KR20040046872A - Cassette for loading substrate of liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트에 관한 것으로, 특히 수납된 기판의 양측 및 중앙 부분을 지지하는 지지대를 카세트 프레임에 형성하여 수납된 기판의 휨 현상을 방지하는 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cassette for storing a substrate of a liquid crystal display device. In particular, a support for supporting both sides and a center portion of a accommodated substrate is formed in a cassette frame to prevent bending of the stored substrate. It relates to a cassette for storing.
현재 평판 표시장치(flat panel display)의 주력제품인 액정표시장치는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터용 뿐만 아니라 대형 모니터 응용제품으로도 개발되어 기존의 음극선관(cathode ray tube; CRT) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 표시장치 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다. 최근의 정보화 사회에서 표시장치는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있다. 특히 모든 전자 제품의 경, 박, 단, 소 추세에 따라 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 더 한층 높아지고 있다. 액정표시장치는 평판 표시장치의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능뿐만 아니라 양산성까지 갖춘 표시장치이기 때문에 이를 이용한각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며 전자 산업에서 반도체 이상의 파급효과를 가져오고 있다.Liquid crystal display, the main product of flat panel display, has been developed as a large-scale monitor application product as well as for notebook computer as the development of mass production technology and the achievement of research and development have made rapid progress. As the company gradually replaces cathode ray tube (CRT) products, its share in the display device industry is gradually increasing. In today's information society, the display device is more and more important as a visual information transmission medium. In particular, with the trend of light, thin, short, and small in all electronic products, the importance of low power consumption, thinness, light weight, high definition, and portability is increasing. Liquid crystal displays are not only capable of satisfying these conditions of flat panel displays but also mass-produced displays, and various new product creations are being made rapidly, and have a ripple effect over semiconductors in the electronics industry.
상기와 같은 액정표시장치의 제조공정은 서로 다른 제조공정을 거쳐 완성된 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; 이하 TFT) 기판과 컬러필터(color filter) 기판으로 액정 셀(cell)을 형성하는 일련의 공정으로 이루어진다. 이러한 액정 셀 공정의 플로우(flow)는 액정분자를 일정방향으로 배열시키기 위한 배향막 도포 및 러빙(rubbing) 공정이 TFT 기판과 컬러필터 기판에 대하여 각각 진행되면서 시작된다. TFT 기판에는 액정을 주입하기 위한 씰 패턴(seal pattern) 인쇄와 컬러필터 기판의 공통전극 단자를 TFT 기판의 본딩 패드(bonding pad)에 연결하기 위한 쇼트(short)가 만들어지며, 컬러필터 기판에는 일정한 셀 갭(cell gap)을 유지하기 위한 스페이서(spacer)를 뿌려준다. 그 다음 두 기판은 서로 정렬하여 합착된 후 각각의 패널(panel)로 절단 분리된다. 각 패널은 액정주입 후 주입구가 봉지되고 간단한 액정 셀의 온-오프(on-off) 시험으로 양품만을 선별하여 편광판을 부착함으로써 제조공정은 끝난다.The manufacturing process of the liquid crystal display device as described above is a series of processes for forming a liquid crystal cell with a thin film transistor (TFT) substrate and a color filter substrate completed through different manufacturing processes. Is done. The flow of the liquid crystal cell process starts with an alignment film coating and rubbing process for arranging liquid crystal molecules in a predetermined direction with respect to the TFT substrate and the color filter substrate, respectively. Seal pattern printing for injecting liquid crystal and a short for connecting the common electrode terminal of the color filter substrate to the bonding pad of the TFT substrate are made in the TFT substrate, and the color filter substrate has a constant A spacer is sprayed to maintain the cell gap. The two substrates are then aligned and bonded to each other and then cut and separated into their respective panels. Each panel is sealed by the injection hole after liquid crystal injection, and the manufacturing process is completed by attaching a polarizing plate by selecting only good products by simple on-off test of the liquid crystal cell.
상술한 바와 같이 액정표시장치의 제조공정은 서로 상이한 단위공정들로 연결되어 있기 때문에 각 단위공정을 행하는 장비가 다르고 이러한 장비들로 액정표시장치의 기판을 운반하기 위해 상기 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 필요하다.As described above, since the manufacturing process of the liquid crystal display device is connected to different unit processes, equipment for performing each unit process is different, and a cassette for accommodating the substrate for transporting the substrate of the liquid crystal display device to these devices is provided. ) Is required.
도 1a 및 도 1b는 종래 사용되던 카세트의 배면 및 평면을 도시한 단면도이다.1A and 1B are cross-sectional views showing the back and the plane of a cassette conventionally used.
도 1a는 카세트 내에 수납된 기판과 기판을 수납하는 로봇팔을 도시한 카세트의 배면도이고, 도 1b는 카세트 내에 기판이 수납된 모습을 도시한 카세트의 평면도이다.FIG. 1A is a rear view of a cassette showing a substrate accommodated in a cassette and a robot arm for storing the substrate, and FIG. 1B is a plan view of the cassette showing a state in which the substrate is accommodated in the cassette.
도 1a에 도시된 바와 같이, 상기 카세트(100)의 측면에는 상기 기판(140)을 지지하기 위한 지지핀(110)이 일정 간격을 두고 형성되어 있어 복수개의 슬롯을 구성하고 있다. 상기 슬롯으로 기판(140)이 수납되고, 상기 지지핀(110)에 의해 기판(140)이 지지된다.As shown in FIG. 1A, support pins 110 for supporting the substrate 140 are formed on the side surfaces of the cassette 100 to form a plurality of slots. The substrate 140 is accommodated in the slot, and the substrate 140 is supported by the support pin 110.
기판(140)은 로봇팔(170)에 설치된 흡착 패드(160)에 의해 로봇팔(170)에 고정되어 카세트(100) 내의 슬롯으로 운반되어 지지핀(110)의 상부에 놓여진다.The substrate 140 is fixed to the robot arm 170 by a suction pad 160 installed on the robot arm 170, and is transported to a slot in the cassette 100 to be placed on the support pin 110.
이때, 기판(140)의 양 측면만 지지핀(110)에 의해 지지되기 때문에 기판(140)의 중앙 부분이 그 무게로 인해 아래로 휘게 된다. 액정표시장치에 주로 사용되는 유리기판은 두께가 0.5~0.7㎜로 매우 얇고 또한 대면적화 되어가기 때문에 카세트(100) 내에 수납 시 도시된 바와 같이 유리 기판(140)이 그 무게에 의해 휘게 되는 것이다.At this time, since only both sides of the substrate 140 are supported by the support pins 110, the central portion of the substrate 140 is bent downward due to its weight. Since the glass substrate mainly used in the liquid crystal display device has a thickness of 0.5 to 0.7 mm and becomes very thin and large in area, the glass substrate 140 is bent by its weight as shown in the cassette 100.
최근에 도입된 액정 적하 방식에 의한 액정 주입 기술에 의하면 두 기판 사이에 액정이 주입된 후 각 패널(panel)로 절단 분리된다. 따라서, 기판 사이에 액정이 충진되어 있는 상태로 카세트 내에 수납되기 때문에 패널의 무게가 증가하게 되며, 따라서 휨 현상은 더욱 심각하게 된다.According to the recently introduced liquid crystal injection technique by the liquid crystal dropping method, a liquid crystal is injected between two substrates and then cut and separated into panels. Therefore, the weight of the panel increases because the liquid crystal is stored in the cassette while the liquid crystal is filled between the substrates, and thus the warpage phenomenon becomes more serious.
또한, 기판(140)의 종류 및 두께에 따라 휘는 정도가 상이하여 이에 따라 로봇팔(170)의 진행 위치가 달라져야 할 필요가 있었다. 즉, 로봇팔(170)에 의해 기판(140) 수납시 로봇팔(170)과 기판(140)의 접촉을 방지하기 위해 휘는 정도가 클수록 로봇팔(170)의 위치를 카세트(100)의 하부 방향으로 낮추어 진행시켜야 했다. 기판(140)마다 휘는 정도가 다르므로 로봇팔(170)이 카세트(100) 내로 진행 시 기판(140)과의 충돌 현상이 발생하는 문제점도 있었다.In addition, the degree of bending is different according to the type and thickness of the substrate 140, and thus the traveling position of the robot arm 170 needs to be changed. That is, the greater the degree of bending to prevent contact between the robot arm 170 and the substrate 140 when the substrate 140 is accommodated by the robot arm 170, the position of the robot arm 170 is lowered toward the cassette 100. I had to lower it down to proceed. Since the degree of bending is different for each of the substrates 140, the robot arm 170 may also collide with the substrate 140 when the robot arm 170 proceeds into the cassette 100.
그리고, 기판(140)이 카세트(100)에 수납되어 휘어진 상태로 장시간 있게 되는 경우 기판(140)이 원래의 평평한 상태를 회복하지 못해 흡착 테이블에 의한 후속 공정 진행 시 흡착이 제대로 이루어지지 않는 문제점이 있었다.In addition, when the substrate 140 is accommodated in the cassette 100 and is bent for a long time, the substrate 140 does not recover the original flat state, and thus, the adsorption is not properly performed during the subsequent process by the adsorption table. there was.
또한, 기판(140)의 휨에 의해 기판(140)이 카세트(100)에 안정된 상태로 수납되지 않아 운반구에 의한 카세트(100) 이동시 기판(140)의 흔들림으로 인한 기판(140)이 파손될 염려가 있었다.In addition, the substrate 140 may not be accommodated in the cassette 100 in a stable state due to the bending of the substrate 140, and thus, the substrate 140 may be damaged due to the shaking of the substrate 140 when the cassette 100 is moved by a transport hole. there was.
종래 카세트(100)의 경우 도 1b에 도시된 바와 같이 기판(140)을 지지하는 지지핀(110)은 여러 개의 핀에 의한 점 접촉 방식으로 되어 있어 TFT 기판과 컬러필터 기판이 합착된 후 카세트에 수납시 점 접촉 부위(도 1a의 A부분)의 집중 하중으로 점 접촉 부위의 불량이 발생하는 문제점이 있었다.In the case of the conventional cassette 100, as shown in FIG. 1B, the support pin 110 supporting the substrate 140 is a point contact method using a plurality of pins, and thus the TFT substrate and the color filter substrate are bonded to the cassette. There was a problem that a defect occurred in the point contact portion due to the concentrated load of the point contact portion (part A of FIG. 1A) during storage.
따라서, 본 발명은 기판이 카세트 내에 수납된 후에도 기판의 휨 현상을 방지할 수 있는 카세트를 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, an object of the present invention is to provide a cassette capable of preventing warpage of the substrate even after the substrate is housed in the cassette.
또한 본 발명은 카세트 내에 수납된 기판과 접촉되는 지지대의 면적을 넓게 하여 지지대와의 접촉 부위에 의한 기판 불량을 최소화하는 카세트를 제공하는 것을 목적으로 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a cassette that widens the area of the support in contact with the substrate contained in the cassette to minimize the substrate defects caused by the contact portion with the support.
도 1a 및 도 1b는 종래의 기판이 수납된 카세트를 도시한 배면도 및 평면도.1A and 1B are a rear view and a plan view of a cassette in which a conventional substrate is accommodated.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 카세트에 기판이 수납되는 모습을 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view showing a state in which a substrate is accommodated in a cassette according to an embodiment of the present invention.
도 3 본 발명의 실시예에 의한 카세트에 로봇팔에 의해 기판이 수납되는 모습을 도시한 평면도.Figure 3 is a plan view showing the substrate is accommodated by the robot arm in the cassette according to an embodiment of the present invention.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시예에 의한 카세트에 로봇팔에 의해 기판이 수납되는 모습을 도시한 배면도.4A and 4B are rear views showing a state in which a substrate is accommodated by a robot arm in a cassette according to an embodiment of the present invention.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 의한 카세트 프레임 및 지지대를 도시한 사시도.5A and 5B are perspective views illustrating a cassette frame and a support according to an embodiment of the present invention.
도 6은 본 발명의 실시예에 의해 지지대가 카세트 프레임에 결합된 상태를 나타내는 사시도.Figure 6 is a perspective view showing a state in which the support is coupled to the cassette frame by an embodiment of the present invention.
*** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ****** Explanation of symbols for the main parts of the drawing ***
100, 200: 카세트110, 510: 지지대100, 200: cassette 110, 510: support
140, 240: 기판160, 260: 흡착패드140, 240: substrate 160, 260: adsorption pad
170, 270: 로봇팔230: 카세트 프레임170, 270: robot arm 230: cassette frame
210: 제 1 지지부220: 제 2 지지부210: first support portion 220: second support portion
280: 로봇290: 회전부280: robot 290: rotating part
500: 홈550: 제 1 홀500: home 550: first hall
560: 제 2 홀600: 바560: second hole 600: bar
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 정면이 개방되어 로봇팔에 의해 기판이 수납되는 육면체 형상의 프레임; 상기 기판을 다수 수납하기 위하여 상기 로봇팔의 두께 이상의 간격으로 상기 프레임에 형성되어, 수납되는 기판의 양 측면을 지지하는 적어도 하나의 제 1 지지부; 및 상기 프레임에 설치되어, 수납되는 기판의 중앙 부분을 지지하는 적어도 하나의 제 2 지지부를 포함하는 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a frame having a hexahedron shape in which a front surface of the substrate is accommodated by the robot arm; At least one first support part formed in the frame at intervals greater than or equal to the thickness of the robot arm to accommodate a plurality of the substrates, and supporting both side surfaces of the substrate; And at least one second support part installed on the frame and supporting a central portion of the substrate to be accommodated.
상기 제 1 지지부는 프레임의 양 측면에 일정 간격으로 설치되고 판 형상을 하는 것이 바람직하고, 상기 제 2 지지부는 프레임의 배면에 일정 간격으로 설치되고 판 형상을 하는 것이 바람직하다.It is preferable that the first support part is installed at both sides of the frame at regular intervals and have a plate shape, and the second support part is installed at regular intervals on the back surface of the frame and have a plate shape.
상기 제 1 지지부 및 상기 제 2 지지부는 테플론으로 이루어진 것이 바람직하다.The first support and the second support is preferably made of Teflon.
또한, 본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여 정면이 개방되어 기판이 수납되며, 양 측면에 복수개의 홈이 형성되어 있는 프레임; 및 상기 홈에 삽입되어 프레임에 조립되며, 수납되는 기판의 양 측면과 중앙 부분을 지지하는 적어도 하나의 지지대를 포함하는 액정표시장치의 기판을 수납하는 카세트를 제공한다.In addition, the present invention in order to achieve the above object is the front open to accommodate the substrate, a frame having a plurality of grooves on both sides; And a cassette inserted into the groove and assembled to the frame, the cassette for accommodating the substrate of the liquid crystal display including at least one support for supporting both side surfaces and a central portion of the substrate.
상기 지지대는 테플론으로 이루어진 것이 바람직하다.The support is preferably made of Teflon.
상기 카세트 프레임은 홈이 형성된 위치에 제 1 홀을 구비하고, 상기 지지대는 양 측면에 제 2 홀을 구비하여 지지대가 카세트 프레임에 조립된 후 제 1 홀 및 제 2 홀을 관통하는 바에 의하여 카세트 프레임과 지지대가 고정되는 것이 바람직하다.The cassette frame has a first hole at a grooved position, and the support has a second hole at both sides thereof, and the support frame is assembled to the cassette frame, and then the cassette frame is formed through the first and second holes. And the support is preferably fixed.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
설명의 편의를 위하여 로봇팔이 카세트 내로 투입되는 면을 카세트의 정면이라 하고 나머지 면들을 측면 및 배면으로 정의하겠다.For convenience of description, the side into which the robot arm is inserted into the cassette will be referred to as the front of the cassette, and the remaining sides will be defined as the side and the back.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 카세트와 기판을 운반하는 로봇(robot)을 도시한 사시도이다.2 is a perspective view showing a robot carrying a cassette and a substrate according to an embodiment of the present invention.
도시된 바와 같이, 기판이 수납되는 카세트(200)가 이를 지지하는 로더(loader; 120)상에 안치되어서, 로봇(280)에 의해 기판(240)이 수납된다. 카세트(200)의 양측 벽에는 적어도 하나의 지지대(210, 220)가 형성되어 있어서, 각 지지대(210, 220) 사이의 슬롯에 기판(240)이 수납되도록 되어 있다.As shown, the cassette 200 in which the substrate is accommodated is placed on a loader 120 supporting the substrate, so that the substrate 240 is received by the robot 280. At least one support (210, 220) is formed on both walls of the cassette 200, so that the substrate 240 is accommodated in the slot between the support (210, 220).
로봇(280)은 회전부(290) 및 로봇팔(270)로 구성되어 있고, 회전부(290)에 로봇팔(270)이 연결되어 있으며, 로봇팔(270)에는 기판(240)을 진공으로 흡착하여 고정하기 위한 흡착 패드(260)가 형성되어 있다. 상기 로봇(280)은 높이의 조절이 가능하여 원하는 위치의 슬롯에 해당하는 지지대(210, 220)에 기판을 수납할 수 있다. 상기 지지대(210, 220)는 로봇팔(270)의 두께 이상의 간격으로 형성되어 로봇팔(270)이 간섭없이 카세트(200) 내부로 진입할 수 있다.The robot 280 is composed of a rotating part 290 and a robot arm 270, the robot arm 270 is connected to the rotating part 290, and the robot arm 270 is vacuum-adsorbed to the substrate 240. A suction pad 260 for fixing is formed. The robot 280 can adjust the height to accommodate the substrate in the support (210, 220) corresponding to the slot of the desired position. The supports 210 and 220 are formed at intervals greater than the thickness of the robot arm 270 so that the robot arm 270 may enter the cassette 200 without interference.
기판(240)을 흡착 패드(260)로 흡착하여 고정한 후 카세트(200)에 수납하기 위해 회전부(290)를 회전시키면, 회전부(290)의 회전 운동이 로봇팔(270)의 직선 운동으로 바뀌어 상기 로봇팔(270)이 카세트(200) 내부로 전진한다. 이때, 상기 지지부(280)는 수납되는 기판(240)의 높이에 따라 상기 로봇팔(270)의 높이를 조절한다.After the substrate 240 is absorbed and fixed by the adsorption pad 260, and the rotating unit 290 is rotated to be accommodated in the cassette 200, the rotational movement of the rotating unit 290 is changed to the linear movement of the robot arm 270. The robot arm 270 advances into the cassette 200. In this case, the support 280 adjusts the height of the robot arm 270 according to the height of the substrate 240 accommodated.
도 3은 로봇팔에 의해 기판이 카세트 내에 수납되는 모습을 도시한 평면도이다.3 is a plan view showing the substrate is accommodated in the cassette by the robot arm.
도시된 바와 같이 카세트(200) 내의 지지대는 카세트 프레임(230) 양 측면에 부착된 제 1 지지부(210)와 카세트 프레임(230) 배면으로부터 정면으로 소정 길이 ℓ만큼 돌출된 제 2 지지부(220)로 구성된다.As shown, the support in the cassette 200 is the first support 210 attached to both sides of the cassette frame 230 and the second support 220 protruding from the rear surface of the cassette frame 230 by a predetermined length L in front. It is composed.
상기 제 1 지지부(210)와 제 2 지지부(220)는 판 형상을 하고 있어 기판(240)을 카세트(200)에 수납시 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)와 면 접촉을 형성한다. 이때, 상기 제 1 지지부(210)에 기판(240)의 측면이 올려져 기판(240)이 카세트(200)에 수납되며, 제 2 지지부(220)는 수납되는 기판(240)의 중앙 부분을 지지하여 기판(240)이 휘는 것을 방지한다.The first support part 210 and the second support part 220 have a plate shape, and when the substrate 240 is stored in the cassette 200, the first support part 210 and the second support part 220 form a surface contact with the first support part 210 and the second support part 220. do. At this time, the side surface of the substrate 240 is placed on the first support portion 210 so that the substrate 240 is accommodated in the cassette 200, and the second support portion 220 supports a central portion of the substrate 240 accommodated therein. This prevents the substrate 240 from bending.
제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)의 폭인 t1, t2는 로봇팔(270)이 카세트(200) 내부로 진행시 로봇팔(270)과 접촉이 일어나지 않는 범위에서 넓게 제작하는 것이 바람직하다. 면 접촉을 크게 하여 기판(240)을 안정적으로 지지하기 위해서이다. 이 때 로봇팔(270) 진행에 따른 오차를 고려하여 여유 있게 제작하도록 한다. 또한, 제 2 지지부(220)의 길이 ℓ은 제 2 지지부(220)와 기판(240)의 무게로 인해 아래로 처지지 않을 정도의 길이로 형성한다. 제 2 지지부(220)가 아래로 처지게 될 경우 기판(240)도 이에 따라 아래로 휘게 되어 제 2 지지부(220)가 제 기능을 하지 못하게 되기 때문이다.The widths t 1 and t 2 of the first support part 210 and the second support part 220 are widely manufactured in a range where contact with the robot arm 270 does not occur when the robot arm 270 proceeds into the cassette 200. It is preferable. This is to stably support the substrate 240 by increasing the surface contact. In this case, the robot arm 270 may be manufactured in consideration of an error caused by the progress of the robot arm 270. In addition, the length l of the second support part 220 is formed to a length such that the weight of the second support part 220 and the substrate 240 does not sag downward. This is because when the second support part 220 sags downward, the substrate 240 also bends down accordingly, such that the second support part 220 does not function properly.
도 4a 및 도 4b는 로봇팔에 의해 기판이 카세트 내에 수납되는 모습을 도시한 단면도이다.4A and 4B are cross-sectional views illustrating a substrate being accommodated in a cassette by a robot arm.
도 4a는 기판이 로봇팔에 의해 흡착되어 고정된 상태로 카세트 내부로 진행한 상태를 도시한 것이다.Figure 4a shows a state where the substrate is adsorbed by the robot arm and proceeded inside the cassette in a fixed state.
상기한 바와 같이 로봇팔(270)의 상면에는 복수개의 흡착 패드(260)가 설치되어 있어 기판(240) 운반시 진공압에 의해 기판(240)을 로봇팔(270)에 고정시킨다.As described above, a plurality of suction pads 260 are provided on the upper surface of the robot arm 270 to fix the substrate 240 to the robot arm 270 by vacuum pressure during transport of the substrate 240.
도시된 바와 같이 기판(240)을 흡착한 로봇팔(270)이 카세트(200) 내부로 진행하게 된다. 이때, 로봇팔(270)에 고정된 기판(240)은 면적 및 무게로 인해 양 끝 부분이 아래로 처지게 되고 이에 따라 중앙 부분이 위로 볼록하게 된다. 로봇팔(270)에 의해 기판(240)을 수납하고자 하는 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220) 위에 수납된 기판(240)은 도시된 바와 같이, 제 2 지지부(220)에 의해 기판(240)의 중앙 부분이 지지되어 휘어지지 않고 평평한 상태로 있게 된다. 따라서, 로봇팔(270)의 이동 공간이 넓게 확보되고, 로봇팔(270)과 기판(240)이 충돌할 염려도 없게 된다. 또한 기판(240)의 종류와 두께가 달라지더라도 기판(240)이 휘어지는 현상이 발생하지 않기 때문에 이에 따른 로봇팔(270)의 위치 조정이 불필요하다.As shown, the robot arm 270 that absorbs the substrate 240 proceeds to the inside of the cassette 200. At this time, both ends of the substrate 240 fixed to the robot arm 270 are sag down due to area and weight, and thus the center portion is convex upward. The substrate 240 accommodated on the first support 210 and the second support 220 to accommodate the substrate 240 by the robot arm 270 is a substrate by the second support 220 as shown. The central portion of 240 is supported and in a flat state without being bent. Therefore, the moving space of the robot arm 270 is secured widely, and there is no fear that the robot arm 270 and the substrate 240 collide with each other. In addition, even if the type and thickness of the substrate 240 are different, the phenomenon in which the substrate 240 is not bent does not occur, and thus the position adjustment of the robot arm 270 is unnecessary.
상기 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)는 기판(240) 수납시 기판(240)에 가해지는 충격을 최소화하기 위하여 테플론(teflon)으로 형성하는 것이 바람직하다. 또한, 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)를 테플론으로 형성하면기판(240)과 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220) 사이의 마찰을 최소화해 정전기의 발생을 방지할 수 있다. 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)를 카세트 프레임(230)과 함께 일체형으로 제작한 후에 기판(240)과 접촉되는 부분에 테플론을 부착할 수 있다.The first support part 210 and the second support part 220 may be formed of a teflon to minimize the impact applied to the substrate 240 when the substrate 240 is accommodated. In addition, when the first support portion 210 and the second support portion 220 are formed of Teflon, the friction between the substrate 240 and the first support portion 210 and the second support portion 220 may be minimized to prevent the generation of static electricity. Can be. After the first support part 210 and the second support part 220 are integrally manufactured together with the cassette frame 230, the Teflon may be attached to a portion in contact with the substrate 240.
또는, 우선 카세트 프레임(230)을 제작한 후 프레임(230)의 측벽에 홈을 형성하여 제 1 지지부(210) 및 제 2 지지부(220)를 포함하는 E자 모양의 테플론을 카세트 프레임(230)에 삽입하여 구성할 수도 있다.Alternatively, first, the cassette frame 230 is manufactured, and then a groove is formed in the sidewall of the frame 230 to form an E-shaped teflon including the first support 210 and the second support 220. Can also be inserted into the configuration.
도 5a 및 도 5b는 카세트 프레임 및 지지대가 분리형으로 제작될 때의 카세트 프레임 및 지지대를 도시하는 도면이고, 도 6은 지지대가 카세트 프레임에 결합된 상태를 나타내는 도면이다.5A and 5B are views showing the cassette frame and the support when the cassette frame and the support are made detachably, and FIG. 6 is a view showing the state in which the support is coupled to the cassette frame.
도 5a에 도시된 바와 같이 카세트 프레임(230)에는 복수개의 홈(500)이 형성되어 있다. 또한, 도 5b에 도시된 바와 같이, 지지대(510)는 제 1 지지부(210)와 제 2 지지부(220)가 일체로 형성되어 있다. 상기와 같이 구성된 카세트 프레임(230)의 홈(500)에 지지대(510)가 삽입되어 슬라이딩(sliding) 운동함으로써 도 6에 도시된 바와 같이 지지대(510)가 카세트 프레임(230)에 조립된다. 상기 홈(500) 및 지지대(510)의 측면은 조립 후 이탈을 방지하기 위해 도시한 바와 같이 형성하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 5A, a plurality of grooves 500 are formed in the cassette frame 230. In addition, as shown in FIG. 5B, the support 510 is integrally formed with the first support 210 and the second support 220. As shown in FIG. 6, the support 510 is assembled to the cassette frame 230 by sliding the movement of the support 510 into the groove 500 of the cassette frame 230 configured as described above. Sides of the groove 500 and the support 510 is preferably formed as shown in order to prevent separation after assembly.
또한, 더욱 안정적으로 지지대(510)를 카세트 프레임(500)에 고정하기 위해, 카세트 프레임(500)과 이에 접촉되는 지지대(510)의 제 1 지지부(250)의 측면에 제 1 홀(550) 및 제 2 홀(560)을 형성하여 상기 홀(550, 560)에 바(bar; 600)를 삽입할 수 있다.In addition, in order to more stably fix the support 510 to the cassette frame 500, the first hole 550 and the side surface of the cassette frame 500 and the first support portion 250 of the support 510 in contact therewith A bar 600 may be inserted into the holes 550 and 560 by forming the second hole 560.
상기 카세트 프레임(230)과 지지대(510)는 일체로 형성될 수도 있지만, 상기한 바와 같이 조립식으로 형성함으로써 다른 형상의 지지대에도 적용할 수 있으며 로봇팔의 크기에 대응하여 지지대(510) 사이의 간격도 조절할 수 있게 된다.The cassette frame 230 and the support 510 may be integrally formed. However, the cassette frame 230 and the support 510 may be integrally formed as described above, and thus the cassette frame 230 and the support 510 may be applied to other supports. You can also adjust.
도 6은 하나의 지지대(510)가 카세트 프레임(230)에 결합된 모습을 도시하고 있는데, 카세트 프레임(230)에 형성된 모든 홈(500)에 지지대(510)가 삽입되면 카세트가 완성된다.6 illustrates a state in which one support 510 is coupled to the cassette frame 230. When the support 510 is inserted into all the grooves 500 formed in the cassette frame 230, the cassette is completed.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 그들은 발명의 범위를 한정하는 것이 아니라 바람직한 실시예로서 해석되어야 한다. 따라서 발명의 범위는 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.Many details are set forth in the foregoing description, but they should be construed as preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the scope of the invention should not be defined by the described embodiments, but should be defined by the claims and the equivalents of the claims.
본 발명의 실시예에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the embodiment of the present invention, the following effects are obtained.
첫째, 기판의 종류 및 두께에 따른 휨 발생을 방지할 수 있어 기판에 따른 로봇팔의 진행 위치를 변경할 필요가 없다.First, it is possible to prevent the occurrence of warpage according to the type and thickness of the substrate, there is no need to change the traveling position of the robot arm according to the substrate.
둘째, 기판이 카세트에 수납된 상태에서 운반구에 의한 이동 시 기판의 안정적 이동으로 기판의 파손을 방지할 수 있다.Second, it is possible to prevent the breakage of the substrate by the stable movement of the substrate during the movement by the carrier in the state in which the substrate is stored in the cassette.
셋째, TFT 기판과 컬러필터 기판의 합착 시 기판의 휨에 의한 미스얼라인을 방지할 수 있다.Third, when the TFT substrate and the color filter substrate are bonded together, misalignment due to the warpage of the substrate can be prevented.
넷째, 지지대와 합착된 기판이 면 접촉을 형성하므로 기판의 하중이 분산되어 점 접촉에 의한 기판 불량을 방지할 수 있다.Fourth, since the substrate bonded to the support forms a surface contact, the load of the substrate is dispersed to prevent the substrate failure due to the point contact.
다섯째, 카세트 내에서 기판의 휨 현상이 발생하지 않으므로 로봇팔이 카세트 내로 진입 시 여유 공간을 충분히 확보할 수 있어 기판과 로봇팔의 충돌을 방지할 수 있다.Fifth, since the bending of the substrate does not occur in the cassette, the robot arm can sufficiently secure a free space when entering the cassette, thereby preventing a collision between the substrate and the robot arm.
Claims (9)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020074910A KR20040046872A (en) | 2002-11-28 | 2002-11-28 | Cassette for loading substrate of liquid crystal display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020020074910A KR20040046872A (en) | 2002-11-28 | 2002-11-28 | Cassette for loading substrate of liquid crystal display device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20040046872A true KR20040046872A (en) | 2004-06-05 |
Family
ID=37342373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020020074910A KR20040046872A (en) | 2002-11-28 | 2002-11-28 | Cassette for loading substrate of liquid crystal display device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20040046872A (en) |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| AMND | Amendment | ||
| J201 | Request for trial against refusal decision | ||
| B601 | Maintenance of original decision after re-examination before a trial | ||
| E801 | Decision on dismissal of amendment | ||
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