JP2003185793A - Method and apparatus for removing adhering matter - Google Patents

Method and apparatus for removing adhering matter

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JP2003185793A
JP2003185793A JP2001380900A JP2001380900A JP2003185793A JP 2003185793 A JP2003185793 A JP 2003185793A JP 2001380900 A JP2001380900 A JP 2001380900A JP 2001380900 A JP2001380900 A JP 2001380900A JP 2003185793 A JP2003185793 A JP 2003185793A
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JP
Japan
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laser light
glove box
wall surface
matter
adhered
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Withdrawn
Application number
JP2001380900A
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Japanese (ja)
Inventor
Koichi Nitto
光一 日塔
Tadayoshi Oda
直敬 小田
Yuichi Shoji
裕一 東海林
Hiroshi Sakamoto
弘志 阪本
Shinichiro Matsuyama
慎一郎 松山
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To remove adhering matter on the inside of the wall face of a glove box without damaging the wall face. <P>SOLUTION: A laser beam application device 5 for applying laser beams is used to apply a laser beam to the inside of the transparent wall face of the glove box 1 from the outside. There is adhering matter S on the inner surface of the wall face 2, such as dust and steam. Electrons contributing to the adhesion of the adhering matter are given energy and vibrated by the application of the laser beam to deprive the matter of its binding strength whereby the matter can be easily separated. The adhering matter separated is collected by a suction device 4. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、壁面に付着した付
着物の除去方法および付着物の除去装置、および密閉空
間からの付着物除去方法に係り、例えば原子力産業、放
射線医療などの放射性物質または核燃料(核原料)物質
を取り扱う産業において、これらの物質の取り扱いを容
易にするための付着物除去方法および付着物の除去装
置、および密閉空間からの付着物除去方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for removing deposits adhering to a wall surface, a device for removing deposits, and a method for removing deposits from a closed space. In an industry handling nuclear fuel (nuclear raw material) substances, the present invention relates to a deposit removing method and a deposit removing device for facilitating the handling of these substances, and a deposit removing method from an enclosed space.

【0002】[0002]

【従来の技術】放射性物質、核燃料物質、劇物、毒物な
どを取り扱う場合、周囲の環境や人体に対する悪影響を
極力防止するために、外部と密閉された空間の中で作業
を行う必要がある。このような作業を行うために、グロ
ーブボックスと呼ばれる装置が知られている。グローブ
ボックスの大きさや設置方法は、取り扱う物質や状況に
よって異なるが、一般的には図6に示す構造となってい
る。
2. Description of the Related Art When handling radioactive materials, nuclear fuel materials, deleterious substances, poisons, etc., it is necessary to work in a space which is sealed from the outside in order to prevent adverse effects on the surrounding environment and the human body as much as possible. A device called a glove box is known for performing such work. The size and installation method of the glove box differ depending on the substance to be handled and the situation, but generally the structure is as shown in FIG.

【0003】同図に示すようにグローブボックス1は、
周囲を壁面2で規定された密閉空間である。壁面2はそ
の全体が樹脂やガラスなどの透明な材料からなっている
か、あるいは壁面2の一部に樹脂やガラスなどの覗き窓
(図示せず)が形成されている。また、壁面2の一部に
穴が開けられてゴム製のグローブ3が固定されている。
なお、壁面2とグローブ3との間は気密となるように適
切なシールがなされている。
As shown in the figure, the glove box 1 is
It is an enclosed space whose periphery is defined by the wall surface 2. The wall surface 2 is entirely made of a transparent material such as resin or glass, or a part of the wall surface 2 is formed with a viewing window (not shown) made of resin or glass. Further, a hole is made in a part of the wall surface 2 to fix the rubber globe 3.
An appropriate seal is provided between the wall surface 2 and the globe 3 so as to be airtight.

【0004】グローブボックス1内では、その作業内容
に応じて塵埃が発生したり、あるいは化学反応によって
蒸気が発生したりする。このような塵埃や蒸気などを吸
引除去するために吸引装置4が配置されており、塵埃や
蒸気はグローブボックス1の外部に排出され処理され
る。吸引装置4は、吸い込み口である吸引ヘッド4a
と、湾曲自在な吸引ホース4bと、吸引した塵埃や蒸気
を捕集する捕集ユニット4cとを備えている。
[0004] In the glove box 1, dust is generated or steam is generated by a chemical reaction depending on the contents of the work. A suction device 4 is arranged to suck and remove such dust and steam, and the dust and steam are discharged to the outside of the glove box 1 and processed. The suction device 4 is a suction head 4a which is a suction port.
And a flexible suction hose 4b, and a collection unit 4c for collecting the sucked dust and vapor.

【0005】このような構成のグローブボックス1にお
いては、作業者がこのグローブ3に手を挿入することに
より、グローブボックス1の内部で放射性物質、核燃料
物質、劇物、毒物などを用いた所定の手作業を行うこと
ができる。
In the glove box 1 having such a structure, an operator inserts his / her hand into the glove box 3 so that a predetermined amount of radioactive substances, nuclear fuel substances, deleterious substances, poisonous substances, etc. are used inside the glove box 1. Manual work can be done.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】グローブボックス1を
利用した作業においては、放射性物質、核燃料物質、劇
物、毒物などを扱う都合上、作業により発生した塵埃や
蒸気をその都度吸引装置4によって除去する必要があ
る。しかし、これらを完全に除去することは不可能であ
る。そのため、グローブボックス1による作業を長期間
に亘って行った場合、発生した塵埃や蒸気が徐々に壁面
2に付着し堆積することになる(図7参照)。こういっ
た付着物Sは作業者Wの視界を低下させる原因になり好
ましくない。そのため、壁面2の内壁は定期的にクリー
ニングされている。具体的には、グローブ3を介してウ
エスや布をつかみ、薬液等を用いて手作業で付着物Sを
除去したり、あるいはグローブ3の届かない場所につい
ては棒やブラシなどの長尺な用具を利用して除去してい
る。
In the work using the glove box 1, dust and steam generated by the work are removed by the suction device 4 each time because of the handling of radioactive substances, nuclear fuel substances, deleterious substances, poisons and the like. There is a need to. However, it is impossible to completely remove them. Therefore, when the work with the glove box 1 is performed for a long period of time, the generated dust and vapor gradually adhere to the wall surface 2 and accumulate (see FIG. 7). Such deposits S are unfavorable because they cause the visibility of the worker W to be reduced. Therefore, the inner wall of the wall surface 2 is regularly cleaned. Specifically, a waste cloth or a cloth is grasped through the glove 3, and the deposit S is manually removed by using a chemical solution, or a long tool such as a stick or a brush is used in a place where the glove 3 cannot reach. Are removed by using.

【0007】しかし、グローブ3はその基部が壁面2に
対して頑強に固定されており、また気密性を重視して破
けにくい素材から製作されている。したがって、上述の
ようなクリーニング作業には向かず、その作業性を向上
させることは困難であった。特に、視認性に影響する手
前側壁面の上部(作業者Wの視界付近)をクリーニング
するためには、手を逆向きにひねって伸ばすといった無
理な姿勢で行わなければならず、拭き残しが発生するな
どの不具合があった。
However, the base of the glove 3 is firmly fixed to the wall surface 2, and the glove 3 is made of a material that is not easily broken, with an emphasis on airtightness. Therefore, it is not suitable for the cleaning work as described above, and it is difficult to improve the workability. In particular, in order to clean the upper part of the front side wall surface (in the vicinity of the field of view of the worker W) that affects visibility, it is necessary to twist the hand in the opposite direction and extend it, and unwiping occurs. There was a problem such as doing.

【0008】このような状況の中、グローブボックス内
をクリーニングする方法として、壁面に液体や粒子を吹
き付けて付着物を研磨し除去する方法(例えば特開平5
−87983号公報)などが知られている。しかし、こ
ういった方法では付着物を除去することができる反面、
壁面自体も研磨されてしまう。したがって、クリーニン
グを繰り返すに従い壁面が徐々に曇りガラスのようにな
ってしまい、壁面の視認性が低下し作業効率の悪化を招
く要因となる。
Under such circumstances, as a method for cleaning the inside of the glove box, a method of spraying a liquid or particles on the wall surface to polish and remove the adhered substances (for example, Japanese Patent Laid-Open No. Hei 5).
No. 87983) is known. However, while these methods can remove the deposits,
The wall itself is also polished. Therefore, as the cleaning is repeated, the wall surface gradually becomes like frosted glass, which reduces the visibility of the wall surface and causes deterioration of work efficiency.

【0009】こういった問題は放射性物質などを扱うグ
ローブボックスに限ったものではなく、壁面を挟んで作
業者と反対側に位置する面をクリーニングする用途に共
通する問題である。例えば、水槽などの容器内面やビル
の窓外面などをクリーニングする場合などに相当する。
Such a problem is not limited to the glove box that handles radioactive substances, but is a problem common to the application of cleaning the surface located on the side opposite to the operator across the wall surface. For example, this corresponds to the case of cleaning the inner surface of a container such as a water tank or the outer surface of a building window.

【0010】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであって、その目的とするところは、壁面に
損傷を与えることなく壁面の付着物を除去する付着物除
去方法および付着物の除去装置の提供を目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to remove a deposit on a wall surface without damaging the wall surface and a deposit. The purpose of the present invention is to provide a removing device.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明においては、レーザ光を透過する性質を有し
付着物が付着する部材に対して、この付着物と当該部材
との境界面からレーザを照射し、当該付着物を前記部材
から剥離させる付着物の除去方法とした。
In order to achieve the above object, in the present invention, the boundary between the adhering material and the adhering material is attached to the adhering material having the property of transmitting laser light. A method of removing the adhered matter by irradiating a laser from the surface to separate the adhered matter from the member was adopted.

【0012】また、レーザ光を透過する性質を有し付着
物が付着した部材を用意するステップと、前記部材に対
して、この付着物と当該部材との境界面からレーザ光を
照射するステップと、レーザ光の照射によって剥離した
付着物を回収するステップとを有する付着物の除去方法
とした。
Further, a step of preparing a member having a property of transmitting a laser beam and having an adhered substance adhered thereto, and a step of irradiating the member with a laser beam from a boundary surface between the adhered substance and the member concerned. And a step of collecting the adhered matter separated by the irradiation of the laser beam.

【0013】さらに、レーザ光を透過する性質を有する
部材に対してレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、
前記レーザ光照射手段からレーザ光が照射される際に、
この付着物と当該部材との境界面から剥離する付着物を
回収する付着物回収手段とを有する付着物の除去装置と
した。
Further, a laser light irradiating means for irradiating the member having the property of transmitting the laser light with the laser light,
When laser light is emitted from the laser light emitting means,
An adhering matter removing device having an adhering matter collecting means for collecting the adhering matter that separates from the boundary surface between the adhering matter and the member.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態を説明する。なお、図6,7に示した従来
技術と同一構成要素には同一符号を付し、重複する説明
を省略する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same components as those of the conventional technique shown in FIGS. 6 and 7 are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

【0015】図1は、本発明に係る付着物除去方法を説
明するための一例として示されたグローブボックスの模
式図である。同図に示されるようにグローブボックス1
は壁面2により気密に形成されていて、壁面2の内側で
グローブ3の周囲には付着物Sが付着している。一方、
この壁面2において付着物Sの付着する面とは反対の
面、つまりグローブボックス1の外部には、レーザ光照
射装置5が配置されている。レーザ光照射装置5はその
ベースに位置するレーザ発振ユニット5aにレーザ光源
を備え、多関節アームからなる伝送ユニット5b内に敷
設した光ファイバによりレーザ光Lを導き、照射ユニッ
ト5cから外部にレーザ光Lを照射するよう構成されて
いる。
FIG. 1 is a schematic view of a glove box shown as an example for explaining the method of removing deposits according to the present invention. As shown in the figure, glove box 1
Is formed airtightly by the wall surface 2, and the adhering matter S is attached to the inside of the wall surface 2 around the globe 3. on the other hand,
A laser beam irradiation device 5 is arranged on the surface of the wall surface 2 opposite to the surface to which the adhered matter S adheres, that is, on the outside of the glove box 1. The laser light irradiation device 5 includes a laser light source in a laser oscillation unit 5a located at its base, guides the laser light L by an optical fiber laid inside a transmission unit 5b composed of an articulated arm, and emits the laser light from the irradiation unit 5c to the outside. It is configured to irradiate L.

【0016】なお、照射ユニット5c内には、照射状態
を監視するためのモニターカメラや、レーザ光を走査す
るためのスキャンミラーなどを設けることができる。
In the irradiation unit 5c, a monitor camera for monitoring the irradiation state, a scan mirror for scanning laser light, and the like can be provided.

【0017】一般に、樹脂やガラスなどの透明な材料で
あれば、照射されたレーザ光は透過する。そのため、図
示のように壁面2に対してレーザ光Lを照射した場合、
レーザ光Lは壁面2を透過してグローブボックス1の内
部に到達する。もちろん、壁面の視認性がそれ程良くな
くてもレーザ光が透過する材料も存在するため、壁面2
の材料としては種々のものが選択できる。
In general, a transparent material such as resin or glass allows the irradiated laser light to pass therethrough. Therefore, when the laser light L is applied to the wall surface 2 as shown in the figure,
The laser light L passes through the wall surface 2 and reaches the inside of the glove box 1. Of course, even if the visibility of the wall surface is not so good, there are materials that allow laser light to pass therethrough.
Various materials can be selected as the material.

【0018】図2(a)は、本発明による付着物除去の
原理を説明するためのものであり、図2(b)は本発明
を説明するための参考図である。本発明に基づく付着物
除去の基本的な原理は、塵埃や蒸気などの付着物が静電
力やファンデルワールス力等で他の物質(ここでは壁
面)に付着していることに着目している。そして、付着
に寄与する電子にエネルギーを与え、付着物もしくは壁
面を振動させて結合力を奪い脱離させるのである。付着
物の剥離の際に、壁面2にはキズや擦れなどは形成され
ない。
FIG. 2A is for explaining the principle of removing deposits according to the present invention, and FIG. 2B is a reference diagram for explaining the present invention. The basic principle of removing adhered matter based on the present invention focuses on that adhered matter such as dust and vapor adheres to another substance (here, wall surface) by electrostatic force or van der Waals force. . Then, energy is given to the electrons that contribute to the adhesion to vibrate the adhered substance or the wall surface to deprive the binding force and desorb it. When the adhered material is peeled off, the wall surface 2 is not scratched or rubbed.

【0019】一方、同図(b)に示すように付着物Sに
レーザ光Lを直接照射した場合、付着物Sが直接励起さ
れて除去される。しかし、この場合には付着物Sの表面
部分に対してのみレーザ光Lの影響が及ぶに留まる。つ
まり、付着物Sに堆積むらがある場合、低く堆積してい
る部分については短時間で除去できるのに対して、高く
堆積している部分についてはレーザ光Lの繰り返し照射
が必要となり、結果として作業時間の短縮に支障が生じ
る。
On the other hand, when the deposit S is directly irradiated with the laser beam L as shown in FIG. 1B, the deposit S is directly excited and removed. However, in this case, the influence of the laser light L only affects the surface portion of the deposit S. That is, when the deposit S has uneven deposition, the low-deposited portion can be removed in a short time, whereas the high-deposited portion needs to be repeatedly irradiated with the laser light L, and as a result, This will hinder the reduction of work time.

【0020】これに対して本発明では、図2(a)に示
したように、壁面2の反対側からレーザ光Lを透過さ
せ、レーザ光を付着物Sに対して間接的に照射してい
る。この方法を用いることにより、付着物Sの堆積むら
に拘らず、付着物Sの壁面2側の面から均一に結合力が
奪われ剥離することになる。このように、付着物の裏面
から付着物に対してレーザ光を照射することにより、短
時間で効果的に壁面をクリーニングすることができる。
On the other hand, in the present invention, as shown in FIG. 2A, the laser light L is transmitted from the opposite side of the wall surface 2 and the adhered material S is indirectly irradiated with the laser light. There is. By using this method, the bonding force is uniformly removed from the surface of the adhering material S on the side of the wall surface 2 and the adhering material S is peeled off regardless of uneven deposition of the adhering material S. In this way, by irradiating the adhered matter with the laser beam from the back surface of the adhered matter, the wall surface can be effectively cleaned in a short time.

【0021】ここでレーザ光の光源としては、パルス発
振のレーザを用いることができる。特に、照射時間を1
0ns以下に短くすることで、瞬間的に非常に強いエネ
ルギーが発生し、電子を確実に励起して振動させること
が可能になる。また、付着物が壁面に均一に付着してい
る場合には、レーザ光の1パルス目の照射位置と2パル
ス目の照射位置をレーザビーム径の1/2以上重なるよ
うにスキャンさせることで、壁面を均一にクリーニング
できる。なお、付着物の粒径によって付着力が異なるた
め、レーザ光の強度とスキャン速度(レーザ光の1パル
ス当たりの移動距離)を変化させてクリーニングの状態
をコントロールすることも可能である。
Here, a pulse oscillation laser can be used as the light source of the laser light. Especially, irradiation time is 1
By shortening to 0 ns or less, very strong energy is generated instantaneously, and it becomes possible to reliably excite and vibrate the electron. In addition, when the adhered matter is uniformly adhered to the wall surface, the irradiation position of the first pulse of the laser light and the irradiation position of the second pulse are scanned so as to overlap by at least ½ of the laser beam diameter, The wall surface can be cleaned uniformly. Since the adhesive force varies depending on the particle size of the adhered substance, it is possible to control the cleaning state by changing the intensity of the laser beam and the scanning speed (the moving distance per pulse of the laser beam).

【0022】図1に示すように、グローブボックス1内
には各種の構造部材が配置されており、その中にはレー
ザ光Lによりダメージを受けてしまうものあると考えら
れる。そういった構造部材に対しては、本発明に係る作
業を行う際に遮光布7で保護することができる。遮光布
7として例えば金属繊維、セラミックシート、あるいは
表面がポーラスな状態の樹脂などが用いられる。特に、
グローブボックスの種類によっては背面が透明なものも
あり、照射したレーザ光がそのまま背面を透過し、グロ
ーブボックスの外部に出射してしまうことも考えられ
る。このような危険を回避するために、図1に示したよ
うに、グローブボックス1の外部から背面2aに対して
遮光布7aを敷設し、レーザ光Lの終端処理を施すこと
も大切である。また、グローブボックス周囲の作業者に
保護メガネを着用させることも大切である。
As shown in FIG. 1, various structural members are arranged in the glove box 1, and it is considered that some of them are damaged by the laser light L. Such a structural member can be protected by the light shielding cloth 7 when performing the work according to the present invention. As the light-shielding cloth 7, for example, a metal fiber, a ceramic sheet, or a resin whose surface is porous is used. In particular,
Depending on the type of glove box, the back side may be transparent, and it is conceivable that the irradiated laser light may pass through the back side as it is and be emitted to the outside of the glove box. In order to avoid such a danger, it is also important to lay a light-shielding cloth 7a from the outside of the glove box 1 on the back surface 2a to terminate the laser light L, as shown in FIG. It is also important for workers around the glove box to wear protective glasses.

【0023】また、本発明の方法により剥離した付着物
Sは、単に付着部分から剥がれただけであって不要な運
動エネルギーを得ていない。したがって、吸引ヘッド4
aと遊離付着物との距離を適当に保っておけば極めて小
さな吸引力のみで遊離付着物を確実に回収することがで
きる。
The deposit S peeled off by the method of the present invention is simply peeled off from the attached portion and does not obtain unnecessary kinetic energy. Therefore, the suction head 4
If an appropriate distance is maintained between a and the free deposit, the free deposit can be reliably recovered with an extremely small suction force.

【0024】なお、一般的にグローブボックスはその内
部が負圧管理されており、内部圧力が外部圧力よりも小
さく設定されているため、剥離した付着物がそのまま落
下してしまう恐れもある。そこで、グローブボックス内
にファン等を設置して強制的に空気対流を発生させるこ
とにより、吸引ヘッドによる付着物捕捉を一層確実にす
ることができる。
Generally, the inside of the glove box is controlled to have a negative pressure, and the internal pressure is set to be lower than the external pressure. Therefore, by installing a fan or the like in the glove box to forcibly generate air convection, it is possible to more reliably capture the adhering matter by the suction head.

【0025】図3は、本発明に係る付着物除去方法を実
現するための付着物除去装置6を示す斜視図である。同
図に示すように、付着物除去装置6は前述のレーザ光照
射装置5と吸引装置4とを一体化した構造をなしてい
る。具体的には、レーザ発振ユニット5a,伝送ユニッ
ト5b,照射ユニット5cと、吸引ヘッド4a,吸引ホ
ース4b,捕集ユニット4cと、さらに電力供給のため
の電源ユニット6aと装置冷却のための冷却ユニット6
bを備えている。このような形態の付着物除去装置6
は、各部が着脱自在に構成されているが、これは作業環
境や運搬方法などを考慮したものである。なお、付着物
除去装置6の下部には運搬を容易に行うためのキャスタ
ーが取り付けられている。
FIG. 3 is a perspective view showing an adhering substance removing device 6 for realizing the adhering substance removing method according to the present invention. As shown in the figure, the adhering matter removing device 6 has a structure in which the laser light irradiation device 5 and the suction device 4 described above are integrated. Specifically, a laser oscillation unit 5a, a transmission unit 5b, an irradiation unit 5c, a suction head 4a, a suction hose 4b, a collection unit 4c, a power supply unit 6a for supplying power, and a cooling unit for cooling the apparatus. 6
b. The deposit removing device 6 having such a configuration
Each part is configured to be detachable, but this is in consideration of the work environment and the transportation method. A caster is attached to the lower part of the deposit removing device 6 for easy transportation.

【0026】図4は、図3に示した付着物除去装置6を
分離し付着物の除去作業を行っている場面を模式的に示
したものである。作業場所まで運搬された付着物除去装
置6は、レーザ光照射装置5と吸引装置4とが分離され
互いに壁面2の両側に移動される。付着物Sと反対側に
移動したレーザ光照射装置5は、壁面2を透過し付着物
質Sにレーザ光を照射する。一方、付着物Sの側に移動
した吸引装置4は、遊離付着物を吸引し回収する。
FIG. 4 schematically shows a situation in which the deposit removing device 6 shown in FIG. 3 is separated to remove deposits. The adhering substance removing device 6 transported to the work place is moved to both sides of the wall surface 2 with the laser light irradiation device 5 and the suction device 4 separated from each other. The laser beam irradiation device 5 that has moved to the side opposite to the adhered substance S irradiates the adhered substance S with laser light after passing through the wall surface 2. On the other hand, the suction device 4 that has moved to the side of the adhering matter S sucks and collects the free adhering matter.

【0027】図5は本発明に係る付着物除去方法の他の
実施形態を示す模式図である。同図に示すように、手前
の壁面2にはレーザ光が直接照射され、グローブボック
ス1の奥の背面2aに対しては壁面2を透過したレーザ
光が照射される。そのため、壁面2の付着物Sについて
は図2(a)に示した原理に基づく剥離が生じるととも
に、背面2aの付着物Sについては図2(b)に示した
原理に基づく剥離が生じる。
FIG. 5 is a schematic view showing another embodiment of the deposit removing method according to the present invention. As shown in the figure, the front wall surface 2 is directly irradiated with the laser light, and the rear surface 2 a of the glove box 1 is irradiated with the laser light transmitted through the wall surface 2. Therefore, the deposit S on the wall surface 2 is peeled off based on the principle shown in FIG. 2A, and the deposit S on the back surface 2a is peeled off based on the principle shown in FIG. 2B.

【0028】また、グローブボックス1の側面内側の付
着物を除去する場合には、グローブボックス内に反射ミ
ラーを設置し、壁面2を透過したレーザ光をこの反射ミ
ラーで側面内壁に照射するように構成すればよい。な
お、反射ミラーはグローブボックス1の外部から遠隔操
作できるようにすることが好ましい。これにより、グロ
ーブボックス1の側面内側の付着物についても、図2
(a)に示した原理に基づく剥離が可能となる。
When removing the deposits on the inside of the side surface of the glove box 1, a reflecting mirror is installed in the glove box, and the laser light transmitted through the wall surface 2 is irradiated onto the inner surface of the side surface by this reflecting mirror. Just configure it. It is preferable that the reflection mirror can be remotely operated from the outside of the glove box 1. As a result, the attached matter on the inside of the side surface of the glove box 1 is also shown in FIG.
Peeling based on the principle shown in (a) is possible.

【0029】以上、本発明の実施形態を説明したが、本
発明はこれらに限定されるものではなく、その趣旨を逸
脱しない範囲で種々変形して実施できることは言うまで
もない。
Although the embodiments of the present invention have been described above, it is needless to say that the present invention is not limited to these and various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

【0030】例えば、上記の説明では、本発明をグロー
ブボックスに適用した場合について説明したが、周囲が
樹脂やガラスからなる水槽の容器内面を外部からクリー
ニングする場合や、ビルの窓外面を内部からクリーニン
グする場合などにも同様の効果が期待できる。
For example, in the above description, the case where the present invention is applied to the glove box has been described. However, when cleaning the inner surface of the container of the water tank whose periphery is made of resin or glass from the outside, or the outer surface of the window of the building from inside. The same effect can be expected when cleaning.

【0031】ここで、水槽をクリーニングする場合にお
いて内部に水が存在する場合には、レーザ光の基本波長
が1064nmであるNd:YAGレーザを用いたので
は水中を透過しないことが知られている。したがって、
水槽内部に魚などの生物がいたとしても外壁を透過して
藻などの付着物は取れるが、魚などには影響を及ばさず
に済む。一方、レーザ波長を第2高調波を発生する結晶
を用いて532nmにすると水中でもレーザ光が透過す
るようになるため、レーザ光の照射を避けるべきものに
ついては適当な遮光を行い、かつ水槽内に反射ミラーを
配置することにより、水槽の各壁面をクリーニングする
ことが可能になる。
Here, it is known that, when water is present inside when cleaning the water tank, it does not pass through the water by using the Nd: YAG laser whose fundamental wavelength of the laser beam is 1064 nm. . Therefore,
Even if there are fish or other organisms inside the aquarium, they can penetrate the outer wall and remove the deposits such as algae, but this does not affect the fish or the like. On the other hand, if the laser wavelength is set to 532 nm using a crystal that generates the second harmonic, the laser light will be transmitted even in water. Therefore, for those that should not be irradiated with laser light, appropriate light shielding is performed and By arranging the reflection mirror on the inside, it becomes possible to clean each wall surface of the water tank.

【0032】また、レーザ光としては可視光ばかりでな
く近赤外から赤外光のレーザや紫外光のレーザを利用す
る場合もある。このような場合には作業の進捗状況が目
視により把握しづらい。したがって、作業部位をCCD
カメラなどでモニターして画像処理を施し、この結果を
ディスプレイに表示することによって作業員に進捗状況
を把握させるよう構成することもできる。
As the laser light, not only visible light but also near infrared to infrared light laser or ultraviolet light laser may be used. In such cases, it is difficult to visually grasp the progress of the work. Therefore, the working site is CCD
It is also possible to configure so that a worker can grasp the progress situation by monitoring with a camera or the like, performing image processing, and displaying the result on a display.

【0033】さらに、付着物が剥離するとレーザ光照射
音が小さくなることを利用し、この発生音を検出するこ
とにより作業の進捗状況を把握することもできる。特
に、付着物の厚みにムラのある領域をクリーニングする
場合には、検出されたレーザ照射音をフィードバック制
御することにより、付着物が存在する部位についてはス
キャン速度を遅くするなどの手法を用いることができ
る。
Further, it is possible to grasp the progress of the work by detecting the generated sound by utilizing the fact that the laser light irradiation sound is reduced when the adhered matter is peeled off. In particular, when cleaning an area with uneven thickness of the adhered matter, use a method such as slowing down the scan speed for the part where the adhered matter exists by feedback controlling the detected laser irradiation sound. You can

【0034】[0034]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、壁
面に損傷を与えることなく壁面の付着物を除去すること
ができる。
As described above, according to the present invention, the deposits on the wall surface can be removed without damaging the wall surface.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る付着物除去方法を説明するための
一例として示されたグローブボックスおよびレーザ光照
射装置の模式図。
FIG. 1 is a schematic view of a glove box and a laser light irradiation device shown as an example for explaining an adhered substance removing method according to the present invention.

【図2】付着物の除去原理を説明するための模式図。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a principle of removing attached matter.

【図3】本発明に係る付着物除去方法を実施するための
付着物除去装置を示す斜視図。
FIG. 3 is a perspective view showing an adhering substance removing device for carrying out an adhering substance removing method according to the present invention.

【図4】図3における付着物除去装置による付着物除去
作業を示す斜視図。
FIG. 4 is a perspective view showing an adhering substance removing operation by the adhering substance removing device in FIG. 3;

【図5】本発明に係る付着物除去方法の他の実施形態を
示す模式図。
FIG. 5 is a schematic view showing another embodiment of the deposit removing method according to the present invention.

【図6】一般的なグローブボックスの構造を示す模式
図。
FIG. 6 is a schematic diagram showing the structure of a general glove box.

【図7】グローブボックス内での付着物堆積の様子を示
す模式図。
FIG. 7 is a schematic diagram showing how deposits are deposited in a glove box.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 グローブボックス 2 壁面 3 グローブ 4 吸引装置 5 レーザ光照射装置 6 付着物除去装置 7 遮光布 1 glove box 2 walls 3 gloves 4 suction device 5 Laser light irradiation device 6 Adhesion remover 7 Shading cloth

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東海林 裕一 神奈川県川崎市川崎区浮島町2番1号 株 式会社東芝浜川崎工場内 (72)発明者 阪本 弘志 東京都港区芝浦一丁目1番1号 株式会社 東芝本社事務所内 (72)発明者 松山 慎一郎 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝横浜事業所内 Fターム(参考) 3B116 AA47 BC05 5F072 AB02 KK05 MM17 RR01 RR03 SS06 YY20    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Yuichi Tobayashi             2-1, Ukishima-cho, Kawasaki-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa             Ceremony Company Toshiba Hamakawasaki Factory (72) Inventor Hiroshi Sakamoto             1-1 Shibaura, Minato-ku, Tokyo Co., Ltd.             Toshiba headquarters office (72) Inventor Shinichiro Matsuyama             8th Shinsugita Town, Isogo Ward, Yokohama City, Kanagawa Prefecture             Ceremony company Toshiba Yokohama office F-term (reference) 3B116 AA47 BC05                 5F072 AB02 KK05 MM17 RR01 RR03                       SS06 YY20

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光を透過する性質を有し付着物が
付着する部材に対して、この付着物と当該部材との境界
面からレーザを照射し、当該付着物を前記部材から剥離
させることを特徴とする付着物の除去方法。
1. A member having a property of transmitting a laser beam and having an adhered substance adhered thereto is irradiated with a laser from a boundary surface between the adhered substance and the member so as to separate the adhered substance from the member. A method for removing deposits, which is characterized by:
【請求項2】 レーザ光を透過する性質を有し付着物が
付着した部材を用意するステップと、 前記部材に対して、この付着物と当該部材との境界面か
らレーザ光を照射するステップと、 レーザ光の照射によって剥離した付着物を回収するステ
ップと、 を有することを特徴とする付着物の除去方法。
2. A step of preparing a member having a property of transmitting a laser beam and having an adhered substance adhered thereto, and a step of irradiating the member with laser light from a boundary surface between the adhered substance and the member. A method for removing deposits, comprising: collecting deposits that have been peeled off by irradiation with laser light.
【請求項3】 レーザ光を透過する性質を有する部材に
対してレーザ光を照射するレーザ光照射手段と、 前記レーザ光照射手段からレーザ光が照射される際に、
この付着物と当該部材との境界面から剥離する付着物を
回収する付着物回収手段と、 を有することを特徴とする付着物の除去装置。
3. A laser light irradiating means for irradiating a member having a property of transmitting a laser light with the laser light, and a laser light irradiating from the laser light irradiating means,
An adhering matter removing device, comprising: an adhering matter collecting means for collecting the adhering matter that separates from the boundary surface between the adhering matter and the member.
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