JP5907787B2 - Position measuring system for particle measuring apparatus and position recording method for particle measuring apparatus - Google Patents
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Description
本発明は環境評価技術に関し、特に粒子測定装置の配置記録システム及び粒子測定装置の配置記録方法に関する。 The present invention relates to an environmental evaluation technique, and more particularly to an arrangement recording system for a particle measuring apparatus and an arrangement recording method for a particle measuring apparatus.
バイオクリーンルーム等のクリーンルームにおいては、粒子測定装置を用いて、飛散している汚染物質等の粒子が検出され、記録される（例えば、非特許文献１参照。）。粒子測定装置は、例えば、クリーンルーム内の空気を吸引するための吸引口と、粒子を検出した後の空気をクリーンルームに戻すための排気口と、を有する。ここで、吸引口又は排気口がクリーンルームの壁に著しく近い場合には、粒子測定装置の粒子検出能力が低下する場合がある。そのため、クリーンルームにおける粒子測定装置の配置は、粒子測定装置の粒子検出能力を担保可能な場所に決定され、その後は移動されないことが好ましい。 In a clean room such as a bio clean room, particles such as scattered contaminants are detected and recorded using a particle measuring device (for example, see Non-Patent Document 1). The particle measuring apparatus has, for example, a suction port for sucking air in the clean room and an exhaust port for returning air after detecting particles to the clean room. Here, when the suction port or the exhaust port is extremely close to the wall of the clean room, the particle detection capability of the particle measuring device may be reduced. Therefore, it is preferable that the arrangement of the particle measuring device in the clean room is determined at a place where the particle detecting capability of the particle measuring device can be ensured, and is not moved thereafter.
しかし、クリーンルーム内において、粒子測定装置が必ずしも粒子検出能力を担保可能な場所に配置されるとは限られない。また、当初は、粒子測定装置が粒子検出能力を担保可能な場所に配置されたものの、その後、例えば生産ラインの変更による設備の入れ替え等の使用者の都合により、粒子測定装置が当初の配置から移動されることもある。このような場合において、粒子測定装置の粒子検出能力が低下し、結果としてクリーンルームの清浄度が高いと誤った判断がされる場合があることを本発明者は見出した。 However, in the clean room, the particle measuring device is not necessarily arranged at a place where the particle detection capability can be ensured. In addition, although the particle measuring device was initially placed in a place where the particle detection capability can be ensured, the particle measuring device was moved from the initial placement for the convenience of the user such as replacement of equipment due to a change in the production line. Sometimes moved. In such a case, the present inventor has found that the particle detection capability of the particle measuring device is reduced, and as a result, it may be erroneously determined that the cleanness of the clean room is high.
また、クリーンルームには例えば移動式クリーンルームがあり、移動式クリーンルームは任意の場所に搬送可能である。そのため、移動式クリーンルームと、移動式クリーンルームに設置された粒子測定装置と、が、セットで中古品として販売されることがある。この際、中古品として販売されるクリーンルーム内の粒子測定装置の配置が適切でない場合、粒子測定装置が検出する粒子が少ないことから、クリーンルームの清浄度が高いと買い手に誤って判断される場合がある。しかし、買い手が中古品を購入後、粒子測定装置を適切な場所に配置しなおすと、粒子測定装置による検出粒子が増加し、買い手が期待していた程度のクリーンルームの清浄度が実際には得られない場合がある。そのため、中古品の販売者と、購入者と、の間で、クリーンルームの清浄度の保証に関して、争いが生じる場合がある。 The clean room includes, for example, a mobile clean room, and the mobile clean room can be transported to an arbitrary place. Therefore, the mobile clean room and the particle measuring device installed in the mobile clean room may be sold as a used product in a set. At this time, if the arrangement of the particle measuring device in the clean room sold as a second-hand product is not appropriate, the particle measuring device detects few particles, so that the buyer may mistakenly determine that the clean room is clean. is there. However, if the buyer purchases a second-hand product and then repositions the particle measuring device to an appropriate location, the particles detected by the particle measuring device will increase, and the clean room cleanliness that the buyer has expected can actually be obtained. It may not be possible. Therefore, a dispute may arise between the seller of used products and the purchaser regarding the guarantee of cleanliness of the clean room.
このような争いにおいて、販売者と購入者の双方が、粒子測定装置の配置の重要性を認識していないことを本発明者は見出した。そこで、本発明は、粒子測定装置が所定の位置に配置されているか否かを監視可能な、粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法を提供することを目的の一つとする。 In such a battle, the present inventor has found that neither the seller nor the purchaser is aware of the importance of the arrangement of the particle measuring device. Accordingly, an object of the present invention is to provide a position recording system of a particle measuring apparatus and a position recording method of the particle measuring apparatus that can monitor whether or not the particle measuring apparatus is disposed at a predetermined position. .
本発明の態様によれば、（ａ）クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から送信される基準位置情報と、クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から送信される粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機と、（ｂ）基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部と、（ｃ）相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部と、を備える、粒子測定装置の位置記録システムが提供される。 According to the aspect of the present invention, (a) the reference position information transmitted from the first position information transmitter provided at the reference position of the clean room, and the second provided in the particle measuring device disposed in the clean room. A position information receiver for receiving the position information of the particle measuring device transmitted from the position information transmitter; There is provided a position recording system for a particle measuring apparatus, comprising: a relative position measuring unit that measures a relative position; and (c) a relative position information storage unit that stores information on the relative position.
また、本発明の態様によれば、（ａ）クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機から基準位置情報を送信することと、（ｂ）クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から粒子測定装置の位置情報を送信することと、（ｃ）位置情報受信機で基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報を受信することと、（ｄ）基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測することと、（ｅ）相対位置の情報を相対位置情報保存部に保存することと、を含む、粒子測定装置の位置記録方法が提供される。 Moreover, according to the aspect of the present invention, (a) the reference position information is transmitted from the first position information transmitter provided at the reference position of the clean room, and (b) the particle measuring device disposed in the clean room. Transmitting the position information of the particle measuring device from the provided second position information transmitter, (c) receiving the reference position information and the position information of the particle measuring device at the position information receiver, and (d) Measuring the relative position of the particle measuring device with respect to the reference position of the clean room based on the reference position information and the position information of the particle measuring device; and (e) storing the relative position information in the relative position information storage unit. A particle recording device position recording method is provided.
本発明によれば、粒子測定装置が所定の位置に配置されているか監視可能な、粒子測定装置の位置記録システム及び粒子測定装置の位置記録方法を提供可能である。 According to the present invention, it is possible to provide a particle measuring device position recording system and a particle measuring device position recording method capable of monitoring whether the particle measuring device is disposed at a predetermined position.
以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。 Embodiments of the present invention will be described below. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic. Therefore, specific dimensions and the like should be determined in light of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
（第１の実施の形態）
第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムは、図１に示すように、クリーンルームの基準位置に設けられた第１の位置情報送信機１から送信される基準位置情報と、クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機２から送信される粒子測定装置の位置情報と、を受信する位置情報受信機３と、基準位置情報及び粒子測定装置の位置情報に基づき、クリーンルームの基準位置に対する粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部３０１と、相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部４０１と、を備える。
(First embodiment)
As shown in FIG. 1, the position recording system of the particle measuring apparatus according to the first embodiment includes reference position information transmitted from a first position information transmitter 1 provided at a reference position of a clean room, and a clean room. A position information receiver 3 for receiving the position information of the particle measuring device transmitted from the second position information transmitter 2 provided in the particle measuring device arranged in the reference position information, and the position of the particle measuring device Based on the information, a relative position measurement unit 301 that measures the relative position of the particle measuring device with respect to the reference position of the clean room, and a relative position information storage unit 401 that stores information on the relative position are provided.
図２に示す移動式クリーンルーム１０は、骨格をなす例えばアルミニウム製のフレームと、フレームにはめ込まれた、側壁をなすポリカーボネート製の透明パネルと、を備える。ただし、実施の形態に係るクリーンルームは、これに限定されない。例えば、コンテナ型のクリーンルーム、プレハブ型のクリーンルーム、及び移動式手術室等も、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。また、移動式ではないクリーンルームも、実施の形態に係るクリーンルームに含まれる。 The mobile clean room 10 shown in FIG. 2 includes a frame made of, for example, aluminum that forms a skeleton, and a transparent panel made of polycarbonate that is fitted into the frame and forms a side wall. However, the clean room according to the embodiment is not limited to this. For example, a container-type clean room, a prefabricated clean room, a mobile operating room, and the like are also included in the clean room according to the embodiment. In addition, a clean room that is not mobile is also included in the clean room according to the embodiment.
クリーンルーム１０内部には、例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）及びＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）等の超高性能エアフィルタを通して、清浄な空気が送り込まれる。さらにクリーンルーム１０内部には、空気等の気体に含まれる微粒子や微生物を除去し、気体を清浄化する清浄化装置が配置されていてもよい。 Clean air is fed into the clean room 10 through ultra-high performance air filters such as HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter) and ULPA (Ultra Low Penetration Air Filter). Furthermore, in the clean room 10, a cleaning device that removes fine particles and microorganisms contained in a gas such as air and cleans the gas may be disposed.
図３に示すように、クリーンルーム１０に配置された粒子測定装置２０は、クリーンルーム１０内の気体を内部に吸引するための吸引口２１と、検査後の気体をクリーンルーム１０に戻すための排気口２２と、を有する。例えば、粒子測定装置２０は、内部において、吸引された気体にレーザ光を照射する。レーザ光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。レーザ光が可視光である場合、レーザ光の波長は、例えば４００乃至４１０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。レーザ光が紫外光である場合、レーザ光の波長は、例えば３１０乃至３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３４０ｎｍである。 As shown in FIG. 3, the particle measuring apparatus 20 arranged in the clean room 10 includes a suction port 21 for sucking the gas in the clean room 10 inside, and an exhaust port 22 for returning the gas after inspection to the clean room 10. And having. For example, the particle measuring device 20 irradiates the sucked gas with laser light inside. The laser light may be visible light or ultraviolet light. When the laser light is visible light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 400 to 410 nm, for example, 405 nm. When the laser light is ultraviolet light, the wavelength of the laser light is, for example, in the range of 310 to 380 nm, for example, 340 nm.
空気中に細菌を含む微生物等の微粒子が含まれる場合、レーザ光を照射された細菌が、蛍光を発する。細菌の例としては、グラム陰性菌、グラム陽性菌、及びカビ胞子を含む真菌が挙げられる。グラム陰性菌の例としては、大腸菌が挙げられる。グラム陽性菌の例としては、表皮ブドウ球菌、枯草菌芽胞、マイクロコッカス、及びコリネバクテリウムが挙げられる。カビ胞子を含む真菌の例としては、アスペルギルスが挙げられる。粒子測定装置２０は、レーザ光を照射された微生物が発した蛍光を検出し、蛍光強度を計測する。粒子測定装置２０は、蛍光強度の大きさに基づき、空気中に含まれている微生物の濃度を測定する。 When fine particles such as microorganisms containing bacteria are contained in the air, the bacteria irradiated with the laser light emit fluorescence. Examples of bacteria include gram negative bacteria, gram positive bacteria, and fungi including mold spores. Examples of gram-negative bacteria include E. coli. Examples of gram positive bacteria include Staphylococcus epidermidis, Bacillus subtilis spores, Micrococcus, and Corynebacterium. Examples of fungi containing mold spores include Aspergillus. The particle measuring device 20 detects the fluorescence emitted by the microorganisms irradiated with the laser light, and measures the fluorescence intensity. The particle | grain measuring apparatus 20 measures the density | concentration of the microorganisms contained in the air based on the magnitude | size of fluorescence intensity.
なお、粒子測定装置２０が測定対象とする粒子は微生物に限られない。例えば、粒子測定装置２０が測定対象とする粒子は、無害又は有害な化学物質、ごみ、ちり、及び埃等のダストも含む。また、粒子測定装置２０の粒子の測定原理も、上記に限定されない。さらに、粒子測定装置２０の測定結果も粒子の濃度に限定されず、粒子数、及び粒径分布等を測定してもよい。 The particles to be measured by the particle measuring device 20 are not limited to microorganisms. For example, the particles to be measured by the particle measuring device 20 include harmless or harmful chemical substances, dust, dust, and other dust. Further, the particle measurement principle of the particle measuring device 20 is not limited to the above. Furthermore, the measurement result of the particle measuring device 20 is not limited to the concentration of particles, and the number of particles, particle size distribution, and the like may be measured.
図４に示すように、第１の位置計測装置１１、第１の位置情報送信機１、及び第１のアンテナ１２がクリーンルーム１０の基準位置に固定されている。基準位置は、クリーンルーム１０における所定の位置である。例えば、クリーンルーム１０における基準位置が一度決定された後は、クリーンルーム１０における基準位置は変更されない。ただし、クリーンルーム１０が地球上で移動されたときは、クリーンルーム１０の移動に伴って、クリーンルーム１０の基準位置も地球上で移動する。第１の位置計測装置１１は、例えば汎地球測位システム（ＧＰＳ）を用いて、地球上におけるクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を計測する。第１の位置情報送信機１は、第１のアンテナ１２を用いて、第１の位置計測装置１１が計測したクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を含む基準位置情報を無線送信する。 As shown in FIG. 4, the first position measuring device 11, the first position information transmitter 1, and the first antenna 12 are fixed at the reference position of the clean room 10. The reference position is a predetermined position in the clean room 10. For example, after the reference position in the clean room 10 is once determined, the reference position in the clean room 10 is not changed. However, when the clean room 10 is moved on the earth, the reference position of the clean room 10 moves on the earth as the clean room 10 moves. The first position measurement device 11 measures the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 on the earth using, for example, a global positioning system (GPS). The first position information transmitter 1 uses the first antenna 12 to include a reference position including coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 measured by the first position measuring device 11. Send information wirelessly.
また、図３に示すように、第２の位置計測装置２３、第２の位置情報送信機２、及び第２のアンテナ２４が粒子測定装置２０に固定されている。第２の位置計測装置２３は、例えばＧＰＳを用いて、図４に示す地球上における粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を計測する。図３に示す第２の位置情報送信機２は、第２のアンテナ２４を用いて、第２の位置計測装置２３が計測した粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を含む粒子測定装置２０の位置情報を無線送信する。例えば、第２の位置計測装置２３及び第２の位置情報送信機２には、内蔵バッテリ２５から電源が供給される。 Further, as shown in FIG. 3, the second position measuring device 23, the second position information transmitter 2, and the second antenna 24 are fixed to the particle measuring device 20. The second position measuring device 23 measures coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring device 20 on the earth shown in FIG. 4 using, for example, GPS. The second position information transmitter 2 shown in FIG. 3 uses the second antenna 24 to measure the coordinates (X 1 , Y 1 , Z) of the arrangement position of the particle measuring apparatus 20 measured by the second position measuring apparatus 23. 1 ) including the position information of the particle measuring apparatus 20 including the wireless transmission. For example, power is supplied from the built-in battery 25 to the second position measurement device 23 and the second position information transmitter 2.
図１に示す位置情報受信機３は、クリーンルーム１０の基準位置情報と、粒子測定装置２０の位置情報と、を受信する。位置情報受信機３は、受信したクリーンルーム１０の基準位置情報と、粒子測定装置２０の位置情報と、を、相対位置計測部３０１を含む中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に伝送する。位置情報受信機３はＣＰＵ３００に直接接続されていてもよいし、有線又は無線ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）を介して接続されていてもよい。 The position information receiver 3 shown in FIG. 1 receives the reference position information of the clean room 10 and the position information of the particle measuring device 20. The position information receiver 3 transmits the received reference position information of the clean room 10 and the position information of the particle measuring device 20 to a central processing unit (CPU) 300 including a relative position measuring unit 301. The location information receiver 3 may be directly connected to the CPU 300 or may be connected via a wired or wireless local area network (LAN).
相対位置計測部３０１は、例えば、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）と、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）と、の差をとり、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を算出する。相対位置を表すベクトルは、クリーンルーム１０の地球上における位置に影響されない。相対位置計測部３０１は、算出したベクトルを、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報として、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に保存する。また、例えば、相対位置計測部は、相対位置を表す情報を所定の間隔で作成し、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に累積的に保存する。 The relative position measuring unit 301 is, for example, the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 and the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring device 20. The difference is calculated and a vector (X 1 −X 0 , Y 1 −Y 0 , Z 1 −Z 0 ) representing the relative position of the particle measuring device 20 with respect to the reference position of the clean room 10 is calculated. The vector representing the relative position is not affected by the position of the clean room 10 on the earth. The relative position measurement unit 301 uses the calculated vector as information indicating the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10 together with the time when the position information receiver 3 receives the information, in the relative position information storage unit 401. save. Further, for example, the relative position measurement unit creates information representing the relative position at predetermined intervals, and cumulatively stores the information in the relative position information storage unit 401 together with the time when the position information receiver 3 receives the information.
ＣＰＵ３００は、例えば、基準位置情報保存部４０２と、粒子測定装置位置情報保存部４０３と、をさらに備える。基準位置情報保存部４０２は、位置情報受信機３が受信したクリーンルーム１０の基準位置情報を、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に累積的に保存する。また粒子測定装置位置情報保存部４０３は、位置情報受信機３が受信した粒子測定装置２０の位置情報を、位置情報受信機３が情報を受信した時刻と共に累積的に保存する。 The CPU 300 further includes, for example, a reference position information storage unit 402 and a particle measurement device position information storage unit 403. The reference position information storage unit 402 cumulatively stores the reference position information of the clean room 10 received by the position information receiver 3 together with the time when the position information receiver 3 receives the information. The particle measuring device position information storage unit 403 cumulatively stores the position information of the particle measuring device 20 received by the position information receiver 3 together with the time when the position information receiver 3 receives the information.
ＣＰＵ３００は指示部３０２をさらに含んでいる。また、ＣＰＵ３００には、指示情報送信機３３がさらに接続されている。指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図２に示す第１の位置計測装置１１及び図３に示す第２の位置計測装置２３に、位置計測の開始、終了等を指示する指示情報を送信する。送信された指示情報は、図２に示す第１の指示情報受信機３１で受信され、第１の位置計測装置１１に伝達される。また、送信された指示情報は、図３に示す第２の指示情報受信機３２で受信され、第２の位置計測装置２３に伝達される。 CPU 300 further includes an instruction unit 302. Further, an instruction information transmitter 33 is further connected to the CPU 300. The instruction unit 302 uses the instruction information transmitter 33 to instruct the first position measuring device 11 shown in FIG. 2 and the second position measuring device 23 shown in FIG. 3 to start and end position measurement. Send information. The transmitted instruction information is received by the first instruction information receiver 31 shown in FIG. 2 and transmitted to the first position measuring device 11. The transmitted instruction information is received by the second instruction information receiver 32 shown in FIG. 3 and transmitted to the second position measuring device 23.
次に、図５に示すフローチャートを用いて、第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法について説明する。
（ａ）ステップＳ１０１で図１に示す指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、送受信テスト用に応答信号を返信するよう、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２に指示信号を送信する。ステップＳ１０２で、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２が指示信号を受信した場合は、第１の位置情報送信機１及び第２の位置情報送信機２が、位置情報受信機３に応答信号を送信する。位置情報受信機３が応答信号を受信した場合は、ステップＳ１０３に進む。位置情報受信機３が応答信号を受信しなかった場合は、ステップＳ１１２に進み、指示部３０２は、ＣＰＵ３００に接続されている表示装置等に、通信エラーが生じたことを表示させる。
Next, the position recording method of the particle measuring apparatus according to the first embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
(A) In step S101, the instruction unit 302 shown in FIG. 1 receives the first instruction information receiver 31 and the second instruction information so as to send back a response signal for the transmission / reception test using the instruction information transmitter 33. An instruction signal is transmitted to the machine 32. In step S102, when the first instruction information receiver 31 and the second instruction information receiver 32 receive the instruction signal, the first position information transmitter 1 and the second position information transmitter 2 A response signal is transmitted to the information receiver 3. When the position information receiver 3 receives the response signal, the process proceeds to step S103. If the position information receiver 3 does not receive the response signal, the process proceeds to step S112, and the instruction unit 302 displays on the display device or the like connected to the CPU 300 that a communication error has occurred.
（ｂ）ステップＳ１０３で、指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図２に示すクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）の計測の開始を指示する指示情報を、第１の指示情報受信機３１に送信する。また、指示部３０２は、指示情報送信機３３を用いて、図３に示す粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）の計測の開始を指示する指示情報を、第２の指示情報受信機３２に送信する。 (B) In step S103, the instruction unit 302 uses the instruction information transmitter 33 to instruct to start measurement of the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 illustrated in FIG. Information is transmitted to the first instruction information receiver 31. Further, the instruction unit 302 uses the instruction information transmitter 33 to provide instruction information for instructing the start of measurement of the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring apparatus 20 illustrated in FIG. Transmit to the second instruction information receiver 32.
（ｃ）ステップＳ１０４で、第１の位置計測装置１１は、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を計測する。その後、第１の位置情報送信機１は、第１の位置計測装置１１が計測したクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を含む基準位置情報を、図１に示す位置情報受信機３に送信する。また、第２の位置計測装置２３は、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を計測する。その後、第２の位置情報送信機２は、第２の位置計測装置２３が計測した粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を含む粒子測定装置２０の位置情報を、図１に示す位置情報受信機３に送信する。 (C) In step S104, the first position measuring device 11 measures the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10. Thereafter, the first position information transmitter 1 shows the reference position information including the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 measured by the first position measuring device 11 as shown in FIG. Transmit to the position information receiver 3. Further, the second position measuring device 23 measures the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring device 20. Thereafter, the second position information transmitter 2 includes the position information of the particle measuring apparatus 20 including the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring apparatus 20 measured by the second position measuring apparatus 23. Is transmitted to the position information receiver 3 shown in FIG.
（ｄ）ステップＳ１０５で、位置情報受信機３が基準位置情報及び粒子測定装置２０の位置情報を受信した場合、指示部３０２は、第１の指示情報受信機３１及び第２の指示情報受信機３２に、位置の座標の計測の終了を指示する指示情報を送信する。ステップＳ１０６で、位置情報受信機３は、受信したクリーンルーム１０の基準位置情報を、情報を受信した時刻と共に、基準位置情報保存部４０２に保存する。また、位置情報受信機３は、受信した粒子測定装置２０の位置情報を、情報を受信した時刻と共に、粒子測定装置位置情報保存部４０３に保存する。 (D) When the position information receiver 3 receives the reference position information and the position information of the particle measuring device 20 in step S105, the instruction unit 302 includes the first instruction information receiver 31 and the second instruction information receiver. 32, the instruction information for instructing the end of the measurement of the position coordinates is transmitted. In step S106, the position information receiver 3 stores the received reference position information of the clean room 10 in the reference position information storage unit 402 together with the time when the information is received. The position information receiver 3 stores the received position information of the particle measuring device 20 in the particle measuring device position information storage unit 403 together with the time when the information is received.
（ｅ）ステップＳ１０７で、相対位置計測部３０１は、基準位置情報保存部４０２からクリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）を読み出す。また、相対位置計測部３０１は、粒子測定装置位置情報保存部４０３から粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）を読み出す。次に、相対位置計測部３０１は、クリーンルーム１０の基準位置の座標（Ｘ0，Ｙ0，Ｚ0）と、粒子測定装置２０の配置位置の座標（Ｘ1，Ｙ1，Ｚ1）と、の差をとり、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を算出する。ステップＳ１０８で、相対位置計測部３０１は、算出したベクトルを、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報として、位置情報を受信した時刻と共に、相対位置情報保存部４０１に保存する。 (E) In step S <b> 107, the relative position measurement unit 301 reads the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10 from the reference position information storage unit 402. Further, the relative position measurement unit 301 reads the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measurement device 20 from the particle measurement device position information storage unit 403. Next, the relative position measurement unit 301 includes the coordinates (X 0 , Y 0 , Z 0 ) of the reference position of the clean room 10, the coordinates (X 1 , Y 1 , Z 1 ) of the arrangement position of the particle measuring device 20, And a vector (X 1 −X 0 , Y 1 −Y 0 , Z 1 −Z 0 ) representing the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10 is calculated. In step S <b> 108, the relative position measurement unit 301 stores the calculated vector in the relative position information storage unit 401 as information indicating the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10 together with the time when the position information is received. To do.
以上説明した第１の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法を所定の間隔で繰り返し実施することにより、相対位置情報保存部４０１に、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表すベクトル（Ｘ1−Ｘ0，Ｙ1−Ｙ0，Ｚ1−Ｚ0）を累積的に保存することが可能となる。これにより、粒子測定装置２０が、クリーンルーム１０内において、粒子検出能力を担保可能な場所に配置されているか否かを経時的に監視することが可能となる。また、粒子測定装置２０がクリーンルーム１０内で移動された場合は、その時刻を特定することも可能となる。さらにクリーンルーム１０が移動された場合でも、クリーンルーム１０内における粒子測定装置２０の相対位置を正確に記録することが可能となる。 By repeatedly performing the position recording method of the particle measuring apparatus according to the first embodiment described above at a predetermined interval, the relative position information storage unit 401 can store the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10. Can be stored cumulatively (X 1 −X 0 , Y 1 −Y 0 , Z 1 −Z 0 ). As a result, it is possible to monitor over time whether or not the particle measuring device 20 is disposed in a place where the particle detection capability can be ensured in the clean room 10. Moreover, when the particle | grain measuring apparatus 20 is moved in the clean room 10, it also becomes possible to specify the time. Furthermore, even when the clean room 10 is moved, the relative position of the particle measuring device 20 in the clean room 10 can be accurately recorded.
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムのＣＰＵ３００は、図６に示すように、時刻認証部３０３をさらに備える。時刻認証部３０３は、相対位置情報保存部４０１に保存されている、クリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報を時刻認証する。第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムのその他の構成要素は、第１の実施の形態と同様である。以下、図７に示すフローチャートを用いて、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法における時刻認証に関するステップについて説明する。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 6, the CPU 300 of the position recording system for the particle measuring apparatus according to the second embodiment further includes a time authentication unit 303. The time authentication unit 303 performs time authentication on information that is stored in the relative position information storage unit 401 and that represents the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10. Other components of the position recording system of the particle measuring apparatus according to the second embodiment are the same as those of the first embodiment. Hereinafter, steps related to time authentication in the position recording method of the particle measuring apparatus according to the second embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG.
第１の実施の形態と同様にステップＳ１０１乃至ステップＳ１０８が実施された後、ステップＳ２０１で、図６に示す時刻認証部３０３は、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報のハッシュ値を計算する。ステップＳ２０２で、時刻認証部３０３は、計算したハッシュ値を時刻認証業務認定業者（ＴＳＡ：Ｔｉｍｅ Ｓｔａｍｐ Ａｕｔｈｏｒｉｔｙ）５０１に送付する。ステップＳ２０３で、ＴＳＡ５０１は、受信したハッシュ値に、時刻配信業務認定事業者（ＴＡ：Ｔｉｍｅ Ａｕｔｈｏｒｉｔｙ）から配信された正確な時刻情報を組合せ、トークンを生成する。さらに、ＴＳＡ５０１は、トークンに公開鍵暗号方式を利用して電子署名を付与し、トークンを暗号化する。ステップＳ２０４で、ＴＳＡ５０１は、暗号化したトークンを時刻認証部３０３に送信する。ステップＳ２０５で、時刻認証部３０３は、相対位置を表す情報と共に、トークンを相対位置情報保存部４０１に保存する。 After step S101 to step S108 are performed as in the first embodiment, in step S201, the time authentication unit 303 illustrated in FIG. 6 displays information indicating the relative position stored in the relative position information storage unit 401. Compute the hash value of. In step S <b> 202, the time authentication unit 303 sends the calculated hash value to a time authentication business authorization supplier (TSA: Time Stamp Authority) 501. In step S203, the TSA 501 generates a token by combining the received hash value with accurate time information distributed from a time distribution service certified business operator (TA: Time Authority). Further, the TSA 501 assigns an electronic signature to the token using a public key cryptosystem, and encrypts the token. In step S204, the TSA 501 transmits the encrypted token to the time authentication unit 303. In step S <b> 205, the time authentication unit 303 stores the token in the relative position information storage unit 401 along with information indicating the relative position.
ＴＳＡの公開鍵を入手し、相対位置情報保存部４０１に保存されているトークンを復号すると、トークンからハッシュ値を取り出すことができる。トークンから取り出したハッシュ値と、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報から計算されるハッシュ値と、が等しければ、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報は、トークン取得後、改ざんされていない。しかし、トークンから取り出したハッシュ値と、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報から計算されるハッシュ値と、が異なる場合、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報は、トークン取得後、改ざんされている。 When the TSA public key is obtained and the token stored in the relative position information storage unit 401 is decrypted, the hash value can be extracted from the token. If the hash value extracted from the token and the hash value calculated from the information indicating the relative position stored in the relative position information storage unit 401 are equal, the relative position stored in the relative position information storage unit 401 is The information to be represented has not been falsified since the token was acquired. However, if the hash value extracted from the token is different from the hash value calculated from the information indicating the relative position stored in the relative position information storage unit 401, the relative value stored in the relative position information storage unit 401 is different. The information indicating the position has been altered after the token is acquired.
したがって、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録システムを用いれば、相対位置情報保存部４０１に保存されている相対位置を表す情報の改ざんを防止することが可能となる。なお、図７においては、電子署名方式による時刻認証方法を説明したが、アーカイビング方式等の時刻認証方法も、第２の実施の形態に係る粒子測定装置の位置記録方法に適用可能である。また、時刻認証部３０３は、基準位置情報保存部４０２に保存されているクリーンルーム１０の基準位置情報を時刻認証してもよい。さらに時刻認証部３０３は、粒子測定装置位置情報保存部４０３に保存されている粒子測定装置２０の位置情報を時刻認証してもよい。 Therefore, if the position recording system of the particle measuring apparatus according to the second embodiment is used, it is possible to prevent falsification of information representing the relative position stored in the relative position information storage unit 401. Although the time authentication method using the electronic signature method has been described with reference to FIG. 7, the time authentication method such as the archiving method can also be applied to the position recording method of the particle measuring apparatus according to the second embodiment. Further, the time authentication unit 303 may perform time authentication on the reference position information of the clean room 10 stored in the reference position information storage unit 402. Further, the time authentication unit 303 may perform time authentication on the position information of the particle measurement device 20 stored in the particle measurement device position information storage unit 403.
（その他の実施の形態）
上記のように、本発明を実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施の形態及び運用技術が明らかになるはずである。例えば、第１の実施の形態において、第１の位置情報送信機１は基準位置情報を無線送信し、第２の位置情報送信機２は粒子測定装置２０の位置情報を無線送信すると説明したが、第１の位置情報送信機１は基準位置情報を有線ネットワークに送信し、第２の位置情報送信機２は粒子測定装置２０の位置情報を有線ネットワークに送信してもよい。また、第２の位置計測装置２３及び第２の位置情報送信機２には、外部電源から電源が供給されてもよい。さらに、相対位置計測部３０１は、基準位置情報、粒子測定装置２０の位置情報、及びクリーンルーム１０の基準位置に対する粒子測定装置２０の相対位置を表す情報を統合し、統合した情報を相対位置情報保存部４０１に累積的に保存してもよい。この様に、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although this invention was described by embodiment, it should not be understood that the description and drawing which form a part of this indication limit this invention. From this disclosure, various alternative embodiments, embodiments, and operation techniques should be apparent to those skilled in the art. For example, in the first embodiment, it has been described that the first position information transmitter 1 wirelessly transmits the reference position information, and the second position information transmitter 2 wirelessly transmits the position information of the particle measuring device 20. The first position information transmitter 1 may transmit the reference position information to the wired network, and the second position information transmitter 2 may transmit the position information of the particle measuring device 20 to the wired network. The second position measuring device 23 and the second position information transmitter 2 may be supplied with power from an external power source. Further, the relative position measurement unit 301 integrates the reference position information, the position information of the particle measuring apparatus 20, and the information indicating the relative position of the particle measuring apparatus 20 with respect to the reference position of the clean room 10, and stores the integrated information as relative position information. The information may be stored cumulatively in the unit 401. Thus, it should be understood that the present invention includes various embodiments and the like not described herein.
１ 第１の位置情報送信機
２ 第２の位置情報送信機
３ 位置情報受信機
１０ クリーンルーム
１１ 第１の位置計測装置
１２、２４ アンテナ
２０ 粒子測定装置
２１ 吸引口
２２ 排気口
２３ 第２の位置計測装置
２５ 内蔵バッテリ
３１ 第１の指示情報受信機
３２ 第２の指示情報受信機
３３ 指示情報送信機
３０１ 相対位置計測部
３０２ 指示部
３０３ 時刻認証部
４０１ 相対位置情報保存部
４０２ 基準位置情報保存部
４０３ 粒子測定装置位置情報保存部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st position information transmitter 2 2nd position information transmitter 3 Position information receiver 10 Clean room 11 1st position measuring device 12, 24 Antenna 20 Particle measuring device 21 Suction port 22 Exhaust port 23 2nd position measurement Device 25 Built-in battery 31 First instruction information receiver 32 Second instruction information receiver 33 Instruction information transmitter 301 Relative position measurement unit 302 Instruction unit 303 Time authentication unit 401 Relative position information storage unit 402 Reference position information storage unit 403 Particle measuring device position information storage unit
Claims (16)
前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報に基づき、前記クリーンルームの基準位置に対する前記粒子測定装置の相対位置を計測する相対位置計測部と、
前記相対位置の情報を保存する相対位置情報保存部と、
を備える、粒子測定装置の位置記録システム。 Reference position information transmitted from the first position information transmitter provided at the reference position of the clean room, and the particles transmitted from the second position information transmitter provided in the particle measuring apparatus disposed in the clean room. A position information receiver for receiving position information of the measuring device;
Based on the reference position information and the position information of the particle measuring device, a relative position measuring unit that measures the relative position of the particle measuring device with respect to the reference position of the clean room,
A relative position information storage unit for storing information on the relative position;
A position recording system for a particle measuring apparatus.
前記クリーンルームに配置された粒子測定装置に設けられた第２の位置情報送信機から前記粒子測定装置の位置情報を送信することと、
位置情報受信機で前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報を受信することと、
前記基準位置情報及び前記粒子測定装置の位置情報に基づき、前記クリーンルームの基準位置に対する前記粒子測定装置の相対位置を計測することと、
前記相対位置の情報を相対位置情報保存部に保存することと、
を含む、粒子測定装置の位置記録方法。 Transmitting reference position information from a first position information transmitter provided at the reference position of the clean room;
Transmitting the position information of the particle measuring device from a second position information transmitter provided in the particle measuring device disposed in the clean room;
Receiving the reference position information and the position information of the particle measuring device with a position information receiver;
Measuring the relative position of the particle measuring device with respect to the reference position of the clean room based on the reference position information and the position information of the particle measuring device;
Storing the relative position information in a relative position information storage unit;
A position recording method for a particle measuring apparatus.
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