are generally manufactured in a clean room as ultra-precision parts. However, a device for manufacturing precision parts is arranged in the clean room, and an operator of the device enters and leaves the clean room. As described above, since the dust generation source exists in the clean room, it is impossible to prevent the adhesion of foreign matters to the precision part simply by handling the precision part in the clean room.

このため、精密部品への異物の付着を抑制することを目的として、種々の方法が検討されている。例えば特許文献１には、精密部品にいったん付着した異物を除去する方法が提案されている。また別の対策として、これらの精密部品が、クリーンルーム内で装置間を搬送される際に、当該精密部品を専用の密封ケース内に収容することも行われている。精密部品の収容に用いられる密封ケースは、使用前に水洗または湯洗される。   For this reason, various methods have been studied for the purpose of suppressing adhesion of foreign matter to precision parts. For example, Patent Document 1 proposes a method of removing foreign matters once attached to precision parts. As another countermeasure, when these precision parts are transported between apparatuses in a clean room, the precision parts are also housed in a dedicated sealed case. A sealed case used for housing precision parts is washed with water or hot water before use.

特開２００７−８２４号公報JP 2007-824 A

ところが、種々の取り組みにもかかわらず、パーティクルとも呼ばれる微細粒子からなる異物の精密部品への付着を効果的に防止することはできていない。本件発明者らは、鋭意研究を重ねた結果として、精密部品へパーティクルが付着してしまう原因として、精密部品を収納するケースが十分に洗浄されていないことを、一要因として挙げ得ることを見出した。従来、ケースは収容対象物を収容する前に水洗または湯洗されていたが、洗浄後のケースの清浄度合いは十分正確に評価されていなかった。そして、本件発明者らは、十分に洗浄されていないケース内へ収容されて収容対象物が取り扱われる、例えば搬送される際に、ケース内に残留したパーティクルが当該ケースから脱落して収容対象物に付着していたことを知見した。   However, in spite of various efforts, it has not been possible to effectively prevent foreign substances made of fine particles, also called particles, from adhering to precision parts. As a result of intensive research, the present inventors have found that as a cause of particles adhering to the precision part, the case storing the precision part is not sufficiently cleaned, which can be cited as one factor. It was. Conventionally, the case has been washed with water or hot water before accommodating the object to be accommodated, but the degree of cleanliness of the case after washing has not been evaluated sufficiently accurately. Then, the inventors of the present invention are accommodated in a case that is not sufficiently cleaned and the object to be handled is handled. For example, when the object is transported, particles remaining in the case fall off from the case and are contained in the object. It was found that it was attached to.

本発明はこのような知見に基づくものであり、ケースを十分に洗浄することができる洗浄方法および洗浄装置を提供することを目的とする。   The present invention is based on such knowledge, and an object of the present invention is to provide a cleaning method and a cleaning apparatus capable of sufficiently cleaning a case.

本発明によるケースの洗浄方法は、
洗浄対象となるケースの内部にパーティクルカウンタを収容した状態で当該ケースを振動装置の振動可能な振動台上に配置する工程と、
前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する。 The case cleaning method according to the present invention includes:
Placing the case on a vibrating table capable of vibrating the vibration device in a state in which the particle counter is accommodated inside the case to be cleaned;
Vibrating the shaking table together with the case by the vibrating device, and
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The step of vibrating the case ends when the number of particles in a predetermined volume of fluid from the intake port to the exhaust port measured by the particle counter becomes less than or less than a preset value.

本発明によるケースの洗浄方法において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。 In the case cleaning method according to the present invention,
The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid is a top plate portion and an extending portion extending from the top plate portion, and comes into contact with an object to be accommodated disposed in the case main body toward the case main body. And an extending portion that presses the.

本発明によるケースの洗浄方法において、
パーティクル数の測定値が、前記パーティクルカウンタから制御装置へ無線にて送信され、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させるようにしてもよい。 In the case cleaning method according to the present invention,
The measured value of the number of particles is wirelessly transmitted from the particle counter to the control device,
The control device may stop the vibration by the vibration device based on the measurement value transmitted from the particle counter.

本発明によるケースの洗浄装置は、
洗浄対象となるケースを保持する振動可能な振動台を、有した振動装置と、
前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる。 The case cleaning apparatus according to the present invention comprises:
A vibration device having a vibration table capable of vibrating to hold a case to be cleaned;
A particle counter housed inside the case held by the shaking table,
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The particle counter measures the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port toward the exhaust port in a state where the case is held by a vibration table and vibrates with the vibration table. Particles are collected by the filter member,
When the number of particles contained in the fluid of the predetermined volume by the particle counter housed in the case becomes equal to or less than a preset value, the vibration device vibrates the vibration table that holds the case. Stop.

本発明によるケースの洗浄装置において、
前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有するようにしてもよい。 In the case cleaning apparatus according to the present invention,
The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid body is a top plate portion and an extension portion extending from the top plate portion, and is an extension that abuts against an object to be accommodated disposed in the case main body and presses it toward the case main body. May be included.

本発明によるケースの洗浄装置が、
前記振動装置による前記振動台の振動を制御する制御装置を、さらに備え、
前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させるようにしてもよい。 A case cleaning apparatus according to the present invention comprises:
A control device for controlling the vibration of the shaking table by the vibration device;
The particle counter transmits a measured value of the number of particles to the control device wirelessly,
The control device may stop the vibration of the shaking table based on a measurement value transmitted from the particle counter.

本発明によれば、ケースの清浄度合いを定量的に正確に評価しながらケースを洗浄することができる。これにより、ケースを十分に洗浄して、ケース内に収容された収容対象物にパーティクルが付着してしまうことを効果的に抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to clean the case while quantitatively and accurately evaluating the degree of cleanliness of the case. Thereby, it is possible to effectively prevent the particles from adhering to the accommodation object accommodated in the case by sufficiently washing the case.

図１は、本発明の一実施形態を説明するための図であって、ケースの洗浄方法および洗浄装置を示す模式図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and is a schematic diagram showing a case cleaning method and a cleaning apparatus. 図２は、パーティクルカウンタによる測定値の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of values measured by the particle counter.

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual product.

図１は、本発明による一実施の形態を説明するための図であり、ケースの洗浄方法および洗浄装置を模式的に示す図である。図１に示すように、洗浄装置１０は、洗浄対象となるケース５０が配置される振動装置３０と、ケース５０内に配置されるようになるパーティクルカウンタ２０と、を有している。パーティクルカウンタ２０は、ケース５０内の雰囲気を吸引して当該雰囲気中のパーティクルの数量を測定する装置であるとともに、後述するように吸引した雰囲気中に浮遊するパーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。この洗浄装置１０では、詳しくは後述するように、振動装置３０によるケース５０の振動が、パーティクルカウンタ２０での測定値に基づいて制御される。この結果、ケース５０を予め設定した清浄度に洗浄することが可能となる。   FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment according to the present invention, and schematically shows a case cleaning method and a cleaning apparatus. As illustrated in FIG. 1, the cleaning device 10 includes a vibration device 30 in which a case 50 to be cleaned is disposed, and a particle counter 20 that is disposed in the case 50. The particle counter 20 is a device that sucks the atmosphere in the case 50 and measures the number of particles in the atmosphere, and also functions as a foreign matter removing device that removes particles floating in the sucked atmosphere as will be described later. To do. In the cleaning device 10, as will be described in detail later, the vibration of the case 50 by the vibration device 30 is controlled based on the measurement value of the particle counter 20. As a result, the case 50 can be cleaned to a preset cleanliness level.

以下、洗浄対象となるケース５０、ケースの洗浄装置１０およびケース５０の洗浄方法について、順に、説明していく。   Hereinafter, the case 50 to be cleaned, the case cleaning apparatus 10, and the cleaning method for the case 50 will be described in order.

洗浄対象となるケース５０は、例えば、クリーンルーム内で取り扱われるような収容対象物、すなわち、パーティクルと呼ばれる微細粒子からなる異物の付着を嫌う収容対象物を収容することを意図されている。そして、ケース５０は、典型的な用途として、精密部品の製造時に、例えばその主たる原材料の段階から精密部品の完成に至るまでの間に、当該精密部品を搬送する際の保護ケースとして用いられる。すなわち、クリーンルーム内に配置された一つの装置から他の装置へ精密部品を搬送する際に、当該精密部品へのパーティクルの付着を抑制するための保護ケースとして、ケース５０が用いられる。また、ケース５０は、特定の収容対象物に対する専用のケースとして用意され、収容対象物をその内部に収容した状態でクリーンルーム内の各装置へ投入されるようにしてもよい。このようなケース５０への収容対象物として、半導体装置等の電子デバイスや、電子デバイスを製造する際に用いられるフォトマスク等の部品が、例示される。   The case 50 to be cleaned is intended to accommodate, for example, an accommodation object that is handled in a clean room, that is, an accommodation object that does not like the adhesion of foreign substances made of fine particles called particles. As a typical application, the case 50 is used as a protective case when a precision part is conveyed, for example, from the stage of the main raw material to the completion of the precision part when the precision part is manufactured. That is, the case 50 is used as a protective case for suppressing adhesion of particles to one precision device when the precision component is transported from one device arranged in the clean room to another device. Further, the case 50 may be prepared as a dedicated case for a specific accommodation object, and may be inserted into each device in the clean room in a state where the accommodation object is accommodated therein. Examples of objects to be accommodated in the case 50 include electronic devices such as semiconductor devices and components such as photomasks used when manufacturing electronic devices.

図１に示すように、ケース５０は、収容対象物を下方から支持するようになるケース本体５１と、ケース本体５１を上方から覆うケース蓋体５２と、を有している。ケース本体５１およびケース蓋体５２は、好ましくは、ケース本体５１内へのパーティクルの流入を防止するためにケース内部の空間を外部から密封するようにして、互いに対して開放可能に固定される。図１に示された例において、ケース蓋体５２は、天板部５２ａと、天板部５２ａの周縁から下方に延び出た周壁部５２ｂと、を有している。ケース蓋体５２の周壁部５２ｂが、ケース本体５１と係合することにより、ケース蓋体５２がケース本体５１に固定されるようになっている。   As shown in FIG. 1, the case 50 includes a case main body 51 that supports an object to be stored from below, and a case lid 52 that covers the case main body 51 from above. The case main body 51 and the case lid 52 are preferably fixed to each other so as to be openable so as to seal the space inside the case from the outside in order to prevent inflow of particles into the case main body 51. In the example shown in FIG. 1, the case lid 52 has a top plate portion 52a and a peripheral wall portion 52b extending downward from the periphery of the top plate portion 52a. The case lid 52 is fixed to the case main body 51 by engaging the peripheral wall portion 52 b of the case lid 52 with the case main body 51.

また、ケース蓋体５２には、天板部５２ａから下方に延び出す延出部５２ｃが設けられている。延出部５２ｃは、ケース本体５１上に配置された収容対象物に当接して収容対象物をケース本体５１に向けて押圧する。この延出部５２ｃによって、ケース５０内に収容された収容対象物がケース５０内で移動してしまうことを防止することができる。   Further, the case lid 52 is provided with an extending portion 52c extending downward from the top plate portion 52a. The extension part 52 c abuts against the object to be accommodated disposed on the case body 51 and presses the object to be accommodated toward the case body 51. By this extending part 52 c, it is possible to prevent the object to be accommodated accommodated in the case 50 from moving in the case 50.

次に、洗浄装置１０について説明する。上述したように、洗浄装置１０は、洗浄対象となるケース５０が配置される振動装置３０と、ケース５０内に配置されるようになるパーティクルカウンタ２０と、を有している。また、図示された洗浄装置１０は、パーティクルカウンタ２０での測定値を受信して振動装置３０の動作を制御する制御装置４０を、さらに有している。以下、各装置について説明する。   Next, the cleaning apparatus 10 will be described. As described above, the cleaning device 10 includes the vibration device 30 in which the case 50 to be cleaned is disposed, and the particle counter 20 that is disposed in the case 50. The illustrated cleaning device 10 further includes a control device 40 that receives the measurement value from the particle counter 20 and controls the operation of the vibration device 30. Hereinafter, each device will be described.

パーティクルカウンタ２０は、吸気口２１及び排気口２２と、吸気口２１及び排気口２２を接続する連通路２３と、を有している。パーティクルカウンタ２０には図示しない吸引機構が内蔵されており、パーティクルカウンタ２０が配置された周囲の雰囲気を吸気口２１から連通路２３内へ吸い込み、且つ、排気口２２を介して連通路２３から排出することが可能となっている。   The particle counter 20 includes an intake port 21 and an exhaust port 22, and a communication path 23 that connects the intake port 21 and the exhaust port 22. A suction mechanism (not shown) is built in the particle counter 20, and the ambient atmosphere where the particle counter 20 is arranged is sucked into the communication path 23 from the intake port 21 and discharged from the communication path 23 through the exhaust port 22. It is possible to do.

パーティクルカウンタ２０は、連通路２３内を吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクルの数を計測することができる。連通路２３内には測定ゾーン２４が設けられており、例えば、この測定ゾーン２４を通過する流体によって光束が散乱される度合いを調査することにより（光散乱方式）、或いは、当該流体によって遮断される光量を調査することにより（光遮蔽方式）、測定ゾーン２４を通過する流体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測することができる。一例として、後述する図２に示された例のように、パーティクルカウンタ２０は、連通路２３内の測定ゾーン２４を通過する１ｃｆ（１立方フィート：３０．５ｃｍ×３０．５ｃｍ×３０．５ｃｍ）の流体中に含まれるパーティクルの数を計測するようにしてもよい。   The particle counter 20 can measure the number of particles contained in a predetermined volume of fluid flowing from the intake port 21 toward the exhaust port 22 in the communication path 23. A measurement zone 24 is provided in the communication path 23. For example, the degree of light flux scattered by the fluid passing through the measurement zone 24 is investigated (light scattering method) or blocked by the fluid. By investigating the amount of light (light shielding method), the size and quantity of particles contained in the fluid passing through the measurement zone 24 can be measured. As an example, as in the example shown in FIG. 2 described later, the particle counter 20 is 1 cf (1 cubic foot: 30.5 cm × 30.5 cm × 30.5 cm) passing through the measurement zone 24 in the communication path 23. The number of particles contained in the fluid may be measured.

また、パーティクルカウンタ２０は、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材２５を有している。例えば、気体を透過し且つ所定の大きさのパーティクルを回収し得るフィルタ部材２５が、連通路２３の測定ゾーン２４より下流側または排気口２２を覆うように設けられる。図１に示された例では、フィルタ部材２５は、排気口２２上に設けられており、連通路２３からケース５０の内部に吐き出される流体中に混在するパーティクルを除去することができる。   The particle counter 20 has a filter member 25 that collects the particles after measurement. For example, a filter member 25 that can transmit gas and collect particles of a predetermined size is provided so as to cover the downstream side of the measurement zone 24 of the communication path 23 or the exhaust port 22. In the example shown in FIG. 1, the filter member 25 is provided on the exhaust port 22, and particles mixed in the fluid discharged from the communication path 23 into the case 50 can be removed.

フィルタ部材２５は、除去回収されるべきパーティクルの大きさや成分等を考慮して適宜選択され得る。また、フィルタ部材２５は、パーティクルカウンタ２０に取り外し可能に取り付けられていることが好ましい。この場合、フィルタ部材２５を取り外して清掃および再利用すること、或いは、パーティクルを回収したフィルタ部材２５を廃棄して新しいフィルタ部材２５と交換することが、可能となる。   The filter member 25 can be appropriately selected in consideration of the size and components of particles to be removed and collected. The filter member 25 is preferably detachably attached to the particle counter 20. In this case, the filter member 25 can be removed and cleaned and reused, or the filter member 25 from which particles have been collected can be discarded and replaced with a new filter member 25.

なお、図１に示された例において、パーティクルカウンタ２０は、ケース５０への収容対象物と略同一の外輪郭を有している。したがって、パーティクルカウンタ２０は、収容対象物を収容する状態と略同様の状態にて、ケース５０内に収容され得る。図示された例においては、ケース５０内に収容されたパーティクルカウンタ２０は、ケース蓋体５２の延出部５２ｃによってケース本体５１に向けて押圧され、ケース本体５１およびケース蓋体５２に対する相対移動を規制される。   In the example shown in FIG. 1, the particle counter 20 has substantially the same outer contour as the object to be accommodated in the case 50. Therefore, the particle counter 20 can be accommodated in the case 50 in a state substantially similar to the state in which the object to be accommodated is accommodated. In the illustrated example, the particle counter 20 accommodated in the case 50 is pressed toward the case main body 51 by the extending portion 52 c of the case lid 52, and moves relative to the case main body 51 and the case lid 52. Be regulated.

ところで、パーティクルの数量を測定する測定装置は、それ自体、パーティクルカウンタとの呼称で市販されている。そして、市販されているパーティクルカウンタを必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、ここで説明したパーティクルカウンタ２０を得ることが可能である。   By the way, a measuring apparatus for measuring the quantity of particles is commercially available under the name of a particle counter. Then, the particle counter 20 described here can be obtained by appropriately using a commercially available particle counter, for example, by improving it.

振動装置３０は、ケース５０が載置されるようになる振動台３１と、振動台３１を振動させる振動装置本体部３３と、を有している。振動台３１は、ケース５０を載置されるようになる部分である。振動台３１は、ケース５０を解放可能に保持するための保持具３５を有している。一方、振動装置本体部３３は、当該振動装置本体部３３に対して振動台３１を振動させること、すなわち、繰り返し運動させることができる。   The vibration device 30 includes a vibration table 31 on which the case 50 is placed, and a vibration device main body 33 that vibrates the vibration table 31. The vibration table 31 is a part on which the case 50 is placed. The vibration table 31 has a holder 35 for releasably holding the case 50. On the other hand, the vibration device main body 33 can vibrate the vibration table 31 with respect to the vibration device main body 33, that is, can be repeatedly moved.

振動台３１の振動条件は、詳しくは後述するように、ケース５０に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を防止する観点から、収容対象物を収容してケース５０が実際に使用される際にケースが受ける振動、動作、運動条件等に類似していることが好ましい。この点において、振動装置３０の振動条件、例えば、振動台３１の振動時における加速度〔ｍ／ｓ２〕、振動台３１の振動時における周期〔Ｈｚ〕、振動台３１の振動時における振幅〔ｍ〕等が調節可能となっていることが好ましい。 As will be described in detail later, the vibration conditions of the vibration table 31 are actually used by accommodating the accommodation object from the viewpoint of preventing the particles from adhering to the accommodation object accommodated in the case 50. It is preferable that the case is similar to the vibration, motion, motion conditions, and the like that the case receives. In this respect, the vibration conditions of the vibration device 30, for example, the acceleration [m / s 2 ] when the vibration table 31 vibrates, the period [Hz] when the vibration table 31 vibrates, and the amplitude [m] of the vibration table 31 when vibration occurs. Etc.] are preferably adjustable.

ところで、洗浄装置１０の振動装置３０は、市販されている振動装置を必要に応じて改良する等して適宜利用することにより、得ることが可能である。   By the way, the vibration device 30 of the cleaning device 10 can be obtained by appropriately using a vibration device that is commercially available as necessary.

制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値を取得し、当該パーティクル数を経時的に監視する。そして、制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０の測定値に基づいて振動装置３０を制御する。なお、図示された例において、制御装置４０は、振動装置３０と有線で接続されており、振動装置３０に対して指示信号を送信するが、パーティクルカウンタ２０とは有線で接続されていない。パーティクルカウンタ２０による所定体積の流体中に含まれるパーティクル数の測定値は、パーティクルカウンタ２０から制御装置４０へ無線にて送信される。この結果、密封されたケース５０内のパーティクルカウンタ２０から制御装置４０への測定データの送信が実現され得るようになっている。   The control device 40 acquires a measured value of the number of particles contained in a predetermined volume of fluid by the particle counter 20, and monitors the number of particles over time. Then, the control device 40 controls the vibration device 30 based on the measurement value of the particle counter 20. In the illustrated example, the control device 40 is connected to the vibration device 30 by wire and transmits an instruction signal to the vibration device 30, but is not connected to the particle counter 20 by wire. The measured value of the number of particles contained in a predetermined volume of fluid by the particle counter 20 is wirelessly transmitted from the particle counter 20 to the control device 40. As a result, transmission of measurement data from the particle counter 20 in the sealed case 50 to the control device 40 can be realized.

制御装置４０は、市販されているコンピュータによって形成され得る。図示された例において、制御装置４０は、パーティクルカウンタ２０からの測定値を管理し且つ振動装置３０の動作を制御する制御部４１に加え、表示部４２および入力部４３を有している。入力部４３は、例えばキーボードによって形成され、振動装置３０の制御条件等の種々の情報および指示を入力することができる。表示部４２は、パーティクルカウンタ２０の測定値、制御装置４０による制御条件、入力部４３を介して入力された情報等を表示する表示手段である。   The control device 40 can be formed by a commercially available computer. In the illustrated example, the control device 40 includes a display unit 42 and an input unit 43 in addition to a control unit 41 that manages the measurement value from the particle counter 20 and controls the operation of the vibration device 30. The input unit 43 is formed by a keyboard, for example, and can input various information and instructions such as control conditions of the vibration device 30. The display unit 42 is a display unit that displays measured values of the particle counter 20, control conditions by the control device 40, information input via the input unit 43, and the like.

次に、以上のような洗浄装置１０を利用して、ケース５０を洗浄する方法について説明する。   Next, a method for cleaning the case 50 using the cleaning apparatus 10 as described above will be described.

まず、パーティクルカウンタ２０をケース５０内に収容する。この際、パーティクルカウンタ２０は、ケース蓋体５２の延出部５２ｃにより、ケース５０内に固定される。なお、パーティクルカウンタ２０を収容されるケース５０は、従来の方法により、例えば水洗や湯洗により、予め洗浄されている。次に、パーティクルカウンタ２０を収容したケース５０を、振動装置３０の振動台３１上に配置する。ケース５０は、保持具３５を利用して、振動台３１に対して固定される。   First, the particle counter 20 is accommodated in the case 50. At this time, the particle counter 20 is fixed in the case 50 by the extending portion 52 c of the case lid 52. Note that the case 50 in which the particle counter 20 is accommodated is washed in advance by a conventional method, for example, by washing with water or hot water. Next, the case 50 containing the particle counter 20 is placed on the vibration table 31 of the vibration device 30. The case 50 is fixed to the vibration table 31 using the holder 35.

その後、振動装置３０による振動台３１の振動が開始される。振動台３１は、保持したケース５０とともに、振動装置本体部３３に対して振動する。この際、ケース５０内のパーティクルカウンタ２０は、吸気口２１から連通路２３内にケース５０内の雰囲気を吸い込み、吸い込んだ気体中に含まれるパーティクルの大きさ及び数量を計測する。パーティクルの大きさ及び数量を計測された連通路２３の気体は、その後、排気口２２を介し、パーティクルカウンタ２０の内部からケース５０内の密閉空間に排出される。ただし、パーティクルを含んだ気体は、ケース５０内の密閉空間に排出される前に、フィルタ部材２５を通過する。このため、気体中に含まれたパーティクルは、このフィルタ部材２５によって回収除去される。すなわち、パーティクルカウンタ２０は、パーティクルの数量を計測する異物計測装置として機能するとともに、パーティクルを除去する異物除去装置としても機能する。   Thereafter, the vibration of the vibration table 31 by the vibration device 30 is started. The vibration table 31 vibrates with respect to the vibration device main body 33 together with the held case 50. At this time, the particle counter 20 in the case 50 sucks the atmosphere in the case 50 from the air inlet 21 into the communication path 23 and measures the size and quantity of particles contained in the sucked gas. The gas in the communication path 23 whose particle size and quantity are measured is then discharged from the inside of the particle counter 20 to the sealed space in the case 50 via the exhaust port 22. However, the gas containing particles passes through the filter member 25 before being discharged into the sealed space in the case 50. For this reason, particles contained in the gas are collected and removed by the filter member 25. That is, the particle counter 20 functions as a foreign matter measuring device that measures the number of particles and also functions as a foreign matter removing device that removes particles.

パーティクルカウンタ２０による計測データは、制御装置４０に無線にて送信される。制御装置４０は、ケース５０内への収納を予定されている収容対象物に対して悪影響を及ぼし得る大きさ以上のパーティクル数を経時的に管理する。すなわち、制御装置４０は、所定の大きさ以上の大きさのパーティクルについて、連通路２３に吸引された所定体積の流体中に含まれていた数を、管理する。そして、連通路２３に吸引された所定体積の流体に含まれる所定の大きさのパーティクルの測定数が、十分な清浄度であると想定される所定の数以下または未満となった場合、制御装置４０は、振動装置３０による振動装置３０の振動を停止させる。   Measurement data from the particle counter 20 is transmitted to the control device 40 wirelessly. The control device 40 manages, over time, the number of particles having a size that can adversely affect the object to be stored in the case 50. That is, the control device 40 manages the number of particles having a size greater than or equal to a predetermined size contained in a predetermined volume of fluid sucked into the communication path 23. When the measured number of particles of a predetermined size contained in a predetermined volume of fluid sucked into the communication path 23 is equal to or less than a predetermined number that is assumed to be sufficient cleanliness, the control device 40 stops the vibration of the vibration device 30 by the vibration device 30.

振動装置３０が停止した後、振動装置３０からケース５０が取り外され、また、ケース５０内からパーティクルカウンタ２０が取り出される。なお、洗浄に用いられたパーティクルカウンタ２０のフィルタ部材２５は、次に行われるケース５０の洗浄にそなえ、必要に応じて取り外されて洗浄される或いは新しいフィルタ部材２５と交換される。   After the vibration device 30 stops, the case 50 is removed from the vibration device 30, and the particle counter 20 is taken out from the case 50. The filter member 25 of the particle counter 20 used for cleaning is removed and cleaned as necessary or replaced with a new filter member 25 in preparation for the next cleaning of the case 50.

以上のようにして、洗浄装置１０を用いたケース５０の洗浄が終了する。以上のような方法によれば、ケース５０を効果的に洗浄することが可能となる。実際に、本件発明者らが、フォトマスクをクリーンルーム内で作製する際に用いられるケース５０を上述した方法によって洗浄した後に使用したところ、パーティクル付着によるフォトマスクの不良率を改善することができた。   As described above, the cleaning of the case 50 using the cleaning device 10 is completed. According to the above method, the case 50 can be effectively cleaned. Actually, when the present inventors used the case 50 used for manufacturing a photomask in a clean room after cleaning it by the above-described method, the defect rate of the photomask due to particle adhesion could be improved. .

また実験においては、水洗や湯洗といった従来の洗浄方法で洗浄されたフォトマスク用ケース５０に対して、振動装置３０による振動を５〜３０分程度しか実施しなかった。このようなケース５０の洗浄によって生じる負担は、フォトマスク等の超精密部品の製造においては、不良率の改善によってコスト的にも生産効率的にも少なくとも相殺されるものであり、したがって、このようなえケース５０の洗浄の導入により、コスト面および生産効率面の両面において十分に利益を享受することが可能となる。   Further, in the experiment, the vibration by the vibration device 30 was performed only for about 5 to 30 minutes on the photomask case 50 washed by a conventional washing method such as water washing or hot water washing. Such a burden caused by cleaning the case 50 is at least offset in terms of cost and production efficiency by improving the defect rate in the manufacture of ultra-precise parts such as a photomask. By introducing the cleaning of the case 50, it is possible to sufficiently benefit from both cost and production efficiency.

なお、上述した洗浄方法により、洗浄後のケース５０に収容される収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に抑制し得る原因は、単にケース５０の清浄度合いを定量的に評価したということだけではなく、ケース５０の用途に対応して、例えば、クリーンルーム内で加工される物品（部品、製品）の保護ケースまたは搬送ケースといった用途に対応して適切にケース５０の清浄度合いを評価したことにあると考えられる。   In addition, the cause which can suppress effectively adhesion of the particle to the accommodation object accommodated in case 50 after washing | cleaning by the washing | cleaning method mentioned above is only that the cleanliness degree of case 50 was evaluated quantitatively. Instead, the degree of cleanliness of the case 50 is appropriately evaluated in accordance with the application of the case 50, for example, a protective case or a transport case of an article (part, product) processed in a clean room. It is believed that there is.

ここで、図２には、上述した洗浄方法と同様に、振動中のケース５０内にてパーティクルカウンタ２０により１μｍ以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、上述した洗浄方法とは異なり、振動していないケース５０内にてパーティクルカウンタ２０により１μｍ以上の大きさのパーティクルの数量を測定した結果の経時変化と、を示している。図２の測定結果は、測定開始後の５分毎に、当該５分間に測定されたパーティクル数の値を１ＣＦ（１立方フィート）の流体中に含まれている数に換算した値を示している。また、「振動有り」の実験については、パーティクルカウンタの測定開始時に振動を開始した。結果を図示された二つの実験では、振動装置３０によるケース５０の振動の有無のみが異なり、その他の条件は同一とした。例えば、二つの実験において、ケース５０の事前の洗浄方法は、共に、湯洗および乾燥とした。   Here, FIG. 2 shows the change over time in the result of measuring the number of particles having a size of 1 μm or more by the particle counter 20 in the vibrating case 50 and the above-described cleaning method. Unlike the case 50, the change over time of the result of measuring the number of particles having a size of 1 μm or more by the particle counter 20 in the non-vibrating case 50 is shown. The measurement result in FIG. 2 shows a value obtained by converting the value of the number of particles measured during the five minutes after the start of measurement into the number contained in a fluid of 1 CF (1 cubic foot). Yes. In the experiment with “vibration”, the vibration was started at the start of the particle counter measurement. In the two experiments whose results are illustrated, only the presence or absence of vibration of the case 50 by the vibration device 30 is different, and the other conditions are the same. For example, in two experiments, the prior cleaning methods for the case 50 were both hot water washing and drying.

図２に示すように、ケース５０の振動を停止した状態では、当該ケース５０内に配置されたパーティクルカウンタ２０にて１μｍ以上のパーティクルを殆ど検出することはできなかった。その一方で、同様の前処理をなされたケース５０を振動させている状態では、当該ケース５０内に配置されたパーティクルカウンタ２０にて１μｍ以上のパーティクルが多数検出された。そして上述したように、この二つの方法で洗浄されたケースを用いた場合に、パーティクル付着不良率に大きな差が生じた。したがって、上述してきたケースの洗浄を行わない従来の方法では、収容対象物とともにケース５０を取り扱うことにより、例えば一つの装置から他の装置へとケース５０を搬送することにより、当該ケース５０が振動して当該ケース５０から脱落したパーティクルが、収容対象物のパーティクル付着不良を引き起こしていたものと推測される。   As shown in FIG. 2, in a state where the vibration of the case 50 is stopped, the particle counter 20 disposed in the case 50 can hardly detect particles of 1 μm or more. On the other hand, in the state where the case 50 subjected to the same pretreatment is vibrated, many particles of 1 μm or more were detected by the particle counter 20 arranged in the case 50. As described above, when the cases cleaned by these two methods were used, a large difference in the particle adhesion failure rate occurred. Therefore, in the conventional method that does not clean the case described above, the case 50 is vibrated by handling the case 50 together with the object to be stored, for example, by transporting the case 50 from one apparatus to another apparatus. Thus, it is presumed that the particles dropped from the case 50 caused a particle adhesion failure of the accommodation target.

これらの事実からすれば、ケース５０を振動させることなく当該ケース５０内にてパーティクル数を測定したとしても、得られた測定値は、当該ケース５０のその後の使用態様に照らして当該ケース５０の清浄度合いを有効に示す指標とはなり得ない。すなわち、これまで清浄度を定量的に評価されることなく用いられてきたケースについて、当該ケース内部のパーティクル数を単に評価したとしても、パーティクル付着不良の低減を期待することはできない。また、ケース５０内にパーティクルが浮遊していないため、パーティクルカウンタ２０がフィルタ部材２５を用いたパーティクル回収機能を有していたとしても、ケース５０内からのパーティクルが除去されることも期待できない。   From these facts, even if the number of particles is measured in the case 50 without vibrating the case 50, the obtained measured value is in the light of the subsequent use mode of the case 50. It cannot be an index that effectively indicates the degree of cleanliness. That is, regarding cases where the cleanliness has been used without being quantitatively evaluated so far, even if the number of particles inside the case is simply evaluated, it is not possible to expect a reduction in particle adhesion defects. Further, since particles are not floating in the case 50, even if the particle counter 20 has a particle recovery function using the filter member 25, it cannot be expected that particles from the case 50 are removed.

その一方で、上述した洗浄方法では、振動装置３０によってケース５０を振動させながら、当該ケース５０内のパーティクル数を計測している。すなわち、静止した状態のケース５０内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際にケース５０を使用した際に、ケース５０から脱落し得るパーティクルの有無をも評価している。したがって、ケース５０の清浄度合いをパーティクルカウンタ２０での測定値によって正確に評価することができる。加えて、静止した状態のケース５０内を浮遊しているパーティクルだけでなく、実際のケースの使用中にケース５０内を浮遊するようになるだろうパーティクルをも、パーティクルカウンタ２０のフィルタ部材２５によって、予め除去することが可能となる。これらのことを原因として、上述してきた本実施の形態によれば、洗浄後のケース５０に収容された収容対象物へのパーティクルの付着を効果的に防止することができるものと推測される。   On the other hand, in the cleaning method described above, the number of particles in the case 50 is measured while the case 50 is vibrated by the vibration device 30. That is, not only the particles floating in the stationary case 50 but also the presence or absence of particles that can fall out of the case 50 when the case 50 is actually used is evaluated. Therefore, the degree of cleanliness of the case 50 can be accurately evaluated based on the measurement value of the particle counter 20. In addition, not only particles floating in the stationary case 50 but also particles that will float in the case 50 during use of the actual case are caused by the filter member 25 of the particle counter 20. , It can be removed in advance. For these reasons, according to the present embodiment described above, it is presumed that particles can be effectively prevented from adhering to the object to be accommodated in the case 50 after cleaning.

なお、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、収容対象物を上方から覆うケース蓋体５２の構造が複雑化している場合、例えば図１に示されている場合のように延出部５２ｃが設けられている場合、本実施の形態によるパーティクルの付着防止効果がより顕著となった。このような現象は、ケース蓋体５２の構造が複雑化することにより、ケース蓋体５２にパーティクルが付着しやすくなることに起因し、上述した推測とも合致する現象と言える。すなわち、ここで説明する製造方法および製造装置１０は、ケース蓋体５２の構造が複雑化しているケース５０、例えばケース蓋体５２に延出部５２ｃが設けられているケース５０に対して、より好適であると言える。   In addition, when the present inventors repeated earnest experiments, when the structure of the case lid 52 that covers the object to be stored from above is complicated, for example, as shown in FIG. Is provided, the effect of preventing adhesion of particles according to the present embodiment becomes more remarkable. Such a phenomenon is caused by the fact that the structure of the case lid 52 is complicated and particles are likely to adhere to the case lid 52, and can be said to be a phenomenon that matches the above-described estimation. That is, the manufacturing method and the manufacturing apparatus 10 described here are more suitable for the case 50 in which the structure of the case lid 52 is complicated, for example, the case 50 in which the extending portion 52c is provided in the case lid 52. It can be said that it is preferable.

また、振動装置３０によるケース５０の振動は、その後におけるケース５０の使用状態を十分に再現し得るよう、その後におけるケース５０の使用態様に応じて決定されることが好ましい。この点について、本件発明者らが鋭意実験を重ねたところ、実際にケース５０を使用する際における振動台３１の振動時における加速度〔ｍ／ｓ２〕、振動台３１の振動時における周期〔Ｈｚ〕、振動台３１の振動時における振幅〔ｍ〕を考慮して、振動装置３０による振動条件を設定することが有効であることが知見された。とりわけ、精密部品としての収容対象物を収容した状態で、クリーンルーム内を作業者によって手で持って搬送されるようになるケース５０では、加速度を５〔ｍ／ｓ２〕〜５０〔ｍ／ｓ２〕程度に設定することによって、作業者によるケース５０の持ち上げ時におけるケース５０の振動をよりよく再現することができ、これにより、パーティクル付着不良を効果的に低減することができた。 In addition, it is preferable that the vibration of the case 50 by the vibration device 30 is determined according to the use mode of the case 50 thereafter so that the use state of the case 50 thereafter can be sufficiently reproduced. With regard to this point, the present inventors conducted extensive experiments and found that when the case 50 is actually used, the acceleration [m / s 2 ] when the vibration table 31 vibrates and the period [Hz] when the vibration table 31 vibrates. It has been found that it is effective to set the vibration conditions by the vibration device 30 in consideration of the amplitude [m] when the vibration table 31 vibrates. In particular, in a case 50 in which an object to be accommodated as a precision part is accommodated and carried by a worker in the clean room by hand, the acceleration is 5 [m / s 2 ] to 50 [m / s]. 2 ], the vibration of the case 50 when the worker lifts the case 50 can be reproduced better, and thereby the particle adhesion failure can be effectively reduced.

なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。以下の説明では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。   Note that various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, an example of modification will be described. In the following description, the same reference numerals as those used for the corresponding parts in the above-described embodiment are used for the parts that can be configured in the same manner as in the above-described embodiment, and redundant description is omitted.

例えば、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ２０での測定値が無線にて送信される例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ２０に表示部が設けられ、ケース５０の外方から、パーティクルカウンタ２０の表示部に表示される測定値を確認することにより、例えば作業者が手動で振動装置３０による振動を停止するようにしてもよい。   For example, in the above-described embodiment, the example in which the measurement value of the particle counter 20 is transmitted wirelessly is shown, but the present invention is not limited to this. For example, a display unit is provided in the particle counter 20, and by checking a measurement value displayed on the display unit of the particle counter 20 from the outside of the case 50, for example, an operator manually stops vibration by the vibration device 30. You may make it do.

また、上述した実施の形態において、パーティクルカウンタ２０および振動装置３０とは別途に制御装置４０が設けられている例を示したが、これに限られない。例えば、パーティクルカウンタ２０による測定値が振動装置３０に送信され、吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に振動装置３０が自ら判断して振動を停止するようにしてもよいし、或いは、吸気口２１から排気口２２に向かう所定体積の流体中に含まれたパーティクル数が予め設定された値以下または未満となった場合に、パーティクルカウンタ２０が振動装置３０に振動停止する指示信号を送信するようにしてもよい。   In the above-described embodiment, an example in which the control device 40 is provided separately from the particle counter 20 and the vibration device 30 has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, when the measurement value by the particle counter 20 is transmitted to the vibration device 30 and the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port 21 toward the exhaust port 22 becomes less than or less than a preset value. The vibration device 30 may judge itself and stop the vibration, or the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port 21 toward the exhaust port 22 may be less than or less than a preset value. In such a case, the particle counter 20 may transmit an instruction signal for stopping the vibration to the vibration device 30.

１０ 洗浄装置
２０ パーティクルカウンタ
２１ 吸気口
２２ 排気口
２３ 連通路
２４ 測定ゾーン
２５ フィルタ部材
３０ 振動装置
３１ 振動台
３３ 振動装置本体部
３５ 保持具
４０ 制御装置
４１ 制御部
４２ 表示部
４３ 入力部
５０ ケース
５１ ケース本体
５２ ケース蓋体
５２ａ 天板部
５２ｂ 周壁部
５２ｃ 延出部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Cleaning apparatus 20 Particle counter 21 Intake port 22 Exhaust port 23 Communication path 24 Measurement zone 25 Filter member 30 Vibration apparatus 31 Vibration stand 33 Vibration apparatus main body part 35 Holder 40 Control apparatus 41 Control part 42 Display part 43 Input part 50 Case 51 Case body 52 Case lid 52a Top plate part 52b Peripheral wall part 52c Extension part

Claims (6)

洗浄対象となるケースの内部にパーティクルカウンタを収容した状態で当該ケースを振動装置の振動可能な振動台上に配置する工程と、
前記振動装置によって前記ケースとともに前記振動台を振動させる工程と、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記ケースを振動させる工程は、前記パーティクルカウンタで測定される前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中のパーティクル数が、予め設定された値以下または未満になると終了する、ケースの洗浄方法。 Placing the case on a vibrating table capable of vibrating the vibration device in a state in which the particle counter is accommodated inside the case to be cleaned;
Vibrating the shaking table together with the case by the vibrating device, and
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The step of oscillating the case ends when the number of particles in a predetermined volume of fluid flowing from the intake port to the exhaust port measured by the particle counter becomes less than or less than a preset value. Method. 前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて前記収容対象物を押圧する延出部と、を有する、請求項１に記載のケースの洗浄方法。 The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid is a top plate portion and an extending portion extending from the top plate portion, and comes into contact with an object to be accommodated disposed in the case main body toward the case main body. The method for cleaning a case according to claim 1, further comprising: an extending portion that presses. 前記パーティクル数の測定値が、前記パーティクルカウンタから制御装置へ無線にて送信され、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動装置による振動を停止させる、請求項１または２に記載のケースの洗浄方法。 The measurement value of the number of particles is wirelessly transmitted from the particle counter to the control device,
The case cleaning method according to claim 1, wherein the control device stops vibration by the vibration device based on a measurement value transmitted from the particle counter. 洗浄対象となるケースを保持する振動可能な振動台を、有した振動装置と、
前記振動台に保持された前記ケースの内部に収容されるパーティクルカウンタと、を備え、
前記パーティクルカウンタは、吸気口および前記吸気口と連通する排気口を含み、前記吸気口から前記排気口に向かう流体中に含まれるパーティクルの数を測定するように構成され、且つ、測定後のパーティクルを回収するフィルタ部材を有し、
前記パーティクルカウンタは、前記ケースが振動台に保持されて前記振動台とともに振動している状態にて、前記吸気口から前記排気口に向かう所定体積の流体中に含まれるパーティクル数を測定するとともに前記フィルタ部材によってパーティクルを回収し、
前記振動装置は、前記ケースの内部に収容された前記パーティクルカウンタによる前記所定体積の流体中に含まれるパーティクル数が予め設定された値以下または未満となると、前記ケースを保持した前記振動台の振動を停止させる、ケースの洗浄装置。 A vibration device having a vibration table capable of vibrating to hold a case to be cleaned;
A particle counter housed inside the case held by the shaking table,
The particle counter includes an intake port and an exhaust port communicating with the intake port, and is configured to measure the number of particles contained in the fluid from the intake port toward the exhaust port. A filter member for collecting
The particle counter measures the number of particles contained in a predetermined volume of fluid from the intake port toward the exhaust port in a state where the case is held by a vibration table and vibrates with the vibration table. Particles are collected by the filter member,
When the number of particles contained in the fluid of the predetermined volume by the particle counter housed in the case becomes equal to or less than a preset value, the vibration device vibrates the vibration table that holds the case. Stop the case cleaning device. 前記ケースは、ケース本体と、前記ケース本体を覆うケース蓋体と、を有し、
前記ケース蓋体は、天板部と、前記天板部から延び出す延出部であって、前記ケース本体内に配置された収容対象物に当接して前記ケース本体に向けて押圧する延出部と、を有する、請求項４に記載のケースの洗浄装置。 The case has a case main body and a case lid that covers the case main body,
The case lid body is a top plate portion and an extension portion extending from the top plate portion, and is an extension that abuts against an object to be accommodated disposed in the case main body and presses it toward the case main body. The case cleaning device according to claim 4, further comprising: a portion. 前記振動装置による前記振動台の振動を制御する制御装置を、さらに備え、
前記パーティクルカウンタは、パーティクル数の測定値を無線にて前記制御装置に送信し、
前記制御装置が、前記パーティクルカウンタから送信される測定値に基づき、前記振動台の振動を停止させる、請求項５または６に記載のケースの洗浄装置。 A control device for controlling the vibration of the shaking table by the vibration device;
The particle counter transmits a measured value of the number of particles to the control device wirelessly,
The case cleaning apparatus according to claim 5 or 6, wherein the control device stops vibration of the shaking table based on a measurement value transmitted from the particle counter.
JP2013067090A 2013-03-27 2013-03-27 Case cleaning method and case cleaning apparatus Active JP6107305B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013067090A JP6107305B2 (en) 2013-03-27 2013-03-27 Case cleaning method and case cleaning apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013067090A JP6107305B2 (en) 2013-03-27 2013-03-27 Case cleaning method and case cleaning apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014188461A true JP2014188461A (en) 2014-10-06
JP6107305B2 JP6107305B2 (en) 2017-04-05

Family

ID=51835349

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013067090A Active JP6107305B2 (en) 2013-03-27 2013-03-27 Case cleaning method and case cleaning apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6107305B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017130530A (en) * 2016-01-19 2017-07-27 大日本印刷株式会社 Case and particle measurement method
CN114101213A (en) * 2020-09-01 2022-03-01 家登精密工业股份有限公司 Photomask box cleaning equipment

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05291226A (en) * 1992-04-10 1993-11-05 Nippon Steel Corp Method and apparatus for cleaning by circulation and filtration
JPH07502687A (en) * 1992-11-04 1995-03-23 クローネス　アクチェンゲゼルシャフト　ヘルマン　クローンゼダー　マシーネンファブリーク Container cleaning machine with inspection device
JPH1187248A (en) * 1997-09-02 1999-03-30 Sharp Corp Plasma-cleaning device
JP2001152341A (en) * 1999-11-26 2001-06-05 Nec Corp Device and method for detecting end point of cleaning
JP2002184708A (en) * 2000-09-14 2002-06-28 Nec Kyushu Ltd Device and method for cleaning, method and device for diagnosing cleanliness factor, and semiconductor processor using the devices
JP2003185793A (en) * 2001-12-14 2003-07-03 Toshiba Corp Method and apparatus for removing adhering matter
JP2004253193A (en) * 2003-02-18 2004-09-09 Keyence Corp Static eliminator
JP2005101539A (en) * 2003-08-25 2005-04-14 Tokyo Electron Ltd Method of cleaning member and substrate processing apparatus
JP2007000824A (en) * 2005-06-27 2007-01-11 Fujitsu Ltd Foreign matter remover
US20070240741A1 (en) * 2006-04-06 2007-10-18 General Kinematics Corporation Apparatuses and Methods for Removing Particulate Materials
JP2007335665A (en) * 2006-06-15 2007-12-27 Nikon Corp Particle removal device and exposure equipment
JP2008089319A (en) * 2006-09-29 2008-04-17 Toppan Printing Co Ltd Method and apparatus for collecting particles in air
JP2011014823A (en) * 2009-07-06 2011-01-20 Dainichi Shoji Kk Mask case

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05291226A (en) * 1992-04-10 1993-11-05 Nippon Steel Corp Method and apparatus for cleaning by circulation and filtration
JPH07502687A (en) * 1992-11-04 1995-03-23 クローネス　アクチェンゲゼルシャフト　ヘルマン　クローンゼダー　マシーネンファブリーク Container cleaning machine with inspection device
JPH1187248A (en) * 1997-09-02 1999-03-30 Sharp Corp Plasma-cleaning device
JP2001152341A (en) * 1999-11-26 2001-06-05 Nec Corp Device and method for detecting end point of cleaning
JP2002184708A (en) * 2000-09-14 2002-06-28 Nec Kyushu Ltd Device and method for cleaning, method and device for diagnosing cleanliness factor, and semiconductor processor using the devices
JP2003185793A (en) * 2001-12-14 2003-07-03 Toshiba Corp Method and apparatus for removing adhering matter
JP2004253193A (en) * 2003-02-18 2004-09-09 Keyence Corp Static eliminator
JP2005101539A (en) * 2003-08-25 2005-04-14 Tokyo Electron Ltd Method of cleaning member and substrate processing apparatus
JP2007000824A (en) * 2005-06-27 2007-01-11 Fujitsu Ltd Foreign matter remover
US20070240741A1 (en) * 2006-04-06 2007-10-18 General Kinematics Corporation Apparatuses and Methods for Removing Particulate Materials
JP2007335665A (en) * 2006-06-15 2007-12-27 Nikon Corp Particle removal device and exposure equipment
JP2008089319A (en) * 2006-09-29 2008-04-17 Toppan Printing Co Ltd Method and apparatus for collecting particles in air
JP2011014823A (en) * 2009-07-06 2011-01-20 Dainichi Shoji Kk Mask case

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017130530A (en) * 2016-01-19 2017-07-27 大日本印刷株式会社 Case and particle measurement method
CN114101213A (en) * 2020-09-01 2022-03-01 家登精密工业股份有限公司 Photomask box cleaning equipment
CN114101213B (en) * 2020-09-01 2023-08-29 家登精密工业股份有限公司 Photomask box cleaning equipment

Also Published As

Publication number Publication date
JP6107305B2 (en) 2017-04-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6107305B2 (en) Case cleaning method and case cleaning apparatus
JP5814007B2 (en) Appearance inspection device
GB2440465A (en) Condition checking apparatus and method
JP2019034347A (en) Processing device
CN203155632U (en) Device for removing dust on surface of hardware product
JP5158642B2 (en) Contamination concentration measuring device
JP2009031173A (en) High-accuracy measuring device for particles in liquid
US9752975B2 (en) Method and apparatus for determining cleanliness of a sample
CN103830973A (en) Micro-power dust removing device and method capable of alarming filterability deterioration
JP6052551B2 (en) Method for measuring the weight concentration of particulate matter in the air
US20180095025A1 (en) Analysis and purging of materials in manufacturing processes
JP4654749B2 (en) Semiconductor wafer evaluation method
KR20140125167A (en) monitoring device for clean room
JP2011178462A (en) Substrate storage tray laminated pallet
CN104759177A (en) Automatic dedusting equipment
JP2017112125A (en) Method and device for cleaning case
JP2013080472A (en) Apparatus for counting components
JP5583921B2 (en) Appearance inspection device
JP2002168748A (en) Chemical filter end detection monitor, board carrying vessel provided with it, board carrying vessel charging station and chemical filter end detection method
JP2013071066A (en) Method and apparatus for washing packing bag
JP5907787B2 (en) Position measuring system for particle measuring apparatus and position recording method for particle measuring apparatus
JP4752544B2 (en) Package foreign matter detection device and detection method
JP2010044042A (en) Storage apparatus and measurement apparatus provided with the same
JP2001250802A (en) Foreign particle removing system in manufacturing process
US9746409B2 (en) Method and apparatus for determining cleanliness of a sample

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160128

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170127

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170207

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170220

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6107305

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150